JPH0727951B2 - ウエハ載置台 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、プローブ装置に配置され、半導体ウエハ上に
形成された半導体チップの試験測定に利用されるウエハ
載置台に関する。

（従来の技術） プローブ装置に配置され、半導体ウエハ上に形成された
半導体チップの試験測定に利用されるウエハ載置台のう
ち、例えばパワートランジスタ等の半導体チップの試験
測定に利用される従来のウエハ載置台は、例えば第２図
および第３図に示すように構成されている。

すなわち、第２図に示すウエハ載置台では、例えばアル
ミニウム合金等から円板状に構成された載置台本体１の
表面には、中央部に例えば金めっき等からなる円形の電
圧測定電極２が形成されている。そして、この電圧測定
電極２の周囲には、例えば金めっき等からなる環状の電
圧印加電極３が形成されている。なお、電圧測定電極２
と電圧印加電極３との間には間隔が設けられており、こ
れらの電圧測定電極２と電圧印加電極３とは、電的に絶
縁されている。

また、第３図に示すウエハ載置台では、例えばアルミニ
ウム合金等から円板状に構成された載置台本体1aの表面
に、例えば金めっき等からなる半円形の電圧測定電極2a
と電圧印加電極3aとが形成されている。なお、電圧測定
電極2aと電圧印加電極3aとの間には間隔が設けられてお
り、これらの電圧測定電極2aと電圧印加電極3aとは、電
気的に絶縁されている。

上記構成の従来のウエハ載置台は、プローブ装置に配置
され、表面にパワートランジスタ等を形成された半導体
ウエハが載置される。そして、電圧印加電極３、3aから
半導体ウエハ裏面に形成されたコレクタ電極に、所定の
電圧を印加して、半導体ウエハ表面に形成されたエミッ
タ電極およびベース電極に探針を接触させて、試験測定
を行う。なお、電圧測定電極２、2aにより、電圧印加電
極３、3aから半導体ウエハ裏面に形成されたコレクタ電
極に印加された電圧を測定する。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述の従来のウエハ載置台では、半導体
ウエハの各部位において、電圧印加電極および電圧測定
電極からの距離が異なる。一方、半導体ウエハ裏面に形
成された電極には、電気抵抗があるため、電圧印加電極
および電圧測定電極からの距離の違い、すなわち半導体
チップの半導体ウエハ上の位置の違いにより、測定結果
に違いが生じるという問題があった。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもの
で、半導体チップが形成された半導体ウエハ上の位置に
よって測定結果に違いが生じることを防止することので
きるウエハ載置台を提供しようとするものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、半導体ウハエが載置される載置面
に、前記半導体ウエハに電圧を印加する電圧印加電極お
よび該電圧を測定するための電圧測定電極を備えたウエ
ハ載置台において、前記電圧印加電極および前記電圧測
定電極の少なくとも一部を帯状に形成し、これらの電極
が前記載置面に間隔をあけて交互に位置し、かつ、前記
載置面の略中央の回りに同心状に複数列配列されるよう
構成するとともに、帯状の前記電圧印加電極および前記
電圧測定電極の間に真空チャック用の溝および細孔を配
設したことを特徴とする。

（作用） 本発明のウエハ載置台では、電圧印加電極および電圧測
定電極の少なくとも一部が帯状に形成されており、これ
らの電極が半導体ウエハが載置される載置面に交互に位
置するよう構成されている。

したがって、例えば半導体ウエハ上に形成された各半導
体チップの下部に必ず電圧印加電極と電圧測定電極とが
接触した状態となるよう構成することができ、半導体チ
ップが形成された半導体ウエハ上の位置によって測定結
果に違いが生じること防止することができる。

また、載置面の略中央の回りに、同心状に複数列配列さ
れた帯状の電圧印加電極および電圧測定電極の間に、真
空チャック用の溝および細孔が配設されているので、半
導体ウエハを確実に電極に接触させて高精度な測定を行
うことができ、かつ、径の異なる半導体ウエハに対して
も対応することができる。

（実施例） 以下本発明のウエハ載置台を第１図を参照して実施例に
ついて説明する。

材質例えばセラミックス等から円板状に構成された載置
台本体11の表面には、例えば金等からなる電圧測定電極
12および電圧印加電極13が形成されている。

上記電圧測定電極12は、載置台本体11のほぼ中心を通る
直線上に位置する載置台本体11側面に、２個の測定電極
接続端子12aを備えており、上記直線を結ぶ帯状の電極
と、この帯状の電極から左右に分岐して同心円的に配置
された多数の帯状の電極から構成されている。

また、電圧印加電極13は、上記直線にほぼ直交する直線
上に位置する載置台本体11側面に、２個の印加電極接続
端子13aを備えており、上記電圧測定電極12の間に配置
され、この電圧測定電極12とほぼ同様な形状に形成され
た電極から構成されている。

そして、これらの電圧測定電極12および電圧印加電極13
は、載置台本体11の表面にそれぞれ交互に配置され、こ
の間には間隔が設けられており、これらの電圧測定電極
12と電圧印加電極13とは、電気的に絶縁されている。

なお、上記電圧測定電極12と電圧印加電極13との間に
は、真空チャック用の図示しない多数の溝および細孔が
配置されている。

上記構成のこの実施例のウエハ載置台は、プローブ装置
に配置される。そして、半導体ウエハ上に形成され、裏
面に電極を有する例えばパワートランジスタ等の半導体
チップの試験測定に利用される。

すなわち、載置台本体11上面に半導体ウエハが載置さ
れ、真空チャックによりこの半導体ウエハを保持すると
ともに、電圧印加電極13から半導体ウエハ裏面のコレク
タ電極に所定の電圧を印加し、この電圧を電圧測定電極
12によって測定する。なお、半導体ウエハ表面側に形成
された電極、例えばエミッタ電極、ベース電極等にはプ
ローブ装置の探針を接触させる。

この時、この実施例のウエハ載置台では、交互に配置さ
れた帯状の電圧測定電極12と電圧印加電極13とが半導体
ウエハ上に形成された各半導体チップの下部に接触す
る。したがって、半導体ウエハ裏面の電極の電気抵抗に
より、半導体チップが形成された半導体ウエハ上の位置
によって測定結果に違いが生じることを防止することが
できる。

［発明の効果］ 上述のように、本発明のウエハ載置台では、半導体チッ
プが形成された半導体ウエハ上の位置によって測定結果
に違いが生じることを防止することができる。

また、半導体ウエハを確実に電極に接触させて高精度な
測定を行うことができ、かつ、径の異なる半導体ウエハ
に対しても対応することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のウエハ載置台を示す上面
図、第２図および第３図は従来のウエハ載置台を示す上
面図である。 11……載置台本体、12……電圧測定電極、13……電圧印
加電極。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウエハが載置される載置面に、前記
   半導体ウエハに電圧を印加する電圧印加電極および該電
   圧を測定するための電圧測定電極を備えたウエハ載置台
   において、前記電圧印加電極および前記電圧測定電極の
   少なくとも一部を帯状に形成し、これらの電極が前記載
   置面に間隔をあけて交互に位置し、かつ、前記載置面の
   略中央の回りに同心状に複数列配列されるよう構成する
   とともに、帯状の前記電圧印加電極および前記電圧測定
   電極の間に真空チャック用の溝および細孔を配設したこ
   とを特徴とするウエハ載置台。