JPH04246544A - 塗被されたインクジェット印字ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録装置
および方法に向けられている。さらに詳しくは、本発明
はインクジェット印刷方法に適した印字ヘッドに向けら
れ、前記の印字ヘッドは撥水材料で塗被されている。本
発明の１つの実施態様は、複数のチャンネルを含み、該
チャンネルはインク供給源からのインクで充填されるこ
とができ、かつ該チャンネルは印字ヘッドの一方の表面
上のノズルで終わっていて、該表面はポリイミド−シロ
キサン−ブロック共重合体で塗被されているインクジェ
ット印字ヘッドに向けられている。具体的な実施態様で
は、そのポリイミド−シロキサン−ブロック共重合体は
下記の式を有し、

【０００２】

【化１】

【０００３】上記式中、ｘとｙは繰り返し部分の数を表
し、点線の円Ａｒ１、Ａｒ２　、Ａｒ３　およびＡｒ４
　は独立に芳香族基から選ばれ、ｌおよびｎは１　から
約１５の数であり、ｍは１　から約１００　の数であり
、Ｒ１、Ｒ２は独立にアルキル基から選ばれ、およびＲ
３は脂肪族基または芳香族基を表し、およびそのポリマ
ーは約１〜約３０重量％のシロキサンを含有する。

【０００４】

【従来技術】インクジェット印刷方法は一般的に２つの
型を有する：連続噴流（ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｓｔｒｅ
ａｍ）方式およびドロップオンデマンド（ｄｒｏｐ−ｏ
ｎ−ｄｅｍａｎｄ）方式である。連続噴流方式では、イ
ンクは圧力下で連続した流れとして少なくとも１つのオ
リフィスまたはノズルを通して噴出される。その流れは
かき乱されて、オリフィスから一定の距離で液滴に壊さ
れる。壊される時点で、その液滴はディジタルデータ信
号によって帯電されて、再循環のための側溝または記録
媒体上の特定に位置に向くように各液滴の軌跡を調節す
る静電界を通される。ドロップオンデマンド方式では、
液滴は、ディジタルデータ信号によってオリフィスから
直接記録媒体上の位置に噴出される。液滴は、記録媒体
上に置かれるまで、形成されずまたは噴出されない。

【０００５】ドロップオンデマンド方式はインクの回収
、帯電、または偏向を必要としないので、この方式は連
続噴流方式よりもずっと簡単である。ドロップオンデマ
ンドインクジェット方式に種々の型がある。ドロップオ
ンデマンド方式の１つの型はその主な構成成分として、
一方の端にノズルを有し、かつ他方の端近くに圧力パル
スを作る圧電性変換器を有するインクで充填されたチャ
ンネルまたは通路を持つ。比較的大きいサイズの変換器
はノズルの接近した間隔を防ぎ、変換器の物理的限定は
低いインク液滴速度をもたらす。低い液滴速度は液滴速
度変動に対する耐性および指向性をひどく減少させ、高
品質のコピーを作るその方式の能力に悪い影響を与える
。圧電性デバイスを使って液滴を噴出するドロップオン
デマンド方式はまた、低い印字速度という不利な点を有
する。

【０００６】ドロップオンデマンド方式の他の型は熱的
インクジェット、またはバブルジェットとして知られて
いて、高速度の液滴を作りノズルの非常に狭い間隔を可
能にする。この型のドロップオンデマンド方式の主な構
成成分は、一方の端にノズルを有するインクで充填され
たチャンネルと、およびノズル近くの熱発生抵抗器であ
る。ディジタル情報を表す印刷信号は、オリフィスまた
はノズル近くの各インク通路内の抵抗層の中の電気的電
流パルスから生じ、最も近接したインクを殆ど即座に気
化して、気泡を作る。オリフィスのインクは、気泡が膨
張するに従って推進された液滴として押し出される。イ
ンクのこの流体力学的動作が止まると、工程は再び始め
から開始することになる。熱的に発生する気泡に基づく
液滴噴出方式、これは通常“バブルジェット”方式と呼
ばれるが、この方式の導入によって、ドロップオンデマ
ンドインクジェット印刷機は、それらの連続噴流方式の
同等物よりも簡単で低い経費のデバイスを提供し、さら
に実質的に同一の高速印刷能力を有する。

【０００７】バブルジェット方式の作業順序はインクの
充填したチャンネル中の抵抗層をとおる電流パルスで始
まり、その抵抗層はそのチャンネルに対するオリフィス
またはノズルに近接している。熱は抵抗器からインクへ
伝わる。そのインクはその通常の沸点よりもはるかに超
加熱されて、水基体インクにとっては最終的に気泡形成
または核形成のための約２８０℃の臨界的温度に達する
。いったん核形成されると、その気泡または水蒸気は熱
的にヒーターからインクを単離して、更には熱はそのイ
ンクには適用されない。通常の沸点を越える温度でイン
ク中に保持されるすべての熱が放散するかまたは液体を
蒸気に転換するために使われてしまうまで、この気泡は
膨張して、気化熱によって熱を除去する。気泡の膨張は
インクの液滴をノズルの外へ押し出し、いったん過剰の
熱が除去されると、その気泡は壊れる。この時点で、電
流パルスは通過しているので抵抗器はもはや熱せられず
、気泡の破壊と同時に液滴は記録媒体に向かう方向に高
速で推進される。印字ヘッドの表面はバブルの破壊によ
って激しいキャビテーションの力に遭遇し、それは印字
ヘッドの表面を浸食する傾向がある。続いて、インクチ
ャンネルは毛管作用によって再充填する。この全気泡形
成および破壊過程は、約１０μｓ　（ｍｉｃｒｏｓｅｃ
ｏｎｄｓ）の間に起こる。そのチャンネルは１００〜５
００μｓ　の最小停滞時間の後再び加熱されて、そのチ
ャンネルは再充填され、力学的な再充填率が幾分低下す
る。

【０００８】本発明は、例えば熱的インクジェット印刷
、および圧電性ドロップオンデマンド方式等のようなド
ロップオンデマンド方式を含むインクジェット印刷方法
に適している。インクジェット印刷において、印字ヘッ
ドは、一方の端でインク供給容器と通じている通常１ま
たはそれ以上のインクで充填したチャンネルを有し、か
つ反対の端にノズルと呼ばれる開口を有して提供される
。これらの印字ヘッドは、ノズルからインクの液滴を記
録媒体上へ噴出することによって紙のような記録媒体上
に画像を形成する。そのインクは液滴の形状で噴出され
る前に各ノズルでメニスカスを形成する。液滴が噴出さ
れた後、追加のインクがノズルへ押し寄せて再びメニス
カスを形成する。高品質の印字ヘッド配列の重要な特性
は、良好なジェット指向性である。良好なジェット指向
性は、インク液滴が印刷書類上の望ましい所に正確に置
かれることを確実にする。劣したジェット指向の正確性
は変形した文字の発生および半階調絵画像（ｈａｌｆ　
ｔｏｎｅ　ｐｉｃｔｏｒｉａｌ　ｉｍａｇｅｓ）におけ
る目にみえる好ましくないバンドをもたらす。

【０００９】インクジェットの誤った指向の主要な原因
は、ノズルの配列を含む印字ヘッドの表面の不適当な湿
潤に関連している。ジェットの指向の正確性に悪く影響
する１つの要因は、印字ヘッド配列の表面上に蓄積する
インクと噴出される液滴との相互作用である。インクの
再充填サージング中のオーバーフローからか、または印
字ヘッドからの液滴の噴出の過程中の小さな付随した液
滴のスパッターからのどちらかから、インクは印字ヘッ
ド表面上に蓄積する。印字ヘッド表面上に蓄積したイン
クがチャンネル内のインクと（および特にノズルからは
み出たインクのメニスカスと）接触するとき、それはイ
ンクのメニスカスを歪ませ、出ていくンクに作用する不
均衡な力となり、またジェットの誤った指向をもたらす
。この湿潤現象は長期間の使用後ではより厄介なことと
なる。なぜならば、配列の表面は酸化し、または乾いた
インク薄膜に覆われ、その印字ヘッドが作り出すことの
できる画像品質の漸次の劣化をもたらすからである。 良好なインクジェット指向性を保持するためには、印字
ヘッドの表面の湿潤を望ましく抑制することである。或
いは、湿潤を予測できる均一な仕方で制御できれば、ジ
ェットの誤った指向は問題にならないであろう。しかし
ながら、均一な湿潤は達成するにも維持するにも困難で
ある。

【００１０】熱的インクジェット印刷においては、熱エ
ネルギー発生器は通常抵抗器であり、それはノズル近く
のチャンネル内にノズルから予め決められた距離に位置
している。抵抗器は個々に電流パルスに向かっていて、
直ちにインクを気化してインク液滴を噴出する気泡を形
成する。気泡が成長するにつれて、インクはノズルから
隆起して、メニスカスとしてインクの表面張力によって
留められる。急速に膨張する蒸気気泡がチャンネルを充
たしているインクのカラムをノズルの方向へ押す。電流
パルスの最後にヒーターは急速に冷却し、蒸気気泡は壊
れ始める。しかしながら、慣性のために、気泡の爆発か
らの衝撃を受けたインクのカラムの殆どは前進運動を続
け、インク液滴としてノズルから噴出する。気泡が壊れ
始めるにつれて、チャンネルとノズルの間になおあるイ
ンクは壊れる気泡の方向へ動きはじめ、ノズルではイン
クの容積的な収縮がおこり、液滴として隆起したインク
の分離をもたらす。気泡が成長している間のインクのノ
ズルの外への促進は、紙のような記録媒体に対して実質
的に直線方向への液滴の運動量および速度を提供する。 熱的インクジェット印字ヘッドの表面を含むノズル上の
インクの集合は、上述の問題のすべてをひき起こす。

【００１１】インクジェット印字ヘッドはノズルの配列
を含み、例えば配向依存性エッチング（ｏｒｉｅｎｔａ
ｔｉｏｎ　ｄｅｐｅｎｄｅｎｔ　ｅｔｃｈｉｎｇ，ＯＤ
Ｅ）技術を使用してシリコンウェファーから形成されて
もよい。シリコンウェファーの使用は、ＯＤＥ技術がノ
ズルのような構造をシリコンウェファー上で高度に精密
な方法で形成することができるので有利である。さらに
これらの構造は低い経費で効率的に組み立てられる。得
られたノズルは一般的に断面が三角形である。上述のＯ
ＤＥ技術を使用することによって製造された熱的インク
ジェット印字ヘッドは一般的に、チャンネル板を含有し
、該チャンネル版の低い方の表面上にはノズルを規定す
る複数のチャンネルが位置し、該チャンネル板は複数の
抵抗性ヒーター素子を有するヒーター板に結合していて
、該抵抗性ヒーター素子はヒーター板の上部表面に形成
されていて、ヒーター素子が各チャンネルに位置するよ
うに整えられている。ヒーター板の上部表面は一般的に
絶縁性層を含み、それは個々のヒーター素子を並べる凹
所を形成するようにかたどられている。この絶縁性層は
“ピット層”（ｐｉｔ　ｌａｙｅｒ）と呼ばれ、チャン
ネル板とヒーター板の間に挟まれて、ノズルを含む前面
は３つの層を有する；すなわちチャンネル板、ピット層
およびヒーター板である。

【００１２】ヒーターおよびチャンネル板は一般的に珪
素から形成される。しかしながらヒーターおよびチャン
ネル板に挟まれたピット層は、例えばポリイミドのよう
なポリマーから形成される。チャンネルがノズルで終わ
っている印字ヘッドの前面は種々の材料から作られてい
るので、例えば撥水性材料のような皮膜材料は一般的に
これらの異なる材料に等しく良好には接着しにくく、均
一に撥インク性ではない皮膜をもたらす。このように、
多重の層から形成されるインクジェット印字ヘッドにお
いて均一に撥インク性である表面皮膜を提供することは
難しい。

【００１３】加えて、インクジェット印刷機は一般的に
グリコールおよび水を含むインクを使用する。グリコー
ルおよび他の同様な材料は湿潤剤と呼ばれ、これらは保
湿性を促進する物質である。いかなる長さの期間におい
ても有効である皮膜材料には、グリコールを含有するイ
ンクに対して撥インク性および抵抗性の両者であること
が必要である。

【００１４】さらに、インクジェットのノズル表面に皮
膜を適用することは困難である。ノズルジェットの表面
の湿潤性を抑制することは望ましいが、ノズルのチャン
ネルにどのような皮膜材料も入ることは望ましくない。 良好な指向性のために重要な要求は、チャンネルの内部
壁が塗被されないことである。もしチャンネルの壁が撥
インク性の材料で塗被されているとすれば、チャンネル
の適当な充填が抑制される。各チャンネルの充填は表面
張力に依存していて、後続の液滴が加熱される時間内に
完了しなければならない。もし充填の過程が次の液滴が
加熱される時間までに完了しないと、メニスカスがノズ
ルオリフィスの外部の端で正確にできず、誤った指向を
もたらす。さらに、不完全に充填されたチャンネルは液
滴サイズのばらつきの原因となり、それはまた、印字品
質の低下をもたらす。

【００１５】このように、熱的インクジェット印字ヘッ
ドから噴出されたインク液滴の誤った指向はしばしば、
ノズルから噴出される液滴とノズルの配列の表面上に蓄
積したインクとの相互作用によって起こる。熱的インク
ジェットのインクは一般的に水基体組成物であるので、
印字ヘッド表面上のインクの蓄積は、例えばノズルに隣
接した印字ヘッドの表面を撥水性の材料で塗被すること
によって、その表面が疎水性および非湿潤性になるよう
に処理することによって減ぜられ、または解消される。 適当な撥水性材料は良好にフィルムを形成するべきで、
容易に表面に適用され、インクジェット印字ヘッドが通
常製造される材料に対して優れた接着性を表し、数ミク
ロンまたはそれ以下の厚さの均一で滑らかなフィルムを
形成し、維持管理中の頻繁な拭い作業だけでなく、ジェ
ッティング過程からの通常の磨耗にも耐えることのでき
る良好な耐磨耗性を示し、ノズルの壁に接触することな
くノズルの配列の表面に適用されることができるべきで
ある。

【００１６】インクジェットノズルのための皮膜は公知
である。例えば、米国特許第４，６４３，９４８　号（
Ｄｉａｚ　ら）　（　その開示は全体的に本明細書中に
参照として織り込まれている）　は、部分的にフッ素化
されたアルキルシランおよび過フッ素化アルカンを含む
インクジェットノズル板用の薄膜皮膜を開示している。 米国特許第４，７２８，３９２　号（三浦ら）　は電子
−圧方式のインクジェット印刷機を開示しており、そこ
では前面のノズル板の内部表面および後方のノズル部材
の端面は撥インク性材料の薄い層で塗被されている。そ
の撥インク性材料はテフロンのようなエチレンテトラフ
ルオリド樹脂またはフルオリドを含むポリマーである。 三浦らはまた、撥インク性材料をノズルに適用する時に
ノズルを塞ぐことを防ぐために、ノズルをとおして空気
を吹き込むことを開示している。三浦らのノズルを含む
面は１種の材料から製造されている。

【００１７】公知の組成物および方法はそれらの意図す
る目的には適当であるが、印字ヘッドの前面が撥水性の
材料で塗被されているインクジェット印刷装置に要求が
存続する。加えて、適用するために簡単で良好にフィル
ムを形成するインクジェット印刷装置のための皮膜に要
求が存続する。さらに、インクジェット印字ヘッドが一
般的に作られている、例えば珪素材料およびポリイミド
のような材料に対して優れた接着性を示すインクジェッ
ト印刷装置のための皮膜に要求がある。数ミクロンまた
はそれ以下の厚さを有する均一で滑らかなフィルムを形
成することのできるインクジェット印刷装置のための皮
膜にまた要求がある。要求はまた、印字ヘッドの表面上
で終わるインクを運搬するチャンネルを塗被することな
く、ジェッティングノズルの配列を有する印字ヘッドの
表面に適用することのできる、インクジェット印刷装置
のための皮膜にある。加えて、良好な耐磨耗性を示し、
かつインクジェット印字ヘッドの維持管理中の頻繁な拭
い作業に耐えられるだけでなく、ジェッティング過程か
らの通常の磨耗にも耐えられるインクジェット印刷装置
のための皮膜に要求がある。さらに、ノズルを含有する
面上のインクおよび他の材料の蓄積を防ぎ、良好なイン
クジェット指向性を維持するインクジェット印字ヘッド
に要求がある。加えて、ノズルを含有する表面が複数の
異なる材料で作られているときでも、印字ヘッドのノズ
ルを含有する表面を均一に撥インク性にするインクジェ
ット印字ヘッドのための撥インク性皮膜材料に要求があ
る。グリコール含有インクと反応せず、長期間にわたっ
て安定で、ノズル表面の堆積中に望ましくない材料が形
成されないインクジェット印字ヘッドのための皮膜材料
に要求がまたある。速いインク乾燥時間を促進するため
にインクに含まれている界面活性剤のようなインク添加
物の存在下で撥インク特性を維持するインクジェット印
刷装置のための皮膜にまた要求がある。さらに、低い経
費で簡単に適用でき、高品質で再現性のある皮膜の良好
な生産をもたらすインクジェット印刷装置のための皮膜
に要求がある。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的はインク
ジェット印字ヘッドが一般的に作られている、例えば珪
素材料およびポリイミドのような材料に対して優れた接
着性を示すインクジェット印刷装置のための皮膜を提供
することである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明（またはその特定
の実施態様）のこれらのおよび他の目的は、複数のチャ
ンネルを含み、該チャンネルはインク供給源からのイン
クで充たされることが可能であり、該チャンネルは印字
ヘッドの一方の表面上のノズルで終わっていて、該表面
はポリイミド−シロキサン−ブロック共重合体で塗被さ
れているインクジェット印字ヘッドを提供することによ
り達成することができる。具体的な実施態様では、ポリ
イミド−シロキサン−ブロック共重合体は下記の式を有
し、

【００２０】

【化２】

【００２１】上記式中、ｘとｙは繰り返し部分の数を表
し、点線の円Ａｒ１、Ａｒ２　、Ａｒ３　およびＡｒ４
　は独立に芳香族基から選ばれ、ｌおよびｎは１　から
約１５の数であり、ｍは１　から約１００　の数であり
、Ｒ１、Ｒ２は独立にアルキル基から選ばれ、およびＲ
３は脂肪族基または芳香族基を表し、およびそのポリマ
ーは約１〜約３０重量％のシロキサンを含有する。本発
明の別の実施態様は、その皮膜が下記式の材料であるイ
ンクジェット印字ヘッドに向けられていて、

【００２２】

【化３】

【００２３】上記式中、ｘとｙは繰り返し部分の数を表
す。本発明のさらに別の実施態様は、（１）複数のチャ
ンネルを含み、該チャンネルはインク供給源からのイン
クで充たされることが可能であり、該チャンネルは印字
ヘッドの一方の表面上のノズルで終わっていて、該表面
はポリイミド−シロキサン−ブロック共重合体で塗被さ
れているインクジェット印字ヘッドを提供し；（２）該
チャンネルをインクで充填し；および（３）インク液滴
をノズルから受けシート上へ画像パターンで噴出させる
ことを含む、インクジェット印刷方法に向けられている
。この方法の具体的な実施態様は熱的インクジェット印
刷方法に向けられていて、そこにおいてはインク液滴は
画像パターンで選択されたチャンネルを加熱することに
よってノズルから噴出させられる。

【００２４】本発明の印字ヘッドは適当な形態のどれか
を有することができる。熱的インジェット印刷の場合に
適当な形態の例は、図１に概略的に説明されていて、そ
こでは液滴噴出ノズル２７の配列を示す印字ヘッド１０
の前面２９の拡大された等尺性の概略図を描いている。 後述の図２もまた参照すると、低い位置にある電気的に
絶縁性の基体または発熱体板２８は発熱体３４およびそ
の表面上にかたどられたアドレス電極３３を有し、一方
上部の基体またはチャンネル板３１は、一方向に延長し
ていて上部の基体前面の端２９をとおして貫いている平
行な溝２０を有している。溝２０の他の端は傾斜した壁
２１で終わっていて、毛管作用で充填するインクチャン
ネル２０のためのインク供給マニホールドとして使用さ
れる内部のくぼみ２４の床４１は、開口２５を有し、そ
こをとおしてインク充填ホールとして使用する。溝を有
するチャンネル板の表面は一直線に並べられ、かつヒー
ター板２８に結合し、複数の発熱体３４のそれぞれ１つ
は各チャンネルに位置して、溝および低位置の基体また
はヒーター板で形成されている。インクは充填ホール２
５を通ってくぼみ２４および低位置の基体２８によって
形成されるマニホールドに入り、厚い薄膜絶縁性層１８
で形成されている延長したくぼみ３８を通って流れるこ
とによりチャンネル２０を充たす。各ノズルのインクは
メニスカスを形成し、その表面張力はインクがそこから
滲み出るのを防ぐ。低位置の基体またはチャンネル板２
８上のアドレス電極３３は終点３２で終わる。上部の基
体またはチャンネル板３１は電極終点３２が露出される
ようにかつ、娘台１９上の電極にワイヤ結合できるよう
に低位置の基体よりも小さく、娘台１９の上に印字ヘッ
ド１０が永久的に搭載されている。層１８は厚い薄膜不
動態化層であり、後述されるが、上部および下部の基体
の間に挟まれている。この層は発熱体を露出するように
エッチングされて、ピットの中にそれらを置き、インク
がマニホールド２４とインクチャンネル２０の間を流れ
ることができるように延長された窪みを形成するように
エッチングされている。加えて、厚い薄膜絶縁性層は電
極終点を露出するようにエッチングされている。

【００２５】図１の断面図が、２−２の線に沿って１つ
のチャンネルを通して切り取られて図２として示され、
矢印２３によって描かれているように、インクがマニホ
ールド２４から溝２０の端２１の回りをどのように流れ
るか表している。Ｔｏｒｐｅｙ等の米国特許第４，６３
８，３３７　号に開示されているように、その開示は全
体的に本明細書中に参照として織り込まれているが、気
泡発生発熱体の複数のセットおよびそれらのアドレス電
極３３が、単一の側面が研磨された（１００）シリコン
ウェファーの磨かれた表面上にかたどられている。印字
ヘッド電極３３の多数のセット、発熱体として役立つ抵
抗性材料、および普通の戻り３５をかたどる前に、ウェ
ファーの研磨された表面を約２ミクロンの典型的な厚さ
を有するシリコンジオキシドのような下に施す層で塗被
する。抵抗材料はドープされた多結晶性シリコンでもよ
く、それは化学蒸着（ＣＶＤ）によって蒸着することが
でき、またはホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ２）　のよう
な他の公知の抵抗材料のどれかでもよい。普通の戻りお
よびアドレス電極は一般的に、下層上におよび発熱体の
端を覆うように蒸着されたアルミニウムリードである。 普通の戻りの端または終点３７およびアドレス電極終点
３２は、チャンネル板３１を付着させて印字ヘッドを作
った後に姫台１９の電極（図示されていない）にワイヤ
結合するためのクリアランスを与えるように、予め決め
られた場所に位置している。普通の戻り３５およびアド
レス電極３３は０．５〜３ミクロンの厚さに蒸着され、
好ましい厚さは１．５ミクロンである。

【００２６】１つの実施態様では、ポリシリコン発熱体
が使用され、シリコンジオキシド熱的オキシド層１７が
高温の蒸気の中でポリシリコンから生長する。熱的オキ
シド層は一般的に０．５〜１ミクロンの厚さまで生長し
、発熱体を導電性インクから保護し絶縁する。熱的オキ
シドはアドレス電極および普通の戻りの付着のために発
熱体の端で除去されて、その後それらはかたどられて蒸
着される。もしホウ化ジルコニウムのような抵抗材料が
発熱体に使われるならば、その後に、他の適当な公知の
絶縁性材料がその上の保護層に使用されてもよい。電極
不動態化の前に、タンタル（Ｔａ）　層（　図示されて
いない）が必要であれば蒸着されてもよく、一般的に約
１ミクロンの厚さで、発熱体保護層１７の上に、印字ヘ
ッドの作動中のインク蒸気気泡の破壊によって発生する
キャビテーション力に対して該層に保護を加えるように
蒸着される。タンタル層は例えばＣＦ４／Ｏ２プラズマ
エッチングを使用して、発熱体上の直接の保護層１７を
除いてすべてエッチングされる。電極不動態化のために
、２ミクロン厚さのリンをドープしたＣＶＤシリコンジ
オキシドフィルム１６が、発熱体およびアドレス電極の
複数のセットを含むウェファー表面全体に蒸着される。 不動態化フィルム１６は露出された電極をインクから保
護するイオンバリヤーを提供する。例えば、ポリイミド
、プラズマニトリド、および上述のリンをドープしたシ
リコンジオキシド、またはそれらの組合せのどれかのよ
うな他のイオンバリヤーも使用できる。有効なイオンバ
リヤーは一般的にその厚さが約１０００オングストロー
ムから約１０ミクロンの時、好ましい厚さは約１ミクロ
ンであるが、達成される。不動態化フィルムまたは層１
６は、後に姫台電極とワイヤ結合するために、普通の戻
りおよびアドレス電極の部分をエッチングされる。シリ
コンジオキシドフィルムのこのエッチングは、湿式また
は乾式エッチング法のいずれかでよい。或いは、電極不
動態化はプラズマ蒸着シリコンニトリット（Ｓｉ３Ｎ４
）によってもよい。

【００２７】次に、例えばＲｉｓｔｏｎ（　登録商標）
　、Ｖａｃｒｅｌ（　登録商標）　、Ｐｒｏｂｉｍｅｒ
　５２（登録商標）　、またはポリイミドのような厚い
フィルムタイプの絶縁性層１８が不動態化層１６の上に
形成され、一般的に約１０から約１００ミクロンの厚さ
を有し、好ましくは約２５から約５０ミクロンの範囲で
ある。絶縁性層１８は写真平版的に加工されて、各発熱
体（窪み２６を形成する）の上部、マニホールド２４か
らインクチャンネル２０へのインクの通路を提供する延
長された窪み３８、および各電極終点３２、３７の上部
にある層１８の部分のエッチングおよび除去を可能とす
る。延長された窪み３８は厚いフィルム層１８のこの部
分の除去によって形成される。このように、不動態化層
１６は単独でこの延長された窪み３８の中で電極３３を
インクへの露出から保護する。

【００２８】図３は図２と同様の図であり、下層３９の
形成および発熱体３４、電極３３および普通の戻り３５
の型取りの前のシリコンである、ヒーター板中の浅い異
方性にエッチングされた溝４０を有する。この窪み４０
は厚いフィルム絶縁性層１８のみの使用を許し、通常の
電極不動態化層１６の必要性を解消する。厚いフィルム
層１８は水を通さず、比較的厚いので（一般的に約２０
から約４０ミクロン）、回路要素へ導入される混入は、
この分野で公知の比較的薄い不動態化層１６のみよりは
ずっと少ない。ヒーター板は集積回路にとってかなり敵
対する環境である。市販されているインクは一般的に純
度への関心がはらわれていない。結果として、ヒーター
板の活性部分は上昇した温度で、疑いなく移動イオンに
富む混入した水性インク溶液と隣接する。加えて、ヒー
ター板を約３０から約５０ボルトの電位で作動させるこ
とが望ましく、それによって実質的な電界が存在する。 このように厚いフィルム絶縁性層１８は活性デバイスに
対して改善された保護を提供し、かつヒーター板に対し
て改善された保護およびより長い作業寿命を提供する。

【００２９】米国特許第４，６０１，７７７　号および
米国特許第４，６３８，３３７　号に開示されているよ
うに（　その開示は全体的に本明細書中に参照として織
り込まれている）　、チャンネル板は２つの側面を研磨
した、（１００）シリコンウェファーから形成され、印
字ヘッドのために複数の上部の基体３１を製造する。そ
のウェファーが化学的に清浄された後、熱分解ＣＶＤシ
リコンニトリット層（図示されていない）が両方の側面
に蒸着される。慣用の写真平版法を使用して、予め決め
られた位置に複数のチャンネル板の各々に対する充填ホ
ール２５の通し、および直列開口（図示されていない）
のための少なくとも２つのバイアスが一方のウェファー
の側面上にプリントされる。そのシリコンニトリットが
、充填ホールおよび直列開口を表すかたどられたバイア
スにプラズマエッチングされる。水酸化カルシウム（Ｋ
ＯＨ）の異方性腐食が充填ホールおよび直列開口をエッ
チングするために使用される。この場合、（１００）ウ
ェファーの〔１１１〕平面は一般的にウェファーの表面
に対して約５４．７°の角度を作る。充填ホールは小さ
な正方形の表面パターンであり、一般に一辺当たり約２
０ミル（５００ミクロン）であり、直列開口は約６０〜
約８０ミル（１．５〜３ｍｍ）　の正方形である。この
ように直列開口は２０ミル（０．５ｍｍ）　の厚さのウ
ェファーを完全にエッチングし、一方充填ホールはウェ
ファーを通して半分から３／４の終点頂部までエッチン
グする。比較的小さな正方形の充填ホールは、連続する
エッチングによるなお一層のサイズの増加に対して不変
であるので、直列開口および充填ホールのエッチングは
有意に時間に強制されない。 次に、ウェファーの反対の側面は写真平版的にかたどら
れ、先にエッチングされた直列開口を参考として使用し
て、最終的にインクマニホールドおよび印字ヘッドのチ
ャンネルとなる比較的大きな方形の窪み２４と延長され
た平行なチャンネルの窪みを形成する。マニホールドお
よびチャンネルの窪みを含むウェファーの表面２２は元
のウェファー表面部分（シリコンニトリット層で被われ
ている）であり、その上に、後に接着剤が適用されて発
熱体の複数のセットを含有する基体に結合させられる。 最終の製形カットで端面２９を作り、ノズル２７を作る
延長された溝２０の一方の端を開く。チャンネルの溝２
０の他方の端は端２１で閉じられたままである。しかし
ながら、チャンネル板のヒーター板への配列および結合
はチャンネル２０の終点２１を直接、図２に示されるよ
うに厚いフィルム絶縁性層１８中の延長された窪み３８
の上に置くか、または図３に示されるように直接窪み４
０の上に置くかして、矢印２３で示されるようにマニホ
ールドからチャンネルへのインクの流れを可能にする。

【００３０】図１、２および３に示されるように、皮膜
５０はポリイミド−シロキサン共重合体材料の撥水性で
かつ撥インク性の層である。図１に示すように、その皮
膜は部分的に取り除かれて、印字ヘッド前面２９の他の
成分を表す。皮膜５０は適当な厚さのどれかであってよ
い。典型的な皮膜厚さは約０．１ミクロンから約１０ミ
クロンであり、好ましくは約０．５ミクロンから約２ミ
クロンであるが、その厚さはこの範囲外であってもよい
。

【００３１】図１から図３に図解された印字ヘッドは本
発明の具体的な実施態様を構成している。印字ヘッド表
面上のノズルを終点とするインクを運ぶチャンネルを含
む他の適当な印字ヘッドの形態のいずれもまた、本明細
書中で開示する皮膜とともに使用されて本発明の印字ヘ
ッドを形成する。印字ヘッドの表面または前面上の撥水
性でかつ撥インク性の皮膜はポリイミド−シロキサン−
ブロック共重合体を含む。印字ヘッド上の皮膜が磨耗す
ると、印字ヘッドの表面上でさらにシロキサンが再生成
する。適当なポリイミド−シロキサン−ブロック共重合
体のいずれかが使用される。好ましくは、ブロック共重
合体中のシロキサン含有量は約１〜約６０重量％である
。好ましい実施態様では、ポリイミド−シロキサン−ブ
ロック共重合体は二無水物とジアミンおよびアミンを末
端とするシロキサンとの縮合によって製造される。例え
ば、二無水物は下記式を有し、

【００３２】

【化４】

【００３３】上記式中、

【００３４】

【化５】

【００３５】は、独立に例えば、ベンゼン、ナフタレン
、アントラセン、またはフェナンントレン等の芳香族基
を表す。芳香族基は置換されていないか、または例えば
、アルキル、アルール、ハロゲン、またはニトロ等のよ
うな１またはそれ以上の置換基で置換されていてもよい
。このように、例えば、両方の芳香族基がベンゼンであ
って、その芳香族基上に置換基がなければ、その二無水
物は下記式を有する。

【００３６】

【化６】

【００３７】ジアミンは脂肪族または芳香族のいずれで
もよい。適当な芳香族ジアミンの類の１例は次の一般式
のものである。

【００３８】

【化７】

【００３９】上記式中、Ｒは水素、または例えば、メチ
ル、エチル、またはプロピル等のようなアルキルである
。ベンゼン環は置換されていないか、または例えば、ア
ルキル、アルール、ハロゲン、またはニトロ等のような
１またはそれ以上の置換基で置換されていてもよい。 加えて、Ｒ基は１またはそれ以上の置換基で置換されて
いてもよい。適当な芳香族ジアミンの他の類は、ベンゼ
ン環が例えばナフタレン、アントラセン、またはフェナ
ンントレン等の他の芳香族基で置き代えられている同様
の構造を含む。適当な脂肪族ジアミンの類の１例は次の
一般式のものである。

【００４０】

【化８】

【００４１】上記式中、ｎは約２〜約１５の数を表す。 再び、その脂肪族ジアミンは置換されていないか、また
は１またはそれ以上の置換基で置換されていてもよい。 アミンを末端とするシロキサンはいずれかの適当な式を
有していてよい。アミンは末端とするシロキサンの適当
な類の一例は下記の一般式を有する。

【００４２】

【化９】

【００４３】上記式中、ｌおよびｎは１　から約１５の
数であり、ｍは１から約１００　の数であり、Ｒ１、Ｒ
２は独立にメチル、エチル　　またはプロピル等のよう
なアルキル基から選ばれる。この類の材料の具体的な一
例は、ビス−γアミノプロピルテトラメチル−ジシロキ
サンであり、そこではｌおよびｎは３であり、ｍは２で
あり、かつＲ１およびＲ２はともにメチルである。この
ように、本発明に適当なポリイミド−シロキサン−ジブ
ロック共重合体は、下記一般式のものを含み、

【００４４】

【化１０】

【００４５】上記式中、ｘとｙは繰り返し部分の数を表
し、点線の円Ａｒ１、Ａｒ２　、Ａｒ３　およびＡｒ４
　は独立に芳香族基から選ばれ、ｌおよびｎは１　から
約１５の数であり、ｍは１　から約１００　の数であり
、Ｒ１、Ｒ２は独立にアルキル基から選ばれ、およびＲ
３は脂肪族基または芳香族基を表し、およびそのポリマ
ーは約１〜約３０重量％のシロキサンを含有する。

【００４６】適当なブロック共重合体の１つの具体例は
下記式を有する。

【００４７】

【化１１】

【００４８】上記式中、ｘ　と　ｙは繰り返し部分の数
を表す。シロキサン含有量が約１〜約３０重量％で変化
する他のポリイミド−シロキサン共重合体は、例えば、
Ｇｅｎｅｒａｌ　Ｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ｃｏｍｐａｎｙか
ら入手可能なＸＶ−４８０（　登録商標）　のように市
場で入手できる。ポリイミド−シロキサン共重合体の製
造方法は公知であり、例えば、“Ｐｏｌｙｉｍｉｄｅｓ
：　Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ，　Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａ
ｔｉｏｎ，　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ，”　Ｋ．　Ｌ．
Ｍｉｔｔａｌ，　編集，　Ｐｌｅｎｕｍ，　Ｎｅｗ　Ｙ
ｏｒｋ　　頁８４７−８６９（１９８４）　の中に記載
されていて、その開示は本明細書中に全体的に参照とし
て織り込まれている。

【００４９】皮膜材料はチャンネルがノズルで終わって
いる印字ヘッドの表面に、いずれかの適当な方法によっ
て適用される。例えば、ポリイミド−シロキサン共重合
体は適当な溶剤に溶かされて、例えば、吹付塗、スピン
コート、ブラシ、微細剛毛ブラシ、ゴムローラー、綿、
布またはフォームラバー（例えば、ポリウレタン）のス
ポンジおよびアプリケーターの使用による接触コート、
例えばＱ−ｔｉｐ（登録商標）　のような綿棒または他
のいずれかのアプリケーターでの手塗り等の適当な方法
のいずれかによって表面に適用される。適当な溶剤の例
はジクロロメタン、メチルエチルケトン、テトラヒドロ
フラン、およびＮ−メチルピロリドン等を含む。このよ
うに、本発明の１つの実施態様はインクジェット印刷に
適した印字ヘッドの製造方法に向けられていて、その方
法は、適当な溶剤中に本明細書中に開示されている式の
ポリイミド−シロキサン共重合体を溶解し；　このよう
に製造した溶液を、複数のチャンネルを含み、該チャン
ネルはインク供給源からのインクで充填されることがで
き、かつ該チャンネルはその印字ヘッドの１つの表面上
のノズルの中で終わっているインクジェット印字ヘッド
に適用し、該溶液は前記表面に適用され；およびその溶
剤は蒸発されて、それによって前記表面上に該ポリマー
の薄膜が形成されることを含む。

【００５０】撥インク性の皮膜は好ましくは、内部のチ
ャンネル壁を塗被することから防ぐ方法で適用される。 もし撥インク性材料がチャンネル壁を覆うと、液滴の噴
出後の各チャンネルの適当な再充填が抑制されて、誤指
向または液滴サイズのばらつきとなる。もし望めば、撥
インク性の皮膜は、印字ヘッドの配列表面に高速度のフ
ィルターガスを該表面をとおして吹き込みながら適用さ
れることもできる。この場合、強いガス流は、撥インク
性材料がチャンネル内に入りその壁を覆うのを抑制する
。この技術は前面のみが撥インク剤の皮膜を受け、チャ
ンネル壁は受けないことを確実にするために高度に有効
である。このガスは、空気、窒素、水素、二酸化炭素ま
たは他の不活性ガスのどれかでよい。

【００５１】複数の完備したダイが露出したノズル正面
に維持される取付具が、各ダイの充填ホールに連結され
た加圧空気または窒素源とともに使用されてもよい。ガ
スはその取付具によって維持される各印字ヘッドダイの
ノズルをとおして吹き込まれると同時に、撥インク剤が
適用される。この方法は多くのダイを同時に処理し、１
つのダイ当たりの撥インク剤処理の経費を有意に低くす
ることができる。集合した全幅インクジェット配列にと
って、加圧ガスラインは直接インクマニホールドに連結
していると、ガスはすべてのノズルをとおして吹き込ま
れると同時に撥インク剤が適用されることができる。

【００５２】チャンネル壁の塗被を避けるための別の方
法は、中間転写シートから印字ヘッド配列面へ皮膜を適
用することを包含する。その皮膜材料はまず、例えば１
／２ミルのビニールまたはプラスチックのような柔軟な
転写シートへ、例えばスピンコート等のような適当な方
法のどれかで適用される。その皮膜材料が転写シート上
でまだ湿っているときに、転写シートのその湿った表面
を印字ヘッド配列面上へ押しつけて皮膜材料の幾らかを
印字ヘッドの前面へ転写させる。その転写シートを除去
し、皮膜材料の幾らかが転写シート上に残る。この方法
は印字ヘッド前面上の皮膜厚さを数ミクロンまたはそれ
以下に限定し、かつ皮膜材料がチャンネルに入ることお
よびチャンネル壁を覆うことを防ぐ。ポリイミド−シロ
キサン共重合体を印字ヘッド表面に適用するための他の
適当な技術は、ポリイミド−シロキサン共重合体の薄い
フィルムを、例えばビニールまたはポリエステル（例え
ば、Ｍｙｌａｒ（登録商標））等のような基体にスピン
コート、接触コート、吹付塗または手塗り等の適当な方
法のいずれかによって適用し、続いてそのポリイミド−
シロキサン皮膜を印字ヘッド表面に接触させて、ポリイ
ミド−シロキサン材料で塗被されていない基体表面に熱
と圧力を適用することによって、その基体からポリイミ
ド−シロキサン共重合体のフィルムを印字ヘッドの表面
へ移すことを包含する。例えば約０．００１から約１０
ミクロンの、好ましくは約１ミクロンの比較的薄い層で
ポリイミド−シロキサン共重合体を基体へ適用すること
によって、基体上の材料の限定された厚さは、そのポリ
イミド−シロキサン共重合体がノズルに入ること、およ
びチャンネルを塗被することを防ぐ。このように、本発
明の別の実施態様は、基体の少なくとも１つの表面上へ
本明細書に開示されている式を有するポリイミド−シロ
キサン共重合体を塗被すること；その基体の塗被された
表面を複数のチャンネルを含むインクジェット印字ヘッ
ドへ接触させて（その印字ヘッドにおいて、そのチャン
ネルはインク供給源からのインクで充填されることがで
き、そのチャンネルは印字ヘッドの一方の表面上のノズ
ルで終わっている）、その塗被された基体を前記表面に
接触させて；および該基体を熱し、それによって重合体
のフィルムを該基体から前記表面へ移すことを含む印字
ヘッドの製造方法に向けられている。

【００５３】前述の式のポリイミド−シロキサン共重合
体から形成された撥インク性フィルムは珪素含有材料お
よびポリイミド表面の両者にのみだけでなく、他の重合
体表面および金属表面にも優れた接着性を表し、グリコ
ール含有インクに不溶性である。その共重合体フィルム
は印字ヘッドの表面を高度に撥インク性にする。測定は
処理された表面が蒸留水に対して８５°から９５°の間
の接触角を示すことを表している。流体の堆積はノズル
の隣接する配列面上で防がれる。さらに配列面上の破壊
屑の蓄積は抑制される。この皮膜はまた、良好なフィル
ム形成特性、良好な機械的特性、および良好な耐磨耗性
を表す。加えて、本発明の皮膜として使用されるポリマ
ーは充分に順応性があり、所望するように機械的特性お
よび表面特性を調整するように重合体の構造を設計する
ことが可能である；例えば、ポリマー中のシロキサン含
有量を比較的広範囲にわたって変えることが可能であっ
て、それによって皮膜の全体的な柔軟性および表面特性
に影響を及ぼす。

【００５４】本発明はまた、本発明の印字ヘッドによる
印刷方法を包含する。本発明の１つの実施態様は、（１
）複数のチャンネルを含み、該チャンネルはインク供給
源からのインクで充たされることが可能であり、かつ該
チャンネルは印字ヘッドの一方の表面上のノズルで終わ
っていて、該表面はポリイミド−シロキサン−ブロック
共重合体で塗被されているインクジェット印字ヘッドを
提供し；（２）該チャンネルをインクで充填し；および
（３）インク液滴をノズルから受けシート上へ画像パタ
ーンで噴出させることを含む、インクジェット印刷方法
に向けられている。この方法の具体的な実施態様は、イ
ンク液滴が、画像パターンで選別されたチャンネルを加
熱することによってノズルから噴出させられる熱的イン
クジェット印刷方法に向けられている。その液滴は例え
ば、繊維、Ｘｅｒｏｘ（登録商標）４０２４　または４
０１０のような普通紙、塗被紙または透明材料等のよう
な適当な受けシートのどれかの上へ噴出されうる。本発
明の具体的な実施態様はここで詳細に述べられる。これ
らの実施例は説明を意図するものであり、本発明はこれ
らの実施態様に挙げられる材料、条件、またはプロセス
パラメーターに限定されない。すべての部およびパーセ
ンテージは特に記載のない限り重量による。

【００５５】

【実施例】実施例１ ポリイミド−シロキサン共重合体を次にように製造した
。蒸留装置に装着した１リットルの丸底フラスコに５０
０ｍｌのＮ−メチルピロリドンを添加した。その後、５
０ｇ　のベンゾフェノン二無水物（Ａｌｄｌｉｃｈから
得られる）　をフラスコ中でＮ−メチルピロリドンに溶
解した。続いて、メチレンジアニリン（Ａｌｄｌｉｃｈ
から得られる）　およびビス−γアミノプロピルテトラ
メチルジシロキサン（Ｐｅｔｒａｒｓｈ　Ｓｙｓｔｅｍ
　から得られる）　の７：３　の混合物の５０ｇ　を上
記の溶液に添加した。フラスコの内容物を続いて２４時
間室温で保持した。得られたポリアミックアシッドの溶
液、これはランダム共重合体であるが、その溶液を加熱
して溶媒を蒸留して除去した。溶媒の新しいバッチの４
００ｍｌをそれからフラスコに添加して、その内容物を
真空（　１０ｍｍ　Ｈｇ）下で蒸留して乾燥させた。溶
媒の新しいバッチを添加し、および真空下で蒸留して乾
燥させる工程をさらに２回繰り返し、それによって反応
副産物である水を共沸的に反応混合物から除去した。こ
のようにして得られた淡黄色の半固体を攪拌することと
約７０℃まで温めることによって、もう一度５００ｍｌ
のＮ−メチルピロリドンに溶解した。得られた溶液をそ
の後、４リットルのビーカー中の攪拌した２リットルの
メタノールに滴下添加した。そのメタノールを添加中に
激しく攪拌した。その後、固形分を沈澱させて、濾過に
よって集め、１００ｍｌのメタノールを三等分したもの
で３回洗浄した。固形分を乾燥させて、生成物は核磁気
共鳴スペクトル（１Ｈ−ｎｍｒ、１３Ｃ−ｎｍｒ　、お
よび２９Ｓｉ−ｎｍｒ）　および赤外線吸収スペクトル
によってポリイミドおよびシロキサンのブロック共重合
体として同定された。

【００５６】このように得られたポリイミド−シロキサ
ン−ブロック共重合体の溶液は、１００ｍｌのジクロロ
メタン中に１ｇの該ポリマーを溶解することによって調
製されて、その溶液をスピンコートによって研磨された
３インチの直径の２０ミル厚さのシリコンウェファーに
適用され、シリコンウェファー上の厚さ１ミクロンのポ
リイミド−シロキサン共重合体の皮膜が形成された。

【００５７】塗被されたシリコンウェファーをその後、
５０重量％のエチレングリコールおよび５０重量％の水
を含有した混合物を含む容器に浸した。この液体混合物
が典型的なインクジェットのインク液体ビヒクルを代表
する。この混合物および塗被されたウェファーを激しく
攪拌し８０℃に加熱して、共重合体の物理的および化学
的劣化を促進させた。そのウェファーをその混合物から
定期的に除去し、その表面上での水の接触角の測定を行
った。接触角は液体滴がその液体滴が位置する表面に対
して作る角度を表し；９０°よりも大きい接触角は非湿
潤条件を表し、９０°よりも小さい接触角は湿潤条件を
表す。低い表面エネルギーは一般的に高い接触角となり
、高い表面エネルギーは一般的に低い接触角となる。 本実施例では、接触角は次のように測定された。

【００５８】

【数１】

【００５９】上の図において、θは接触角ゴニオーメー
ターで測定された接触角を表す。下記の表１は操作中の
多様な時点で観察される接触角を示している。 表からわかるように、この方法を通じて、接触角は７７
°から９０°までの範囲で５日間にわたって比較的一定
に保持される。一般的に７５°またはそれ以上の接触角
は、印字ヘッド表面上のインクの蓄積を防ぎ、よって誤
指向を防ぐために充分である。

【００６０】本発明の他の実施態様および変形は、この
分野に技能を有する者にとっては本明細書中に表された
情報を検討することに続いて起こりうる；これらの実施
態様および変形のみならず、その同等物もまた、本発明
の範囲内に含まれる。

【図面の簡単な説明】

【図１】娘台上に搭載された印字ヘッドの実例の拡大さ
れた等尺性の概略図であり、液滴噴出ノズルを示す。

【図２】図１の２−２の線に沿って眺めた拡大された断
面図であり、マニホールドとインクチャンネルの間の電
極不動態化およびインク流通路を示す。

【図３】図１の２−２の線に沿って眺めた、図１の印字
ヘッドの代わりの実施態様の拡大された断面図である。

【符号の説明】

１０　　印字ヘッド １６　　不動態化層 １７　　保護層 １８　　絶縁性層 １９　　娘台 ２０　　チャンネル ２１　　傾斜した壁 ２２　　ウェファーの表面 ２３　　インクの流れ ２４　　マニホールド ２５　　開口 ２６　　窪み ２７　　ノズル ２８　　ヒーター板 ２９　　印字ヘッドの前面 ３０　　アドレス電極の表面 ３１　　チャンネル板 ３２　　電極終点 ３３　　アドレス電極 ３４　　発熱体 ３５　　戻り ３７　　終点 ３８　　延長した窪み ３９　　下層 ４０　　窪み ４１　　床 ５０　　皮膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　複数のチャンネルを含むインクジェッ
   ト印字ヘッドであって、該チャンネルはインク供給源か
   らのインクで充填されることができ、かつ該チャンネル
   は印字ヘッドの一方の表面上のノズルで終わっていて、
   該表面がポリイミド−シロキサン−ブロック共重合体で
   塗被されているインクジェット印字ヘッド。