JPH04255652A - 蛍光表示管 - Google Patents
蛍光表示管Info
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- JPH04255652A JPH04255652A JP1785991A JP1785991A JPH04255652A JP H04255652 A JPH04255652 A JP H04255652A JP 1785991 A JP1785991 A JP 1785991A JP 1785991 A JP1785991 A JP 1785991A JP H04255652 A JPH04255652 A JP H04255652A
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- film
- conductor
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Links
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Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は蛍光表示管に関し、特に
、Ａｌ膜に反射防止処理を施した平面発光型の蛍光表示
管に関する。
、Ａｌ膜に反射防止処理を施した平面発光型の蛍光表示
管に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の反射防止処理を施した平面発光型
の蛍光表示管（以下ＮＲ平面発光蛍光表示管と記す）は
、図３の従来の蛍光表示管の陽極基板に示すように、透
光性絶縁基板１上に有色薄膜６及びＡｌ膜による配線導
体及び陽極導体７を配設し、更に、陽極導体部に蛍光体
層５、その他の部分に絶縁層４を配設する構造であった
。
の蛍光表示管（以下ＮＲ平面発光蛍光表示管と記す）は
、図３の従来の蛍光表示管の陽極基板に示すように、透
光性絶縁基板１上に有色薄膜６及びＡｌ膜による配線導
体及び陽極導体７を配設し、更に、陽極導体部に蛍光体
層５、その他の部分に絶縁層４を配設する構造であった
。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のＮＲ平面発
光型蛍光表示管は、Ａｌ膜とは別に反射防止膜として、
有色薄膜を被着しており、Ａｌ膜と有色薄膜との異種材
料を使用するので、次のような問題点があった。
光型蛍光表示管は、Ａｌ膜とは別に反射防止膜として、
有色薄膜を被着しており、Ａｌ膜と有色薄膜との異種材
料を使用するので、次のような問題点があった。
【０００４】（１）有色薄膜には、被着時に有色となる
だけでなく、Ａｌ膜，透光性絶縁基板と密着性が良く、
しかも、エッチング加工性の良い材料を選ぶ必要がある
。
だけでなく、Ａｌ膜，透光性絶縁基板と密着性が良く、
しかも、エッチング加工性の良い材料を選ぶ必要がある
。
【０００５】（２）Ａｌ膜及び有色薄膜のエッチング加
工には、概して、各々別のエッチング液を使用しなけれ
ばならず、互いに、ダメージを与えない選択性のあるエ
ッチング液を選ばなければならない。
工には、概して、各々別のエッチング液を使用しなけれ
ばならず、互いに、ダメージを与えない選択性のあるエ
ッチング液を選ばなければならない。
【０００６】（３）有色薄膜には、蛍光表示管としての
特性を損なわない（蛍光体等を劣化させない）材料を選
ばなければならない。
特性を損なわない（蛍光体等を劣化させない）材料を選
ばなければならない。
【０００７】本発明の目的は、密着性とエッチング加工
性が良く、特性の優れた蛍光表示管を提供することにあ
る。
性が良く、特性の優れた蛍光表示管を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、透光性絶縁基
板の一方の面に金属薄膜による配線導体及び透光性の陽
極導体を配設し、該陽極導体上にフィラメント状の陰極
から放出される電子の射突により発光する蛍光体層が被
着されて該蛍光体層の発光を前記透光性の陽極導体及び
前記透光性絶縁基板を通して、該透光性絶縁基板の他方
の面側から観察する蛍光表示管において、前記透光性絶
縁基板上に金属及び金属化合物からなる超微粒子状と多
孔質状のうちのいずれか一方の薄膜による配線導体及び
陽極導体が具備されている。
板の一方の面に金属薄膜による配線導体及び透光性の陽
極導体を配設し、該陽極導体上にフィラメント状の陰極
から放出される電子の射突により発光する蛍光体層が被
着されて該蛍光体層の発光を前記透光性の陽極導体及び
前記透光性絶縁基板を通して、該透光性絶縁基板の他方
の面側から観察する蛍光表示管において、前記透光性絶
縁基板上に金属及び金属化合物からなる超微粒子状と多
孔質状のうちのいずれか一方の薄膜による配線導体及び
陽極導体が具備されている。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１は本発明の第１の実施例の陽極基板の
要部断面図である。
要部断面図である。
【００１１】第１の実施例は、図１に示すように、透光
性絶縁基板１上に、１μｍの膜厚で全体に亘って無反射
Ａｌ膜による配線導体及び陽極導体２を配設し、陽極導
体上に蛍光体層５、その他の部分に絶縁層４を配設した
構造となっている。
性絶縁基板１上に、１μｍの膜厚で全体に亘って無反射
Ａｌ膜による配線導体及び陽極導体２を配設し、陽極導
体上に蛍光体層５、その他の部分に絶縁層４を配設した
構造となっている。
【００１２】図２は本発明の第２の実施例の陽極基板の
要部断面図である。
要部断面図である。
【００１３】第２の実施例が図１に示す第１の実施例と
異なる点は、図２に示すように、無反射Ａｌ膜による配
線導体及び陽極導体２が、透光性絶縁基板１側の表面層
のみ無反射Ａｌ膜を形成した無反射Ａｌ膜による配線導
体及び陽極導体３に変更した点であり、この無反射Ａｌ
膜による配線導体及び陽極導体３は、Ａｌ膜厚１μｍの
うち透光性絶縁基板側の５００オングストロームが反射
防止処理されたものである。
異なる点は、図２に示すように、無反射Ａｌ膜による配
線導体及び陽極導体２が、透光性絶縁基板１側の表面層
のみ無反射Ａｌ膜を形成した無反射Ａｌ膜による配線導
体及び陽極導体３に変更した点であり、この無反射Ａｌ
膜による配線導体及び陽極導体３は、Ａｌ膜厚１μｍの
うち透光性絶縁基板側の５００オングストロームが反射
防止処理されたものである。
【００１４】Ａｌ膜を反射防止処理する方法として、以
下のいずれかの方法でＮ又はＯ原子を多量に含んだＡｌ
膜を形成し、それを熱処理することにより、微粒子状又
は多孔質状の膜を形成する。この膜は、光学的散乱によ
り、反射防止効果を持つ。
下のいずれかの方法でＮ又はＯ原子を多量に含んだＡｌ
膜を形成し、それを熱処理することにより、微粒子状又
は多孔質状の膜を形成する。この膜は、光学的散乱によ
り、反射防止効果を持つ。
【００１５】（１）Ａｌ膜の一部又は全体をＮ２ 雰囲
気中で加熱（約４００〜６００℃）する。
気中で加熱（約４００〜６００℃）する。
【００１６】（２）Ａｌターゲットを使用し、Ｎ２ ＋
Ａｒ雰囲気中又はＯ２ ＋Ａｒ雰囲気中（流量比Ｎ２
／Ａｒ＝３／７，Ｏ２ ／Ａｒ＝２／８），圧力約２〜
１０Ｔｏｒｒでリアクティブスパッタにより得られる膜
（１００〜１０００オングストローム）上に純粋なＡｌ
スパッタ膜（約１μｍ）を形成し熱処理（２００〜６０
０℃）を行なう。
Ａｒ雰囲気中又はＯ２ ＋Ａｒ雰囲気中（流量比Ｎ２
／Ａｒ＝３／７，Ｏ２ ／Ａｒ＝２／８），圧力約２〜
１０Ｔｏｒｒでリアクティブスパッタにより得られる膜
（１００〜１０００オングストローム）上に純粋なＡｌ
スパッタ膜（約１μｍ）を形成し熱処理（２００〜６０
０℃）を行なう。
【００１７】（３）ＡｌＮ又はＡｌ２ Ｏ３ ターゲッ
トを使用し、各々Ｎ２ ＋Ａｒ，Ｏ２ ＋Ａｒ雰囲気中
で作製されたＡｌＮｘ ，ＡｌＯｘ （ｘは０＜ｘ＜１
の値）リアクティブスパッタ膜上に、純粋なＡｌスパッ
タ膜（約１μｍ）を形成し、熱処理（２００〜６００℃
）を行なう。
トを使用し、各々Ｎ２ ＋Ａｒ，Ｏ２ ＋Ａｒ雰囲気中
で作製されたＡｌＮｘ ，ＡｌＯｘ （ｘは０＜ｘ＜１
の値）リアクティブスパッタ膜上に、純粋なＡｌスパッ
タ膜（約１μｍ）を形成し、熱処理（２００〜６００℃
）を行なう。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来のＡ
ｌ膜と有色薄膜という異種材料による２層構造から、Ａ
ｌ膜と同種材料の１層又は２層構造に変更したので、以
下の様な効果を有する。
ｌ膜と有色薄膜という異種材料による２層構造から、Ａ
ｌ膜と同種材料の１層又は２層構造に変更したので、以
下の様な効果を有する。
【００１９】（１）無反射Ａｌ膜は、一般の蛍光表示管
の陽極基板に使用しているＡｌ膜と同種材料のみで作製
されているので、透光性絶縁基板との密着性及びエッチ
ング加工性は全く問題なく良好である。
の陽極基板に使用しているＡｌ膜と同種材料のみで作製
されているので、透光性絶縁基板との密着性及びエッチ
ング加工性は全く問題なく良好である。
【００２０】（２）１種類のしかも従来より使用してい
るＡｌ膜の同種材料なので、従来のＡｌエッチング液の
みで、一度に加工できる（従来は、有色薄膜エッチング
は別加工）。
るＡｌ膜の同種材料なので、従来のＡｌエッチング液の
みで、一度に加工できる（従来は、有色薄膜エッチング
は別加工）。
【００２１】（３）１種類のしかも従来より使用してい
るＡｌ膜の同種材料なので、蛍光表示管としての特性を
損なう（蛍光体等の劣化）心配は全くない。
るＡｌ膜の同種材料なので、蛍光表示管としての特性を
損なう（蛍光体等の劣化）心配は全くない。
【００２２】（４）従来の有色薄膜エッチングのような
別エッチング液による別加工がないので、Ａｌ膜のダメ
ージの恐れがまったくない。
別エッチング液による別加工がないので、Ａｌ膜のダメ
ージの恐れがまったくない。
【００２３】（５）有色薄膜の別加工がないので工程短
縮及び有色薄膜用材料，エッチング液不使用によりコス
ト低減が可能である。
縮及び有色薄膜用材料，エッチング液不使用によりコス
ト低減が可能である。
【図１】本発明の第１の実施例の陽極基板の要部断面図
である。
である。
【図２】本発明の第２の実施例の陽極基板の要部断面図
である。
である。
【図３】従来の蛍光表示管の陽極基板の一例の要部断面
図である。
図である。
１ 透光性絶縁基板
２，３ 無反射Ａｌ膜による配線導体及び陽極導
体４ 絶縁層 ５ 蛍光体層 ６ 有色薄膜
体４ 絶縁層 ５ 蛍光体層 ６ 有色薄膜
Claims (2)
- 【請求項１】 透光性絶縁基板の一方の面に金属薄膜
による配線導体及び透光性の陽極導体を配設し、該陽極
導体上にフィラメント状の陰極から放出される電子の射
突により発光する蛍光体層が被着されて該蛍光体層の発
光を前記透光性の陽極導体及び前記透光性絶縁基板を通
して、該透光性絶縁基板の他方の面側から観察する蛍光
表示管において、前記透光性絶縁基板上に金属及び金属
化合物からなる超微粒子状と多孔質状のうちのいずれか
一方の薄膜による配線導体及び陽極導体とを具備するこ
とを特徴とする蛍光表示管。 - 【請求項２】 前記金属及び金属化合物がアルミニウ
ム（Ａｌ）を主材料として構成されていることを特徴と
する請求項１記載の蛍光表示管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1785991A JPH04255652A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 蛍光表示管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1785991A JPH04255652A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 蛍光表示管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04255652A true JPH04255652A (ja) | 1992-09-10 |
Family
ID=11955385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1785991A Pending JPH04255652A (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | 蛍光表示管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04255652A (ja) |
-
1991
- 1991-02-08 JP JP1785991A patent/JPH04255652A/ja active Pending
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