JPH0426772A - 無電解銅めっき方法 - Google Patents
無電解銅めっき方法Info
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- JPH0426772A JPH0426772A JP13081790A JP13081790A JPH0426772A JP H0426772 A JPH0426772 A JP H0426772A JP 13081790 A JP13081790 A JP 13081790A JP 13081790 A JP13081790 A JP 13081790A JP H0426772 A JPH0426772 A JP H0426772A
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- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 35
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 46
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 46
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 15
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 6
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 claims description 8
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 claims description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 4
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 4
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims 1
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 5
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 abstract description 2
- 229910002666 PdCl2 Inorganic materials 0.000 abstract 3
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 abstract 2
- AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L tin(II) chloride (anhydrous) Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sn+2] AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- 229910021592 Copper(II) chloride Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 abstract 1
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000012085 test solution Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 150000002941 palladium compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium peroxydisulfate Substances [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 2
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 2
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- NGNBDVOYPDDBFK-UHFFFAOYSA-N 2-[2,4-di(pentan-2-yl)phenoxy]acetyl chloride Chemical class CCCC(C)C1=CC=C(OCC(Cl)=O)C(C(C)CCC)=C1 NGNBDVOYPDDBFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- -1 organic acid compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 1
- 230000001235 sensitizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、無電解銅めっき方法に関する。
プリント配線板は、銅張り積層板に穴あけを施した後、
無電解銅めっきを行なうことで製造される。一般に無電
解銅めっきの前処理工程は、次のような工程で行なわれ
る。
無電解銅めっきを行なうことで製造される。一般に無電
解銅めっきの前処理工程は、次のような工程で行なわれ
る。
銅張り積層板に穴明は後、脱脂・洗浄工程を行ない、次
に銅表面をエツチングし、稀硫酸で洗い塩化パラジウム
・塩化スズ等を含む増刊剤に浸漬した後、密着促進剤で
基板表面に付着している金属不純物(Sn”−αスズ酸
)を取り除くと供にパラジウム化合物を金属パラジウム
に還元さゼ、無電解銅めっき液に投入して銅を析出させ
る。
に銅表面をエツチングし、稀硫酸で洗い塩化パラジウム
・塩化スズ等を含む増刊剤に浸漬した後、密着促進剤で
基板表面に付着している金属不純物(Sn”−αスズ酸
)を取り除くと供にパラジウム化合物を金属パラジウム
に還元さゼ、無電解銅めっき液に投入して銅を析出させ
る。
本発明は、ガラス質部への胴折性を向上させ、密着性1
めっき付き回り性が充分である無電解銅めっき方法を提
供しようとするものである。
めっき付き回り性が充分である無電解銅めっき方法を提
供しようとするものである。
無電解めっき前処理工程は、被めっき材として銅張り積
層板(スルーホール)又は多層板を脱脂・洗浄し、銅表
面をエツチング後、稀硫酸処理し、塩化パラジウム、塩
化スズ等を含む増感剤で浸漬後、密着促進剤に浸漬する
。ここでパラジウム化合物を金属パラジウムに還元し、
無電解銅めっきに投入し銅を析出させる。
層板(スルーホール)又は多層板を脱脂・洗浄し、銅表
面をエツチング後、稀硫酸処理し、塩化パラジウム、塩
化スズ等を含む増感剤で浸漬後、密着促進剤に浸漬する
。ここでパラジウム化合物を金属パラジウムに還元し、
無電解銅めっきに投入し銅を析出させる。
本発明者等は、これら工程の中で密着促進剤について硫
酸、有機酸、塩化第二銅を主成分とする水溶液で処理す
ることで、下地銅と析出銅の密着性の向上と、スルーボ
ール内のめっき付き回り性(バンクライト法)が良く、
更に液の長寿命により、液中の金属不純物増によるざら
つきの発生がない、無電解銅めっき方法を見出した。
酸、有機酸、塩化第二銅を主成分とする水溶液で処理す
ることで、下地銅と析出銅の密着性の向上と、スルーボ
ール内のめっき付き回り性(バンクライト法)が良く、
更に液の長寿命により、液中の金属不純物増によるざら
つきの発生がない、無電解銅めっき方法を見出した。
密着促進剤は、増感剤処理された被めっき板上の表面に
付着したSn4+(α−スズ酸)の除去することで、下
地銅と析出銅との密着性を向上させる。又、スルーホー
ル内のめっき付きまわりにも良好である。
付着したSn4+(α−スズ酸)の除去することで、下
地銅と析出銅との密着性を向上させる。又、スルーホー
ル内のめっき付きまわりにも良好である。
本発明の成分である硫酸は、上記特性でα−スズ酸の除
去効果があり、又、塩化第二銅は被めっき板の銅被を溶
解することで下地銅との密着性を向上させる効果がある
。
去効果があり、又、塩化第二銅は被めっき板の銅被を溶
解することで下地銅との密着性を向上させる効果がある
。
硫酸と有機酸の化合物の水溶液では、密着性が劣る。そ
の為に塩化第二銅を添加することで密着性の向上を見出
した。
の為に塩化第二銅を添加することで密着性の向上を見出
した。
これは下地銅表面を溶解することで、金属不純物を落と
す効果があり、金属銅の表面が露出され、下地銅と析出
銅の密着性を上げる。
す効果があり、金属銅の表面が露出され、下地銅と析出
銅の密着性を上げる。
−i特性を充分満足させる為には次の成分による組成が
最も望ましい。
最も望ましい。
硫酸濃度は30 m 1! / 1以上が望ましく、有
機酸は5モル/l以下、塩化第二銅がo、ooo。
機酸は5モル/l以下、塩化第二銅がo、ooo。
01〜0100001モル/lの範囲が良好である。
以下本発明の詳細な結果を実施例等により説明する。
実施例1
板厚1.6m、銅箔厚35μmのガラス・エポキシ銅張
り積層板(日立MCL−467)にφ1゜0の穴をあけ
被めっき板とした。
り積層板(日立MCL−467)にφ1゜0の穴をあけ
被めっき板とした。
無電解銅めっきの工程は次の通りとした。
薬液はすべて日立化成工業側社製の中から使用した。
CLC−301(60℃)→湯洗(50℃)→水洗−過
硫酸アンモニウムー水洗−稀硫酸一水洗−PD−201
−M5−2028−水洗一供試液1−水洗−Cust−
201=水洗−電解銅めっき 供試液1は次の組成のものを用いた。
硫酸アンモニウムー水洗−稀硫酸一水洗−PD−201
−M5−2028−水洗一供試液1−水洗−Cust−
201=水洗−電解銅めっき 供試液1は次の組成のものを用いた。
硫酸 35 m A / Rクエン酸
10g/j! 塩化第二w4 0.0308// (2価銅)水で1
1に稀釈 実施例2 実施例1と同じ被めっき板を用い、銅めっきを行なった
。
10g/j! 塩化第二w4 0.0308// (2価銅)水で1
1に稀釈 実施例2 実施例1と同じ被めっき板を用い、銅めっきを行なった
。
供試液は次の組成の供試液2を用いた。
硫酸 35 m l / 1クエン酸
3 g / j! 塩化第二銅 0.10g/A (2価銅)水で17
!に稀釈 比較例1 実施例1と同じ被めっき板を用い、同じ工程で銅めっき
を行なった。供試液は日立密着促進剤ADP−202を
用いた。
3 g / j! 塩化第二銅 0.10g/A (2価銅)水で17
!に稀釈 比較例1 実施例1と同じ被めっき板を用い、同じ工程で銅めっき
を行なった。供試液は日立密着促進剤ADP−202を
用いた。
比較例2
実施例Iと同じ被めっき板を用い、同じ工程で銅めっき
を行なった。供試液は日立密着促進剤ADP−301を
用いた。
を行なった。供試液は日立密着促進剤ADP−301を
用いた。
特性評価については、下記方法で行なった。
(スルーホール内めっき付き回り性)
実施例1に記しためっき工程で、無電解銅めっきのCu
5t−201まで行なった後、被めっき板をスルーホー
ル部を図のように切断した物を顕微鏡で確認し、光の透
過度をチエツクした。ガラス部に銅の析出がない場合、
光が透ける。
5t−201まで行なった後、被めっき板をスルーホー
ル部を図のように切断した物を顕微鏡で確認し、光の透
過度をチエツクした。ガラス部に銅の析出がない場合、
光が透ける。
(下地銅と析出銅の密着性)
実施例1に記しためっき工程においては密着性はすべて
良好となり、密着不良の発生はない。
良好となり、密着不良の発生はない。
そこで、実施例Iのめっき工程で過硫酸アンモニウムに
よるエツチングを行なわないことにした。
よるエツチングを行なわないことにした。
その後、電解銅めっきを行ない、端部よりカッター等で
引刺しを行ない、下地銅と析出銅との間での剥れを確認
する。密着性が悪い場合、引剥しした後に下地銅が残存
する。
引刺しを行ない、下地銅と析出銅との間での剥れを確認
する。密着性が悪い場合、引剥しした後に下地銅が残存
する。
(ざらつき)
実施例1に記した供試液にCu2゛イオンを添加し、処
理することで、下地銅表面が酸化し易い条件でCu5t
−201に投入し、電気銅めっきまで行ない、表面のざ
らつきの有無を確認する。
理することで、下地銅表面が酸化し易い条件でCu5t
−201に投入し、電気銅めっきまで行ない、表面のざ
らつきの有無を確認する。
以上の結果について表1に示した。
表
($1) O:剥れなし
〔発明の効果〕
実施例から、過度な状況下においても、被めっき板表面
のざらつきの発生はな(、液の長寿命に連がる。
のざらつきの発生はな(、液の長寿命に連がる。
又、下地銅と析出銅との密着性及びスルーボール内めっ
き析出性も良好である。
き析出性も良好である。
比較例1はスルーボール内めっき析出性が劣っており、
更に、比較例2は過度な状況でざらつきの発生が見られ
た。
更に、比較例2は過度な状況でざらつきの発生が見られ
た。
以上の結果から、本発明の無電解銅めっき方法が優れた
特性であることが判った。
特性であることが判った。
Claims (3)
- 1.被めっき物を塩化パラジウム及び塩化スズを含む増
感剤で処理した後、銅の溶解速度が毎時1ppm/l以
上の早さである水溶液の密着促進剤で処理することを特
徴とする無電解銅めっき方法。 - 2.特許請求の範囲第1項に記載の主成分は、硫酸,有
機酸,塩化第二銅を含む水溶液であることを特徴とする
無電解銅めっき方法。 - 3.特許請求の範囲第1項に記載の密着促進剤の水溶液
の濃度が硫酸0.01モル〜5モル/l,有機酸5モル
/l以下,塩化第二銅0.000001/0.0000
1モル/lであることを特徴とする無電解銅めっき方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13081790A JPH0426772A (ja) | 1990-05-21 | 1990-05-21 | 無電解銅めっき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13081790A JPH0426772A (ja) | 1990-05-21 | 1990-05-21 | 無電解銅めっき方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426772A true JPH0426772A (ja) | 1992-01-29 |
Family
ID=15043409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13081790A Pending JPH0426772A (ja) | 1990-05-21 | 1990-05-21 | 無電解銅めっき方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0426772A (ja) |
-
1990
- 1990-05-21 JP JP13081790A patent/JPH0426772A/ja active Pending
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