JPH0426455Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、ウエハ処理に用いる拡散炉の関す
るもので、更に述べると拡散炉の炉壁と反応管と
の間に用いる防塵防熱ブロツクである。

従来の技術 拡散炉は、ヒーターチヤンバのヒータで、プロ
セスチユーブなどの反応管を加熱し、反応管内の
ウエハを熱処理するものである。

この反応管は、防熱ブロツクの反応管挿入口に
挿入して、炉壁に固定し、反応管の熱が直接炉壁
に伝わるのを防止している。

この防熱ブロツクは、珪藻土のレンガで形成さ
れ、かつ、その反応管挿入口は反応管挿入の関係
上、反応管の径より大きな径に形成されている。

考案が解決しようとする問題点 しかし、従例の防熱ブロツクでは、反応管挿入
口と反応管との隙間からヒーターチヤンバの熱が
炉外に流出するおそれがある。又、珪藻土で作つ
た防熱ブロツクは、もろく、くずれやすいのでこ
のくずれた部分がゴミとなり、前記隙間を通り、
炉壁に隣接するクリーンルームに入り、該クリー
ンルームを汚染するおそれがある。

問題点を解決するための手段 本考案は、連通口を形成した防熱ブロツクを、
前記連通口を除いて、耐熱繊維で被覆し、該耐熱
繊維に、前記連通口の開口部の上部を覆う隙間封
止部材を設け、上記問題点を解決せんとするもの
である。

作 用 防熱ブロツクを被覆する耐熱繊維は、防熱ブロ
ツクによるゴミの発生を防止すると共に防熱作用
を増大せしめ、炉壁への熱伝導を遮断する。又、
隙間封止部材は、ヒーターチヤンバとクリーンル
ームとの連絡を遮断し、ヒーターチヤンバの熱や
ゴミがクリーンルームに流入するのを防止する。

実施例 以下、本考案の実施例を添附図面により説明す
る。

図において、１は拡散炉、２は、反応管３を加
熱するヒーターチンバ、４は、防塵、防熱ブロツ
クである。この防塵、防熱ブロツク４は、防熱ブ
ロツク５と耐熱繊維６および隙間封止部材７によ
り構成されている。

防熱ブロツク５は、内径Ｄの連通口８を有し、
その材質は、ラセミツクフアイバなどの高温耐熱
材料である。この防熱ブロツク５と連通口８以外
の外表面、即ち、外周面５ａと両方の端面５ｂ
は、シリカなどの耐熱繊維６で覆われている。

連通口８の両方の開口部８ａの上部には、耐熱
繊維６と接続する隙間封止部材７が設けられてい
る。この隙間封止部材７は、前記耐熱繊維６と同
質の材料を用い、弛みをもつた三日月型に形成す
るが、この三日月型は、連通口８と外径ｄの反応
管３との間に生じる隙間ｔを封止できる大きさに
する。

拡散炉の炉壁１ａに、反応管３を挿入した防
塵、防熱ブロツク４を固定し、ヒーターチヤンバ
２のヒータ（図示せず）を作動させ、反応管３の
加熱を行なう。

ヒーターチンバ２内の熱は、隙間ｔからクリー
ンルーム９に流出しようとするが、隙間封止部材
７が反応管３の上部外周面と当接し、隙間ｔを遮
断しているのでクリーンルーム９に流出すること
ができない。

又、仮に、防熱ブロツク５に塵芥が生じても、
耐熱繊維６に包まれるので、外部への流出が防止
される。

更に、ヒーターチヤンバ２内に塵芥が生じて
も、前記隙間封止部材７があるので、クリーンル
ーム９へ流れこむことはない。

他の実施例 本考案は、上記実施例に限定されるものではな
く、例えば隙間封止部材７は、耐熱繊維６と異な
る材質の耐熱繊維でもよく、又、この封止部材７
は、一方の開口部８ａにのみ設けてもよい。

又、防塵防熱ブロツク４は、第３図に鎖線で示
した４ａの様に、クリーンルーム９側に突出して
いる反応管３の突出部３ａの外周を覆う様に形成
すると、突出部３ａからの放熱を防止することが
できる。

考案の効果 この考案は、以上のように連通口を形成した防
熱ブロツクを、前記連通口を除いて、耐熱繊維で
被覆したので防熱作用は、防熱ブロツクと耐熱繊
維とにより二重に行なわれ、著しい防熱効果を得
ることができる。

又、防熱ブロツクが仮にくずれても、耐熱繊維
に包まれているので、塵芥は、外部に流出すこと
がない。

更に、本考案は、耐熱繊維に、連通口の開口部
の上部を覆う隙間封止部材を設けたので、該隙間
は、封止され、炉内と炉外の連通が遮断される。

従つて、ヒーターチヤンバの熱の炉外流出を防
止でき、熱の有効利用ができると共に、仮にヒー
ターチヤンバ内に塵芥が生じても、この塵芥がク
リーンルームに流れ込むのを防止でき、クリーン
ルームをクリーンに維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す斜視図、第２
図は、第１図の防熱ブロツクを示す斜視図、第３
図は、本考案の防塵防熱ブロツクの使用状態を示
す縦断面図である。 １……拡散炉、４……防塵防熱ブロツク、５…
…防熱ブロツク、６……耐熱繊維、７……隙間封
止部材、８……連通口、８ａ……開口部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 連通口を形成した防熱ブロツクを、前記連通
   口を除いて、耐熱繊維で被覆し、該耐熱繊維
   に、前記連通口の開口部の上部を覆う隙間封止
   部材を設けたことを特徴とする拡散炉の防塵防
   熱ブロツク。 ２ 耐熱繊維が、シリカであることを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の拡散炉の
   防塵防熱ブロツク。 ３ 隙間封止部材が、弛みをもつた耐熱繊維であ
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
   １項記載の拡散炉の防塵防熱ブロツク。 ４ 隙間封止部材が、両方の開口部に設けられて
   いることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
   第１項記載の拡散炉の防塵防熱ブロツク。 ５ 隙間封止部材が一方の開口部に設けられてい
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
   １項記載の拡散炉の防塵防熱ブロツク。 ６ 隙間封止部材が、前記耐熱繊維と同一の材質
   であることを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第１項記載の拡散炉の防塵防熱ブロツク。 ７ 隙間封止部材が、前記耐熱繊維と異なる材質
   であることを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第１項記載の拡散炉の防塵防熱ブロツク。