JPH0426542U - - Google Patents

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JPH0426542U
JPH0426542U JP6764090U JP6764090U JPH0426542U JP H0426542 U JPH0426542 U JP H0426542U JP 6764090 U JP6764090 U JP 6764090U JP 6764090 U JP6764090 U JP 6764090U JP H0426542 U JPH0426542 U JP H0426542U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るウエーハボート位置検出
装置の要部のみを略示的に示した説明図、第２図
は同要部の更に一部を示す説明図、第３図は一般
的に使用されている熱処理装置の略示的斜視図、
第４図は同装置のウエーハボート移載機における
要部を示す説明図、第５図は一般的なウエーハボ
ートの正面図である。 ４……ウエーハボート、４ａ……支持溝、１１
……ウエーハ移載機、１６……ウエーハ、２１…
…基準部材、２２……突起、２３……検出手段、
２４……接触子。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエーハボートのウエーハ支持溝と、ウエ
    ーハ移載機のウエーハ位置とを一致させるウエー
    ハボート位置検出装置であつて、前記ウエーハボ
    ートの基準部材と、該基準部材に当接して位置を
    検出する検出手段とを具備し、該検出手段の接触
    子をウエーハボートと同質の材料で形成したこと
    を特徴とするウエーハボートの位置検出装置。 (2) 検出手段の当接部が、ウエーハボートと同
    質の材料に代えて、サフアイヤー又はダイヤモン
    ドから選ばれる１種の素材から形成されている請
    求項(1)記載のウエーハボートの位置検出装置。
JP6764090U 1990-06-26 1990-06-26 ウェーハボートの位置検出装置 Expired - Lifetime JP2522981Y2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003273199A (ja) * 2002-03-13 2003-09-26 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置に於ける基板保持具変形確認方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003273199A (ja) * 2002-03-13 2003-09-26 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置に於ける基板保持具変形確認方法

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JP2522981Y2 (ja) 1997-01-22

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