JPH042462B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH042462B2 JPH042462B2 JP59168158A JP16815884A JPH042462B2 JP H042462 B2 JPH042462 B2 JP H042462B2 JP 59168158 A JP59168158 A JP 59168158A JP 16815884 A JP16815884 A JP 16815884A JP H042462 B2 JPH042462 B2 JP H042462B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyance
- magnetic fluid
- conveyance path
- legs
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明は搬送路と搬送台の複数の脚部との間に
磁性流体を介在させて搬送台を浮上させ、リニア
モータで移送するクリーンルームなどに用いる搬
送装置（以下単に搬送装置という）に関する。
磁性流体を介在させて搬送台を浮上させ、リニア
モータで移送するクリーンルームなどに用いる搬
送装置（以下単に搬送装置という）に関する。
(ロ) 従来技術
この種の搬送装置の従来例としては、例えば搬
送台に設けたリニアモータの平板状の可動子に、
下方から圧縮空気を前記可動子に対応したテーブ
ルに設けた多数のノズルから噴射させ、搬送台を
浮上させながらリニアモータの固定子の励磁によ
つて移送させる搬送装置が知られている。
送台に設けたリニアモータの平板状の可動子に、
下方から圧縮空気を前記可動子に対応したテーブ
ルに設けた多数のノズルから噴射させ、搬送台を
浮上させながらリニアモータの固定子の励磁によ
つて移送させる搬送装置が知られている。
しかしながら、上記装置においては圧縮空気源
を必要とし、このための設備費用が高価となる。
またさらに重要なことは、このような搬送装置を
例えば半導体製造工場や精密部品製造工場など、
塵埃の発生を好まない場所に使用すると、前記圧
縮空気の流れによる塵埃の発生を寧ろ助長するお
それがあり、クリーンルームなどに用いる搬送装
置として適していないことになる。
を必要とし、このための設備費用が高価となる。
またさらに重要なことは、このような搬送装置を
例えば半導体製造工場や精密部品製造工場など、
塵埃の発生を好まない場所に使用すると、前記圧
縮空気の流れによる塵埃の発生を寧ろ助長するお
それがあり、クリーンルームなどに用いる搬送装
置として適していないことになる。
(ハ) 目的
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、搬
送台を浮上させるのに圧縮空気を必要とせず、且
つ、簡単な構造で搬送台を常に安定良く移送する
搬送装置を提供することを目的としている。
送台を浮上させるのに圧縮空気を必要とせず、且
つ、簡単な構造で搬送台を常に安定良く移送する
搬送装置を提供することを目的としている。
(ニ) 構成
本発明は搬送路と搬送台と磁性流体とを具備し
ており、搬送路は上面に搬送方向に沿つて設けら
れた複数個の固定子と、上面に搬送方向に沿つて
設けられ磁性流体の外への流出を防止するための
上部カバーを有する複数条の蟻溝状の溝部を有し
ており、搬送台は底面に固定子と対向して設けら
れた非磁性導電性材料からなるリアクシヨンプレ
ートと、溝部に嵌まり込む脚部と、脚部下端面に
設けた永久磁石とを有しており、かつ前記磁性流
体を溝部と脚部との間に介在させることにより搬
送台が常に磁性流体により搬送路から浮上されつ
つ移送されるようにしたことを特徴としている。
ており、搬送路は上面に搬送方向に沿つて設けら
れた複数個の固定子と、上面に搬送方向に沿つて
設けられ磁性流体の外への流出を防止するための
上部カバーを有する複数条の蟻溝状の溝部を有し
ており、搬送台は底面に固定子と対向して設けら
れた非磁性導電性材料からなるリアクシヨンプレ
ートと、溝部に嵌まり込む脚部と、脚部下端面に
設けた永久磁石とを有しており、かつ前記磁性流
体を溝部と脚部との間に介在させることにより搬
送台が常に磁性流体により搬送路から浮上されつ
つ移送されるようにしたことを特徴としている。
(ホ) 実施例
第１図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示
す断面正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、
第３図は平面図である。
す断面正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、
第３図は平面図である。
図において、１は図示しないフレームによつて
固設された搬送路であり、該搬送路１には、搬送
路本体１１に凹設された２条の凹条溝と、該本体
１１の上面に設けられたカバー部１２とでもつて
２条の略蟻溝部１３が形成されている。
固設された搬送路であり、該搬送路１には、搬送
路本体１１に凹設された２条の凹条溝と、該本体
１１の上面に設けられたカバー部１２とでもつて
２条の略蟻溝部１３が形成されている。
２はリニアモータの固定子であり、搬送路１の
上面に長手方向に亙つて所定間隔をもつて定置さ
れている。
上面に長手方向に亙つて所定間隔をもつて定置さ
れている。
３は搬送台であり、図示しない被搬送物が載置
される底面３１と、永久磁石４をそれぞれの下端
面に設けた断面倒立Ｔ字形の一対の脚部３２とで
構成されている。そして、脚部３２はそれぞれ前
記搬送路１の溝部１３に配置され、前記搬送台３
を２個所で支持している。
される底面３１と、永久磁石４をそれぞれの下端
面に設けた断面倒立Ｔ字形の一対の脚部３２とで
構成されている。そして、脚部３２はそれぞれ前
記搬送路１の溝部１３に配置され、前記搬送台３
を２個所で支持している。
前記底面３１はリニアモータのリアクシヨンプ
レートとして作用するもので、例えばアルミニウ
ム又は銅板等の非磁性導電性材料で構成され、前
記固定子２と所定の空隙を介して相対向し、リニ
アモータを構成する。
レートとして作用するもので、例えばアルミニウ
ム又は銅板等の非磁性導電性材料で構成され、前
記固定子２と所定の空隙を介して相対向し、リニ
アモータを構成する。
５は磁性流体であり、永久磁石４の磁界が作用
するように前記脚部３２の下端面と搬送路１（溝
部１３）の底面との間に設けられている。該磁性
流体５は、例えばフエライト等の磁性微粒子の粒
子表面を長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、界面活性剤
を使つて溶液中に分散させたコロイド溶液で公知
のものである。
するように前記脚部３２の下端面と搬送路１（溝
部１３）の底面との間に設けられている。該磁性
流体５は、例えばフエライト等の磁性微粒子の粒
子表面を長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、界面活性剤
を使つて溶液中に分散させたコロイド溶液で公知
のものである。
しかして、前記磁性流体５は磁気的には永久磁
気モーメントをもつた分子の集合体であり、超常
磁性の性質をもつているので搬送台３の脚部３２
の下端面に設けたそれぞれの永久磁石４により発
生する磁界の影響によつて、それぞれの磁性流体
５は磁化される結果、搬送台３がリニアモータの
駆動力により進行するに際して、前記永久磁石４
と共に移動することとなる。この際、搬送台３を
２個所で支持させ、リニアモータで駆動すること
となるので、搬送台３を常に安定した状態で移動
させることができる。また、搬送路１に上部カバ
ー部１２を設けることにより、搬送路１の内部よ
り磁性流体５の外部への流出を防止し、更に磁性
流体５の溶媒の蒸発量を低減できる。なお、搬送
台３の速度制御・停止等の制御手段は周知のもの
であるからその説明は省略する。
気モーメントをもつた分子の集合体であり、超常
磁性の性質をもつているので搬送台３の脚部３２
の下端面に設けたそれぞれの永久磁石４により発
生する磁界の影響によつて、それぞれの磁性流体
５は磁化される結果、搬送台３がリニアモータの
駆動力により進行するに際して、前記永久磁石４
と共に移動することとなる。この際、搬送台３を
２個所で支持させ、リニアモータで駆動すること
となるので、搬送台３を常に安定した状態で移動
させることができる。また、搬送路１に上部カバ
ー部１２を設けることにより、搬送路１の内部よ
り磁性流体５の外部への流出を防止し、更に磁性
流体５の溶媒の蒸発量を低減できる。なお、搬送
台３の速度制御・停止等の制御手段は周知のもの
であるからその説明は省略する。
なお、本発明は図示の実施例を限定されず、搬
送路の略蟻溝部を２以上の複数条設け、蟻溝部に
対応して搬送台３の脚部３２を複数組設けると共
に、また、固定子２を搬送路上面に並列に複数組
定置するも可能である。
送路の略蟻溝部を２以上の複数条設け、蟻溝部に
対応して搬送台３の脚部３２を複数組設けると共
に、また、固定子２を搬送路上面に並列に複数組
定置するも可能である。
(ヘ) 効果
本発明によれば、前記実施例で説明した如く下
記の効果を有する。
記の効果を有する。
(1) 搬送台を複数の脚部で支持し、前記脚部の下
端面に設けたそれぞれの永久磁石と、搬送路底
面の複数個所に入れた磁性流体とのそれぞれの
磁力作用で搬送台を浮上させ、リニアモータで
搬送台を移送させる簡単な構成でもつて搬送台
を常に安定良く移送させることができる。
端面に設けたそれぞれの永久磁石と、搬送路底
面の複数個所に入れた磁性流体とのそれぞれの
磁力作用で搬送台を浮上させ、リニアモータで
搬送台を移送させる簡単な構成でもつて搬送台
を常に安定良く移送させることができる。
(2) 搬送路内に磁性流体を所定量入れることのみ
で、搬送台を搬送路から浮上させることがで
き、従来の圧縮空気の浮上手段に比して極めて
簡便であり、且つ、搬送台のカバー部上面に固
定子を取り付けて空間スペースを有効に利用
し、効率の良いリニアモータを構成したので、
搬送路の寸法を小さくでき、ひいては搬送装置
全体の小型化が実現できる。
で、搬送台を搬送路から浮上させることがで
き、従来の圧縮空気の浮上手段に比して極めて
簡便であり、且つ、搬送台のカバー部上面に固
定子を取り付けて空間スペースを有効に利用
し、効率の良いリニアモータを構成したので、
搬送路の寸法を小さくでき、ひいては搬送装置
全体の小型化が実現できる。
(3) 搬送路の上部にカバー部を設けることによ
り、搬送路内部より磁性流体の外部への流出を
防止し、更に磁性流体の溶媒の蒸発量も低減で
きる。
り、搬送路内部より磁性流体の外部への流出を
防止し、更に磁性流体の溶媒の蒸発量も低減で
きる。
(4) 塵埃を発生せず装置が簡便なので、設備費用
及び維持費用の面において優れており、特にク
リーンルーム内における搬送装置として好適で
ある。
及び維持費用の面において優れており、特にク
リーンルーム内における搬送装置として好適で
ある。
第１図は本発明に係る搬送装置の一実施例を示
す断面正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、
第３図は平面図である。 １……搬送路、２……固定子、３……搬送台、
３１……底面、３２……脚部、４……永久磁石、
５……磁性流体。
す断面正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、
第３図は平面図である。 １……搬送路、２……固定子、３……搬送台、
３１……底面、３２……脚部、４……永久磁石、
５……磁性流体。
Claims (1)
- １ 搬送路と搬送台と磁性流体とを具備してお
り、搬送路は上面に搬送方向に沿つて設けられた
複数個の固定子と、上面に搬送方向に沿つて設け
られ磁性流体の外への流出を防止するための上部
カバーを有する複数条の蟻溝状の溝部を有してお
り、搬送台は底面に固定子と対向して設けられた
非磁性導電性材料からなるリアクシヨンプレート
と、溝部に嵌まり込む脚部と、脚部下端面に設け
た永久磁石とを有しており、かつ前記磁性流体を
溝部と脚部との間に介在させることにより搬送台
が常に磁性流体により搬送路から浮上されつつ移
送されるようにしたことを特徴とするクリーンル
ームなどに用いる搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16815884A JPS6146756A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16815884A JPS6146756A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6146756A JPS6146756A (ja) | 1986-03-07 |
| JPH042462B2 true JPH042462B2 (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=15862883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16815884A Granted JPS6146756A (ja) | 1984-08-11 | 1984-08-11 | クリーンルームなどに用いる搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6146756A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6366022A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-24 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送装置 |
| JPS6399494A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Nippon Denso Co Ltd | 熱交換器 |
| JPS63243688A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-10-11 | Showa Alum Corp | 凝縮器 |
| JPH02109178U (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-30 | ||
| JPH02238297A (ja) * | 1989-03-08 | 1990-09-20 | Nippondenso Co Ltd | 熱交換器の設計方法及び評価方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555053A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-22 | Hitachi Ltd | Car |
| JPS57145565A (en) * | 1981-03-02 | 1982-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | Electromagnetic driving unit |
-
1984
- 1984-08-11 JP JP16815884A patent/JPS6146756A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6146756A (ja) | 1986-03-07 |
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