JPH04236766A - Ａｌ蒸着フイルム及び下地処理法 - Google Patents
Ａｌ蒸着フイルム及び下地処理法Info
- Publication number
- JPH04236766A JPH04236766A JP7359691A JP7359691A JPH04236766A JP H04236766 A JPH04236766 A JP H04236766A JP 7359691 A JP7359691 A JP 7359691A JP 7359691 A JP7359691 A JP 7359691A JP H04236766 A JPH04236766 A JP H04236766A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- vapor deposition
- deposition
- aluminum fluoride
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- Pending
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- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ａｌ蒸着用フイルム
に対する付着強度の高いＡｌ蒸着層を形成したＡｌ蒸着
フイルム、及びその付着強度の高いＡｌ蒸着層を形成す
る際のＡｌ蒸着用フイルムの下地処理法に関するもので
ある。
に対する付着強度の高いＡｌ蒸着層を形成したＡｌ蒸着
フイルム、及びその付着強度の高いＡｌ蒸着層を形成す
る際のＡｌ蒸着用フイルムの下地処理法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】Ａｌ蒸着用フイルムに対するＡｌ蒸着層
の付着強度を高めるための下地処理として、各種のプラ
スチックフイルムからなるＡｌ蒸着用フイルムの表面を
放電処理してしいわゆる濡れ指数を上げておき、その後
該表面にＡｌ蒸着層を形成している。また、別の下地処
理として、Ａｌ蒸着用フイルムの表面にＡｌ金属との接
着性のよい樹脂をコートし、その後該表面にＡｌ蒸着層
を形成している。更に別の下地処理として、Ａｌ蒸着用
フイルムの表面に直接Ｃｒ等の高融点金属等を予め薄く
形成しておくいわゆる核付けも知られている。
の付着強度を高めるための下地処理として、各種のプラ
スチックフイルムからなるＡｌ蒸着用フイルムの表面を
放電処理してしいわゆる濡れ指数を上げておき、その後
該表面にＡｌ蒸着層を形成している。また、別の下地処
理として、Ａｌ蒸着用フイルムの表面にＡｌ金属との接
着性のよい樹脂をコートし、その後該表面にＡｌ蒸着層
を形成している。更に別の下地処理として、Ａｌ蒸着用
フイルムの表面に直接Ｃｒ等の高融点金属等を予め薄く
形成しておくいわゆる核付けも知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし放電処理をした
ものは、放電処理をしていないものに比較すると表面の
濡れ指数がよくＡｌ蒸着層の付着強度は高くなるが、そ
れでも限界があり、満足できる付着強度とはならない。 このことは、満足できる付着強度を得るには放電処理に
よりＡｌ蒸着用フイルムの表面の濡れ指数を上げておく
だけでは不十分であることを示唆している。また、樹脂
をコートしたものは、ある程度の高い付着強度はあるが
、樹脂を塗料化して塗布乾燥する工程が必要でそのため
製造経費が割高であり、作業性もよくない。更に、核付
けに使用できるものは従来一般にＣｒ等の一定のものに
限られていて選択できる材料は限定されている。この発
明は上記の欠点を除去するもので、Ａｌ蒸着層を形成す
るための真空蒸着やスパッタリング等に使用する蒸着機
で容易に処理することができ、しかも付着強度の高いＡ
ｌ蒸着層を形成することができるＡｌ蒸着用フイルムの
下地処理法及びそれを利用して得られるＡｌ蒸着フイル
ムを提供するものである。
ものは、放電処理をしていないものに比較すると表面の
濡れ指数がよくＡｌ蒸着層の付着強度は高くなるが、そ
れでも限界があり、満足できる付着強度とはならない。 このことは、満足できる付着強度を得るには放電処理に
よりＡｌ蒸着用フイルムの表面の濡れ指数を上げておく
だけでは不十分であることを示唆している。また、樹脂
をコートしたものは、ある程度の高い付着強度はあるが
、樹脂を塗料化して塗布乾燥する工程が必要でそのため
製造経費が割高であり、作業性もよくない。更に、核付
けに使用できるものは従来一般にＣｒ等の一定のものに
限られていて選択できる材料は限定されている。この発
明は上記の欠点を除去するもので、Ａｌ蒸着層を形成す
るための真空蒸着やスパッタリング等に使用する蒸着機
で容易に処理することができ、しかも付着強度の高いＡ
ｌ蒸着層を形成することができるＡｌ蒸着用フイルムの
下地処理法及びそれを利用して得られるＡｌ蒸着フイル
ムを提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、濡れ指数が
３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡｌ蒸着用フイルムの表
面に、フッ化アルミニウム層を１〜６０Åの厚さに形成
し、該フッ化アルミニウム層上に、Ａｌ蒸着層を形成し
たことを特徴とするＡｌ蒸着フイルムである。また、こ
の発明は、濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡ
ｌ蒸着用フイルムの表面に、フッ化アルミニウム層を１
〜６０Åの厚さに形成することを特徴とするＡｌ蒸着用
フイルムの下地処理法である。なお、この明細書におけ
る濡れ指数は、「ＪＩＳ Ｋ６７６８」によるもので
ある。上記二つの発明において、Ａｌ蒸着用フイルムと
して表面の濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でないも
のを使用するときは、Ａｌ蒸着用フイルムの表面を放電
処理して濡れ指数を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上としておく
。
３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡｌ蒸着用フイルムの表
面に、フッ化アルミニウム層を１〜６０Åの厚さに形成
し、該フッ化アルミニウム層上に、Ａｌ蒸着層を形成し
たことを特徴とするＡｌ蒸着フイルムである。また、こ
の発明は、濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡ
ｌ蒸着用フイルムの表面に、フッ化アルミニウム層を１
〜６０Åの厚さに形成することを特徴とするＡｌ蒸着用
フイルムの下地処理法である。なお、この明細書におけ
る濡れ指数は、「ＪＩＳ Ｋ６７６８」によるもので
ある。上記二つの発明において、Ａｌ蒸着用フイルムと
して表面の濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でないも
のを使用するときは、Ａｌ蒸着用フイルムの表面を放電
処理して濡れ指数を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上としておく
。
【０００５】Ａｌ蒸着用フイルムは、ポリエステルフイ
ルム、ポリエチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム
、ポリカーボネートフイルム等の、従来からＡｌ蒸着用
フイルムとして使用されているものである。放電処理は
いわゆるコロナ放電処理やグロー放電処理等の各種の放
電処理であり、Ａｌ蒸着用フイルムとして表面の濡れ指
数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でないものを使用するとき
は、この放電処理によりＡｌ蒸着用フイルムの表面の濡
れ指数を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上としておくものである
。濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡｌ蒸着用
フイルムの表面には、フッ化アルミニウム層を１〜６０
Åの厚さに、好ましくは５〜４０Åの厚さに形成する。
ルム、ポリエチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム
、ポリカーボネートフイルム等の、従来からＡｌ蒸着用
フイルムとして使用されているものである。放電処理は
いわゆるコロナ放電処理やグロー放電処理等の各種の放
電処理であり、Ａｌ蒸着用フイルムとして表面の濡れ指
数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でないものを使用するとき
は、この放電処理によりＡｌ蒸着用フイルムの表面の濡
れ指数を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上としておくものである
。濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡｌ蒸着用
フイルムの表面には、フッ化アルミニウム層を１〜６０
Åの厚さに、好ましくは５〜４０Åの厚さに形成する。
【０００６】フッ化アルミニウム層が１〜６０Åの厚さ
でないときは、Ａｌ蒸着用フイルムの表面の濡れ指数が
３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であっても、後に形成するＡｌ
蒸着層の付着強度は高くならない。また、Ａｌ蒸着用フ
イルムの表面の濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でな
いときは、Ａｌ蒸着用フイルムの表面に形成するフッ化
アルミニウム層が１〜６０Åの厚さであっても、後に形
成するＡｌ蒸着層の付着強度は高くならない。このよう
に、３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上というＡｌ蒸着用フイルム
の表面の濡れ指数と１〜６０Åというフッ化アルミニウ
ム層の厚さとは相関関係にあり、両方の条件を具備して
始めてこの発明が成立するものである。
でないときは、Ａｌ蒸着用フイルムの表面の濡れ指数が
３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であっても、後に形成するＡｌ
蒸着層の付着強度は高くならない。また、Ａｌ蒸着用フ
イルムの表面の濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でな
いときは、Ａｌ蒸着用フイルムの表面に形成するフッ化
アルミニウム層が１〜６０Åの厚さであっても、後に形
成するＡｌ蒸着層の付着強度は高くならない。このよう
に、３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上というＡｌ蒸着用フイルム
の表面の濡れ指数と１〜６０Åというフッ化アルミニウ
ム層の厚さとは相関関係にあり、両方の条件を具備して
始めてこの発明が成立するものである。
【０００７】フッ化アルミニウム層の形成には、後にＡ
ｌ蒸着層を形成する蒸着機が使用でき、この場合、ＥＢ
蒸着法又はマグネトロンスパッタ法が最適である。
ｌ蒸着層を形成する蒸着機が使用でき、この場合、ＥＢ
蒸着法又はマグネトロンスパッタ法が最適である。
【０００８】フッ化アルミニウム層自体は、濡れ指数が
３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でないＡｌ蒸着用フイルムの表
面に形成すると、付着強度はそれ程高くない。しかし、
濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡｌ蒸着用フ
イルムの表面に、フッ化アルミニウム層を１〜６０Åの
厚さに形成すると、フッ化アルミニウム層自体の付着強
度は高く、しかも、該フッ化アルミニウム層の上に形成
するＡｌ蒸着層の付着強度を高め、後に実施例で説明す
るように、Ａｌ蒸着用フイルムからＡｌ蒸着層が容易に
剥がれることがないものである。
３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上でないＡｌ蒸着用フイルムの表
面に形成すると、付着強度はそれ程高くない。しかし、
濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるＡｌ蒸着用フ
イルムの表面に、フッ化アルミニウム層を１〜６０Åの
厚さに形成すると、フッ化アルミニウム層自体の付着強
度は高く、しかも、該フッ化アルミニウム層の上に形成
するＡｌ蒸着層の付着強度を高め、後に実施例で説明す
るように、Ａｌ蒸着用フイルムからＡｌ蒸着層が容易に
剥がれることがないものである。
【０００９】フッ化アルミニウム層の上には、Ａｌ蒸着
層を形成する。Ａｌ蒸着層の形成は、蒸着機を使用して
真空蒸着やスパッタリング等の従来から行われている方
法で行う。Ａｌ蒸着層の厚さは特に限定しない。
層を形成する。Ａｌ蒸着層の形成は、蒸着機を使用して
真空蒸着やスパッタリング等の従来から行われている方
法で行う。Ａｌ蒸着層の厚さは特に限定しない。
【００１０】
【実施例】実施例１
表面の濡れ指数３０〜３１ｄｙｎｅ／ｃｍで厚さ２５μ
ｍの無延伸のポリプロピレンフイルムの表面を、コロナ
放電処理して表面の濡れ指数を４４〜４６ｄｙｎｅ／ｃ
ｍとした後、該表面に、ＥＢ蒸発源の真空蒸着法により
フッ化アルミニウム層を３０Åの厚さに形成した。次に
該フッ化アルミニウム層の上に抵抗加熱式蒸発源の真空
蒸着法によりＡｌ蒸着層を４００Åの厚さに形成して、
この発明のＡｌ蒸着フイルムを得た。
ｍの無延伸のポリプロピレンフイルムの表面を、コロナ
放電処理して表面の濡れ指数を４４〜４６ｄｙｎｅ／ｃ
ｍとした後、該表面に、ＥＢ蒸発源の真空蒸着法により
フッ化アルミニウム層を３０Åの厚さに形成した。次に
該フッ化アルミニウム層の上に抵抗加熱式蒸発源の真空
蒸着法によりＡｌ蒸着層を４００Åの厚さに形成して、
この発明のＡｌ蒸着フイルムを得た。
【００１１】実施例２
フッ化アルミニウム層を６０Åの厚さとした他は、実施
例１と同様にしてこの発明のＡｌ蒸着フイルムを得た。 比較例１ 実施例１におけるフッ化アルミニウム層の形成を省略し
た他は、実施例１と同様にしてＡｌ蒸着フイルムを得た
。従ってこの場合、ポリプロピレンフイルムの表面に直
接Ａｌ蒸着層が形成されている。
例１と同様にしてこの発明のＡｌ蒸着フイルムを得た。 比較例１ 実施例１におけるフッ化アルミニウム層の形成を省略し
た他は、実施例１と同様にしてＡｌ蒸着フイルムを得た
。従ってこの場合、ポリプロピレンフイルムの表面に直
接Ａｌ蒸着層が形成されている。
【００１２】上記の実施例１、実施例２、及び比較例１
で得たＡｌ蒸着フイルムを裁断してそれぞれ３点の試験
片を用意し、それらの各試験片を、ドライラミネート剤
を２ｇ／ｍ２の割合で均一に塗布し乾燥しておいたポリ
エステルフイルムと貼合せた後、ドライラミネート剤を
硬化させて測定試料とし、得られた各測定試料から１５
ｍｍ幅の細帯状の測定試料片を各々３点合計９点を作成
し、その９点の測定試料片についてＴ型剥離強度測定方
法で付着強度を測定した。付着強度測定の結果は表１の
通りである。
で得たＡｌ蒸着フイルムを裁断してそれぞれ３点の試験
片を用意し、それらの各試験片を、ドライラミネート剤
を２ｇ／ｍ２の割合で均一に塗布し乾燥しておいたポリ
エステルフイルムと貼合せた後、ドライラミネート剤を
硬化させて測定試料とし、得られた各測定試料から１５
ｍｍ幅の細帯状の測定試料片を各々３点合計９点を作成
し、その９点の測定試料片についてＴ型剥離強度測定方
法で付着強度を測定した。付着強度測定の結果は表１の
通りである。
【００１３】
【表１】
【００１４】表１からは、Ａｌ蒸着用フイルムであるポ
リプロピレンフイルムの表面の濡れ指数を４４〜４６ｄ
ｙｎｅ／ｃｍとした後、該表面に、フッ化アルミニウム
層を３０Å又は６０Åの厚さに形成し、該フッ化アルミ
ニウム層上に、Ａｌ蒸着層を形成したものは、Ａｌ蒸着
用フイルムの表面にフッ化アルミニウム層を形成するこ
となくＡｌ蒸着層を形成したものに比較して、Ｔ型剥離
強度が非常に高いことが分かる。このことはもちろん、
Ａｌ蒸着用フイルムに対するＡｌ蒸着層の付着強度が高
いことを示しているものである。
リプロピレンフイルムの表面の濡れ指数を４４〜４６ｄ
ｙｎｅ／ｃｍとした後、該表面に、フッ化アルミニウム
層を３０Å又は６０Åの厚さに形成し、該フッ化アルミ
ニウム層上に、Ａｌ蒸着層を形成したものは、Ａｌ蒸着
用フイルムの表面にフッ化アルミニウム層を形成するこ
となくＡｌ蒸着層を形成したものに比較して、Ｔ型剥離
強度が非常に高いことが分かる。このことはもちろん、
Ａｌ蒸着用フイルムに対するＡｌ蒸着層の付着強度が高
いことを示しているものである。
【００１５】
【発明の効果】この発明は上記のように構成したから、
Ａｌ蒸着用フイルムの下地処理がＡｌ蒸着層の形成に使
用する蒸着機で処理することができ簡易であり、樹脂を
塗料化して塗布乾燥する工程も不要で製造経費が割安で
あり、作業性もよい。また、この発明は、従来の核付け
に使用されている材料とはまったく別のものであるフッ
化アルミニウムを使用するものであり、このため、表面
の濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるという特定
条件のＡｌ蒸着用フイルムと、厚さが１〜６０Åである
というフッ化アルミニウム層とを組合わせることにより
、Ａｌ蒸着用フイルムに対するＡｌ蒸着層の付着強度が
高いＡｌ蒸着フイルムを容易に得ることができるもので
ある。
Ａｌ蒸着用フイルムの下地処理がＡｌ蒸着層の形成に使
用する蒸着機で処理することができ簡易であり、樹脂を
塗料化して塗布乾燥する工程も不要で製造経費が割安で
あり、作業性もよい。また、この発明は、従来の核付け
に使用されている材料とはまったく別のものであるフッ
化アルミニウムを使用するものであり、このため、表面
の濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であるという特定
条件のＡｌ蒸着用フイルムと、厚さが１〜６０Åである
というフッ化アルミニウム層とを組合わせることにより
、Ａｌ蒸着用フイルムに対するＡｌ蒸着層の付着強度が
高いＡｌ蒸着フイルムを容易に得ることができるもので
ある。
Claims (4)
- 【請求項１】 濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上で
あるＡｌ蒸着用フイルムの表面に、フッ化アルミニウム
層を１〜６０Åの厚さに形成し、該フッ化アルミニウム
層上に、Ａｌ蒸着層を形成したことを特徴とするＡｌ蒸
着フイルム。 - 【請求項２】 Ａｌ蒸着用フイルムの表面を放電処理
して濡れ指数を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上とし、その後、
該表面にフッ化アルミニウム層を、１〜６０Åの厚さに
形成し、該フッ化アルミニウム層上にＡｌ蒸着層を形成
したことを特徴とするＡｌ蒸着フイルム。 - 【請求項３】 濡れ指数が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上で
あるＡｌ蒸着用フイルムの表面に、フッ化アルミニウム
層を１〜６０Åの厚さに形成することを特徴とするＡｌ
蒸着用フイルムの下地処理法。 - 【請求項４】 Ａｌ蒸着用フイルムの表面を放電処理
して濡れ指数を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上とし、その後、
該表面にフッ化アルミニウム層を、１〜６０Åの厚さに
形成することを特徴とするＡｌ蒸着用フイルムの下地処
理法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7359691A JPH04236766A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | Ａｌ蒸着フイルム及び下地処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7359691A JPH04236766A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | Ａｌ蒸着フイルム及び下地処理法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236766A true JPH04236766A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=13522861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7359691A Pending JPH04236766A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | Ａｌ蒸着フイルム及び下地処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236766A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6182603B1 (en) * | 1998-07-13 | 2001-02-06 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Surface-treated shower head for use in a substrate processing chamber |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP7359691A patent/JPH04236766A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6182603B1 (en) * | 1998-07-13 | 2001-02-06 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Surface-treated shower head for use in a substrate processing chamber |
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