JPH0424454Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0424454Y2 JPH0424454Y2 JP1983161545U JP16154583U JPH0424454Y2 JP H0424454 Y2 JPH0424454 Y2 JP H0424454Y2 JP 1983161545 U JP1983161545 U JP 1983161545U JP 16154583 U JP16154583 U JP 16154583U JP H0424454 Y2 JPH0424454 Y2 JP H0424454Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- metal film
- electrodes
- resistance
- inner electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は金属膜の抵抗測定用電極に関するもの
である。
である。
従来、この種の金属膜抵抗測定電極は、第１図
に示すように、それぞれリード線３を接続した固
定電極１と移動電極２とで構成されている。この
電極を用いた測定方法は、まず、第１図に示すよ
うに幅Ｗの長方形の金属膜からなる試験片４を、
この試験片４の長さ方向に対して固定電極１と移
動電極２とを直角に置き、かつこれら電極１，２
の対向間隔がl1となるように設定する。この時の
抵抗測定値r1は次式のようになる。
に示すように、それぞれリード線３を接続した固
定電極１と移動電極２とで構成されている。この
電極を用いた測定方法は、まず、第１図に示すよ
うに幅Ｗの長方形の金属膜からなる試験片４を、
この試験片４の長さ方向に対して固定電極１と移
動電極２とを直角に置き、かつこれら電極１，２
の対向間隔がl1となるように設定する。この時の
抵抗測定値r1は次式のようになる。
r1＝r0l1／Ｗ …………(1)
ここでr0は正方形の金属膜の抵抗値であり、素
抵抗と呼ばれる。次に、第２図に示すように、移
動電極２を動かして、電極の対向間隔がl2（l2＞
l1）となるように設定する。この時の抵抗測定値
r2は次のようになる。
抵抗と呼ばれる。次に、第２図に示すように、移
動電極２を動かして、電極の対向間隔がl2（l2＞
l1）となるように設定する。この時の抵抗測定値
r2は次のようになる。
r2＝r0l2／Ｗ …………(2)
これら(1)，(2)式から金属膜の素抵抗r0を次式の
ように求めることができる。
ように求めることができる。
r0＝Ｗ（r2−r1）／（l2−l1） …………(3)
これら(1)，(2)式には電極１，２と試験片４との
接触抵抗等が含まれる筈であるが、(1)，(2)式を減
算して(3)式を求めているため結果的には影響しな
いので省略してある。
接触抵抗等が含まれる筈であるが、(1)，(2)式を減
算して(3)式を求めているため結果的には影響しな
いので省略してある。
以上述べた測定方法は、貴重な金属膜から幅Ｗ
の長方形の試験片４を切り取つて測定しなければ
ならず、またサンプル測定であるため、金属膜の
任意の位置における素抵抗を測定できないという
欠点があつた。
の長方形の試験片４を切り取つて測定しなければ
ならず、またサンプル測定であるため、金属膜の
任意の位置における素抵抗を測定できないという
欠点があつた。
本考案の目的は、これらの欠点を除去し、円形
の内電極と外電極とを同心円状に配置することに
より、金属膜を切り取ることなく、かつ金属膜の
任意の位置における素抵抗測定を可能にする金属
膜抵抗測定用電極を提供することにある。
の内電極と外電極とを同心円状に配置することに
より、金属膜を切り取ることなく、かつ金属膜の
任意の位置における素抵抗測定を可能にする金属
膜抵抗測定用電極を提供することにある。
本考案の金属膜抵抗測定用電極は、脱着可能と
して底面の大きさの異なる円形状導電板からなる
第１および第２の内電極と、これら内電極の中心
点と一致した中心点をもちかつこれら内電極の外
周より大きな内径の円環状の底面をもつ外電極
と、これら内電極と外電極とを支持する絶縁体と
を備え、前記各内電極を交換して金属膜に接触さ
せてその金属膜抵抗を測定できるようにしたこと
を特徴とする。
して底面の大きさの異なる円形状導電板からなる
第１および第２の内電極と、これら内電極の中心
点と一致した中心点をもちかつこれら内電極の外
周より大きな内径の円環状の底面をもつ外電極
と、これら内電極と外電極とを支持する絶縁体と
を備え、前記各内電極を交換して金属膜に接触さ
せてその金属膜抵抗を測定できるようにしたこと
を特徴とする。
以下図面により本考案を詳細に説明する。
第３図は本考案の実施例の側断面図である。図
中、３はリード線、５は中心導体、６は絶縁体、
７は金属膜、１１は外電極、１２，１３は内電極
である。外電極１１と内電極１２，１３とは同心
円の底面部を形成している。又、内電極１２，１
３は中心導体５から取り外ずすことが可能であ
る。
中、３はリード線、５は中心導体、６は絶縁体、
７は金属膜、１１は外電極、１２，１３は内電極
である。外電極１１と内電極１２，１３とは同心
円の底面部を形成している。又、内電極１２，１
３は中心導体５から取り外ずすことが可能であ
る。
この金属膜抵抗測定用電極を用いて測定する方
法について説明する。第４図は内電極１２を中心
導体５に取り付けた場合の外電極１１と内電極１
２を示す平面図である。これら電極を金属膜のう
えに置いた時の測定値をraとすれば次式が得られ
る。
法について説明する。第４図は内電極１２を中心
導体５に取り付けた場合の外電極１１と内電極１
２を示す平面図である。これら電極を金属膜のう
えに置いた時の測定値をraとすれば次式が得られ
る。
ra＝r0lo（ｂ／ａ）／2π …………(4)
ここでａは内電極の外径、ｂは外電極の内径で
ある。
ある。
次に、第５図に示すように、大きな外径をもつ
内電極１３を中心導体５に取り付けて金属膜７の
上に設置する。この時の測定値をrbとすれば次式
が得られる。
内電極１３を中心導体５に取り付けて金属膜７の
上に設置する。この時の測定値をrbとすれば次式
が得られる。
rb＝r0lo（ｂ／ｃ）／2π …………(5)
ここでｃは内電極１３の外径であり、これら
(4)，(5)式から素抵抗r0は次のように表わされる。
(4)，(5)式から素抵抗r0は次のように表わされる。
r0＝2π（ra−rb）／lo（ｃ／ａ）…………(6)
(1)，(2)式と同様に(4)，(5)式にも外電極１１、内
電極１２，１３と金属膜との接触抵抗等が含まれ
るべきであるが、同様に減算するので(6)式には影
響しないため省略してある。
電極１２，１３と金属膜との接触抵抗等が含まれ
るべきであるが、同様に減算するので(6)式には影
響しないため省略してある。
以上説明したように、本考案による電極は、金
属膜を切り取る必要がないという利点があり、さ
らに金属膜の任意の場所に設置して測定できる利
点もある。なお、本説明においては外電極の内径
を一定にし、内電極の外径を変化させる場合を説
明したが、逆の場合でも測定できることはいうま
でもない。
属膜を切り取る必要がないという利点があり、さ
らに金属膜の任意の場所に設置して測定できる利
点もある。なお、本説明においては外電極の内径
を一定にし、内電極の外径を変化させる場合を説
明したが、逆の場合でも測定できることはいうま
でもない。
第１図、第２図は従来の電極を用いて測定する
場合の電極配置の平面図、第３図は本考案の実施
例の電極配置の側面断面図、第４図、第５図は本
考案による電極部のみを示す電極配置平面図であ
る。 なお図において、１……固定電極、２……移動
電極、３……リード線、４……試験片、５……中
心導体、６……誘電体、７……金属膜、１１……
外電極、１２，１３……内電極。
場合の電極配置の平面図、第３図は本考案の実施
例の電極配置の側面断面図、第４図、第５図は本
考案による電極部のみを示す電極配置平面図であ
る。 なお図において、１……固定電極、２……移動
電極、３……リード線、４……試験片、５……中
心導体、６……誘電体、７……金属膜、１１……
外電極、１２，１３……内電極。
Claims (1)
- 脱着可能として底面の大きさの異なる円形状導
電板からなる第１および第２の内電極と、これら
内電極の中心点と一致した中心点をもちかつこれ
ら内電極の外周より大きな内径の円環状の底面を
もつ外電極と、これら内電極と外電極とを支持す
る絶縁体とを備え、前記各内電極を交換して金属
膜に接触させてその金属膜抵抗を測定できるよう
にしたことを特徴とする金属膜抵抗測定用電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16154583U JPS6070075U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 金属膜抵抗測定用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16154583U JPS6070075U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 金属膜抵抗測定用電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070075U JPS6070075U (ja) | 1985-05-17 |
| JPH0424454Y2 true JPH0424454Y2 (ja) | 1992-06-09 |
Family
ID=30354995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16154583U Granted JPS6070075U (ja) | 1983-10-19 | 1983-10-19 | 金属膜抵抗測定用電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6070075U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4989276B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-08-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 測定システム |
| JP6613444B1 (ja) * | 2018-07-11 | 2019-12-04 | Ｎｅｘｔ Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎ合同会社 | 絶縁層形成方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138470U (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-23 |
-
1983
- 1983-10-19 JP JP16154583U patent/JPS6070075U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6070075U (ja) | 1985-05-17 |
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