JPH04256809A - 面積式流量計 - Google Patents

面積式流量計

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JPH04256809A
JPH04256809A JP3658391A JP3658391A JPH04256809A JP H04256809 A JPH04256809 A JP H04256809A JP 3658391 A JP3658391 A JP 3658391A JP 3658391 A JP3658391 A JP 3658391A JP H04256809 A JPH04256809 A JP H04256809A
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JP
Japan
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float
fluororesin
flowmeter
area
flow rate
Prior art date
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Pending
Application number
JP3658391A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Otani
健 大谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rion Co Ltd
Original Assignee
Rion Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、面積式流量計に関し
、さらに詳しくいうと、テーパ管内のフロートの位置を
検知して流体流量を測定する面積式流量計に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の面積式流量計として、例
えば、実開平2−77632号公報に記載されたものが
ある。面積式流量計は、管内を流れる流体の流量を測定
するのに、図示のように、上方に広がる透明なテーパ管
1を鉛直に設定し、テーパ管1の下方から流体2を流し
、テーパ管1内のフロート3が流量に依存して上下する
という原理を利用するものである。
【0003】一方、半導体など電子工業の製造分野では
、フッ化水素酸や塩酸等の腐食性の強い薬品が用いられ
ている。このような薬品の流量測定に、ポリテトラフロ
ロエチレン(PTFE)などのフッ素樹脂で、フロート
3などの接液部を形成した面積式流量計が使用されてい
る。フッ素樹脂は、耐薬品性に関しては良好な物性を有
するが、表面が疎水性で水に濡れにくい性質がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の面
積式流量計では、接液部の表面が疎水性を有するフッ素
樹脂であるため、水溶液薬品等を流した場合、接液部に
気泡が付着する。例えば図示のようにフロート3に気泡
4が付着すると、フロート3の浮力が不定に増大したり
、流路の狭小化などを招き、流量測定の精度に大きな誤
差を生じるという問題点があった。
【0005】この発明は上記の課題を解決するためにな
されたもので、フッ素樹脂でなる接液部に気泡が付着す
るのを防止することができる面積式流量計を得ることを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る面積式流
量計は、フッ素樹脂のエッチング剤でフロートなどの接
液部に表面処理を施し、親水性を与えたものである。
【0007】
【作用】この発明においては、接液部表面が親水性を有
するので、気泡の付着を防止する。
【0008】
【実施例】以下、この発明の一実施例について説明する
。フッ素樹脂でなるフロートの表面に親水性を与えるエ
ッチング剤としては、例えば、テトラエッチ(株式会社
潤工社の商品名)がある。このエッチング剤をフロート
の表面に塗布すると、フッ素樹脂表面からフッ素原子が
脱離し、水酸基(−OH)、カルボニル基(−C=O)
、カルボキシル基(−COOH)等の電気的に極性を有
する親水性の基で置換される。これによりフッ素樹脂で
なるフロートの表面が水に濡れ易くなり、気泡が付着し
にくくなる。
【0009】また、二次効果として、表面処理によりフ
ッ素樹脂表面の色調が、白色あるいは乳白色から茶褐色
に変色するため、目視でフロート位置を読取る方式の流
量計にあっては、フロートの視認性が向上する。
【0010】なお、上記実施例ではフロートに表面処理
を施す場合について説明したが、フロートに限らずテー
パ管内壁など、フッ素樹脂でなる他の接液部をエッチン
グ処理しても同様の効果がある。
【0011】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明によれば、フッ素樹脂でなる接液部にエッチング処理
を施して親水性を与えることにより、接液部が親水性に
なり、気泡の付着を防止して測定精度を向上することが
できる。
【0012】
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の面積式流量計の要部縦断面図である。
【符号の説明】
1  テーパ管 3  フロート

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  被測定流体が流れるテーパ管内のフロ
    ートの位置により流量を検出する面積式流量計において
    、フッ素樹脂でなる接液部をエッチング処理して親水性
    を与えてなることを特徴とする面積式流量計。
JP3658391A 1991-02-07 1991-02-07 面積式流量計 Pending JPH04256809A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002236043A (ja) * 2001-02-08 2002-08-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流量計測装置
JP2010243245A (ja) * 2009-04-02 2010-10-28 Tokyo Keiso Co Ltd 超音波流量計

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CA2060767A1 (en) 1992-08-08

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