JPH04236316A - プリント基板検査装置 - Google Patents
プリント基板検査装置Info
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- JPH04236316A JPH04236316A JP3004871A JP487191A JPH04236316A JP H04236316 A JPH04236316 A JP H04236316A JP 3004871 A JP3004871 A JP 3004871A JP 487191 A JP487191 A JP 487191A JP H04236316 A JPH04236316 A JP H04236316A
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Landscapes
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプリント基板検査装置、
特に、プリント基板上のソルダレジストが正確に位置ず
れなく施されているかどうかを検査するプリント基板検
査装置に関する。
特に、プリント基板上のソルダレジストが正確に位置ず
れなく施されているかどうかを検査するプリント基板検
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年のプリント基板検査に関する技術は
、主にプリント基板上のパターンの検査や、実装部品の
検査を対象とするものであり、レジスト等の表面処理状
態を自動的に検査する等の技術は未だ普及していない。 特に本発明に関するランド周辺のソルダレジストの状態
は、目視検査によるものが通常である。ランド周囲のソ
ルダレジスト状態が悪く、ランド（銅メッキ状態等の）
にかぶっている場合は、後工程の予備半田装着時に半田
が正しくのらない等の問題が生じる。また、レジストの
かすれなどがあると、ランドに接続するパターンの露出
等の問題もあり、基板製造工程上レジスト状態の検査を
迅速に、かつ安定に行なえる装置開発の要求が多くなっ
てきている。
、主にプリント基板上のパターンの検査や、実装部品の
検査を対象とするものであり、レジスト等の表面処理状
態を自動的に検査する等の技術は未だ普及していない。 特に本発明に関するランド周辺のソルダレジストの状態
は、目視検査によるものが通常である。ランド周囲のソ
ルダレジスト状態が悪く、ランド（銅メッキ状態等の）
にかぶっている場合は、後工程の予備半田装着時に半田
が正しくのらない等の問題が生じる。また、レジストの
かすれなどがあると、ランドに接続するパターンの露出
等の問題もあり、基板製造工程上レジスト状態の検査を
迅速に、かつ安定に行なえる装置開発の要求が多くなっ
てきている。
【０００３】従来の技術としては、特開昭６１−１７３
１０４号公報に示されるプリント配線板の表面処理検査
技術を取り入れた装置が考えられる。この技術は、プリ
ント配線板表面に光をあて、反射光が急変する角度を測
定して、この角度を標準資料の角度と比較して表面状態
を検査するものである。
１０４号公報に示されるプリント配線板の表面処理検査
技術を取り入れた装置が考えられる。この技術は、プリ
ント配線板表面に光をあて、反射光が急変する角度を測
定して、この角度を標準資料の角度と比較して表面状態
を検査するものである。
【０００４】図１２は、従来の一例を示す模式図である
。プリント配線基板１０１の真上に設置された光源１０
４で、回路パターンの表面１０３に光をあて、反射光量
をスコープ１０５で角度αをかえながら反射光量を測定
していき、反射光量が急変するところでスコープ１０５
の角度αを角度読み取り器１０２で読み取り、データ処
理部１０６でその角度と、あらかじめ測定されている表
面処理状態と反射の角度αの関係を比較して、ランド周
辺のレジスト状態を検査する装置が考えられる。
。プリント配線基板１０１の真上に設置された光源１０
４で、回路パターンの表面１０３に光をあて、反射光量
をスコープ１０５で角度αをかえながら反射光量を測定
していき、反射光量が急変するところでスコープ１０５
の角度αを角度読み取り器１０２で読み取り、データ処
理部１０６でその角度と、あらかじめ測定されている表
面処理状態と反射の角度αの関係を比較して、ランド周
辺のレジスト状態を検査する装置が考えられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプリン
ト基板検査装置は、スコープの角度を機械的に変化させ
反射光量を測定していくので、連続的ポイント測定に時
間がかかり、また表面処理下の配線パターン状態によっ
て反射光量測定が正確に行なえないという欠点があった
。
ト基板検査装置は、スコープの角度を機械的に変化させ
反射光量を測定していくので、連続的ポイント測定に時
間がかかり、また表面処理下の配線パターン状態によっ
て反射光量測定が正確に行なえないという欠点があった
。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の発明のプリント基
板検査装置は、 （Ａ） 被検査対象であるプリント基板状のランドとそ
の周辺のソルダレジスト表面を照射する斜光照明、（Ｂ
） 前記表面を撮像し、撮像信号を出力するＴＶカメラ
、 （Ｃ） 前記撮像信号をＡ／Ｄ変換し、デジタル信号を
出力するＡ／Ｄ変換部、 （Ｄ） 前記デジタル信号を格納し、読み出し信号を出
力する画像メモリ、 （Ｅ） 前記ランド部のＣＡＤデータがあらかじめ登録
されており、中心位置の座標データと、マスクウィンド
サイズデータを発生するＣＡＤデータメモリ、（Ｆ）
前記中心位置の座標データと、マスクウィンドサイズデ
ータとを用いて前記画像メモリの画像上のランドとソル
ダレジスト表面部分の特定な領域の画像データを得て、
ウィンドデータを出力するマスクウィンド発生部、（Ｇ
） 前記ウィンドデータを２値化し、前記ソルダレジス
ト輪郭領域を画像値“１”として抽出し、２値画像とし
て出力するレジスト輪郭領域抽出部、 （Ｈ） 前記２値画像を細線化し、細線画像を出力する
細線化部、 （Ｉ） 前記細線画像の短い枝と短い孤立線分を除去す
ることにより、前記ランドに接続している配線パターン
部やその他のノイズを除去し、輪郭画素列画像を出力す
るノイズ除去部、 （Ｊ） 前記輪郭画素列画像にもとづいてその重心を求
め、前記中心位置の座標データとの差からランドを囲む
ソルダレジストの位置ずれの判定を行ない、判定結果を
出力する判定部、とを含んで構成される。
板検査装置は、 （Ａ） 被検査対象であるプリント基板状のランドとそ
の周辺のソルダレジスト表面を照射する斜光照明、（Ｂ
） 前記表面を撮像し、撮像信号を出力するＴＶカメラ
、 （Ｃ） 前記撮像信号をＡ／Ｄ変換し、デジタル信号を
出力するＡ／Ｄ変換部、 （Ｄ） 前記デジタル信号を格納し、読み出し信号を出
力する画像メモリ、 （Ｅ） 前記ランド部のＣＡＤデータがあらかじめ登録
されており、中心位置の座標データと、マスクウィンド
サイズデータを発生するＣＡＤデータメモリ、（Ｆ）
前記中心位置の座標データと、マスクウィンドサイズデ
ータとを用いて前記画像メモリの画像上のランドとソル
ダレジスト表面部分の特定な領域の画像データを得て、
ウィンドデータを出力するマスクウィンド発生部、（Ｇ
） 前記ウィンドデータを２値化し、前記ソルダレジス
ト輪郭領域を画像値“１”として抽出し、２値画像とし
て出力するレジスト輪郭領域抽出部、 （Ｈ） 前記２値画像を細線化し、細線画像を出力する
細線化部、 （Ｉ） 前記細線画像の短い枝と短い孤立線分を除去す
ることにより、前記ランドに接続している配線パターン
部やその他のノイズを除去し、輪郭画素列画像を出力す
るノイズ除去部、 （Ｊ） 前記輪郭画素列画像にもとづいてその重心を求
め、前記中心位置の座標データとの差からランドを囲む
ソルダレジストの位置ずれの判定を行ない、判定結果を
出力する判定部、とを含んで構成される。
【０００７】第２の発明のプリント基板検査装置は、（
Ａ） 前記２値画像に対してさらに前記マスクウィンド
を４分割し、これら４つの分割域の中の２値画像の論理
積をとり、前記分割域の画像値“１”の重なり部分を検
出し、重なり画像を出力する重ね合せ部、（Ｂ） 前記
重なり画像にもとづいて、重なり部分の面積を算出し、
この面積にもとづいて判定結果を出力する判定部、とを
含んで構成される。
Ａ） 前記２値画像に対してさらに前記マスクウィンド
を４分割し、これら４つの分割域の中の２値画像の論理
積をとり、前記分割域の画像値“１”の重なり部分を検
出し、重なり画像を出力する重ね合せ部、（Ｂ） 前記
重なり画像にもとづいて、重なり部分の面積を算出し、
この面積にもとづいて判定結果を出力する判定部、とを
含んで構成される。
【０００８】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
【０００９】図１は、本発明の第１の実施例を示すブロ
ック図である。図１に示すプリント基板検査装置は、（
Ａ） 被検査対象であるプリント基板状のランドとその
周辺のソルダレジスト表面を照射する斜光照明、（Ｂ）
前記表面を撮像し、撮像信号ｄを出力するＩＴＶカメ
ラ１、 （Ｃ） 撮像信号ｄをＡ／Ｄ変換し、デジタル信号ｅを
出力するＡ／Ｄ変換部２、 （Ｄ） デジタル信号ｅを格納し、読み出し信号ｆを出
力する画像メモリ３、 （Ｅ） 前記ランド部のＣＡＤデータがあらかじめ登録
されており、中心位置の座標データｄ１ と、マスクウ
ィンドサイズデータｄ２，ｄ３ を発生するＣＡＤデー
タメモリ４、 （Ｆ） 中心位置の座標データｄ１ と、マスクウィン
ドサイズデータｄ２，ｄ３ とを用いて前記画像メモリ
の画像上のランドとソルダレジスト表面部分の特定な領
域の画像データを得て、ウィンドデータｇを出力するマ
スクウィンド発生部５、 （Ｇ） ウィンドデータｇを２値化し、前記ソルダレジ
スト輪郭領域を画像値“１”として抽出し、２値画像ｈ
として出力するレジスト輪郭領域抽出部６、（Ｈ） ２
値画像を細線化し、細線画像ｏを出力する細線化部７、 （Ｉ） 細線画像ｏの短い枝と短い孤立線分を除去する
ことにより、前記ランドに接続している配線パターン部
やその他のノイズを除去し、輪郭画素列画像ｐを出力す
るノイズ除去部８、 （Ｊ） 輪郭画素列画像ｐにもとづいてその重心を求め
、中心位置の座標データｄ１との差からランドを囲むソ
ルダレジストの位置ずれの判定を行ない、判定結果ｑを
出力する判定部９、 とを含んで構成される。
ック図である。図１に示すプリント基板検査装置は、（
Ａ） 被検査対象であるプリント基板状のランドとその
周辺のソルダレジスト表面を照射する斜光照明、（Ｂ）
前記表面を撮像し、撮像信号ｄを出力するＩＴＶカメ
ラ１、 （Ｃ） 撮像信号ｄをＡ／Ｄ変換し、デジタル信号ｅを
出力するＡ／Ｄ変換部２、 （Ｄ） デジタル信号ｅを格納し、読み出し信号ｆを出
力する画像メモリ３、 （Ｅ） 前記ランド部のＣＡＤデータがあらかじめ登録
されており、中心位置の座標データｄ１ と、マスクウ
ィンドサイズデータｄ２，ｄ３ を発生するＣＡＤデー
タメモリ４、 （Ｆ） 中心位置の座標データｄ１ と、マスクウィン
ドサイズデータｄ２，ｄ３ とを用いて前記画像メモリ
の画像上のランドとソルダレジスト表面部分の特定な領
域の画像データを得て、ウィンドデータｇを出力するマ
スクウィンド発生部５、 （Ｇ） ウィンドデータｇを２値化し、前記ソルダレジ
スト輪郭領域を画像値“１”として抽出し、２値画像ｈ
として出力するレジスト輪郭領域抽出部６、（Ｈ） ２
値画像を細線化し、細線画像ｏを出力する細線化部７、 （Ｉ） 細線画像ｏの短い枝と短い孤立線分を除去する
ことにより、前記ランドに接続している配線パターン部
やその他のノイズを除去し、輪郭画素列画像ｐを出力す
るノイズ除去部８、 （Ｊ） 輪郭画素列画像ｐにもとづいてその重心を求め
、中心位置の座標データｄ１との差からランドを囲むソ
ルダレジストの位置ずれの判定を行ない、判定結果ｑを
出力する判定部９、 とを含んで構成される。
【００１０】図２（ａ）〜（ｃ）は本発明の原理の作用
を説明する模式図である。図２（ａ）はプリント基板１
０上のランド１３とソルダレジスト１４の表面を真上か
ら観察した場合の模式図であり、図２（ｂ）はそのＡ−
Ａ断面図である。ソルダレジスト輪郭部１７は、なめら
かな形状をもつ三次元形状を有する。斜光照明１２をプ
リント基板１０の表面上にあてると、ソルダレジスト輪
郭部１７の反射光は真上に進むため、真上から観察する
とランド１３とこれに接続する配線パターン部１６およ
びソルダレジスト輪郭部１７からの反射光量が相対的に
多くなる。
を説明する模式図である。図２（ａ）はプリント基板１
０上のランド１３とソルダレジスト１４の表面を真上か
ら観察した場合の模式図であり、図２（ｂ）はそのＡ−
Ａ断面図である。ソルダレジスト輪郭部１７は、なめら
かな形状をもつ三次元形状を有する。斜光照明１２をプ
リント基板１０の表面上にあてると、ソルダレジスト輪
郭部１７の反射光は真上に進むため、真上から観察する
とランド１３とこれに接続する配線パターン部１６およ
びソルダレジスト輪郭部１７からの反射光量が相対的に
多くなる。
【００１１】図２（ｃ）はＡ−Ａ断面線に沿った反射光
量に相当する濃淡プロファイルを示す模式図である。斜
線の部分がソルダレジスト輪郭部１７に相当し、濃淡プ
ロファイルでは高い濃淡値が得られることになり、これ
に対応する場所をｒ１ 〜ｒ６で示す。第１の発明では
この領域だけを切り出し、ソルダレジスト輪郭部１７重
心を求め、ランドに対してレジストが位置ずれなく施さ
れているかを検査する。ソルダレジスト輪郭部１７だけ
を切り出すために、ＩＴＶカメラで撮影された画像上で
の測定のマスクウィンド発生と、細線化およびノイズ除
去処理を施している。
量に相当する濃淡プロファイルを示す模式図である。斜
線の部分がソルダレジスト輪郭部１７に相当し、濃淡プ
ロファイルでは高い濃淡値が得られることになり、これ
に対応する場所をｒ１ 〜ｒ６で示す。第１の発明では
この領域だけを切り出し、ソルダレジスト輪郭部１７重
心を求め、ランドに対してレジストが位置ずれなく施さ
れているかを検査する。ソルダレジスト輪郭部１７だけ
を切り出すために、ＩＴＶカメラで撮影された画像上で
の測定のマスクウィンド発生と、細線化およびノイズ除
去処理を施している。
【００１２】図３は、検査環境を示す斜視図である。検
査対象となるプリント基板１０が所定の位置に正確に置
かれた検査ステージ１１の真上に設定されたＩＴＶカメ
ラ１により、プリント基板１０上のランド１３とその周
囲のソルダレジスト１４を含む表面の画像を、斜光照明
１２を照射しながら入力しビテオ信号ｄをＡ／Ｄ変換部
２に送り、デジタル信号ｅとして画像メモリ３に格納す
る。
査対象となるプリント基板１０が所定の位置に正確に置
かれた検査ステージ１１の真上に設定されたＩＴＶカメ
ラ１により、プリント基板１０上のランド１３とその周
囲のソルダレジスト１４を含む表面の画像を、斜光照明
１２を照射しながら入力しビテオ信号ｄをＡ／Ｄ変換部
２に送り、デジタル信号ｅとして画像メモリ３に格納す
る。
【００１３】図４は、座標系とＣＡＤデータメモリ内の
データをグラフである。画像平面上にＸＹ座標系が設定
されており、この座標系が実際のプリント基板１０上の
Ｘｗ，Ｙｗ との対応があらかじめ明確となっている。 そして、プリント基板１０上の各ランド１３の中心位置
（ｘｍ，ｙｍ ）と、マスクウィントサイズ（Ｗｘ，Ｗ
ｙ ）と、（Ｒｘ，Ｒｙ ）が各ランド固有のデータと
してＣＡＤメモリ４に登録されている。次にマスクウィ
ンド発生部５で、画像メモリ３の画像データｆに対し、
ＣＡＤデータメモリ４のランド１３の中心位置（ｘｍ，
ｙｍ ）の座標データｄ１ と、マスクウィントサイズ
（Ｗｘ，Ｗｙ ）と（Ｒｘ，Ｒｙ ）のデータｄ２ ，
ｄ３ を読み込み、特定の画像データを取り出すための
マスクウィンド１５を発生する。
データをグラフである。画像平面上にＸＹ座標系が設定
されており、この座標系が実際のプリント基板１０上の
Ｘｗ，Ｙｗ との対応があらかじめ明確となっている。 そして、プリント基板１０上の各ランド１３の中心位置
（ｘｍ，ｙｍ ）と、マスクウィントサイズ（Ｗｘ，Ｗ
ｙ ）と、（Ｒｘ，Ｒｙ ）が各ランド固有のデータと
してＣＡＤメモリ４に登録されている。次にマスクウィ
ンド発生部５で、画像メモリ３の画像データｆに対し、
ＣＡＤデータメモリ４のランド１３の中心位置（ｘｍ，
ｙｍ ）の座標データｄ１ と、マスクウィントサイズ
（Ｗｘ，Ｗｙ ）と（Ｒｘ，Ｒｙ ）のデータｄ２ ，
ｄ３ を読み込み、特定の画像データを取り出すための
マスクウィンド１５を発生する。
【００１４】図５は、マスクウィンド１５の説明図であ
る。ソルダレジスト１４がランド１３の周囲に正確に施
されている部分に発生したマスクウィンドであり、この
ときは、ソルダレジスト輪郭部１７と配線パターン部１
６を含む形の斜線部分で示したＷｘ ×Ｗｙ の正方形
領域内とランドサイズに相当するＲｘ ×Ｒｙ の領域
にはさまれた矩形領域を指定するものである。そして、
このマスクウィンド１５で指定された領域の画像データ
を取り出し、ウィンドデータｇとしてレジスト輪郭抽出
部６に送る。次に、レジスト輪郭抽出部６で送られたウ
ィンドデータｇに対し、あらかじめ設定してある濃淡値
に関するしきい値により２値化し、ソルダレジスト輪郭
部１７のわきに濃淡値を持つ領域を画像値“１”として
検出する。
る。ソルダレジスト１４がランド１３の周囲に正確に施
されている部分に発生したマスクウィンドであり、この
ときは、ソルダレジスト輪郭部１７と配線パターン部１
６を含む形の斜線部分で示したＷｘ ×Ｗｙ の正方形
領域内とランドサイズに相当するＲｘ ×Ｒｙ の領域
にはさまれた矩形領域を指定するものである。そして、
このマスクウィンド１５で指定された領域の画像データ
を取り出し、ウィンドデータｇとしてレジスト輪郭抽出
部６に送る。次に、レジスト輪郭抽出部６で送られたウ
ィンドデータｇに対し、あらかじめ設定してある濃淡値
に関するしきい値により２値化し、ソルダレジスト輪郭
部１７のわきに濃淡値を持つ領域を画像値“１”として
検出する。
【００１５】図６は、レジスト輪郭抽出部６で得られる
２値画像を示す模式図であるる。斜線部分が画像値“１
”の部分である。検出される領域には、ソルダレジスト
輪郭部１７，配線パターン部１８および反射光量のむら
等から検出されてしまうノイズ部１９が含まれている。 そこで、２値化画像ｈを細線化部７で細線化し、細線画
像ｏとしてノイズ除去部８に送る。
２値画像を示す模式図であるる。斜線部分が画像値“１
”の部分である。検出される領域には、ソルダレジスト
輪郭部１７，配線パターン部１８および反射光量のむら
等から検出されてしまうノイズ部１９が含まれている。 そこで、２値化画像ｈを細線化部７で細線化し、細線画
像ｏとしてノイズ除去部８に送る。
【００１６】図７は、細線画像を示す模式図である。こ
の細線化により、ソルダレジスト輪郭部１７に対応する
細線画素列２０に、配線パターン部１８に対応する細線
画素列２１が短い枝の状態で接続し、ノイズ部１９に対
応する細線画素列２２は孤立した線分あるいは孤立点の
状態として得られる。
の細線化により、ソルダレジスト輪郭部１７に対応する
細線画素列２０に、配線パターン部１８に対応する細線
画素列２１が短い枝の状態で接続し、ノイズ部１９に対
応する細線画素列２２は孤立した線分あるいは孤立点の
状態として得られる。
【００１７】図８は、ノイズ除去部で処理された細線画
像を示す模式図である。ノイズ除去部８は、細線画像ｏ
に対し、画像値“１”の細線画素列の連結状態を調べ、
短い枝状の画素列と孤立した短い画素列要素の中で、連
結数があらかじめ設定してあるしきい値より短いものを
除去することで、ソルダレジスト輪郭部１７に対応する
細線画素列のみを抽出し、それらの各画素の座標（ｘｉ
，ｙｉ ）を輪郭画素列座標ｐとして判定部９に送る。
像を示す模式図である。ノイズ除去部８は、細線画像ｏ
に対し、画像値“１”の細線画素列の連結状態を調べ、
短い枝状の画素列と孤立した短い画素列要素の中で、連
結数があらかじめ設定してあるしきい値より短いものを
除去することで、ソルダレジスト輪郭部１７に対応する
細線画素列のみを抽出し、それらの各画素の座標（ｘｉ
，ｙｉ ）を輪郭画素列座標ｐとして判定部９に送る。
【００１８】判定部９は、輪郭画素列座標ｐより重心座
標を求め、ＣＡＤデータメモリ１３の中心座標（ｘｍ，
ｙｍ ）の座標データｄ１ との差をとり、その差があ
らかじめ設定してあるズレ許容値より大きいときは、レ
ジストの位置ずれが生じていると判定し、判定結果ｇを
出力する。
標を求め、ＣＡＤデータメモリ１３の中心座標（ｘｍ，
ｙｍ ）の座標データｄ１ との差をとり、その差があ
らかじめ設定してあるズレ許容値より大きいときは、レ
ジストの位置ずれが生じていると判定し、判定結果ｇを
出力する。
【００１９】図９は、本発明の第２の実施例を示すブロ
ック図である。図９に示すプリント基板検査装置は、（
Ａ） ２値画像ｈに対してさらに前記マスクウィンドを
４分割し、これら４つの分割域の中の２値画像の論理積
をとり、前記分割域の画像値“１”の重なり部分を検出
し、重なり画像ｓを出力する重ね合せ部３０、（Ｂ）
前記重なり画像ｓにもとづいて、重なり部分の面積を算
出し、この面積にもとづいて判定結果ｔを出力する判定
部３１、とを含んで構成される。
ック図である。図９に示すプリント基板検査装置は、（
Ａ） ２値画像ｈに対してさらに前記マスクウィンドを
４分割し、これら４つの分割域の中の２値画像の論理積
をとり、前記分割域の画像値“１”の重なり部分を検出
し、重なり画像ｓを出力する重ね合せ部３０、（Ｂ）
前記重なり画像ｓにもとづいて、重なり部分の面積を算
出し、この面積にもとづいて判定結果ｔを出力する判定
部３１、とを含んで構成される。
【００２０】図１０は、重ね合せ部１０で用いる４分割
領域を示すグラフである。Ｒ１ 〜Ｒ４ が４分割する
各分割領域であり、これらはマスクウィンド１５の領域
内でかつ、ラント中心（ｘｍ，ｙｍ ）を通る２本の直
線、Ｙ＝−（Ｘ−ｘｍ ）／２＋ｙｍ Ｙ＝２（Ｘ−ｘｍ ）＋ｙｍ ではさまれた４つに分割される領域である。
領域を示すグラフである。Ｒ１ 〜Ｒ４ が４分割する
各分割領域であり、これらはマスクウィンド１５の領域
内でかつ、ラント中心（ｘｍ，ｙｍ ）を通る２本の直
線、Ｙ＝−（Ｘ−ｘｍ ）／２＋ｙｍ Ｙ＝２（Ｘ−ｘｍ ）＋ｙｍ ではさまれた４つに分割される領域である。
【００２１】図１１（ａ），（ｂ）は重ね合せを説明す
る模式図である。分割領域Ｒ１ 〜Ｒ４ に含まれる２
値画像は論理積回路によって重なり部分を求め、画像値
“１”として検出する。図１１（ａ）は図６で示すソル
ダレジスト輪郭部１７の２値画像を処理した場合を示す
模式図であり、図１１（ｂ）は正確にレジストがランド
の周辺に施されている場合を示す模式図である。図１１
（ｂ）では、ランド１３のまわりの４方向で対称にソル
ダレジスト輪郭部が抽出されるため、分割領域Ｒ１〜Ｒ
４ 重ね合せにより検出される重なり部Ｒの面積が大き
くなる。
る模式図である。分割領域Ｒ１ 〜Ｒ４ に含まれる２
値画像は論理積回路によって重なり部分を求め、画像値
“１”として検出する。図１１（ａ）は図６で示すソル
ダレジスト輪郭部１７の２値画像を処理した場合を示す
模式図であり、図１１（ｂ）は正確にレジストがランド
の周辺に施されている場合を示す模式図である。図１１
（ｂ）では、ランド１３のまわりの４方向で対称にソル
ダレジスト輪郭部が抽出されるため、分割領域Ｒ１〜Ｒ
４ 重ね合せにより検出される重なり部Ｒの面積が大き
くなる。
【００２２】判定部１１は重なり画像ｓの画像値“１”
面積を算出し、算出された面積値が規定値より小さい場
合に、レジストの位置ずれと判定して、判定結果ｔを出
力する。
面積を算出し、算出された面積値が規定値より小さい場
合に、レジストの位置ずれと判定して、判定結果ｔを出
力する。
【００２３】
【発明の効果】本発明のプリント基板検査装置は、連続
的ポイント測定が短時間ででき、表面処理下の配線パタ
ーン状態によって反射光量測定が不安定となるという問
題がなくなるという効果がある。
的ポイント測定が短時間ででき、表面処理下の配線パタ
ーン状態によって反射光量測定が不安定となるという問
題がなくなるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図である
。
。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は本発明の原理の作用を説明す
る模式図である。
る模式図である。
【図３】検査環境を示す斜視図である。
【図４】座標系とＣＡＤデータメモリ内のデータをグラ
フである。
フである。
【図５】マスクウィンド１５を示すグラフである。
【図６】レジスト輪郭抽出部６で得られる２値画像を示
す模式図であるる。
す模式図であるる。
【図７】細線画像を示す模式図である。
【図８】ノイズ除去部で処理された細線画像を示す模式
図である。
図である。
【図９】本発明の第２の実施例を示すブロック図である
。
。
【図１０】重ね合せ部１０で用いる４分割領域を示すグ
ラフである。
ラフである。
【図１１】（ａ），（ｂ）は重ね合せを説明する模式図
である。
である。
【図１２】従来の一例を示す模式図である。
１ ＩＴＶカメラ
２ Ａ／Ｄ変換部
３ 画像メモリ
４ ＣＡＤデータメモリ
５ マスクウィンド発生部
６ レジスト輪郭領域抽出部
７ 細線化部
８ ノイズ除去部
９ 判定部
Claims (2)
- 【請求項１】（Ａ） 被検査対象であるプリント基板状
のランドとその周辺のソルダレジスト表面を照射する斜
光照明、 （Ｂ） 前記表面を撮像し、撮像信号を出力するＴＶカ
メラ、 （Ｃ） 前記撮像信号をＡ／Ｄ変換し、デジタル信号を
出力するＡ／Ｄ変換部、 （Ｄ） 前記デジタル信号を格納し、読み出し信号を出
力する画像メモリ、 （Ｅ） 前記ランド部のＣＡＤデータがあらかじめ登録
されており、中心位置の座標データと、マスクウィンド
サイズデータを発生するＣＡＤデータメモリ、（Ｆ）
前記中心位置の座標データと、マスクウィンドサイズデ
ータとを用いて前記画像メモリの画像上のランドとソル
ダレジスト表面部分の特定な領域の画像データを得て、
ウィンドデータを出力するマスクウィンド発生部、（Ｇ
） 前記ウィンドデータを２値化し、前記ソルダレジス
ト輪郭領域を画像値“１”として抽出し、２値画像とし
て出力するレジスト輪郭領域抽出部、 （Ｈ） 前記２値画像を細線化し、細線画像を出力する
細線化部、 （Ｉ） 前記細線画像の短い枝と短い孤立線分を除去す
ることにより、前記ランドに接続している配線パターン
部やその他のノイズを除去し、輪郭画素列画像を出力す
るノイズ除去部、 （Ｊ） 前記輪郭画素列画像にもとづいてその重心を求
め、前記中心位置の座標データとの差からランドを囲む
ソルダレジストの位置ずれの判定を行ない、判定結果を
出力する判定部、とを含むことを特徴とするプリント基
板検査装置。 - 【請求項２】（Ａ） 前記２値画像に対してさらに前記
マスクウィンドを４分割し、これら４つの分割域の中の
２値画像の論理積をとり、前記分割域の画像値“１”の
重なり部分を検出し、重なり画像を出力する重ね合せ部
、（Ｂ） 前記重なり画像にもとづいて、重なり部分の
面積を算出し、この面積にもとづいて判定結果を出力す
る判定部、とを含む請求項１記載のプリント基板検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004871A JPH04236316A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | プリント基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004871A JPH04236316A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | プリント基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236316A true JPH04236316A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11595737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004871A Pending JPH04236316A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | プリント基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236316A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09101125A (ja) * | 1995-10-07 | 1997-04-15 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 物品形状計測方法および装置 |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004871A patent/JPH04236316A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09101125A (ja) * | 1995-10-07 | 1997-04-15 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 物品形状計測方法および装置 |
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