JPH042953A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
- Publication number
- JPH042953A JPH042953A JP2104963A JP10496390A JPH042953A JP H042953 A JPH042953 A JP H042953A JP 2104963 A JP2104963 A JP 2104963A JP 10496390 A JP10496390 A JP 10496390A JP H042953 A JPH042953 A JP H042953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terminal part
- pattern
- mask
- circuit
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Image Processing (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン検査装置、特に、光電変換スキャナで
走査して読み出した検査対象パターンの終端部に欠陥が
あるかを判定するパターン検査装置に関する。
走査して読み出した検査対象パターンの終端部に欠陥が
あるかを判定するパターン検査装置に関する。
従来の技術としては、例えば、武藤、安藤゛′プリント
基板の目視検査の自動化”９機械設計、第２９巻、２号
、ｐｐ８７〜９６，１．９８５に示される様に、専用の
マスクを用いる方法がある。
基板の目視検査の自動化”９機械設計、第２９巻、２号
、ｐｐ８７〜９６，１．９８５に示される様に、専用の
マスクを用いる方法がある。
第５図は従来の一例を示す模式図である。
中心Ｐから放射状に伸びた４つの測長センサＡ〜Ｄによ
りパターン終端部が途切れるまでの画素数を数えてそれ
ぞれの測長値とする互いに反対方向のＡとＣ，ＢとＤの
測長値の差に基づいて終端部の中心領域を求める。
りパターン終端部が途切れるまでの画素数を数えてそれ
ぞれの測長値とする互いに反対方向のＡとＣ，ＢとＤの
測長値の差に基づいて終端部の中心領域を求める。
点Ｐがこの領域にあるとき、点Ｐがら終端部幅の１−／
４程渡離れた位置に設けた測長センサＥへ・Ｉ−１の値
を求め、ＡとＣ，Ｂとり、ＦとＨＢと１−１、およびＥ
とＧの測長値のそれぞれ許容値内にあるかを調へ、１つ
でも許容値外のとき欠陥として検出する。
４程渡離れた位置に設けた測長センサＥへ・Ｉ−１の値
を求め、ＡとＣ，Ｂとり、ＦとＨＢと１−１、およびＥ
とＧの測長値のそれぞれ許容値内にあるかを調へ、１つ
でも許容値外のとき欠陥として検出する。
」二連した従来のパターン検査装置では、終端部に大き
な欠陥かある場合にのみ検出可能であり、終端部の形状
に応した小さい欠陥を誤検出することか不可能であっｌ
：。
な欠陥かある場合にのみ検出可能であり、終端部の形状
に応した小さい欠陥を誤検出することか不可能であっｌ
：。
本発明のパターン検査装置は、検査対象パターンを光電
変換スキャナて走査して読み出した画像を０°’、”１
”の２値画像に変換する２値化回路ど、前記２値化回路
により出力された２値画像」二にあらかじめ設定された
寸法および形状の終端部検出マスクをラスタースキャン
に同期して走査しパターン終端部位置を検出する終端部
検出回路と、該２値画像にあらかじめ設定された寸法の
円形マスクをラスタースキャンに同期して走査しパター
ン終端幅に対応するパターン幅をも−）位１６：を検出
する終端幅検出回１１１！８と、前記検出された２つの
位置の共通部分て指定された大きさの終端部検査マスク
を走査して内部にパターンＩ−に無い点が含まれる場合
に終端部欠陥として検出する終端部検査回路とを含んて
梧成される。
変換スキャナて走査して読み出した画像を０°’、”１
”の２値画像に変換する２値化回路ど、前記２値化回路
により出力された２値画像」二にあらかじめ設定された
寸法および形状の終端部検出マスクをラスタースキャン
に同期して走査しパターン終端部位置を検出する終端部
検出回路と、該２値画像にあらかじめ設定された寸法の
円形マスクをラスタースキャンに同期して走査しパター
ン終端幅に対応するパターン幅をも−）位１６：を検出
する終端幅検出回１１１！８と、前記検出された２つの
位置の共通部分て指定された大きさの終端部検査マスク
を走査して内部にパターンＩ−に無い点が含まれる場合
に終端部欠陥として検出する終端部検査回路とを含んて
梧成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すパターン検査装置において、光電変換スキ
ャナ１を走査して読み出しな入力画像ａは、２値化回路
２において、′０“°、“１′の２値化画像すに変換さ
れる。終端部検出回路３ては、前記２値化画像１つに、
あらかしめ設定された寸法グ）終端部検出マスクをラス
タースキャンに同期して走査し、終端部信号１ｃを出力
する、終端部検出回路４ては、２値化画像１〕Ｃ，−あ
らかじめ設定された終端幅検出マスクをラスタースキャ
ンに同期して走査し、終端部信号２ｃを出力する。終端
部検査回路５ては、終端部信号１ｃ及び終端部信号２ｃ
により、該終端部検出マスクより指定され人：大きさな
り小さい終端部検査マスクを走査して、内部にパターン
上に無い点か含まれる場合に欠陥信号ｅを出力する。
ャナ１を走査して読み出しな入力画像ａは、２値化回路
２において、′０“°、“１′の２値化画像すに変換さ
れる。終端部検出回路３ては、前記２値化画像１つに、
あらかしめ設定された寸法グ）終端部検出マスクをラス
タースキャンに同期して走査し、終端部信号１ｃを出力
する、終端部検出回路４ては、２値化画像１〕Ｃ，−あ
らかじめ設定された終端幅検出マスクをラスタースキャ
ンに同期して走査し、終端部信号２ｃを出力する。終端
部検査回路５ては、終端部信号１ｃ及び終端部信号２ｃ
により、該終端部検出マスクより指定され人：大きさな
り小さい終端部検査マスクを走査して、内部にパターン
上に無い点か含まれる場合に欠陥信号ｅを出力する。
第２図は第１図における終端部検出回路３の動作を説明
するための図である。
するための図である。
入力２値画像１０に対し、て、あらかじめ設定されフコ
寸法および形状の終端部検出マスク１１をラスタースキ
ャンに同期して走査し、終端部検出マスクをＮ分割しノ
Ｓ向かい合う４箇所（例えば、同時てのＭ３．Ｍ７．Ｍ
］、１．、Ｍ］、５）か同時にパターン終端部］３上に
ある場合、終端部検出位置１２として検出する。
寸法および形状の終端部検出マスク１１をラスタースキ
ャンに同期して走査し、終端部検出マスクをＮ分割しノ
Ｓ向かい合う４箇所（例えば、同時てのＭ３．Ｍ７．Ｍ
］、１．、Ｍ］、５）か同時にパターン終端部］３上に
ある場合、終端部検出位置１２として検出する。
第３図は第１図における終端部検出回路４の動作を説明
するための図である。
するための図である。
入力２値画像１０に対して、あらかしめ設定された大き
さの終端幅検出マスク２０をラスタースキャンに同期し
て走査し、マスクの内部がすべてパターン終端部１３内
にあるマスク中心位置を終端幅検出位置２１を検出する
。
さの終端幅検出マスク２０をラスタースキャンに同期し
て走査し、マスクの内部がすべてパターン終端部１３内
にあるマスク中心位置を終端幅検出位置２１を検出する
。
第４図は、第１図における終端部検査回路の動作を説明
するための図である。
するための図である。
前述ｊ〜ノ、＝終端部検出位置１２と終端幅検出位置２
１の共通部分である終端位置３０を中心として、あらか
じめ設定された大きさの終端部検査マスク３１を走査し
て、内部にパターン上に無い点３２か含まれる場合、終
端部欠陥３２として検出する。
１の共通部分である終端位置３０を中心として、あらか
じめ設定された大きさの終端部検査マスク３１を走査し
て、内部にパターン上に無い点３２か含まれる場合、終
端部欠陥３２として検出する。
本発明のパターン検査装置は、パター〉・終端部形状に
応じた終端部検出マスクおよび大きさに応した終端幅検
出マスクを用いて終端（１７置を検出し、その点におい
て欠陥検出マスクを用いて欠陥検出を行っている）ごめ
、微小な欠陥を安定に検出することか可能であるという
効果かある。
応じた終端部検出マスクおよび大きさに応した終端幅検
出マスクを用いて終端（１７置を検出し、その点におい
て欠陥検出マスクを用いて欠陥検出を行っている）ごめ
、微小な欠陥を安定に検出することか可能であるという
効果かある。
第１図（１本発明の一実施例を示すフロック図、第２図
は第１図に示す終端部検出回路の動作説明図、第３図は
終端幅検出回路の動作説明図、第４図は終端部検査回路
の動作説明図、第５図は従来の一例を示す模式図である
。 １・・・光電変換スキャナー、２・・２値化回路、３・
・・終端部検出回路、４・・終端幅検出回路、５・・・
終端部検査回路、１０・・・入力２値画像、１１・・・
終端部検出マスク、１２・・終端部検出位置、１３・・
・パターン終端部、２０・・終端幅検出マスク、２１・
・・終端幅検出位置、３０・終端位置、３１・・・終端
部検査マスク。
は第１図に示す終端部検出回路の動作説明図、第３図は
終端幅検出回路の動作説明図、第４図は終端部検査回路
の動作説明図、第５図は従来の一例を示す模式図である
。 １・・・光電変換スキャナー、２・・２値化回路、３・
・・終端部検出回路、４・・終端幅検出回路、５・・・
終端部検査回路、１０・・・入力２値画像、１１・・・
終端部検出マスク、１２・・終端部検出位置、１３・・
・パターン終端部、２０・・終端幅検出マスク、２１・
・・終端幅検出位置、３０・終端位置、３１・・・終端
部検査マスク。
Claims (1)
- 検査対象パターンを光電変換スキャナで走査して読み
出した画像を“０”、“１”の２値画像に変換する２値
化回路と、前記２値化回路により出力された２値画像上
にあらかじめ設定された寸法および形状の終端部検出マ
スクをラスタースキャンに同期して走査しパターン終端
部位置を検出する終端部検出回路と、該２値画像にあら
かじめ設定された寸法の円形マスクをラスタースキャン
に同期して走査しパターン終端幅に対応するパターン幅
をもつ位置を検出する終端幅検出回路と、前記検出され
た２つの位置の共通部分で指定された大きさの終端部検
査マスクを走査して内部にパターン上に無い点が含まれ
る場合に終端部欠陥として検出する終端部検査回路とを
含むことを特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104963A JPH042953A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104963A JPH042953A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042953A true JPH042953A (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=14394758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2104963A Pending JPH042953A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042953A (ja) |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP2104963A patent/JPH042953A/ja active Pending
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