JPH04249106A - セラミック積層体の製造方法 - Google Patents
セラミック積層体の製造方法Info
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- JPH04249106A JPH04249106A JP1357991A JP1357991A JPH04249106A JP H04249106 A JPH04249106 A JP H04249106A JP 1357991 A JP1357991 A JP 1357991A JP 1357991 A JP1357991 A JP 1357991A JP H04249106 A JPH04249106 A JP H04249106A
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- green sheets
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 abstract description 10
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
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- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、セラミック積層体の
製造方法に関するもので、特に、積層セラミックコンデ
ンサまたはセラミック多層基板のようなセラミック積層
電子部品等に含まれるセラミック積層体を得るためのプ
レス方法に関するものである。
製造方法に関するもので、特に、積層セラミックコンデ
ンサまたはセラミック多層基板のようなセラミック積層
電子部品等に含まれるセラミック積層体を得るためのプ
レス方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】セラミック積層体の製造方法、より特定
的には、セラミック積層体を得るためのプレス方法には
、従来、典型的には、図３に示すような剛体プレス方法
または図４に示すような静水圧プレス方法がある。
的には、セラミック積層体を得るためのプレス方法には
、従来、典型的には、図３に示すような剛体プレス方法
または図４に示すような静水圧プレス方法がある。
【０００３】図３に示した剛体プレス方法では、剛体か
らなる金型１が用いられ、その内部には、複数枚のセラ
ミックグリーンシート２が積重ねられた状態で収納され
る。金型１の開口３には上ポンチ４が嵌合され、この上
ポンチ４を介して、矢印５で示すように、適当なプレス
機によって積重ねられたセラミックグリーンシート２に
向かって圧力が及ぼされる。
らなる金型１が用いられ、その内部には、複数枚のセラ
ミックグリーンシート２が積重ねられた状態で収納され
る。金型１の開口３には上ポンチ４が嵌合され、この上
ポンチ４を介して、矢印５で示すように、適当なプレス
機によって積重ねられたセラミックグリーンシート２に
向かって圧力が及ぼされる。
【０００４】図４に示した静水圧プレス方法では、内部
に液体６が封入された圧力容器７が用いられる。他方、
セラミック積層体を構成すべき複数枚のセラミックグリ
ーンシート２は、積重ねられた状態で、必要に応じてホ
ルダ（図示せず）内に入れられ、さらに袋８によって真
空パックされる。このように、袋８によって真空パック
された複数枚のセラミックグリーンシート２は、圧力容
器７内に入れられ、次いで液体６が加圧されることによ
って、矢印９で示すように、その周囲から均等に加圧さ
れる。
に液体６が封入された圧力容器７が用いられる。他方、
セラミック積層体を構成すべき複数枚のセラミックグリ
ーンシート２は、積重ねられた状態で、必要に応じてホ
ルダ（図示せず）内に入れられ、さらに袋８によって真
空パックされる。このように、袋８によって真空パック
された複数枚のセラミックグリーンシート２は、圧力容
器７内に入れられ、次いで液体６が加圧されることによ
って、矢印９で示すように、その周囲から均等に加圧さ
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た剛体プレス方法および静水圧プレス方法には、いずれ
も、解決されるべき問題を含んでいる。
た剛体プレス方法および静水圧プレス方法には、いずれ
も、解決されるべき問題を含んでいる。
【０００６】まず、図３に示した剛体プレス方法では、
矢印５で示すように、上から下に向かう圧力だけで複数
枚のセラミックグリーンシート２をプレスするため、金
型１がその圧力に耐えるものでなければならず、それゆ
えに、金型１の大型化を招いてしまう。また、プレス機
によるプレス方向と金型１および上ポンチ４の姿勢とが
適正に位置合わせされていない場合などにおいては、積
重ねられたセラミックグリーンシート２に対して均等に
圧力が加わらず、偏ったプレスの結果、得られたセラミ
ック積層体に不所望な変形が生じることなどがあり得る
。
矢印５で示すように、上から下に向かう圧力だけで複数
枚のセラミックグリーンシート２をプレスするため、金
型１がその圧力に耐えるものでなければならず、それゆ
えに、金型１の大型化を招いてしまう。また、プレス機
によるプレス方向と金型１および上ポンチ４の姿勢とが
適正に位置合わせされていない場合などにおいては、積
重ねられたセラミックグリーンシート２に対して均等に
圧力が加わらず、偏ったプレスの結果、得られたセラミ
ック積層体に不所望な変形が生じることなどがあり得る
。
【０００７】これに対して、図４に示した静水圧プレス
方法では、上述したような剛体プレス方法において遭遇
した問題を解決することができる。しかしながら、プレ
スされるべきセラミックグリーンシート２を袋８によっ
て真空パックする作業は、煩雑であり、このことが原因
となって、生産能率が低下する。また、袋８は、比較的
軟弱であるため、プレス時において破れることがある。 このように、袋８が破れると、中のセラミックグリーン
シート２は、使用不可能となる。
方法では、上述したような剛体プレス方法において遭遇
した問題を解決することができる。しかしながら、プレ
スされるべきセラミックグリーンシート２を袋８によっ
て真空パックする作業は、煩雑であり、このことが原因
となって、生産能率が低下する。また、袋８は、比較的
軟弱であるため、プレス時において破れることがある。 このように、袋８が破れると、中のセラミックグリーン
シート２は、使用不可能となる。
【０００８】それゆえに、この発明の目的は、剛体プレ
ス方法において遭遇した問題および静水圧プレス方法に
おいて遭遇した問題のいずれをも解決できるプレス工程
を備える、セラミック積層体の製造方法を提供しようと
することである。
ス方法において遭遇した問題および静水圧プレス方法に
おいて遭遇した問題のいずれをも解決できるプレス工程
を備える、セラミック積層体の製造方法を提供しようと
することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明によるセラミッ
ク積層体の製造方法では、上述した技術的課題を解決す
るため、剛体プレス方法と静水圧プレス方法とが有利に
組合わされている。
ク積層体の製造方法では、上述した技術的課題を解決す
るため、剛体プレス方法と静水圧プレス方法とが有利に
組合わされている。
【００１０】すなわち、この発明では、まず、剛体プレ
ス方法と同様、複数枚のセラミックグリーンシートを積
重ねた状態で収納するためのもので、セラミックグリー
ンシートの延びる方向に対して平行に延びる底面壁およ
び前記底面壁の周縁部から立上がる側面壁を備え、前記
底面壁と対向する位置に前記側面壁によってその周縁部
が規定された開口を有する、剛体からなる金型が用意さ
れ、この金型内に複数枚のセラミックグリーンシートが
積重ねられた状態で収納される。
ス方法と同様、複数枚のセラミックグリーンシートを積
重ねた状態で収納するためのもので、セラミックグリー
ンシートの延びる方向に対して平行に延びる底面壁およ
び前記底面壁の周縁部から立上がる側面壁を備え、前記
底面壁と対向する位置に前記側面壁によってその周縁部
が規定された開口を有する、剛体からなる金型が用意さ
れ、この金型内に複数枚のセラミックグリーンシートが
積重ねられた状態で収納される。
【００１１】他方、静水圧プレス方法を適用するため、
一壁面が可撓性材料からなる変形可能な壁によって規定
され、内部に液体が封入された圧力容器が用意される。 この圧力容器は、その変形可能な壁が複数枚のセラミッ
クグリーンシートを収納した金型の開口を覆うように配
置される。この状態で、圧力容器内の液体が加圧され、
それに応じて、変形可能な壁を介して金型内の複数枚の
セラミックグリーンシートが加圧される。
一壁面が可撓性材料からなる変形可能な壁によって規定
され、内部に液体が封入された圧力容器が用意される。 この圧力容器は、その変形可能な壁が複数枚のセラミッ
クグリーンシートを収納した金型の開口を覆うように配
置される。この状態で、圧力容器内の液体が加圧され、
それに応じて、変形可能な壁を介して金型内の複数枚の
セラミックグリーンシートが加圧される。
【００１２】
【発明の効果】この発明によれば、金型内に収納された
複数枚のセラミックグリーンシートには、変形可能な壁
を介して、圧力容器内の液体の加圧に基づいて静水圧が
付与される。したがって、複数枚のセラミックグリーン
シートは、その面方向にわたって均等に加圧されるので
、得られたセラミック積層体には不所望な変形が生じな
い。
複数枚のセラミックグリーンシートには、変形可能な壁
を介して、圧力容器内の液体の加圧に基づいて静水圧が
付与される。したがって、複数枚のセラミックグリーン
シートは、その面方向にわたって均等に加圧されるので
、得られたセラミック積層体には不所望な変形が生じな
い。
【００１３】また、変形可能な壁は、液体の加圧によっ
て、金型の開口を覆うだけでなく、金型の周囲にも密着
するため、金型に対してそれほど高い機械的強度が要求
されず、金型を小型化することができる。
て、金型の開口を覆うだけでなく、金型の周囲にも密着
するため、金型に対してそれほど高い機械的強度が要求
されず、金型を小型化することができる。
【００１４】また、従来の静水圧プレス方法のように、
プレスされるべき複数枚のセラミックグリーンシートを
袋によって真空パックする必要がないので、袋の破損に
よる不都合をいっさい回避することができる。
プレスされるべき複数枚のセラミックグリーンシートを
袋によって真空パックする必要がないので、袋の破損に
よる不都合をいっさい回避することができる。
【００１５】また、この発明によれば、加圧されるべき
複数枚のセラミックグリーンシートは、圧力容器外の空
気中において処理され、したがって圧力容器内の液体中
に浸漬し、また液体から取出したりすることが必要でな
く、また、袋に入れる必要もないので、多数のセラミッ
ク積層体をインライン工程に基づき能率的に製造するこ
とができる。したがって、セラミック積層体の製造に要
するコストを低減することができる。
複数枚のセラミックグリーンシートは、圧力容器外の空
気中において処理され、したがって圧力容器内の液体中
に浸漬し、また液体から取出したりすることが必要でな
く、また、袋に入れる必要もないので、多数のセラミッ
ク積層体をインライン工程に基づき能率的に製造するこ
とができる。したがって、セラミック積層体の製造に要
するコストを低減することができる。
【００１６】
【実施例】図１には、この発明の一実施例を実施するた
めに用いられる金型１０および圧力容器１１が互いに分
離された状態で示され、図２には、金型１０内の複数枚
のセラミックグリーンシート１２が加圧されている状態
が示されている。
めに用いられる金型１０および圧力容器１１が互いに分
離された状態で示され、図２には、金型１０内の複数枚
のセラミックグリーンシート１２が加圧されている状態
が示されている。
【００１７】金型１０は、剛体からなるもので、セラミ
ックグリーンシート１２の延びる方向に対して平行に延
びる底面壁１３および底面壁１３の周縁部から立上がる
側面壁１４を備える。また、金型１０は、底面壁１３と
対向する位置に側面壁１４によってその周縁部が規定さ
れた開口１５を有する。この開口１５には、上ポンチ１
６が嵌合されてもよい。なお、上ポンチ１６は、必ずし
も用いられる必要はない。
ックグリーンシート１２の延びる方向に対して平行に延
びる底面壁１３および底面壁１３の周縁部から立上がる
側面壁１４を備える。また、金型１０は、底面壁１３と
対向する位置に側面壁１４によってその周縁部が規定さ
れた開口１５を有する。この開口１５には、上ポンチ１
６が嵌合されてもよい。なお、上ポンチ１６は、必ずし
も用いられる必要はない。
【００１８】このような金型１０内には、セラミック積
層体となるべき複数枚のセラミックグリーンシート１２
が積重ねられた状態で収納され、その上に上ポンチ１６
が置かれる。
層体となるべき複数枚のセラミックグリーンシート１２
が積重ねられた状態で収納され、その上に上ポンチ１６
が置かれる。
【００１９】他方、圧力容器１１は、一壁面が可撓性材
料からなる変形可能な壁１７によって規定されている。 この変形可能な壁１７を構成する可撓性材料としては、
好ましくは、ゴムのような弾性材料が用いられる。圧力
容器１１の内部には、液体１８が封入される。
料からなる変形可能な壁１７によって規定されている。 この変形可能な壁１７を構成する可撓性材料としては、
好ましくは、ゴムのような弾性材料が用いられる。圧力
容器１１の内部には、液体１８が封入される。
【００２０】図２に示すように、複数枚のセラミックグ
リーンシート１２を収納した金型１０の開口１５を変形
可能な壁１７が覆うように、圧力容器１１が配置される
。この状態で、圧力容器１１に設けられた加圧口１９を
介して加圧装置（図示せず）から圧力が液体１８に加え
られる。これによって、矢印２０で示すように、金型１
０の側面壁１４および上ポンチ１６に向かって圧力が均
等に与えられ、金型１０内の複数枚のセラミックグリー
ンシート１２が加圧される。これによって、セラミック
積層体が製造される。
リーンシート１２を収納した金型１０の開口１５を変形
可能な壁１７が覆うように、圧力容器１１が配置される
。この状態で、圧力容器１１に設けられた加圧口１９を
介して加圧装置（図示せず）から圧力が液体１８に加え
られる。これによって、矢印２０で示すように、金型１
０の側面壁１４および上ポンチ１６に向かって圧力が均
等に与えられ、金型１０内の複数枚のセラミックグリー
ンシート１２が加圧される。これによって、セラミック
積層体が製造される。
【００２１】なお、図２に示した加圧状態からわかるよ
うに、変形可能な壁１７は、自然の状態において、適当
に弛むようにされている方が、金型１０等への密着性を
高めることができる。また、金型１０および上ポンチ１
６の角の部分は、面取りしておく方が、変形可能な壁１
７の耐用回数を多くすることができる。
うに、変形可能な壁１７は、自然の状態において、適当
に弛むようにされている方が、金型１０等への密着性を
高めることができる。また、金型１０および上ポンチ１
６の角の部分は、面取りしておく方が、変形可能な壁１
７の耐用回数を多くすることができる。
【００２２】前述したように、セラミックグリーンシー
ト１２に対する加圧を終えた後は、液体１８への加圧が
解除され、圧力容器１１が金型１０から離され、次いで
、別の複数枚のセラミックグリーンシートを収納した金
型に対して同様の加圧工程が実施される。
ト１２に対する加圧を終えた後は、液体１８への加圧が
解除され、圧力容器１１が金型１０から離され、次いで
、別の複数枚のセラミックグリーンシートを収納した金
型に対して同様の加圧工程が実施される。
【図１】この発明の一実施例を実施するのに用いる金型
１０および圧力容器１１を互いに離した状態で示す断面
図である。
１０および圧力容器１１を互いに離した状態で示す断面
図である。
【図２】図１に示した金型１０および圧力容器１１を用
いて金型１０内の複数枚のセラミックグリーンシート１
２に対して加圧工程を実施している状態を示す断面図で
ある。
いて金型１０内の複数枚のセラミックグリーンシート１
２に対して加圧工程を実施している状態を示す断面図で
ある。
【図３】従来の剛体プレス方法を実施している状態を示
す断面図である。
す断面図である。
【図４】従来の静水圧プレス方法を実施している状態を
示す断面図である。
示す断面図である。
１０ 金型
１１ 圧力容器
１２ セラミックグリーンシート
１３ 底面壁
１４ 側面壁
１５ 開口
１７ 変形可能な壁
１８ 液体
１９ 加圧口
２０ 圧力の付与方向を示す矢印
Claims (1)
- 【請求項１】 複数枚のセラミックグリーンシートを
積重ねた状態で収納するためのもので、セラミックグリ
ーンシートの延びる方向に対して平行に延びる底面壁お
よび前記底面壁の周縁部から立上がる側面壁を備え、前
記底面壁と対向する位置に前記側面壁によってその周縁
部が規定された開口を有する、剛体からなる金型を用意
し、前記金型内に複数枚のセラミックグリーンシートを
積重ねた状態で収納し、一壁面が可撓性材料からなる変
形可能な壁によって規定され、内部に液体が封入された
圧力容器を用意し、前記複数枚のセラミックグリーンシ
ートを収納した前記金型の開口を前記変形可能な壁が覆
うように、前記圧力容器を配置し、前記圧力容器内の前
記液体を加圧して、前記変形可能な壁を介して前記金型
内の前記複数枚のセラミックグリーンシートを加圧する
、各ステップを備える、セラミック積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1357991A JPH04249106A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | セラミック積層体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1357991A JPH04249106A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | セラミック積層体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249106A true JPH04249106A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=11837082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1357991A Withdrawn JPH04249106A (ja) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | セラミック積層体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249106A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003211430A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-29 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス製構造体の接合装置及び接合方法 |
-
1991
- 1991-02-04 JP JP1357991A patent/JPH04249106A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003211430A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-07-29 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス製構造体の接合装置及び接合方法 |
| WO2003061924A1 (en) * | 2002-01-24 | 2003-07-31 | Ngk Insulators,Ltd. | Device and method for joining ceramics structural body |
| US7883599B2 (en) | 2002-01-24 | 2011-02-08 | Ngk Insulators, Ltd. | Device and method for joining ceramics structural body |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |