JPH0425148U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0425148U JPH0425148U JP6777490U JP6777490U JPH0425148U JP H0425148 U JPH0425148 U JP H0425148U JP 6777490 U JP6777490 U JP 6777490U JP 6777490 U JP6777490 U JP 6777490U JP H0425148 U JPH0425148 U JP H0425148U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- focusing
- focusing mechanism
- focusing electrode
- force received
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例を示すイオンビー
ム集束機構の概略断面図である。第２図は従来の
イオンビーム集束機構の概略断面図である。 ２……イオンビーム、３……電界から受ける力
（磁界から受ける力）、４……出力可変式電源、
５……集束電極（磁界から受ける力を利用する場
合は磁極）。
ム集束機構の概略断面図である。第２図は従来の
イオンビーム集束機構の概略断面図である。 ２……イオンビーム、３……電界から受ける力
（磁界から受ける力）、４……出力可変式電源、
５……集束電極（磁界から受ける力を利用する場
合は磁極）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空室でイオンビームの集束電極に電気をかけ
て、電界から受ける力によつてイオンビームの動
きをコントロールするビーム集束機構部において
、 前記集束電極をイオンビームを中心とする周回
動配置とした特徴とするイオンビーム集束機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6777490U JPH0425148U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6777490U JPH0425148U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425148U true JPH0425148U (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=31601650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6777490U Pending JPH0425148U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425148U (ja) |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP6777490U patent/JPH0425148U/ja active Pending