JPH04247309A - 薄膜ヘッド - Google Patents
薄膜ヘッドInfo
- Publication number
- JPH04247309A JPH04247309A JP3195991A JP3195991A JPH04247309A JP H04247309 A JPH04247309 A JP H04247309A JP 3195991 A JP3195991 A JP 3195991A JP 3195991 A JP3195991 A JP 3195991A JP H04247309 A JPH04247309 A JP H04247309A
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- Japan
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- thin film
- core
- film head
- lower core
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 58
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 abstract description 15
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク等磁気記録
装置に使用される薄膜ヘッドに係わり、特に低浮上時に
おいても好適なヘッド・メディア・インターフェイスが
得られる薄膜ヘッドの構造に関するものである。
装置に使用される薄膜ヘッドに係わり、特に低浮上時に
おいても好適なヘッド・メディア・インターフェイスが
得られる薄膜ヘッドの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置の高密度化は、近年磁
気ヘッドの浮上量を下げることにより達成しようとする
傾向が増している。それに伴って磁気ヘッドも小型軽量
な薄膜ヘッドの研究開発が行われている。これまでの薄
膜ヘッドは、硬い非磁性材であるＡｌ２ Ｏ３ Ｔ
ｉＣのスライダー上に形成されていた。
気ヘッドの浮上量を下げることにより達成しようとする
傾向が増している。それに伴って磁気ヘッドも小型軽量
な薄膜ヘッドの研究開発が行われている。これまでの薄
膜ヘッドは、硬い非磁性材であるＡｌ２ Ｏ３ Ｔ
ｉＣのスライダー上に形成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ａｌ２
Ｏ３ ＴｉＣスライダーは薄膜ディスク媒体に対
してヘッド・メディア・インターフェイス（以下ＨＭＩ
と記す）において、スライダーと媒体との局所的な衝突
によるヘッドクラッシュの問題を生じていた。一方、従
来磁気ディスク装置のヘッドスライダーとしてしばしば
使用されて来た強磁性酸化物磁性体（以下フェライト磁
性体とも記す）は、薄膜ディスク媒体とのＨＭＩが良好
でありながら以下の問題から薄膜ヘッドのスライダーと
しては使用されていない。
Ｏ３ ＴｉＣスライダーは薄膜ディスク媒体に対
してヘッド・メディア・インターフェイス（以下ＨＭＩ
と記す）において、スライダーと媒体との局所的な衝突
によるヘッドクラッシュの問題を生じていた。一方、従
来磁気ディスク装置のヘッドスライダーとしてしばしば
使用されて来た強磁性酸化物磁性体（以下フェライト磁
性体とも記す）は、薄膜ディスク媒体とのＨＭＩが良好
でありながら以下の問題から薄膜ヘッドのスライダーと
しては使用されていない。
【０００４】即ち、■フェライト磁性体を基板として、
その上に形成された薄膜ヘッドは媒体に対向した部分の
磁極長が長くなり、薄膜ヘッドの分解能が非磁性スライ
ダー上に形成された薄膜ヘッドの分解能に比べて悪い。 ■フェライト磁性体上に薄膜ヘッドを形成するとフェラ
イト磁性体と下部コアとの界面が擬似キャップとして作
動して波形歪みが発生し易い。■フェライト磁性体を下
部コアとして、その上に薄膜コイル及び上部コアを形成
した態様の薄膜ヘッドの提案もあるが、この場合下部コ
ア幅が上部コア幅より遥かに大きくなるために、記録に
じみやサイドクロストークが大きくなり高トラック密度
化に適さない。などの問題を有していた。そこで、本発
明は上記問題を解決し高密度記録に適し、かつ低浮上時
においても媒体とのＨＭＩに優れた薄膜ヘッドを提供す
ることを目的とする。
その上に形成された薄膜ヘッドは媒体に対向した部分の
磁極長が長くなり、薄膜ヘッドの分解能が非磁性スライ
ダー上に形成された薄膜ヘッドの分解能に比べて悪い。 ■フェライト磁性体上に薄膜ヘッドを形成するとフェラ
イト磁性体と下部コアとの界面が擬似キャップとして作
動して波形歪みが発生し易い。■フェライト磁性体を下
部コアとして、その上に薄膜コイル及び上部コアを形成
した態様の薄膜ヘッドの提案もあるが、この場合下部コ
ア幅が上部コア幅より遥かに大きくなるために、記録に
じみやサイドクロストークが大きくなり高トラック密度
化に適さない。などの問題を有していた。そこで、本発
明は上記問題を解決し高密度記録に適し、かつ低浮上時
においても媒体とのＨＭＩに優れた薄膜ヘッドを提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、以下の１）〜３）の構成の薄膜ヘッドとしたもので
ある。即ち、 １） 強磁性酸化物磁性体基板上に下部及び上部コア
を順次設け、これら両コアの一端面側に作動ギャップを
含む媒体摺動面を形成し、薄膜コイルの一部を前記下部
及び上部コアに内包する薄膜ヘッドにおいて、前記媒体
摺動面に前記強磁性酸化物磁性体基板と前記下部コア間
に非磁性材を介在してなることを特徴とする薄膜ヘッド
。 ２） 下部コアは、少なくとも薄膜コイルを内包する
切除部により作動ギャップを形成するフロント切片と、
上部コアとの後部接続部を形成するリア切片とに分離さ
れて成り、前記切除部に前記薄膜コイルの一部を埋設す
ることを特徴とする請求項１項記載の薄膜ヘッド。 ３） ギャップデプス規制端を上部コアの作動キャッ
プ側対向面の立ち上がり部に一致するように形成し、前
記ギャップデプス規制端が下部コアのフロント切片の後
端部よりも媒体摺動面側に形成したことを特徴とする請
求項２記載の薄膜ヘッド。
に、以下の１）〜３）の構成の薄膜ヘッドとしたもので
ある。即ち、 １） 強磁性酸化物磁性体基板上に下部及び上部コア
を順次設け、これら両コアの一端面側に作動ギャップを
含む媒体摺動面を形成し、薄膜コイルの一部を前記下部
及び上部コアに内包する薄膜ヘッドにおいて、前記媒体
摺動面に前記強磁性酸化物磁性体基板と前記下部コア間
に非磁性材を介在してなることを特徴とする薄膜ヘッド
。 ２） 下部コアは、少なくとも薄膜コイルを内包する
切除部により作動ギャップを形成するフロント切片と、
上部コアとの後部接続部を形成するリア切片とに分離さ
れて成り、前記切除部に前記薄膜コイルの一部を埋設す
ることを特徴とする請求項１項記載の薄膜ヘッド。 ３） ギャップデプス規制端を上部コアの作動キャッ
プ側対向面の立ち上がり部に一致するように形成し、前
記ギャップデプス規制端が下部コアのフロント切片の後
端部よりも媒体摺動面側に形成したことを特徴とする請
求項２記載の薄膜ヘッド。
【０００６】
【作用】強磁性酸化物磁性体基板上に下部及び上部コア
を順次設け、これら両コアの一端面側を作動ギャップを
含む媒体摺動面を形成し、薄膜コイルの一部を前記下部
及び上部コアに内包する薄膜ヘッドにおいて、前記媒体
摺動面に前記強磁性酸化物磁性体基板と前記下部コア間
に非磁性材を介在させる等の構成の薄膜ヘッドにするこ
とにより、高密度磁気記録特性に優れ、かつ、ヘッド・
メディア・インターフェイスに優れる等の薄膜ヘッドに
する。
を順次設け、これら両コアの一端面側を作動ギャップを
含む媒体摺動面を形成し、薄膜コイルの一部を前記下部
及び上部コアに内包する薄膜ヘッドにおいて、前記媒体
摺動面に前記強磁性酸化物磁性体基板と前記下部コア間
に非磁性材を介在させる等の構成の薄膜ヘッドにするこ
とにより、高密度磁気記録特性に優れ、かつ、ヘッド・
メディア・インターフェイスに優れる等の薄膜ヘッドに
する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の薄膜ヘッドの一実施例を図１
及び図２を用いて詳述する。図１は薄膜ヘッドの要部拡
大斜視図、図２はそのＸ−Ｘ断面図である。同図におい
て、薄膜ヘッド１は次のように形成される。フェライト
磁性体基板（強磁性酸化物磁性体基板）３に予め媒体摺
動面５に対応する部分の一部に切り欠きを設けて、非磁
性材７（例えばガラス）を充填する。次に前記フェライ
ト磁性体基板３上に下部コア９を薄膜形成する。前記下
部コア９は薄膜コイル１１に対応して切除部１３を形成
し、作動キャップ１５を形成するフロント切片９ａと上
部コア１７との後部接続部１９を形成するリア切片９ｂ
とに分離形成される。尚、下部コア９の切除部１３は図
２に示したように、フェライト磁性体基板３の一部に跨
がって設けられてもよい。このようにすれば、上下コア
間隔を広くすることができ漏洩磁束が減り磁気効率が向
上する。前記下部コア９の切除部１３内には絶縁層２１
を介して薄膜コイルの一部が埋設される。
及び図２を用いて詳述する。図１は薄膜ヘッドの要部拡
大斜視図、図２はそのＸ−Ｘ断面図である。同図におい
て、薄膜ヘッド１は次のように形成される。フェライト
磁性体基板（強磁性酸化物磁性体基板）３に予め媒体摺
動面５に対応する部分の一部に切り欠きを設けて、非磁
性材７（例えばガラス）を充填する。次に前記フェライ
ト磁性体基板３上に下部コア９を薄膜形成する。前記下
部コア９は薄膜コイル１１に対応して切除部１３を形成
し、作動キャップ１５を形成するフロント切片９ａと上
部コア１７との後部接続部１９を形成するリア切片９ｂ
とに分離形成される。尚、下部コア９の切除部１３は図
２に示したように、フェライト磁性体基板３の一部に跨
がって設けられてもよい。このようにすれば、上下コア
間隔を広くすることができ漏洩磁束が減り磁気効率が向
上する。前記下部コア９の切除部１３内には絶縁層２１
を介して薄膜コイルの一部が埋設される。
【０００８】上部コア１７は、下部コア９とフロント切
片９ａとに対向する箇所でギャップ層２３を介して作動
キャップ１５を形成し、リア切片９ｂにおいて磁気的に
接続される。尚、上部コア１７のギャップ層２３側の対
向面の立ち上がり部Ａは、下部コア９のフロント切片９
ａの後端部Ｂよりも媒体摺動面５側に位置するように形
成する。
片９ａとに対向する箇所でギャップ層２３を介して作動
キャップ１５を形成し、リア切片９ｂにおいて磁気的に
接続される。尚、上部コア１７のギャップ層２３側の対
向面の立ち上がり部Ａは、下部コア９のフロント切片９
ａの後端部Ｂよりも媒体摺動面５側に位置するように形
成する。
【０００９】図２に示したように、上部コア１７と下部
コア９のフロント切片９ａとの隙間部１０を薄膜コイル
１１の一部が通過するように配置することにより、例え
ば再生時に媒体から漏洩し作動ギャップ２５を介して磁
気コアに侵入した磁束の一部が、上部コア１７と下部コ
ア９のフロント切片９ａ間で漏洩しても薄膜コイル１１
により拾われて有効に出力することができ再生効率の向
上が図れる。上部コア１７上には保護膜２７が形成され
、その後ヘッドを所定形状に加工することにより図１の
フェライト磁性体から成るスライダー２９を有する薄膜
ヘッド１が完成する。
コア９のフロント切片９ａとの隙間部１０を薄膜コイル
１１の一部が通過するように配置することにより、例え
ば再生時に媒体から漏洩し作動ギャップ２５を介して磁
気コアに侵入した磁束の一部が、上部コア１７と下部コ
ア９のフロント切片９ａ間で漏洩しても薄膜コイル１１
により拾われて有効に出力することができ再生効率の向
上が図れる。上部コア１７上には保護膜２７が形成され
、その後ヘッドを所定形状に加工することにより図１の
フェライト磁性体から成るスライダー２９を有する薄膜
ヘッド１が完成する。
【００１０】このように本実施例に係る薄膜ヘッドのス
ライダー２９が強磁性酸化物磁性体で構成されるために
、低浮上時においても薄膜ディスク媒体に対しＨＭＩが
良好となり、ヘッドクラッシュが発生し難くなり、また
媒体摺動面５において下部コア９とフェライト磁性体基
板３は非磁性材７により大きく隔てられるから、下部コ
ア９とフェライト磁性体基板３間とが擬似ギャップとし
て作動することなく波形歪みも発生しない。また、記録
再生に関与する磁極は薄膜ヘッド１の下部コア９と上部
コア１７のみとなるから、媒体に対向した磁極長は短く
ヘッドの分解能がよくなる。
ライダー２９が強磁性酸化物磁性体で構成されるために
、低浮上時においても薄膜ディスク媒体に対しＨＭＩが
良好となり、ヘッドクラッシュが発生し難くなり、また
媒体摺動面５において下部コア９とフェライト磁性体基
板３は非磁性材７により大きく隔てられるから、下部コ
ア９とフェライト磁性体基板３間とが擬似ギャップとし
て作動することなく波形歪みも発生しない。また、記録
再生に関与する磁極は薄膜ヘッド１の下部コア９と上部
コア１７のみとなるから、媒体に対向した磁極長は短く
ヘッドの分解能がよくなる。
【００１１】
【発明の効果】請求項１記載の薄膜ヘッドによれば、高
密度磁気記録特性に優れ、かつ、ヘッド・メディア・イ
ンターフェイスに優れた薄膜ヘッドを提供し得る。請求
項２記載の薄膜ヘッドによれば、切除部に薄膜コイルの
一部を埋設することにより、下部コア及び薄膜コイル上
に形成される上部コアは比較的段差の小さい平坦な面に
形成できるので上部コアの磁気特性の劣化を防ぐことが
でき、かつ、上部コア先端部のトラック幅形成において
も高精度な狭トラック形成が容易となる。請求項３記載
の薄膜ヘッドによれば、ギャップデプス規制端を上部コ
アの作動ギャップ側対向面の立ち上がり部に一致するよ
うに形成し、前記ギャップデプス規制端が前記下部コア
のフロント切片の後端部よりも媒体摺動面側に位置する
ように形成したことにより、数μのギャップデプスを持
ったヘッドを容易に形成することができ、高い記録再生
効率を確保できる。
密度磁気記録特性に優れ、かつ、ヘッド・メディア・イ
ンターフェイスに優れた薄膜ヘッドを提供し得る。請求
項２記載の薄膜ヘッドによれば、切除部に薄膜コイルの
一部を埋設することにより、下部コア及び薄膜コイル上
に形成される上部コアは比較的段差の小さい平坦な面に
形成できるので上部コアの磁気特性の劣化を防ぐことが
でき、かつ、上部コア先端部のトラック幅形成において
も高精度な狭トラック形成が容易となる。請求項３記載
の薄膜ヘッドによれば、ギャップデプス規制端を上部コ
アの作動ギャップ側対向面の立ち上がり部に一致するよ
うに形成し、前記ギャップデプス規制端が前記下部コア
のフロント切片の後端部よりも媒体摺動面側に位置する
ように形成したことにより、数μのギャップデプスを持
ったヘッドを容易に形成することができ、高い記録再生
効率を確保できる。
【図１】本発明の一実施例に係る薄膜ヘッドの要部拡大
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ断面図である。
１ 薄膜ヘッド
３ フェライト基板
５ 媒体摺動部
７ 非磁性材
９ 下部コア
９ａ フロント切片
９ｂ リア切片
１１ 薄膜コイル
１７ 上部コア
２３ ギャップ層
２７ 保護膜
２９ スライダー
Ａ 上がり部
Ｂ 後端部
Claims (3)
- 【請求項１】 強磁性酸化物磁性体基板上に下部及び
上部コアを順次設け、これら両コアの一端面側に作動ギ
ャップを含む媒体摺動面を形成し、薄膜コイルの一部を
前記下部及び上部コアに内包する薄膜ヘッドにおいて、
前記媒体摺動面に前記強磁性酸化物磁性体基板と前記下
部コア間に非磁性材を介在してなることを特徴とする薄
膜ヘッド。 - 【請求項２】 下部コアは、少なくとも薄膜コイルを
内包する切除部により作動ギャップを形成するフロント
切片と、上部コアとの後部接続部を形成するリア切片と
に分離されて成り、前記切除部に前記薄膜コイルの一部
を埋設することを特徴とする請求項１項記載の薄膜ヘッ
ド。 - 【請求項３】 ギャップデプス規制端を上部コアの作
動キャップ側対向面の立ち上がり部に一致するように形
成し、前記ギャップデプス規制端を下部コアのフロント
切片の後端部よりも媒体摺動面側に形成したことを特徴
とする請求項２記載の薄膜ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3195991A JPH04247309A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 薄膜ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3195991A JPH04247309A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 薄膜ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04247309A true JPH04247309A (ja) | 1992-09-03 |
Family
ID=12345501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3195991A Pending JPH04247309A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 薄膜ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04247309A (ja) |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP3195991A patent/JPH04247309A/ja active Pending
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