JPH04254992A - 半導体装置及び半導体メモリ - Google Patents

半導体装置及び半導体メモリ

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JPH04254992A
JPH04254992A JP3014432A JP1443291A JPH04254992A JP H04254992 A JPH04254992 A JP H04254992A JP 3014432 A JP3014432 A JP 3014432A JP 1443291 A JP1443291 A JP 1443291A JP H04254992 A JPH04254992 A JP H04254992A
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JP
Japan
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circuit
potential
transistor
output signal
transistors
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Application number
JP3014432A
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English (en)
Inventor
Kenichi Ohata
賢一 大畠
Noriyuki Honma
本間 紀之
Kunihiko Yamaguchi
邦彦 山口
Kazuo Kanetani
一男 金谷
Hiroaki Nanbu
南部 博昭
Yoji Idei
陽治 出井
Yoshiaki Sakurai
義彰 櫻井
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Hitachi Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Device Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、低電源電圧化に好適な
半導体装置及び半導体メモリに関するものである。
【0002】
【従来の技術】高集積、かつ、高速な半導体装置を実現
する方法として、高集積化に適したMOSトランジスタ
と高速化に適したバイポーラトランジスタとを、1チッ
プ上に形成するBiCMOS技術が提案されている。本
技術を適用した半導体装置では、一般に高速動作が必要
な部分にはECL回路を、高集積化、低消費電力化が必
要な部分にはCMOS回路が使用される。一方、上記E
CL回路の論理振幅は0.5〜2.0V程度であるのに
対し、上記CMOS回路の論理振幅は約5V(電源電圧
が5Vの場合)であるので、これら2種類の回路の接続
部には、論理振幅を変換するレベル変換回路が必要であ
る。上記レベル変換回路の一例としては、例えば「電子
情報通信学会誌Vol.72,No.2,pp.197
−208,1989年2月」に記載されたものが挙げら
れる。図2に上記文献に記載されたレベル変換回路の回
路図を示す。図において、ECはECL回路、LCはレ
ベル変換回路、CCはCMOS回路である。ここで、上
記ECL回路の出力信号Veo、Veo′は、互いに逆
極性の差動信号である。レベル変換回路LCは2つの増
幅回路からなる。すなわち、MOSトランジスタMP1
、MP2、MN1、MN2からなる第1の増幅回路と、
MP3、MN3からなる第2の増幅回路である。 今、例えばVeoが高電位、Veo′が低電位である場
合を考えると、トランジスタMP1は非導通状態、MP
2は導通状態となり、第1の増幅回路の出力Vo1は高
電位側の電源電位まで上昇する。一方、トランジスタM
P3は非導通状態になるので、第2の増幅回路の出力V
o2は低電位側の電源電位まで低下する。従って、レベ
ル変換回路の出力VoutはバイポーラトランジスタQ
4により高電位に高速駆動され、その電位は、高電位側
の電源電位からVBE(ベース・エミッタ間電圧:通常
〜0.7V)だけ低い電位になる。また、上記の例とは
逆に、ECL回路の出力信号Veoが低電位、Veo′
が高電位になった場合には、第1増幅回路の出力Vo1
が低電位、第2増幅回路の出力Vo2が高電位になり、
レベル変換回路の出力Voutはバイポーラトランジス
タQ5により低電位に高速駆動され、その電位は低電位
側の電源電位からベース・エミッタ間電圧VBEだけ高
い電位になる。
【0003】ここで、ECL回路の出力信号Veo、V
eo′の信号振幅は、レベル変換回路を構成するMOS
トランジスタのしきい値電圧の2〜3倍(しきい値電圧
は通常0.5V程度であるので1.0〜1.5V)以上
が望ましい。これはECL回路の出力信号Veo、Ve
o′の振幅が余り小さいと、トランジスタMP1、MP
2、MP3のオン抵抗が小さくならないため、レベル変
換回路の動作速度が大幅に低下してしまうからである。
【0004】上記のように本回路によれば、ECL回路
の出力信号(論理振幅1.0〜1.5V以上)をCMO
S回路への入力信号に変換することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】半導体装置の高集積化
は、回路を構成する基本素子(トランジスタ、抵抗等)
の微細化により推進されてきた。一方、微細化に伴う素
子耐圧の低下により、半導体装置の電源電圧を下げる必
要が生じてきている。
【0006】しかし、上記従来技術では、電源電圧を下
げた場合の動作速度の増大については考慮されていなか
った。つぎに、上記問題を図2を用いて詳しく説明する
【0007】ECL回路では、バイポーラトランジスタ
が飽和領域で動作しないようにする必要がある(バイポ
ーラトランジスタが飽和領域で動作すると、ベース領域
に少数キャリアが大量に蓄積しスイッチング速度が低下
する)ので、その出力信号振幅は電源電圧よりもかなり
小さな値に制限される。すなわち、     ΔVeo≦−0.9VEE−0.5ΔVin−
2VBE−ΔVRΔVeo:ECL回路の出力信号振幅 VEE  :電源電位 ΔVin:ECL回路の入力信号振幅 VBE  :トランジスタのベース・エミッタ間電圧Δ
VR  :抵抗R3に印加する電圧 の関係を満たす必要がある。ここで例えば、ΔVin=
0.6V、VBE=0.8V、ΔVR=0.4Vとし、
VEE=−4.5Vの場合と−3.0Vの場合とを比較
すると、ECL回路の出力信号振幅ΔVeoは、ΔVe
o≦1.75V    (VEE=−4.5V)ΔVe
o≦0.4V      (VEE=−3.0V)とな
り、低電源電圧化によりECL回路の出力振幅が急激に
減少することがわかる。特に電源電圧を−3.0Vまで
下げると、出力信号振幅はわずか0.4Vしか確保でき
なくなる。このため、レベル変換回路のトランジスタM
P1、MP2のオン抵抗が十分下がらず、動作速度は大
幅に低下する。
【0008】上記のように従来技術では、電源電圧を下
げた場合にECL回路の出力振幅が急激に減少するため
、レベル変換回路の動作速度が大幅に低下するという問
題があった。
【0009】また、0.4V程度の信号を高速に増幅で
きる従来回路として、アナログ回路で多用されるバイポ
ーラ差動増幅回路が考えられるが、従来の差動増幅回路
では、ECL回路と同程度の振幅の信号しか発生できな
いため、CMOS回路を駆動することができない。
【0010】本発明の目的は、素子(トランジスタ、抵
抗等)の微細化による素子耐圧の低下により、電源電圧
を下げた場合でも、動作速度が低下しないレベル変換回
路を得ることにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的は、出力端子に
コレクタを接続したpnpトランジスタ及びnpnトラ
ンジスタからなる増幅回路と、上記トランジスタのそれ
ぞれのベースをバイアスするバイアス回路と、入力信号
の交流成分及び直流成分を上記増幅回路に伝える信号伝
達回路とを有することにより達成される。
【0012】
【作用】本発明の半導体装置では、レベル変換回路の増
幅回路を相互コンダクタンスが大きいバイポーラトラン
ジスタにより構成しているので、入力信号の振幅が0.
4V程度でも高速動作が可能になる。これにより、低電
源電圧化によってECL回路の出力振幅が小さくなった
場合でも、動作速度が低下しないレベル変換回路を得る
ことができる。
【0013】また、コレクタ共通接続点の電位変化を制
限するクランプ回路を設けることにより、バイポーラト
ランジスタが飽和領域で動作することを防止でき、一層
の高速動作が可能になる。
【0014】さらに、本発明による半導体装置を半導体
メモリに適用すれば、低電源電圧動作と高速動作とを両
立した半導体メモリを実現することができる。
【0015】
【実施例】つぎに本発明の実施例を図面とともに説明す
る。図1は本発明による半導体装置の第1実施例として
基本構成を示す図、図2は従来技術を示す図、図3は本
発明の動作を説明する図、図4は本発明の第2実施例を
示す図、図5は本発明の第3実施例を示す図、図6は本
発明の第4実施例を示す図、図7は上記第3実施例と第
4実施例との動作を比較して説明する図、図8は本発明
の第5実施例を示す図である。図1に示す第1実施例は
レベル変換回路の部分のみを示しており、VeoはEC
L回路の出力信号、Voutはレベル変換回路の出力信
号、すなわち、次段のCMOS回路の駆動信号である。 また、STCは信号伝達回路、BP、BNはバイアス回
路、AMPは増幅回路である。信号伝達回路STCはE
CL回路の出力信号Veoの交流成分と直流成分の一部
分を増幅回路AMPに伝達するように働く。バイアス回
路BP、BNは増幅回路のバイポーラトランジスタQD
P、QDNがECL回路の出力信号Veoの変化に応じ
て、その導通状態が確実に切り換るように動作点を設定
する。増幅回路AMPはECL回路の出力信号Veoを
MOSトランジスタを駆動できる電圧まで増幅する働き
をする。
【0016】つぎに、図1および図3を用いて本実施例
の動作を説明する。なお、図3におけるVBP、VBN
はトランジスタQDP、QDNのベース電位、Icp、
Icnはそれぞれ上記トランジスタQDP、QDNのコ
レクタ電流を示している。
【0017】まず、ECL回路の出力信号Veoが低電
位の場合の定常状態を考える。信号伝達回路STCの抵
抗RIP、RINにより、上記出力信号Veoの直流成
分の一部分がトランジスタQDP、QDNのベースに伝
達されるので、ベース電位VBP、VBNは本回路の入
力端子Veoが開放である場合の電位(図3(a)に破
線で示す)よりも低い電位になっている。このため、ト
ランジスタQDPに僅かにコレクタ電流が流れ、トラン
ジスタQDNにはほとんどコレクタ電流が流れなくなる
(図3(b))。したがって、出力信号Voutは高電
位になっている。この場合のVoutの高電位Vout
(H)は、 Vout(H)=−VEC(sat,pnp)VEC(
sat,pnp):飽和状態におけるpnpトランジス
タのエミッタ・コレクタ間電圧となる。通常、VEC(
sat,pnp)は、0.1〜0.3V程度であるので
、出力信号の高電位は、−0.1〜−0.3V程度にな
る。
【0018】この状態から出力信号Veoが高電位に変
化すると、信号伝達回路STCの容量CIP、CINに
より出力信号Veoの交流成分がトランジスタQDP、
QDNのベースに伝達され、ベース電位VBP、VBN
は大きく上昇する。このため、トランジスタQDPはほ
ぼ完全に非導通状態になり、トランジスタQDNには大
きなコレクタ電流が流れ、出力Voutは高速に低電位
に変化する。この後、ベース電位VBP、VBNはバイ
アス回路の出力インピーダンス、抵抗RIP、RIN、
容量CIP、CINで決まる時定数で徐々に低下し、バ
イアス回路の出力インピーダンスと抵抗RIP、RIN
で決まる電位まで低下したところで定常状態になる。上
記定常状態では出力信号Veoが低電位であった場合と
は逆に、トランジスタQDPにはほとんどコレクタ電流
が流れず、トランジスタQDNに僅かにコレクタ電流が
流れているので、次にECL回路の出力信号Veoが変
化するまで、出力信号Voutには低電位が保持される
。この場合の出力信号Voutの低電位Vout(L)
は、 Vout(L)=VEE+VCE(sat,npn)V
CE(sat,npn):飽和状態におけるnpnトラ
ンジスタのコレクタ・エミッタ間電圧となる。通常、V
CE(sat,npn)は0.1〜0.3V程度である
から、出力信号の低電位は、VEE+0.1V〜VEE
+0.3V程度になる。
【0019】この状態から出力信号Veoが低電位に変
化すると、上記の場合とは逆にベース電位VBP、VB
Nは大きく低下する。このため、トランジスタQDPに
は大きなコレクタ電流が流れ、トランジQDNはほぼ完
全に非導通状態になり、出力Voutは高速に高電位に
変化する。この後、トランジスタのベース電位VBP、
VBNは定常電位まで徐々に上昇し、つぎにECL回路
の出力信号Veoが変化するまで、出力信号Voutに
は高電位が保持される。
【0020】ここで、本回路において必要な出力信号V
eoの振幅を考える。本回路では上記出力信号Veoに
よりトランジスタQDP、QDNの導通状態を切り換え
て上記Veoを増幅する。したがって、Veoはトラン
ジスタQDP、QDNの導通・非導通状態を切り換える
のに十分な振幅が必要である。例えば導通状態と非導通
状態との電流の比を10000とした場合に、必要な出
力信号Veoの振幅ΔVeoは、
【0021】
【数1】
【0022】k:ボルツマン定数 T:接合温度(ここでは300K) q:電子の電荷量 となり、僅か0.24Vの振幅で動作可能であることが
わかる。
【0023】上記説明のように、本発明によれば、EC
L回路の出力振幅がわずかに0.24Vでも高速動作が
可能なレベル変換回路を実現できる。したがって、低電
源電圧化によりECL回路の出力振幅が小さくなった場
合でも、動作速度が低下しないレベル変換回路を提供す
ることができる。
【0024】図4は本発明第2実施例を示す図であり、
レベル変換回路の出力Voutの電位変化を制限するク
ランプ回路を設けることにより、トランジスタQDP、
QDNが飽和領域で動作することを防止し、一層の高速
化を図った例である。本実施例は図1に示した第1実施
例にクランプ回路CLを付加したものであり、その他の
構成は図1と同じである。
【0025】つぎに本実施例の動作を図4を用いて説明
する。まず、レベル変換回路の出力Voutが高電位に
なる場合を考える。トランジスタQDPが飽和領域で動
作することを避けるには、通常、エミッタ・コレクタ間
電圧を0.5V以上にする必要がある。このために、ト
ランジスタQCLPのベース電位VCLPを、VCLP
=−0.5V−VBE VBE:トランジスタのベース・エミッタ間電圧に設定
する。これにより、上記出力Voutの電位が−0.5
Vまで上昇するとトランジスタQCLPが導通し、Vo
utの電位がそれ以上上昇しないようにクランプする。 したがって、トランジスタQDPのエミッタ・コレクタ
間電圧は0.5V以下にはならないので、飽和領域で動
作するのを避けることができる。
【0026】つぎに、出力Voutが低電位になる場合
を考える。この場合はトランジスタQCLPのベース電
位VCLNを VCLN=VEE+0.5V+VBE に設定する。これにより、出力Voutの電位が電源電
圧VEE+0.5Vまで低下するとトランジスタQCL
Nが導通し、出力Voutの電位がそれ以上低下しない
ようにクランプする。したがって、トランジスタQDN
のコレクタ・エミッタ間電圧は0.5V以下にはならな
いので、飽和領域で動作するのを避けることができる。 上記のようにクランプ回路CLによりバイポーラトラン
ジスタQDP、QDNが飽和領域で動作するのを防止で
きるので、図1に示す第1実施例よりもさらに高速動作
が可能になる。
【0027】図5は本発明の第3実施例を示す図であり
、バイアス回路の最も簡単な構成例を示したものである
。本実施例のバイアス回路、例えばBPは、2つの抵抗
RBP1、RBP2で構成され、バイアス電位VBPは
【0028】
【数2】
【0029】となるので、抵抗RBP1、RBP2の値
を適当に設定することで、任意の電位にバイアスするこ
とができる。
【0030】図6は本発明の第4実施例を示す図であり
、バイアス回路の他の構成例を示したものである。本実
施例のバイアス回路、例えばBPは、トランジスタQB
Pと抵抗RBP3で構成され、バイアス電位VBPはV
BP=VBBP+VBE となるので、VBBPの電位を適当に設定することで任
意の電位にバイアスすることができる。また、本実施例
によれば、図5に示す第3実施例よりも高速サイクル動
作が可能になる。つぎに、この理由を図7を用いて説明
する。図7(a)は図5に示す第3実施例の回路を高速
サイクルで動作させた場合の動作波形を示している。こ
こで問題になるのは、ECL回路の出力信号Veoが高
電位に変化しベース電位VBPが上昇したのちに、トラ
ンジスタQDPのベース電位VBPが定常電位まで低下
する前に出力信号Veoが切り換るため、上記ベース電
位が十分に低下しないことである。このため、トランジ
スタQDPに十分電流が流れず、レベル変換回路の出力
Voutの立上り時間が増加し、同図に示したように出
力Voutが高電位になる時間が消失してしまい、次段
のCMOS回路が誤動作をおこすという問題がある。
【0031】上記問題を避けるには、ベース電位VBP
を不必要に上昇させなければよい。すなわち、ベース電
位VBPはトランジスタQDNに流れる電流に対して、
トランジスタQDPの電流が無視できる程度に減少する
電位まで上昇させれば十分であって、それ以上ベース電
位VBPを上昇させることは、つぎのサイクルで出力信
号Veoが低電位に変化した時に、ベース電位VBPが
十分に低下せず、レベル変換回路の出力Voutの立上
り時間の増加を招く原因になる。そこで、図6に示す第
4実施例では、バイアス回路をトランジスタと抵抗とに
より構成することで、ベース電位VBPが不必要に上昇
しないようにトランジスタQBPでクランプし、上記問
題を回避している。つぎに、図6に示す第4実施例の動
作をトランジスタのベース電位VBP、VBNに着目し
て説明する。まず、出力信号Veoが高電位になるサイ
クルを考える。出力信号Veoが高電位に変化すると、
容量CIPにより出力信号Veoの交流成分が伝達され
ベース電位VBPが上昇するが、トランジスタQBPが
ベース電位VBPをクランプするため、図7(b)に示
すように不必要にベース電位VBPが上昇するのを避け
ることができる。また、出力信号Veoが低電位となる
サイクルでは、上記同様にトランジスタQBNがベース
電位VBNの電位をクランプするため、不必要にベース
電位VBNが低下することが避けられる。これにより、
上記問題が避けられ、図5に示す第3実施例よりも高速
サイクルの動作が可能になる。
【0032】図8は本発明の第5実施例を示す図であり
、本発明を半導体メモリのワード線駆動回路に適用した
例を示している。同図において、MC1、MCnはメモ
リセル、Wはワード線、B10、B11、Bn0、Bn
1はビット線、SA1、SAnはセンス回路、YD1、
YDnはビット線選択駆動回路、Oは出力回路である。 また、YS1、YSnはビット線選択信号、DI0、D
I1は書き込みデータ信号、DOはデータ出力信号であ
る。上記の回路部分は一般的に使用されるBiCMOS
メモリと同一であり、ここでは動作説明を省略する。P
Dはプリデコード回路、XDはデコード回路、LCはレ
ベル変換回路、WDはワードドライバである。ここで、
プリデコード回路PDおよびデコード回路XDはECL
回路で構成され、レベル変換回路LCでCMOSメモリ
セルを駆動するのに十分な振幅にレベル変換し、ワード
ドライバWDを介してワード線Wを駆動する。本実施例
の構成により、低電源電圧でも動作速度が低下しないB
iCMOSメモリを実現することができる。
【0033】また、ワードドライバWDはワード線Wに
エミッタを接続したnpnトランジスタとpnpトラン
ジスタとからなる。本ドライバは構成が簡単であり、か
つ、直流的に電流が流れないので消費電力が小さいとい
う長所があり、本発明のレベル変換回路LCと組み合わ
せるのに好適である。
【0034】なお、本実施例におけるレベル変換回路L
Cは、図8に示した構成に限定されるわけではなく、上
記記載のすべての実施例を適用することができる。
【0035】
【発明の効果】上記のように本発明による半導体装置お
よび半導体メモリは、出力端子にコレクタを接続したp
npトランジスタおよびnpnトランジスタからなる増
幅回路と、上記トランジスタのそれぞれのベースをバイ
アスするバイアス回路と、入力信号の交流成分および直
流成分を上記増幅回路に伝える信号伝達回路とを有する
半導体装置と該半導体装置を含む半導体メモリとしたこ
とにより、素子(トランジスタ、抵抗等)の微細化によ
る素子耐圧の低下によって、電源電圧を下げた場合でも
動作速度が低下しない、レベル変換回路の半導体装置を
得ることができるとともに、上記半導体装置を半導体メ
モリに適用することによって、低電源電圧でも動作速度
が低下しないBiCMOSメモリを実現することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体装置の第1実施例として基
本構成を示す図である。
【図2】従来技術のレベル変換回路を示す図である。
【図3】本発明の動作を説明する図で、(a)は電圧波
形を示し、(b)は電流波形を示す図である。
【図4】本発明による半導体装置の第2実施例を示す図
である。
【図5】本発明の第3実施例を示す図である。
【図6】本発明の第4実施例を示す図である。
【図7】上記第3実施例および第4実施例の動作を比較
説明する図で、(a)は第3実施例を示し、(b)は第
4実施例をそれぞれ示す図である。
【図8】本発明の第5実施例を示す図である。
【符号の説明】
AMP    増幅回路 BP、BN    バイアス回路 CL      クランプ回路 STC    信号伝達回路 Veo    ECL回路の出力信号

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】出力端子にコレクタを接続したpnpトラ
    ンジスタ及びnpnトランジスタからなる増幅回路と、
    上記トランジスタのそれぞれのベースをバイアスするバ
    イアス回路と、入力信号の交流成分及び直流成分を上記
    増幅回路に伝える信号伝達回路とを有する半導体装置。
  2. 【請求項2】上記信号伝達回路は、並列接続した容量と
    抵抗とを有することを特徴とする請求項1記載の半導体
    装置。
  3. 【請求項3】上記出力端子は、電位変化をクランプ回路
    によって制限されることを特徴とする請求項1記載の半
    導体装置。
  4. 【請求項4】上記バイアス回路は、エミッタをバイアス
    点に接続したトランジスタと、一端をバイアス点に接続
    した抵抗とを有することを特徴とする請求項1記載の半
    導体装置。
  5. 【請求項5】上記請求項1から請求項4までのいずれか
    に記載した半導体装置を含む半導体メモリ。
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