JPH0425561B2 - - Google Patents
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- JPH0425561B2 JPH0425561B2 JP8482182A JP8482182A JPH0425561B2 JP H0425561 B2 JPH0425561 B2 JP H0425561B2 JP 8482182 A JP8482182 A JP 8482182A JP 8482182 A JP8482182 A JP 8482182A JP H0425561 B2 JPH0425561 B2 JP H0425561B2
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- JP
- Japan
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- cascade
- raw material
- signal
- comparing
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
- G05B13/02—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、分離装置を多数用いて構成されるカ
スケードが数多く並列に接続されて運転されるプ
ラントにおける起動時の運転制御方式及び制御装
置に関する。
スケードが数多く並列に接続されて運転されるプ
ラントにおける起動時の運転制御方式及び制御装
置に関する。
気体状の同位体を分離する分離装置は、単機で
処理しうる流量が少なく、また分離係数（供給さ
れた原料に含まれる特定成分の濃度と、濃縮され
たものの濃度の存在比の比）が１に近いので、第
１図に示す如く配管網にて接続してカスケードを
構成し、ガス中の特定成分の濃度を所定の濃度に
まで濃縮する。
処理しうる流量が少なく、また分離係数（供給さ
れた原料に含まれる特定成分の濃度と、濃縮され
たものの濃度の存在比の比）が１に近いので、第
１図に示す如く配管網にて接続してカスケードを
構成し、ガス中の特定成分の濃度を所定の濃度に
まで濃縮する。
第１図において、１iはｉ段の分離装置、２iは
ｉ段のフイードヘツダ、３iはｉ段のプロダクト
ヘツド、４i段のウエストヘツダ、５は原料供給
管である。各段の分離装置は、それぞれの段にお
いてフイードヘツダ、プロダクトヘツダ、ウエス
トヘツダに並列に接続されている。ｉ段のフイー
ドヘツダ２iへ供給されたガスは、ｉ段の分離装
置１iへそれぞれ供給され、濃縮されたガスはプ
ロダクトヘツダ３i、減損したガスはウエストヘ
ツダ４iへ排気される。このとき、供給されたガ
スのうちのプロダクト側へ排気される割合はカツ
トと呼ばれる。
ｉ段のフイードヘツダ、３iはｉ段のプロダクト
ヘツド、４i段のウエストヘツダ、５は原料供給
管である。各段の分離装置は、それぞれの段にお
いてフイードヘツダ、プロダクトヘツダ、ウエス
トヘツダに並列に接続されている。ｉ段のフイー
ドヘツダ２iへ供給されたガスは、ｉ段の分離装
置１iへそれぞれ供給され、濃縮されたガスはプ
ロダクトヘツダ３i、減損したガスはウエストヘ
ツダ４iへ排気される。このとき、供給されたガ
スのうちのプロダクト側へ排気される割合はカツ
トと呼ばれる。
そして、ｉ段のプロダクトヘツダ３iに集めら
れたガスはｉ＋１段のフイードヘツダ２i+1へ流
れ、同様にｉ段のウエストヘツダ４iに集められ
たガスはｉ−１段のフイードヘツダ２i-1へ送ら
れる。ｉ＋１段の分離装置１ｉ＋１へ供給された
ガスは、更に濃縮されるが、各分離装置の濃縮す
る場合の分離係数と減損する場合の分離係数の等
しくすれば、ｉ＋１段の減損ガスの濃度は、ｉ段
のフイード濃度に等しくなり、混合損失はなくな
る。
れたガスはｉ＋１段のフイードヘツダ２i+1へ流
れ、同様にｉ段のウエストヘツダ４iに集められ
たガスはｉ−１段のフイードヘツダ２i-1へ送ら
れる。ｉ＋１段の分離装置１ｉ＋１へ供給された
ガスは、更に濃縮されるが、各分離装置の濃縮す
る場合の分離係数と減損する場合の分離係数の等
しくすれば、ｉ＋１段の減損ガスの濃度は、ｉ段
のフイード濃度に等しくなり、混合損失はなくな
る。
このようなカスケードは数多く並列に接続して
運転するプラントの構成を第２図に示す。第２図
において、１１jはｊ番カスケード、１２jはｊ番
原料供給管、１３jはｊ番製品取出管、１４jはｊ
番廃品取出管、１５jはｊ番調節弁、１６は原料
供給装置である。
運転するプラントの構成を第２図に示す。第２図
において、１１jはｊ番カスケード、１２jはｊ番
原料供給管、１３jはｊ番製品取出管、１４jはｊ
番廃品取出管、１５jはｊ番調節弁、１６は原料
供給装置である。
原料供給装置１６から供給された原料ガスは、
並列に接続された各カスケードの原料供給管１２
ｊへ分配される。それらのガスは各カスケード１
１jにより濃縮されて製品取出管１３jより取出さ
れ、集められて図示されていない回収装置により
捕集される。
並列に接続された各カスケードの原料供給管１２
ｊへ分配される。それらのガスは各カスケード１
１jにより濃縮されて製品取出管１３jより取出さ
れ、集められて図示されていない回収装置により
捕集される。
このプラントを起動する場合の流量及び濃度の
時間的な変化を第３図及び第４図に示す。第３図
は、起動時に原料供給量を定格値に保つた場合の
製品及び廃品流量の時間変化を示したものであ
る。このように、定常状態に達するまでに長時間
を要するのは、分離状態のカツトが流量に依存し
て変化するためである。
時間的な変化を第３図及び第４図に示す。第３図
は、起動時に原料供給量を定格値に保つた場合の
製品及び廃品流量の時間変化を示したものであ
る。このように、定常状態に達するまでに長時間
を要するのは、分離状態のカツトが流量に依存し
て変化するためである。
第５図は、分離装置の流量とカツトの関係式を
示したものである。この図に示されている如く、
分離装置の流量が少ない状態においてはカツトが
小さく、そのためにカスケードにおいては製品流
量が多くなるまでに、長時間を要することにな
る。
示したものである。この図に示されている如く、
分離装置の流量が少ない状態においてはカツトが
小さく、そのためにカスケードにおいては製品流
量が多くなるまでに、長時間を要することにな
る。
第４図は、第３図に示された流量の時間変化に
対応した製品濃度の時間変化を示したものであ
る。この図に示されている如く、製品濃度が一時
的に極めて高い値になるのは、分離装置の分離係
数が流量に依存して変化するためである。
対応した製品濃度の時間変化を示したものであ
る。この図に示されている如く、製品濃度が一時
的に極めて高い値になるのは、分離装置の分離係
数が流量に依存して変化するためである。
第６図は、分離装置の流量と分離係数の関係を
示したものである。このように、流量が少ない状
態では分離係数の値が大きくなるので、起動時の
初期に各段の分離装置の流量が多くない状態にお
いて、過渡的に高い濃度の製品が少量ではあるが
発生する。
示したものである。このように、流量が少ない状
態では分離係数の値が大きくなるので、起動時の
初期に各段の分離装置の流量が多くない状態にお
いて、過渡的に高い濃度の製品が少量ではあるが
発生する。
このように、規格外の高濃度の製品を生ずるこ
とは、ガスの種類によつては化学的あるいは物理
的に危険な状態に陥る可能性もある。そのために
このような現象をできる限り低減することが必要
となつてきた。
とは、ガスの種類によつては化学的あるいは物理
的に危険な状態に陥る可能性もある。そのために
このような現象をできる限り低減することが必要
となつてきた。
以上のようなことを鑑み、本発明は、複数個の
カスケードを、相互の関係を考慮に入れて総合的
に制御することにより、起動時の過渡的現象とし
て、前記各カスケードにおけるウエスト側とプロ
ダクト側からの流入流量の不足による製品の品質
の劣化を最小化とし得るカスケードの起動制御方
法を提供することを目的とする。
カスケードを、相互の関係を考慮に入れて総合的
に制御することにより、起動時の過渡的現象とし
て、前記各カスケードにおけるウエスト側とプロ
ダクト側からの流入流量の不足による製品の品質
の劣化を最小化とし得るカスケードの起動制御方
法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明では、気体状
の同位体の分離装置を多数個用いて構成されるカ
スケードと、該カスケードの原料配給管のフイー
ドヘツダに設けられた圧力計と、該カスケードの
原料配給管に設けられた流量計及び流量調節弁
と、それらの圧力計及び流量計の信号によつてそ
れぞれの流量調節弁の開度を決定する演算装置と
からなるものを複数個用いたものにおいて、 前記カスケードに設けた前記圧力計で測定し
た信号と予め設定された圧力設定値を比較しい
ずれか大きな圧力偏差信号を出力する第１のプ
ロセスと、 前記カスケードに設けた前記流量計で測定し
た信号と予め設定された流量設定値を比較しい
ずれか大きな圧力偏差信号を出力する第２のプ
ロセスと、 前記カスケードのうち１つのカスケードに対
して、前記圧力偏差信号と前記流量偏差信号を
比較しいずれか大きな偏差信号に基づき該カス
ケードの前記流量調整弁の開度を調節する第３
のプロセスと、 前記複数個のカスケードのうち残りのカスケ
ードに対して、前記圧力偏差信号と前記流量偏
差信号を比較しいずれか大きな偏差信号に基づ
き設定される前記残りのカスケードに供給され
る気体状の同位体の流量の総和と、原料供給装
置の原料供給可能な上限値とを比較する第４の
プロセスと、 前記上限値以内の流量となるように前記残り
のカスケードのうちの幾つかのカスケードの前
記流量調整弁の開度を調節する第５のプロセス
と、 前記起動中のカスケードへの原料供給流量が
減少した場合に、前記上限値を超えない様に前
記停止中の残りのカスケードの前記流量調製弁
の開度を順次調節する第６のプロセスから構成
したものである。
の同位体の分離装置を多数個用いて構成されるカ
スケードと、該カスケードの原料配給管のフイー
ドヘツダに設けられた圧力計と、該カスケードの
原料配給管に設けられた流量計及び流量調節弁
と、それらの圧力計及び流量計の信号によつてそ
れぞれの流量調節弁の開度を決定する演算装置と
からなるものを複数個用いたものにおいて、 前記カスケードに設けた前記圧力計で測定し
た信号と予め設定された圧力設定値を比較しい
ずれか大きな圧力偏差信号を出力する第１のプ
ロセスと、 前記カスケードに設けた前記流量計で測定し
た信号と予め設定された流量設定値を比較しい
ずれか大きな圧力偏差信号を出力する第２のプ
ロセスと、 前記カスケードのうち１つのカスケードに対
して、前記圧力偏差信号と前記流量偏差信号を
比較しいずれか大きな偏差信号に基づき該カス
ケードの前記流量調整弁の開度を調節する第３
のプロセスと、 前記複数個のカスケードのうち残りのカスケ
ードに対して、前記圧力偏差信号と前記流量偏
差信号を比較しいずれか大きな偏差信号に基づ
き設定される前記残りのカスケードに供給され
る気体状の同位体の流量の総和と、原料供給装
置の原料供給可能な上限値とを比較する第４の
プロセスと、 前記上限値以内の流量となるように前記残り
のカスケードのうちの幾つかのカスケードの前
記流量調整弁の開度を調節する第５のプロセス
と、 前記起動中のカスケードへの原料供給流量が
減少した場合に、前記上限値を超えない様に前
記停止中の残りのカスケードの前記流量調製弁
の開度を順次調節する第６のプロセスから構成
したものである。
つまり、単独のカスケードの最適な運転制御方
式を基として、複数個のカスケードを順次起動す
ることにより、プラントの製品濃度が高くならな
いようにすることを可能としたものである。
式を基として、複数個のカスケードを順次起動す
ることにより、プラントの製品濃度が高くならな
いようにすることを可能としたものである。
以下、本発明の一実施例を説明する。
第７図は、単独のカスケードの制御系を示した
ものである。図において、１７jはｊ番目のカス
ケードに設けられた圧力計、１８jはｊ番流量計、
２０は加算器、２１jはｊ番圧力設定値、２２jは
ｊ番流量設定値、２３jはｊ番高値選択器、２４j
はｊ番操作器である。
ものである。図において、１７jはｊ番目のカス
ケードに設けられた圧力計、１８jはｊ番流量計、
２０は加算器、２１jはｊ番圧力設定値、２２jは
ｊ番流量設定値、２３jはｊ番高値選択器、２４j
はｊ番操作器である。
圧力計１７jは、ｊ番目のカスケードの原料供
給段フイードヘツダに設けられている。圧力計１
７jで測定された信号は、圧力設定値２１jと比較
され、偏差信号が高値選択器２３jへ入力される。
同様に流量計１８jの信号は、設定値２２jと比較
され、偏差信号が高値選択器２３jへ入力される。
高値選択器では、それぞれの入力信号を弁開度信
号に交換した後に、いずれか大きな値を出力信号
とする。
給段フイードヘツダに設けられている。圧力計１
７jで測定された信号は、圧力設定値２１jと比較
され、偏差信号が高値選択器２３jへ入力される。
同様に流量計１８jの信号は、設定値２２jと比較
され、偏差信号が高値選択器２３jへ入力される。
高値選択器では、それぞれの入力信号を弁開度信
号に交換した後に、いずれか大きな値を出力信号
とする。
起動時には、フイードヘツダ２i流入するガス
のうち、ｉ＋１段のウエスト側からの流量及びｉ
−１段のプロダクト側からの光量が大きくないた
めに、原料供給管１２jを経て供給されるガス流
量は、数倍にも達する。従つて、フイードヘツダ
２iの圧力を一定にするように原料供給流量が制
御される。
のうち、ｉ＋１段のウエスト側からの流量及びｉ
−１段のプロダクト側からの光量が大きくないた
めに、原料供給管１２jを経て供給されるガス流
量は、数倍にも達する。従つて、フイードヘツダ
２iの圧力を一定にするように原料供給流量が制
御される。
その場合、原料供給段のフイード流量は定格値
となるために、カツトや分離係数もほぼ定格値に
なる。従つて、製品濃度も極端に高い値になるこ
とはなくなる。第８図は、流量及び濃度の時間的
な変化を示したものである。図に示されているよ
うに、製廃品流量も、短時間のうちに定常状態に
達し、高濃度の製品が生じることを低減できる。
となるために、カツトや分離係数もほぼ定格値に
なる。従つて、製品濃度も極端に高い値になるこ
とはなくなる。第８図は、流量及び濃度の時間的
な変化を示したものである。図に示されているよ
うに、製廃品流量も、短時間のうちに定常状態に
達し、高濃度の製品が生じることを低減できる。
次に、多数のカスケードの流量制御の一実施例
について説明する。
について説明する。
第９図において、２５は弁開度制御器、他のも
のは、既に説明済みのものである。図において、
各カスケードの原料供給段フイードヘツダ圧力計
１７jの信号及び原料供給流量計１８jの信号は弁
開度制御器にそれぞれ入力され、内部で演算処理
された後に、各弁の操作信号として調節弁１５j
へ送られる。
のは、既に説明済みのものである。図において、
各カスケードの原料供給段フイードヘツダ圧力計
１７jの信号及び原料供給流量計１８jの信号は弁
開度制御器にそれぞれ入力され、内部で演算処理
された後に、各弁の操作信号として調節弁１５j
へ送られる。
各カスケードの運転は、第８図に示した如く、
原料供給流量を制御できれば良いが、原料供給装
置１６の供給能力は一般に定格近辺に設計され
る。しかるに、各カスケードに定格の数倍は流す
必要があるので、全カスケードを同時に起動する
ことはできない。そこで、いくつかのカスケード
については、同時に起動するが、他のものは停止
状態で待機させておくことにする。そして、起動
したカスケードへ供給すべき流量が減少した時点
で、残りのカスケードを順次起動してゆく。
原料供給流量を制御できれば良いが、原料供給装
置１６の供給能力は一般に定格近辺に設計され
る。しかるに、各カスケードに定格の数倍は流す
必要があるので、全カスケードを同時に起動する
ことはできない。そこで、いくつかのカスケード
については、同時に起動するが、他のものは停止
状態で待機させておくことにする。そして、起動
したカスケードへ供給すべき流量が減少した時点
で、残りのカスケードを順次起動してゆく。
第１０図は、弁開度制御装置内における信号の
演算処理を示したものであり、前述の起動方式を
実現するものである。図のおいて、３１jはｊ番
板圧力設定器、３２jはｊ番板流量設定値、３３
は原料供給上限値、３４は高値選択器、３５は低
値選択器である。ここで、各カスケードの圧力信
号１７jは、圧力設定値３１jと比較されて偏差信
号が高値選択器３４へ入力されるとともに、流量
信号１８jも、流量設定値３２jと比較されて偏差
信号が高値選択器３４へ入力される。これらの信
号はそれぞれ弁開度信号に変換されたうえで大き
な値の信号が出力される。高値選択器３４の出力
信号は１番目のカスケード以外は、低値選択器３
５に入力される。
演算処理を示したものであり、前述の起動方式を
実現するものである。図のおいて、３１jはｊ番
板圧力設定器、３２jはｊ番板流量設定値、３３
は原料供給上限値、３４は高値選択器、３５は低
値選択器である。ここで、各カスケードの圧力信
号１７jは、圧力設定値３１jと比較されて偏差信
号が高値選択器３４へ入力されるとともに、流量
信号１８jも、流量設定値３２jと比較されて偏差
信号が高値選択器３４へ入力される。これらの信
号はそれぞれ弁開度信号に変換されたうえで大き
な値の信号が出力される。高値選択器３４の出力
信号は１番目のカスケード以外は、低値選択器３
５に入力される。
ｊ番目のカスケードにおいては、ｊ−１番目ま
でのカスケードの流量の総和を求め、その値が原
料供給装置の上限値に達していなければｊ番目の
カスケードにおいても、原料を供給しうるわけで
あるから、その偏差以内の範囲で供給しうる。従
つて、ｊ−１番目までの流量の総和と、供給能力
上限値３３の偏差信号を、低値選択器３５に入力
し、弁開度に換算した値と高値選択器３４の出力
のうち小さな値を実際の弁開度信号として各弁１
５jを操作する。
でのカスケードの流量の総和を求め、その値が原
料供給装置の上限値に達していなければｊ番目の
カスケードにおいても、原料を供給しうるわけで
あるから、その偏差以内の範囲で供給しうる。従
つて、ｊ−１番目までの流量の総和と、供給能力
上限値３３の偏差信号を、低値選択器３５に入力
し、弁開度に換算した値と高値選択器３４の出力
のうち小さな値を実際の弁開度信号として各弁１
５jを操作する。
これらの信号処理は、次式で表わすことができ
る。
る。
Vj＝min（max（fP（Pj、j）、fg（gj、j））、
fg（j-1
〓i-1
ここで、Vjはｊ番目の弁開度信号
Pjはｊ番目の圧力信号
jはｊ番目の圧力設定値
gjはｊ番目の流量信号
jはｊ番目の流量設定値
gFは原料供給上限値
fP（Ｐ、）は設定値との偏差（−Ｐ）を
弁開度信号に換算する関数。
弁開度信号に換算する関数。
fg（ｇ、）は設定値との偏差（−ｇ）を
弁開度信号に換算する関数。
弁開度信号に換算する関数。
である。
第１１図は、本発明によるプラント起動時のカ
スケードの原料供給流量、プラント全体の原料供
給流量、製品濃度の時間変化を示したものであ
る。１番からｊ−１番までのカスケードは同時に
起動するが、ｊ番目のカスケードはｊ−１番目ま
でのカスケードの供給流量が減少するにつれて供
給流量を増加することができる。そして、最大値
に達した後に減少し始めると、ｊ＋１番目のカス
ケードを起動することができるようになる。
スケードの原料供給流量、プラント全体の原料供
給流量、製品濃度の時間変化を示したものであ
る。１番からｊ−１番までのカスケードは同時に
起動するが、ｊ番目のカスケードはｊ−１番目ま
でのカスケードの供給流量が減少するにつれて供
給流量を増加することができる。そして、最大値
に達した後に減少し始めると、ｊ＋１番目のカス
ケードを起動することができるようになる。
このように起動することによつて、製品濃度は
初期に多少大きくなるものの極端に大きくなるこ
とはない。また、途中からｊ番目以降のカスケー
ドにおいて生じる濃度の大きな製品は、量が少な
いために全体への影響は小さくほとんど無視しう
る。
初期に多少大きくなるものの極端に大きくなるこ
とはない。また、途中からｊ番目以降のカスケー
ドにおいて生じる濃度の大きな製品は、量が少な
いために全体への影響は小さくほとんど無視しう
る。
以上述べた実施例の演算部は、アナログ演算回
路によつて実現し得るが、デイジタル計算機によ
る制御も可能である。
路によつて実現し得るが、デイジタル計算機によ
る制御も可能である。
本発明によれば、各カスケードが短時間のうち
に定常状態に達するので、規格以外の濃度の製品
の量を少なくすることができ、経済的有利であ
る。
に定常状態に達するので、規格以外の濃度の製品
の量を少なくすることができ、経済的有利であ
る。
第１図はカスケードの配管網と遠心機の関係を
示す略図、第２図は多数のカスケードの接続関係
を示す略図、第３図は従来の起動方式による流量
の時間変化を示す線図、第４図は従来の起動方式
による製品濃度の時間変化を示す線図、第５図は
分離装置の流量とカツトの関係を示す線図、第６
図は分離装置の分離係数の関係を示す線図、第７
図は単独のカスケードの制御方式の一例を示す略
図、第８図は第７図の制御方式による起動時の流
量及び濃度の時間変化を示す線図、第９図は多数
のカスケードの流量制御計の構成を示す略図、第
１０図は各カスケードの流量調節弁の弁開度制御
器の信号処理を示す略図、第１１図は第１０図の
制御方式による各カスケードの原料供給流量、ブ
ラント全体の原料供給流量及び製品濃度の時間変
化を示す線図である。 １……分離装置、２〜４……ヘツダ、５……原
料供給管、１１…カスケード、１５……調節弁。
示す略図、第２図は多数のカスケードの接続関係
を示す略図、第３図は従来の起動方式による流量
の時間変化を示す線図、第４図は従来の起動方式
による製品濃度の時間変化を示す線図、第５図は
分離装置の流量とカツトの関係を示す線図、第６
図は分離装置の分離係数の関係を示す線図、第７
図は単独のカスケードの制御方式の一例を示す略
図、第８図は第７図の制御方式による起動時の流
量及び濃度の時間変化を示す線図、第９図は多数
のカスケードの流量制御計の構成を示す略図、第
１０図は各カスケードの流量調節弁の弁開度制御
器の信号処理を示す略図、第１１図は第１０図の
制御方式による各カスケードの原料供給流量、ブ
ラント全体の原料供給流量及び製品濃度の時間変
化を示す線図である。 １……分離装置、２〜４……ヘツダ、５……原
料供給管、１１…カスケード、１５……調節弁。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 気体状の同位体の分離装置を多数個用いて構
成されるカスケードと、該カスケードの原料配給
管のフイードヘツダに設けられた圧力計と、該カ
スケードの原料配給管に設けられた流量計及び流
量調節弁と、それらの圧力計及び流量計の信号に
よつてそれぞれの流量調節弁の開度を決定する演
算装置とからなるものを複数個用いたものにおい
て、以下のプロセスから成るカスケードの起動制
御方法。 前記カスケードに設けた前記圧力計で測定し
た信号値と予め設定された圧力設定値を比較し
いずれか大きな圧力偏差信号を出力する第１の
プロセスと、 前記各カスケードに設けた前記流量計で測定
した信号と予め設定された流量設定値を比較し
いずれか大きな流量偏差信号を出力する第２の
プロセスと、 前記複数個のカスケードのうち１つのカスケ
ードに対して、前記圧力偏差信号と前記流量偏
差信号を比較しいずれか大きな偏差信号に基づ
き該カスケードの前記流量調整弁の開度を調節
する第３のプロセスと、 前記複数個のカスケードのうち残りのカスケ
ードに対して、前記圧力偏差信号と前記流量偏
差信号を比較しいずれか大きな偏差信号に基づ
き設定される前記残りのカスケードに供給され
る気体状の同位体の流量の総和と、原料供給装
置の原料供給可能な上限値とを比較する第４の
プロセスと、 前記上限値以内の流量となるように前記残り
のカスケードのうちの幾つかのカスケードの前
記流量調整弁の開度を調節する第５のプロセス
と、 前記起動中のカスケードへの原料供給流量が
減少した場合に、前記上限値を超えない様に前
記停止中の残りのカスケードの前記流量調整弁
の開度を順次調節する第６のプロセス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8482182A JPS58203505A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | カスケ−ドの起動制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8482182A JPS58203505A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | カスケ−ドの起動制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58203505A JPS58203505A (ja) | 1983-11-28 |
| JPH0425561B2 true JPH0425561B2 (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=13841408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8482182A Granted JPS58203505A (ja) | 1982-05-21 | 1982-05-21 | カスケ−ドの起動制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58203505A (ja) |
-
1982
- 1982-05-21 JP JP8482182A patent/JPS58203505A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58203505A (ja) | 1983-11-28 |
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