JPH04236346A - スルーホール検査装置 - Google Patents
スルーホール検査装置Info
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- JPH04236346A JPH04236346A JP3004866A JP486691A JPH04236346A JP H04236346 A JPH04236346 A JP H04236346A JP 3004866 A JP3004866 A JP 3004866A JP 486691 A JP486691 A JP 486691A JP H04236346 A JPH04236346 A JP H04236346A
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- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスルーホール検査装置、
特に、平面パターン上にあけられた円形の穴の形状，位
置の検査に用いるスルーホール検査装置に関する。
特に、平面パターン上にあけられた円形の穴の形状，位
置の検査に用いるスルーホール検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のスルーホール検査装置について図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
【０００３】図５は、従来の一例を示す模式図である。
図５に示すスルーホール検査装置は、被検査２値化画像
に対して検査位置を示すＸ位置ゲート２５，Ｙ位置ゲー
ト２６を走査させ、それらで定義される検査領域４０の
２値化画像の論理“１”の数をカウントし、その値によ
り良否を判定する。
に対して検査位置を示すＸ位置ゲート２５，Ｙ位置ゲー
ト２６を走査させ、それらで定義される検査領域４０の
２値化画像の論理“１”の数をカウントし、その値によ
り良否を判定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のスルー
ホール検査装置は、あらかじめ指定した検査位置内にお
ける穴の面積をカウントしているので、検査位置の外に
穴があった場合の不良を検出できず、また、穴の形状に
よる欠陥を検出できないという欠点があった。
ホール検査装置は、あらかじめ指定した検査位置内にお
ける穴の面積をカウントしているので、検査位置の外に
穴があった場合の不良を検出できず、また、穴の形状に
よる欠陥を検出できないという欠点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】第１の発明のスルーホー
ル検査装置は、 （Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャナで走査して
読み出した画像データ信号を２値化画像信号に変換する
２値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号に同期して、円周上の点が
すべて論理“１”（または論理“０”）であるかどうか
を検出するための円周マスク信号を発生する円周マスク
回路、 （Ｃ） 前記２値化画像信号に同期して、円内部がすべ
て論理“１”（または論理“０”）であるかどうかを検
出するための円マスク信号を発生する円形マスク回路、
（Ｄ） 前記２値化画像信号と前記円周マスク信号およ
び円マスク信号とを比較し、正常なスルーホールの位置
を示す穴データ信号を出力するマッチング回路、（Ｅ）
前記穴データ信号を１画素データに圧縮し、穴中心信
号として出力する圧縮回路、 （Ｆ） 正常な穴の位置を示す位置ゲート信号を発生す
る位置ゲート発生回路、 （Ｇ） 前記穴中心信号と前記位置ゲート信号とにもと
づいて、穴中心の数をカウントし、穴個数信号を出力す
るカウント回路、 （Ｈ） 前記穴個数信号を記憶し、カウント値信号を出
力するカウントメモリ回路、 （Ｉ） 前記カウントメモリ回路内のそれぞれの位置の
カウント値を計測し、その値が論理“１”（または論理
“０”）以外の場合は不良として穴欠陥信号を出力する
計測回路、とを含んで構成される。
ル検査装置は、 （Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャナで走査して
読み出した画像データ信号を２値化画像信号に変換する
２値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号に同期して、円周上の点が
すべて論理“１”（または論理“０”）であるかどうか
を検出するための円周マスク信号を発生する円周マスク
回路、 （Ｃ） 前記２値化画像信号に同期して、円内部がすべ
て論理“１”（または論理“０”）であるかどうかを検
出するための円マスク信号を発生する円形マスク回路、
（Ｄ） 前記２値化画像信号と前記円周マスク信号およ
び円マスク信号とを比較し、正常なスルーホールの位置
を示す穴データ信号を出力するマッチング回路、（Ｅ）
前記穴データ信号を１画素データに圧縮し、穴中心信
号として出力する圧縮回路、 （Ｆ） 正常な穴の位置を示す位置ゲート信号を発生す
る位置ゲート発生回路、 （Ｇ） 前記穴中心信号と前記位置ゲート信号とにもと
づいて、穴中心の数をカウントし、穴個数信号を出力す
るカウント回路、 （Ｈ） 前記穴個数信号を記憶し、カウント値信号を出
力するカウントメモリ回路、 （Ｉ） 前記カウントメモリ回路内のそれぞれの位置の
カウント値を計測し、その値が論理“１”（または論理
“０”）以外の場合は不良として穴欠陥信号を出力する
計測回路、とを含んで構成される。
【０００６】第２の発明のスルーホール検査装置は、（
Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャナで走査して読
み出した画像データ信号を２値化画像信号に変換する２
値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号に同期して、円マスク信号
を発生する円形マスク回路、 （Ｃ） 前記円形マスク信号と前記２値化画像信号との
マッチングをとり、円形マス クの内部がすべて２値化画像内に含まれる場合、円マス
クの中心位置画像を論理“１”として出力するマッチン
グ回路、 （Ｄ） 被検査パターンの位置情報にもとづき、前記２
値化回路の出力に同期して、位置データ信号を発生させ
る位置データ発生回路、 （Ｅ） 前記マッチング回路からの出力画像に対して、
前記位置データを中心とした円形マスク内がすべて論理
“０”の場合、論理“１”を出力し、かつ、内部の画像
をすべて論理“０”にクリアするクリア回路、（Ｆ）
前記クリア回路からの論理“１”の画像を欠陥として検
出し、その位置を求める計測回路、とを含んで構成され
る。
Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャナで走査して読
み出した画像データ信号を２値化画像信号に変換する２
値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号に同期して、円マスク信号
を発生する円形マスク回路、 （Ｃ） 前記円形マスク信号と前記２値化画像信号との
マッチングをとり、円形マス クの内部がすべて２値化画像内に含まれる場合、円マス
クの中心位置画像を論理“１”として出力するマッチン
グ回路、 （Ｄ） 被検査パターンの位置情報にもとづき、前記２
値化回路の出力に同期して、位置データ信号を発生させ
る位置データ発生回路、 （Ｅ） 前記マッチング回路からの出力画像に対して、
前記位置データを中心とした円形マスク内がすべて論理
“０”の場合、論理“１”を出力し、かつ、内部の画像
をすべて論理“０”にクリアするクリア回路、（Ｆ）
前記クリア回路からの論理“１”の画像を欠陥として検
出し、その位置を求める計測回路、とを含んで構成され
る。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
【０００８】図１は、本発明の第１の実施例を示すブロ
ック図である。図１に示すスルーホール検査装置は、（
Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャナ１で走査して
読み出した画像データ信号ａを２値化画像信号ｂに変換
する２値化回路２、 （Ｂ） ２値化画像信号ｂに同期して、円周上の点がす
べて論理“１”（または論理“０”）であるかどうかを
検出するための円周マスク信号ｃを発生する円周マスク
回路４、 （Ｃ） ２値化画像信号ｂに同期して、円内部がすべて
論理“１”（または論理“０”）であるかどうかを検出
するための円マスク信号ｄを発生する円形マスク回路５
、（Ｄ） ２値化画像信号ｂと円周マスク信号ｃおよび
円マスク信号ｄとを比較し、正常なスルーホールの位置
を示す穴データ信号ｅを出力するマッチング回路３、（
Ｅ） 穴データ信号ｅを１画素データに圧縮し、穴中心
信号ｆとして出力する圧縮回路６、 （Ｆ） 正常な穴の位置を示す位置ゲート信号ｇを発生
する位置ゲート発生回路８、 （Ｇ） 穴中心信号ｆと位置ゲート信号ｇとにもとづい
て、穴中心の数をカウントし、穴個数信号ｈを出力する
カウント回路７、 （Ｈ） 穴個数信号ｈを記憶し、カウント値信号ｊを出
力するカウントメモリ回路９、 （Ｉ） カウントメモリ回路９内のそれぞれの位置のカ
ウント値を計測し、その値が論理“１”（または論理“
０”）以外の場合は不良として穴欠陥信号ｋを出力する
計測回路１０、とを含んで構成される。
ック図である。図１に示すスルーホール検査装置は、（
Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャナ１で走査して
読み出した画像データ信号ａを２値化画像信号ｂに変換
する２値化回路２、 （Ｂ） ２値化画像信号ｂに同期して、円周上の点がす
べて論理“１”（または論理“０”）であるかどうかを
検出するための円周マスク信号ｃを発生する円周マスク
回路４、 （Ｃ） ２値化画像信号ｂに同期して、円内部がすべて
論理“１”（または論理“０”）であるかどうかを検出
するための円マスク信号ｄを発生する円形マスク回路５
、（Ｄ） ２値化画像信号ｂと円周マスク信号ｃおよび
円マスク信号ｄとを比較し、正常なスルーホールの位置
を示す穴データ信号ｅを出力するマッチング回路３、（
Ｅ） 穴データ信号ｅを１画素データに圧縮し、穴中心
信号ｆとして出力する圧縮回路６、 （Ｆ） 正常な穴の位置を示す位置ゲート信号ｇを発生
する位置ゲート発生回路８、 （Ｇ） 穴中心信号ｆと位置ゲート信号ｇとにもとづい
て、穴中心の数をカウントし、穴個数信号ｈを出力する
カウント回路７、 （Ｈ） 穴個数信号ｈを記憶し、カウント値信号ｊを出
力するカウントメモリ回路９、 （Ｉ） カウントメモリ回路９内のそれぞれの位置のカ
ウント値を計測し、その値が論理“１”（または論理“
０”）以外の場合は不良として穴欠陥信号ｋを出力する
計測回路１０、とを含んで構成される。
【０００９】図２は、図１に示すスルーホール検査装置
の検査原理を示す模式図である。入力画像２０に対して
、円マスク２３を走査し、スルーホールパターン２１内
にすべて含まれる位置を検出し、円マスク２３と同心で
、かつ、ひとまわり大きな円周マスク２２の円周がすべ
てスルーホールパターン２１の外にある場合、穴中心位
置２４の画像を出力する。このとき、スルーホールパタ
ーン２１が正常な円でない場合は、穴中心位置２４は出
力されない。また、この穴中心位置が１画素でないとき
は、圧縮回路６で１画素に圧縮されるこの穴中心位置２
４の個数を、あらかじめ指定されたＸ位置ゲート２５と
Ｙ位置ゲート２６で定義されるホール位置カウント領域
Ａ２７毎にカウントする。正常な場合はホール位置カウ
ント領域Ａ２７のように数は１個であるが、ホール位置
カウント領域Ｂ２８のように数が２個以上や０個の場合
は、不良と判定できる。また、ホール位置カウント領域
Ａ２７，ホール位置カウント領域Ｂ２８以外の領域に穴
中心位置２４がある場合も不良となる。
の検査原理を示す模式図である。入力画像２０に対して
、円マスク２３を走査し、スルーホールパターン２１内
にすべて含まれる位置を検出し、円マスク２３と同心で
、かつ、ひとまわり大きな円周マスク２２の円周がすべ
てスルーホールパターン２１の外にある場合、穴中心位
置２４の画像を出力する。このとき、スルーホールパタ
ーン２１が正常な円でない場合は、穴中心位置２４は出
力されない。また、この穴中心位置が１画素でないとき
は、圧縮回路６で１画素に圧縮されるこの穴中心位置２
４の個数を、あらかじめ指定されたＸ位置ゲート２５と
Ｙ位置ゲート２６で定義されるホール位置カウント領域
Ａ２７毎にカウントする。正常な場合はホール位置カウ
ント領域Ａ２７のように数は１個であるが、ホール位置
カウント領域Ｂ２８のように数が２個以上や０個の場合
は、不良と判定できる。また、ホール位置カウント領域
Ａ２７，ホール位置カウント領域Ｂ２８以外の領域に穴
中心位置２４がある場合も不良となる。
【００１０】図３は、本発明の第２の実施例を示すブロ
ック図である。図３に示すスルーホール検査装置は、２
値化画像信号ｂに同期し、円マスク回路３０で穴検査用
の円形マスクｃｃを発生させる。この円マスクｃｃと２
値化画像信号ｂとをマッチング回路４０において比較し
、円マスクｃｃの内部および外周がすべて論理“１”と
き、穴の検出結果を論理“１”として、穴位置画像ｄｄ
を信号する。一方、位置データ発生回路５０では、穴位
置画像ｄｄに同期して、位置データｅｅを出力し、クリ
ア回路６０に入力する。クリア回路６０では、位置デー
タｅｅの位置を中心として円形マスクを発生し、穴位置
画像ｄｄにあてはめ、円形マスク内がすべて論理“０”
のとき穴欠陥ｆｆとして論理“１”を出力し、逆に、円
形マスク内に論理“１”があったとき、円形マスク内の
穴位置画像ｄｄを論理“０”にクリアする。穴位置欠陥
ｆｆの画像を欠陥計測回路７０に入力し、欠陥の数およ
び位置を求める。
ック図である。図３に示すスルーホール検査装置は、２
値化画像信号ｂに同期し、円マスク回路３０で穴検査用
の円形マスクｃｃを発生させる。この円マスクｃｃと２
値化画像信号ｂとをマッチング回路４０において比較し
、円マスクｃｃの内部および外周がすべて論理“１”と
き、穴の検出結果を論理“１”として、穴位置画像ｄｄ
を信号する。一方、位置データ発生回路５０では、穴位
置画像ｄｄに同期して、位置データｅｅを出力し、クリ
ア回路６０に入力する。クリア回路６０では、位置デー
タｅｅの位置を中心として円形マスクを発生し、穴位置
画像ｄｄにあてはめ、円形マスク内がすべて論理“０”
のとき穴欠陥ｆｆとして論理“１”を出力し、逆に、円
形マスク内に論理“１”があったとき、円形マスク内の
穴位置画像ｄｄを論理“０”にクリアする。穴位置欠陥
ｆｆの画像を欠陥計測回路７０に入力し、欠陥の数およ
び位置を求める。
【００１１】図４は、図３に示すスルーホール検査装置
の検査原理を示す模式図である。入力画像２０に対して
円形マスク回路３０で発生した円形マスク３２を走査し
、スルーホールパターン３１内に円形マスク３２がすべ
て含まれる場合、円形マスクの中心座標を中心位置画像
３３として出力する。一方、Ｘ位置３４とＹ位置３５で
示される位置を中心として、クリア円マクク３６を発生
させ、この内部に中心位置画像３３がはいった場合、ス
ルーホールの正常位置３７として、中心位置画像３３を
クリアする。また、逆にクリア円３６内に中心位置画像
３３がない場合、不良として論理“１”を出力する。 このため、最終的に、正常でない点、不良位置３８のデ
ータ論理“１”と、クリア円マククから出力された論理
“１”が欠陥として判定される。
の検査原理を示す模式図である。入力画像２０に対して
円形マスク回路３０で発生した円形マスク３２を走査し
、スルーホールパターン３１内に円形マスク３２がすべ
て含まれる場合、円形マスクの中心座標を中心位置画像
３３として出力する。一方、Ｘ位置３４とＹ位置３５で
示される位置を中心として、クリア円マクク３６を発生
させ、この内部に中心位置画像３３がはいった場合、ス
ルーホールの正常位置３７として、中心位置画像３３を
クリアする。また、逆にクリア円３６内に中心位置画像
３３がない場合、不良として論理“１”を出力する。 このため、最終的に、正常でない点、不良位置３８のデ
ータ論理“１”と、クリア円マククから出力された論理
“１”が欠陥として判定される。
【００１２】
【発明の効果】本発明のスルーホール検査装置は、検査
位置内のスルーホール画像の面積を計測する代りに、円
形マククを走査し、正常な円形のスルーホールの中心位
置を検出し、その位置が正常な位置に１個だけあるかど
うかを検出しているため、スルーホールが検査領域近傍
に複数ある場合や、まったく存在しない場合の検査がで
き、また円形マスクとマッチングを行なうことにより、
形状による欠陥も検出できるという効果がある。
位置内のスルーホール画像の面積を計測する代りに、円
形マククを走査し、正常な円形のスルーホールの中心位
置を検出し、その位置が正常な位置に１個だけあるかど
うかを検出しているため、スルーホールが検査領域近傍
に複数ある場合や、まったく存在しない場合の検査がで
き、また円形マスクとマッチングを行なうことにより、
形状による欠陥も検出できるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図である
。
。
【図２】図１に示すスルーホール検査装置の検査原理を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示すブロック図である
。
。
【図４】図３に示すスルーホール検査装置の検査原理を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図５】従来の一例を示す模式図である。
１ 光電変換スキャナ
２ ２値化回路
３ マッチング回路
４ 円周マスク回路
５ 円形マスク回路
６ 圧縮回路
７ カウンタ回路
８ 位置ゲート発生回路
９ カウントメモリ回路
１０ 計測回路
ａ 画像データ信号
ｂ ２値化画像信号
ｃ 円周マスク信号
ｄ 円マスク信号
ｅ 穴データ信号
ｆ 穴中心信号
ｇ 位置ゲート信号
ｈ 穴個数信号
ｊ カウント値信号
ｋ 穴欠陥信号
Claims (2)
- 【請求項１】（Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャ
ナで走査して読み出した画像データ信号を２値化画像信
号に変換する２値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号に同期して、円周上の点が
すべて論理“１”（または論理“０”）であるかどうか
を検出するための円周マスク信号を発生する円周マスク
回路、 （Ｃ） 前記２値化画像信号に同期して、円内部がすべ
て論理“１”（または論理“０”）であるかどうかを検
出するための円マスク信号を発生する円形マスク回路、
（Ｄ） 前記２値化画像信号と前記円周マスク信号およ
び円マスク信号とを比較し、正常なスルーホールの位置
を示す穴データ信号を出力するマッチング回路、（Ｅ）
前記穴データ信号を１画素データに圧縮し、穴中心信
号として出力する圧縮回路、 （Ｆ） 正常な穴の位置を示す位置ゲート信号を発生す
る位置ゲート発生回路、 （Ｇ） 前記穴中心信号と前記位置ゲート信号とにもと
づいて、穴中心の数をカウントし、穴個数信号を出力す
るカウント回路、 （Ｈ） 前記穴個数信号を記憶し、カウント値信号を出
力するカウントメモリ回路、 （Ｉ） 前記カウントメモリ回路内のそれぞれの位置の
カウント値を計測し、その値が論理“１”（または論理
“０”）以外の場合は不良として穴欠陥信号を出力する
計測回路、とを含むことを特徴とするスルーホール検査
装置。 - 【請求項２】（Ａ） 被検査パターンを光電変換スキャ
ナで走査して読み出した画像データ信号を２値化画像信
号に変換する２値化回路、 （Ｂ） 前記２値化画像信号に同期して、円マスク信号
を発生する円形マスク回路、 （Ｃ） 前記円形マスク信号と前記２値化画像信号との
マッチングをとり、円形マスクの内部がすべて２値化画
像内に含まれる場合、円マスクの中心位置画像を論理“
１”として出力するマッチング回路、 （Ｄ） 被検査パターンの位置情報にもとづき、前記２
値化回路の出力に同期して、位置データ信号を発生させ
る位置データ発生回路、 （Ｅ） 前記マッチング回路からの出力画像に対して、
前記位置データを中心とした円形マスク内がすべて論理
“０”の場合、論理“１”を出力し、かつ、内部の画像
をすべて論理“０”にクリアするクリア回路、（Ｆ）
前記クリア回路からの論理“１”の画像を欠陥として検
出し、その位置を求める計測回路、とを含むことを特徴
とするスルーホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004866A JPH04236346A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | スルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004866A JPH04236346A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | スルーホール検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236346A true JPH04236346A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11595597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004866A Pending JPH04236346A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | スルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236346A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023056270A (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-19 | 日本電産コパル株式会社 | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004866A patent/JPH04236346A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023056270A (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-19 | 日本電産コパル株式会社 | 検査装置、検査方法および検査プログラム |
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