JPH0425872U - - Google Patents

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JPH0425872U
JPH0425872U JP6699190U JP6699190U JPH0425872U JP H0425872 U JPH0425872 U JP H0425872U JP 6699190 U JP6699190 U JP 6699190U JP 6699190 U JP6699190 U JP 6699190U JP H0425872 U JPH0425872 U JP H0425872U
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silicon
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differential pressure
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るシリコン注入圧制御機構
を有する多結晶シリコンシート製造装置の略示構
成説明図、第２図は従来の多結晶シリコンシート
製造装置を示す要部縦断正面説明図、第３図は当
該製造装置に付設された従来のシリコン注入圧制
御機構を例示した略示構成説明図である。 １ａ……不活性雰囲気、３……坩堝、３ｂ……
坩堝の気相部、４……モールドノズル、６……引
出手段、１０……圧力調整タンク、１１……主連
通パイプ、１１ａ……主開閉バルブ、１２……差
圧計、１３……第１連通パイプ、１４……電動バ
ルブ、１４ａ……電気的開閉制御端子、１５……
第２連通パイプ、１７……増巾器、１８……ＰＩ
Ｄ制御器、Ｇ……加圧用ガス、ＭＳｉ……シリコ
ンシート、Ｓｉ……溶融シリコン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 不活性雰囲気内にシリコン母材を溶融し、当該
    溶融シリコンにガス圧をかけるようにした坩堝と
    、当該坩堝から圧送される上記溶融シリコンを受
    容するモールドノズルと、当該モールドノズル内
    にて当該シリコンシートは固化されることにより
    形成されたシリコンシートを、連続的に引き出す
    引出手段とが具備されている多結晶シリコンシー
    ト製造装置において、上記坩堝の気相部と圧力調
    整タンクとを、主開閉バルブをもつた主連通パイ
    プにより連結すると共に、当該圧力調整タンクに
    は、夫々第１連通パイプを介して差圧計を、第２
    連通パイプを介して入口側から加圧用ガスが導入
    される電動バルブの出口側を連結し、上記差圧計
    の電気的出力側が増巾器を介してＰＩＤ制御器の
    入力側に接続され、さらに、当該ＰＩＤ制御器の
    出力側を、前記電動バルブの電気的な開閉制御端
    子に接続してなる多結晶シリコンシート製造装置
    におけるシリコン注入圧制御機構。
JP6699190U 1990-06-25 1990-06-25 多結晶シリコンシート製造装置におけるシリコン注入圧制御機構 Expired - Lifetime JPH0711178Y2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997013010A1 (fr) * 1995-09-29 1997-04-10 Union Material Inc. Procede pour fabriquer des cristaux formes par une injection de liquide avec pression verticale

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997013010A1 (fr) * 1995-09-29 1997-04-10 Union Material Inc. Procede pour fabriquer des cristaux formes par une injection de liquide avec pression verticale
US5885345A (en) * 1995-09-29 1999-03-23 Union Material Inc. Method of fabricating shaped crystals by overhead-pressure liquid injection

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