JPH04268441A - フーリエ変換赤外分光分析計 - Google Patents
フーリエ変換赤外分光分析計Info
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- JPH04268441A JPH04268441A JP3050853A JP5085391A JPH04268441A JP H04268441 A JPH04268441 A JP H04268441A JP 3050853 A JP3050853 A JP 3050853A JP 5085391 A JP5085391 A JP 5085391A JP H04268441 A JPH04268441 A JP H04268441A
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料に対して光源から
光を照射し、そのとき得られる吸収スペクトルに基づい
て試料中に含まれる成分の濃度を分析する分光分析装置
に関する。
光を照射し、そのとき得られる吸収スペクトルに基づい
て試料中に含まれる成分の濃度を分析する分光分析装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、この種の分光分析装置の一例で
ある従来のＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外線分析装置）
１の概略的な構成を示したものである。このＦＴ−ＩＲ
１は分析部２と、この分析部２の出力であるインタフェ
ログラムを処理するデータ処理部３とで構成されている
。
ある従来のＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外線分析装置）
１の概略的な構成を示したものである。このＦＴ−ＩＲ
１は分析部２と、この分析部２の出力であるインタフェ
ログラムを処理するデータ処理部３とで構成されている
。
【０００３】上記分析部２は平行な赤外ビームを発する
ように構成された光源４と、ビームスプリッタ５、固定
ミラー６、可動ミラー７からなる干渉機構８と、測定試
料などを収容し、干渉機構８を介して光源４からの赤外
ビームが照射されるセル９と、半導体検出器などよりな
る検出器１０とで構成されている。
ように構成された光源４と、ビームスプリッタ５、固定
ミラー６、可動ミラー７からなる干渉機構８と、測定試
料などを収容し、干渉機構８を介して光源４からの赤外
ビームが照射されるセル９と、半導体検出器などよりな
る検出器１０とで構成されている。
【０００４】データ処理部３は吸収スペクトルを算出す
るスペクトル演算部１１と、算出された吸収スペクトル
をランバートベールの法則に当てはめて測定試料中に含
まれる成分の濃度を算出する定量演算部１２とからなる
。
るスペクトル演算部１１と、算出された吸収スペクトル
をランバートベールの法則に当てはめて測定試料中に含
まれる成分の濃度を算出する定量演算部１２とからなる
。
【０００５】さらに、上記スペクトル演算部１１は、例
えばインタフェロブラムを加算平均する加算平均処理部
１３、この加算平均処理部１３からの出力データに高速
でフーリエ変換を施す高速フーリエ変換処理部１４、こ
の高速フーリエ変換処理部１４からの出力データに基づ
いて測定対象成分に関するスペクトル演算を行う演算部
１５などから構成されている。
えばインタフェロブラムを加算平均する加算平均処理部
１３、この加算平均処理部１３からの出力データに高速
でフーリエ変換を施す高速フーリエ変換処理部１４、こ
の高速フーリエ変換処理部１４からの出力データに基づ
いて測定対象成分に関するスペクトル演算を行う演算部
１５などから構成されている。
【０００６】このように構成されたＦＴ−ＩＲ１では、
セル９に試料を収容して、試料のインタフェログラムが
測定される。データ処理部３の前段のスペクトル演算部
１１では、このインタフェログラムをフーリエ変換して
パワースペクトルつまり試料を透過してきた光のスペク
トルを求め、次にこのスペクトルとバックグラウンドの
パワースペクトルとの比、つまり試料が無い状態でのパ
ワースペクトルに対する試料のパワースペクトルの比を
求め、この値を吸光度スケールに変換することによって
吸収スペクトルが算出される。
セル９に試料を収容して、試料のインタフェログラムが
測定される。データ処理部３の前段のスペクトル演算部
１１では、このインタフェログラムをフーリエ変換して
パワースペクトルつまり試料を透過してきた光のスペク
トルを求め、次にこのスペクトルとバックグラウンドの
パワースペクトルとの比、つまり試料が無い状態でのパ
ワースペクトルに対する試料のパワースペクトルの比を
求め、この値を吸光度スケールに変換することによって
吸収スペクトルが算出される。
【０００７】データ処理部３の後段の定量演算部１２で
は、算出された吸収スペクトルをランバートベールの法
則に当てはめることによって、測定対象の試料に含まれ
る成分の濃度が算出される。このランバートベールの法
則は、吸光度が測定成分の濃度に比例するという法則で
あり、以下のように表される。
は、算出された吸収スペクトルをランバートベールの法
則に当てはめることによって、測定対象の試料に含まれ
る成分の濃度が算出される。このランバートベールの法
則は、吸光度が測定成分の濃度に比例するという法則で
あり、以下のように表される。
【０００８】
Ａ＝ε・Ｃ・Ｌ
……（１）
ここで、Ａは測定される試料の吸光度、εは試料の吸収
係数、Ｃは試料の濃度、Ｌは試料を透過する光路長であ
る。 （１）式を用いて、上記成分濃度の算出は概略的に以下
のように求められる。
……（１）
ここで、Ａは測定される試料の吸光度、εは試料の吸収
係数、Ｃは試料の濃度、Ｌは試料を透過する光路長であ
る。 （１）式を用いて、上記成分濃度の算出は概略的に以下
のように求められる。
【０００９】予め、測定すべき試料と同じ試料でその濃
度Ｃｒ が既知の比較試料について、吸収スペクトル（
以下、参照スペクトルと呼ぶ）Ａｒが求められる。（１
）式から、この場合の参照スペクトルＡｒ と濃度Ｃｒ
との間には、次式、 Ａｒ ＝ε・Ｃｒ ・Ｌ
……（２）
が成り立つ。
度Ｃｒ が既知の比較試料について、吸収スペクトル（
以下、参照スペクトルと呼ぶ）Ａｒが求められる。（１
）式から、この場合の参照スペクトルＡｒ と濃度Ｃｒ
との間には、次式、 Ａｒ ＝ε・Ｃｒ ・Ｌ
……（２）
が成り立つ。
【００１０】次に、濃度Ｃｓ が未知の測定すべき試料
の吸収スペクトルＡｓ が求められる。この場合も、（
１）式から、吸収スペクトルＡｓ と濃度Ｃｓ との間
には、次式、 Ａｓ ＝ε・Ｃｓ ・Ｌ
……（３）
が成り立つ。そこで、（２）式と（３）式とから、次式
、 Ｃｓ ＝（Ａｓ ／Ａｒ ）・Ｃｒ
……（４）が成
り立つ。上記データ処理部３の定量演算部１２では、参
照スペクトルＡｒ 、吸収スペクトルＡｓ および既知
濃度Ｃｒ を上記（４）式に当てはめることによって、
測定すべき試料の成分濃度Ｃｓ が算出される。
の吸収スペクトルＡｓ が求められる。この場合も、（
１）式から、吸収スペクトルＡｓ と濃度Ｃｓ との間
には、次式、 Ａｓ ＝ε・Ｃｓ ・Ｌ
……（３）
が成り立つ。そこで、（２）式と（３）式とから、次式
、 Ｃｓ ＝（Ａｓ ／Ａｒ ）・Ｃｒ
……（４）が成
り立つ。上記データ処理部３の定量演算部１２では、参
照スペクトルＡｒ 、吸収スペクトルＡｓ および既知
濃度Ｃｒ を上記（４）式に当てはめることによって、
測定すべき試料の成分濃度Ｃｓ が算出される。
【００１１】なお、一般的に、ＦＴ−ＩＲ１のデータ処
理部３には、各種成分について求めた参照スペクトルＡ
ｒ とこれに対応する既知濃度Ｃｒが予めデータとして
記憶されていて、実際の測定では未知濃度Ｃｓ の試料
の吸収スペクトルＡｓ だけが求められ、これと参照デ
ータである同じ試料に関する参照スペクトルＡｒ およ
び既知濃度Ｃｒ を上記（４）式に当てはめることによ
って、未知濃度Ｃｓ が算出される。
理部３には、各種成分について求めた参照スペクトルＡ
ｒ とこれに対応する既知濃度Ｃｒが予めデータとして
記憶されていて、実際の測定では未知濃度Ｃｓ の試料
の吸収スペクトルＡｓ だけが求められ、これと参照デ
ータである同じ試料に関する参照スペクトルＡｒ およ
び既知濃度Ｃｒ を上記（４）式に当てはめることによ
って、未知濃度Ｃｓ が算出される。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のＦＴ−ＩＲ１においては、同一機種を多量生産
した場合、個々の装置ごとに僅かに異なる組立その他の
条件などから生じる機差に起因して、同じ試料に対して
求めた吸収スペクトルでも、個々の装置ごとに図４に示
すようにスペクトルのピーク形状に違いが起き、装置間
で算出される濃度にばらつきが生じるという問題点があ
った。
た従来のＦＴ−ＩＲ１においては、同一機種を多量生産
した場合、個々の装置ごとに僅かに異なる組立その他の
条件などから生じる機差に起因して、同じ試料に対して
求めた吸収スペクトルでも、個々の装置ごとに図４に示
すようにスペクトルのピーク形状に違いが起き、装置間
で算出される濃度にばらつきが生じるという問題点があ
った。
【００１３】すなわち、任意の試料から装置Ａで求めた
吸収スペクトルでは、図４（Ａ）に示すように波数点ν
ａ にピークがあるのに対して、同じ試料から別の装置
Ｂで求めた吸収スペクトルでは、図４（Ｂ）に示すよう
に別の波数点νｂ にピークがあるというように、機差
に基づくスペクトル形状の相違が起きる。
吸収スペクトルでは、図４（Ａ）に示すように波数点ν
ａ にピークがあるのに対して、同じ試料から別の装置
Ｂで求めた吸収スペクトルでは、図４（Ｂ）に示すよう
に別の波数点νｂ にピークがあるというように、機差
に基づくスペクトル形状の相違が起きる。
【００１４】通常、高い測定精度が得られるように、上
記（４）式に当てはめる参照スペクトルＡｒ 、吸収ス
ペクトルＡｓ の波数点として、これらのスペクトルが
ピーク値となる波数点が選ばれるので、装置ごとにこの
ようにスペクトルのピーク形状に差異が起きると、（４
）式から算出される濃度の値も装置によって差異が生じ
ることになるのである。
記（４）式に当てはめる参照スペクトルＡｒ 、吸収ス
ペクトルＡｓ の波数点として、これらのスペクトルが
ピーク値となる波数点が選ばれるので、装置ごとにこの
ようにスペクトルのピーク形状に差異が起きると、（４
）式から算出される濃度の値も装置によって差異が生じ
ることになるのである。
【００１５】上記の従来欠点に鑑み、本発明は、機差に
起因する装置間での測定値のばらつきを外部からの調整
で容易に補正できる分光分析装置を提供せんとするもの
である。
起因する装置間での測定値のばらつきを外部からの調整
で容易に補正できる分光分析装置を提供せんとするもの
である。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、試料に対して光源から光を照射し試料
からの透過光を得る分光手段と、前記透過光に基づき試
料の吸収スペクトルを算出するスペクトル演算手段と、
算出された前記吸収スペクトルに対して補正係数を乗算
し吸収スペクトルを補正するスペクトル補正手段と、外
部からの操作で前記補正係数を可変設定する係数設定手
段と、前記スペクトル補正手段によって補正された吸収
スペクトルをランバートベールの法則に当てはめて測定
試料に含まれる成分量を算出する定量演算手段とを備え
たことを特徴としている。
めに、本発明は、試料に対して光源から光を照射し試料
からの透過光を得る分光手段と、前記透過光に基づき試
料の吸収スペクトルを算出するスペクトル演算手段と、
算出された前記吸収スペクトルに対して補正係数を乗算
し吸収スペクトルを補正するスペクトル補正手段と、外
部からの操作で前記補正係数を可変設定する係数設定手
段と、前記スペクトル補正手段によって補正された吸収
スペクトルをランバートベールの法則に当てはめて測定
試料に含まれる成分量を算出する定量演算手段とを備え
たことを特徴としている。
【００１７】
【作用】上記の構成によれば、定量演算手段によって算
出される測定試料の成分量が、本来算出されるべき値か
らずれている場合には、スペクトル演算手段によって算
出される吸収スペクトルを補正する補正係数を、外部か
ら係数設定手段を操作して可変設定することによって、
算出される成分量が正しい値となるように調整でき、こ
れによって機差による測定値のばらつきを解消できる。
出される測定試料の成分量が、本来算出されるべき値か
らずれている場合には、スペクトル演算手段によって算
出される吸収スペクトルを補正する補正係数を、外部か
ら係数設定手段を操作して可変設定することによって、
算出される成分量が正しい値となるように調整でき、こ
れによって機差による測定値のばらつきを解消できる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明に係る分光分析装置の一例である
ＦＴ−ＩＲ２１の概略的な構成を示したものであり、図
３に示した従来のＦＴ−ＩＲと同等の構成部は同一符号
を付している。すなわち、このＦＴ−ＩＲ２１の場合に
も、分析部２と、この分析部２の出力であるインタフェ
ログラムを処理するデータ処理部３とを有するが、ここ
ではこれとは別に後述する補正係数Ｋを外部から可変設
定するための係数設定部２２が設けられている。
する。図１は、本発明に係る分光分析装置の一例である
ＦＴ−ＩＲ２１の概略的な構成を示したものであり、図
３に示した従来のＦＴ−ＩＲと同等の構成部は同一符号
を付している。すなわち、このＦＴ−ＩＲ２１の場合に
も、分析部２と、この分析部２の出力であるインタフェ
ログラムを処理するデータ処理部３とを有するが、ここ
ではこれとは別に後述する補正係数Ｋを外部から可変設
定するための係数設定部２２が設けられている。
【００１９】分析部２の構成は従来のＦＴ−ＩＲの場合
と全く同様であり、平行な赤外ビームを発するように構
成された光源４と、ビームスプリッタ５、固定ミラー６
、可動ミラー７からなる干渉機構８と、測定試料などを
収容し、干渉機構８を介して光源４からの赤外ビームが
照射されるセル９と、半導体検出器などよりなる検出器
１０とで構成されている。
と全く同様であり、平行な赤外ビームを発するように構
成された光源４と、ビームスプリッタ５、固定ミラー６
、可動ミラー７からなる干渉機構８と、測定試料などを
収容し、干渉機構８を介して光源４からの赤外ビームが
照射されるセル９と、半導体検出器などよりなる検出器
１０とで構成されている。
【００２０】データ処理部３は、吸収スペクトルを算出
するスペクトル演算部１１と、算出された吸収スペクト
ルに対して、上述した係数設定部２２で可変設定される
補正係数Ｋを乗算し吸収スペクトルを補正するスペクト
ル補正部２３と、この補正された吸収スペクトルをラン
バートベールの法則に当てはめて測定試料中に含まれる
成分の濃度を算出する定量演算部１２とからなる。
するスペクトル演算部１１と、算出された吸収スペクト
ルに対して、上述した係数設定部２２で可変設定される
補正係数Ｋを乗算し吸収スペクトルを補正するスペクト
ル補正部２３と、この補正された吸収スペクトルをラン
バートベールの法則に当てはめて測定試料中に含まれる
成分の濃度を算出する定量演算部１２とからなる。
【００２１】上記スペクトル演算部１１は、従来のＦＴ
−ＩＲと同様に、例えばインタフェロブラムを加算平均
する加算平均処理部１３、この加算平均処理部１３から
の出力データに高速でフーリエ変換を施す高速フーリエ
変換処理部１４、この高速フーリエ変換処理部１４から
の出力データに基づいて測定対象成分に関するスペクト
ル演算を行う演算部１５などから構成されている。
−ＩＲと同様に、例えばインタフェロブラムを加算平均
する加算平均処理部１３、この加算平均処理部１３から
の出力データに高速でフーリエ変換を施す高速フーリエ
変換処理部１４、この高速フーリエ変換処理部１４から
の出力データに基づいて測定対象成分に関するスペクト
ル演算を行う演算部１５などから構成されている。
【００２２】データ処理部３の後段の定量演算部１２は
、スペクトル補正部２３で補正された吸収スペクトルを
ランバートベールの法則に当てはめることによって、測
定対象の試料に含まれる成分の濃度を算出するが、この
定量演算部１２には複数種類の比較試料つまり測定対象
となる複数種類の単一成分についての既知濃度Ｃｒ お
よび参照スペクトルＡｒ が参照データとして予め記憶
されている。
、スペクトル補正部２３で補正された吸収スペクトルを
ランバートベールの法則に当てはめることによって、測
定対象の試料に含まれる成分の濃度を算出するが、この
定量演算部１２には複数種類の比較試料つまり測定対象
となる複数種類の単一成分についての既知濃度Ｃｒ お
よび参照スペクトルＡｒ が参照データとして予め記憶
されている。
【００２３】なお、図示しないが、上記ＦＴ−ＩＲ２１
には、干渉機構８の可動ミラー５を例えばＸ−Ｙ方向に
駆動するための駆動機構が設けてあり、また、この駆動
機構およびデータ処理部３の各処理部１１〜１３を制御
するコントローラが設けてある。
には、干渉機構８の可動ミラー５を例えばＸ−Ｙ方向に
駆動するための駆動機構が設けてあり、また、この駆動
機構およびデータ処理部３の各処理部１１〜１３を制御
するコントローラが設けてある。
【００２４】次に、上記ＦＴ−ＩＲ２１の動作について
説明する。分析部２では、セル９に収容した測定試料の
インタフェログラムが測定される。データ処理部３の前
段のスペクトル演算部１１では、このインタフェログラ
ムをフーリエ変換してパワースペクトルを求め、次にこ
のスペクトルとバックグラウンドのパワースペクトルと
の比を求め、この値を吸光度スケールに変換することに
よって測定試料の吸収スペクトルＡｓ が算出される。
説明する。分析部２では、セル９に収容した測定試料の
インタフェログラムが測定される。データ処理部３の前
段のスペクトル演算部１１では、このインタフェログラ
ムをフーリエ変換してパワースペクトルを求め、次にこ
のスペクトルとバックグラウンドのパワースペクトルと
の比を求め、この値を吸光度スケールに変換することに
よって測定試料の吸収スペクトルＡｓ が算出される。
【００２５】算出された吸収スペクトルＡｓ には、次
段のスペクトル補正部２３によって、補正係数Ｋが乗算
され、これにより吸収スペクトルはＡＳ からｋ・Ａｓ
に補正される。
段のスペクトル補正部２３によって、補正係数Ｋが乗算
され、これにより吸収スペクトルはＡＳ からｋ・Ａｓ
に補正される。
【００２６】データ処理部３の後段の定量演算部１２で
は、補正した吸収スペクトルｋ・Ａｓ を上記（４）式
に当てはめることによって、次式、 Ｃｓ ＝（Ｋ・Ａｓ ／Ａｒ ）・Ｃｒ
……（５）とし
て測定試料の成分濃度Ｃｓ が算出される。
は、補正した吸収スペクトルｋ・Ａｓ を上記（４）式
に当てはめることによって、次式、 Ｃｓ ＝（Ｋ・Ａｓ ／Ａｒ ）・Ｃｒ
……（５）とし
て測定試料の成分濃度Ｃｓ が算出される。
【００２７】上記補正係数Ｋは例えば次のようにして決
められる。いま、濃度が既知の任意の試料を上記ＦＴ−
ＩＲ２１で分光分析して、その試料の成分濃度Ｃｓ を
算出する。この算出された成分濃度Ｃｓ が既知の濃度
と一致しない場合には、一致するように係数設定部２２
を操作して補正係数Ｋを変えてゆく。このような補正を
同一試料を用いて各ＦＴ−ＩＲ２１ごとに施すことによ
って、機差による測定値のばらつきは解消されることに
なる。
められる。いま、濃度が既知の任意の試料を上記ＦＴ−
ＩＲ２１で分光分析して、その試料の成分濃度Ｃｓ を
算出する。この算出された成分濃度Ｃｓ が既知の濃度
と一致しない場合には、一致するように係数設定部２２
を操作して補正係数Ｋを変えてゆく。このような補正を
同一試料を用いて各ＦＴ−ＩＲ２１ごとに施すことによ
って、機差による測定値のばらつきは解消されることに
なる。
【００２８】なお、個々のＦＴ−ＩＲ２１の機差によっ
て、図４（Ａ），（Ｂ）に示したように吸収スペクトル
のピーク形状に差異が生じるのであるから、上述したよ
うにスペクトル演算部１１で算出された吸収スペクトル
Ａｓに補正係数Ｋを乗算しても、例えば図４（Ｂ）のよ
うに現れる吸収スペクトルの形状を図４（Ａ）のような
形状に補正できるわけではないが、定量演算部１２で演
算に使用する吸収スペクトルＡｓ および参照スペクト
ルＡｒ は指定された波数点の値であるから、少なくと
もその指定された波数点における値が上記補正係数Ｋの
乗算によって補正されれば充分であり、これによって最
終的に算出される成分濃度Ｃｓ が正しい値に補正され
ることになる。
て、図４（Ａ），（Ｂ）に示したように吸収スペクトル
のピーク形状に差異が生じるのであるから、上述したよ
うにスペクトル演算部１１で算出された吸収スペクトル
Ａｓに補正係数Ｋを乗算しても、例えば図４（Ｂ）のよ
うに現れる吸収スペクトルの形状を図４（Ａ）のような
形状に補正できるわけではないが、定量演算部１２で演
算に使用する吸収スペクトルＡｓ および参照スペクト
ルＡｒ は指定された波数点の値であるから、少なくと
もその指定された波数点における値が上記補正係数Ｋの
乗算によって補正されれば充分であり、これによって最
終的に算出される成分濃度Ｃｓ が正しい値に補正され
ることになる。
【００２９】また、例えば次に述べる相対吸光度の和と
いう概念を導入して成分濃度を求めるような場合でも、
上述した補正係数Ｋによるデータ補正を同様に行うこと
ができる。いま、図２に示す模式的な任意成分の吸収ス
ペクトルにおいて、複数のピークＰとこれらと対をなす
ベースＢを選び、各ピークＰとベースＢの対ごとにこれ
らの相対値Ｌ１ ，Ｌ２ ，Ｌ３ を求めて、これを相
対吸光度とする。
いう概念を導入して成分濃度を求めるような場合でも、
上述した補正係数Ｋによるデータ補正を同様に行うこと
ができる。いま、図２に示す模式的な任意成分の吸収ス
ペクトルにおいて、複数のピークＰとこれらと対をなす
ベースＢを選び、各ピークＰとベースＢの対ごとにこれ
らの相対値Ｌ１ ，Ｌ２ ，Ｌ３ を求めて、これを相
対吸光度とする。
【００３０】これら相対吸光度Ｌ１ 〜Ｌ３ の和をと
ると、この値もランバートベールの法則を維持している
ので、この相対吸光度の和を上述した吸収スペクトルと
同様に扱って成分量を定量することができる。なお、こ
の場合には相対吸光度の和によってスペクトル中に潜在
するランダムなノイズが平均化されるので、ベースライ
ンのドリフトのような外乱がキャンセルされるという利
点がある。
ると、この値もランバートベールの法則を維持している
ので、この相対吸光度の和を上述した吸収スペクトルと
同様に扱って成分量を定量することができる。なお、こ
の場合には相対吸光度の和によってスペクトル中に潜在
するランダムなノイズが平均化されるので、ベースライ
ンのドリフトのような外乱がキャンセルされるという利
点がある。
【００３１】この演算手法においては、複数の波数点が
選ばれることになるが、この場合には上記補正係数Ｋを
１つの波数点に注目して設定せず、最終的に算出される
成分濃度が適正な値になるように補正係数Ｋを可変設定
すればよい。
選ばれることになるが、この場合には上記補正係数Ｋを
１つの波数点に注目して設定せず、最終的に算出される
成分濃度が適正な値になるように補正係数Ｋを可変設定
すればよい。
【００３２】以上の説明では、機差による測定データの
ばらつきを解消するのに補正係数Ｋによるデータ補正を
行う場合を示したが、例えばＦＴ−ＩＲ２１で用いられ
ている参照データと異なる独自の参照データを所有する
ユーザが、自己の参照データに対応した測定データを上
記ＦＴ−ＩＲ２１から得たい場合にも、上記補正係数Ｋ
を可変設定することによって、容易に対応できる。
ばらつきを解消するのに補正係数Ｋによるデータ補正を
行う場合を示したが、例えばＦＴ−ＩＲ２１で用いられ
ている参照データと異なる独自の参照データを所有する
ユーザが、自己の参照データに対応した測定データを上
記ＦＴ−ＩＲ２１から得たい場合にも、上記補正係数Ｋ
を可変設定することによって、容易に対応できる。
【００３３】
【発明の効果】本発明は、上述した構成により成り、分
光手段により試料から得た透過光に基づき、試料の吸収
スペクトルをスペクトル演算手段によって算出し、その
吸収スペクトルを補正係数を乗算することによって補正
し、その補正した吸収スペクトルを定量演算手段によっ
てランバートベールの法則にあてはめて測定試料に含ま
れる成分量を算出し、かつ、係数設定手段を外部から操
作することによって前記補正係数を可変設定するもので
あるため、算出される測定試料の成分量が、本来算出さ
れるべき値からずれている場合に、補正係数を可変設定
することによって、算出される成分量が正しい値となる
ように調整でき、これによって機差による測定値のばら
つきを解消できる。
光手段により試料から得た透過光に基づき、試料の吸収
スペクトルをスペクトル演算手段によって算出し、その
吸収スペクトルを補正係数を乗算することによって補正
し、その補正した吸収スペクトルを定量演算手段によっ
てランバートベールの法則にあてはめて測定試料に含ま
れる成分量を算出し、かつ、係数設定手段を外部から操
作することによって前記補正係数を可変設定するもので
あるため、算出される測定試料の成分量が、本来算出さ
れるべき値からずれている場合に、補正係数を可変設定
することによって、算出される成分量が正しい値となる
ように調整でき、これによって機差による測定値のばら
つきを解消できる。
【図１】本発明に係る分光分析装置の一実施例を概略的
に示す図である。
に示す図である。
【図２】相対吸光度の和を用いた成分定量の演算手法を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図３】従来の分光分析装置の一例を示す図である。
【図４】機差による吸収スペクトルのピーク形状の違い
を示す図である。
を示す図である。
２ 分光手段
１１ スペクトル演算手段
１２ 定量演算手段
２２ 係数設定手段
２３ スペクトル補正手段
Claims (1)
- 【請求項１】 試料に対して光源から光を照射し試料
からの透過光を得る分光手段と、前記透過光に基づき試
料の吸収スペクトルを算出するスペクトル演算手段と、
算出された前記吸収スペクトルに対して補正係数を乗算
し吸収スペクトルを補正するスペクトル補正手段と、外
部からの操作で前記補正係数を可変設定する係数設定手
段と、前記スペクトル補正手段によって補正された吸収
スペクトルをランバートベールの法則に当てはめて測定
試料に含まれる成分量を算出する定量演算手段とを備え
たことを特徴とする分光分析装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5085391A JP2772374B2 (ja) | 1991-02-23 | 1991-02-23 | フーリエ変換赤外分光分析計 |
| DE4203588A DE4203588C2 (de) | 1991-02-16 | 1992-02-07 | Quantitatives spektralanalytisches Verfahren |
| US07/836,786 US5305076A (en) | 1991-02-16 | 1992-02-14 | Quantitative analytical method and apparatus for spectrometric analysis using wave number data points |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5085391A JP2772374B2 (ja) | 1991-02-23 | 1991-02-23 | フーリエ変換赤外分光分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04268441A true JPH04268441A (ja) | 1992-09-24 |
| JP2772374B2 JP2772374B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=12870283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5085391A Expired - Lifetime JP2772374B2 (ja) | 1991-02-16 | 1991-02-23 | フーリエ変換赤外分光分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2772374B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002143164A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-21 | Aloka Co Ltd | 超音波骨評価装置 |
| JP2009511890A (ja) * | 2005-10-17 | 2009-03-19 | コミスィアラ ア レナジィ アトミ−ク | 発光分光法による定性・定量分析のための方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61149833A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-08 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
| JPS62100645A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-05-11 | Shimadzu Corp | 吸光度測定装置 |
| JPS63218842A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Sasakura Eng Co Ltd | オゾン濃度計測方法および装置 |
-
1991
- 1991-02-23 JP JP5085391A patent/JP2772374B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61149833A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-08 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
| JPS62100645A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-05-11 | Shimadzu Corp | 吸光度測定装置 |
| JPS63218842A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Sasakura Eng Co Ltd | オゾン濃度計測方法および装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002143164A (ja) * | 2000-11-10 | 2002-05-21 | Aloka Co Ltd | 超音波骨評価装置 |
| JP2009511890A (ja) * | 2005-10-17 | 2009-03-19 | コミスィアラ ア レナジィ アトミ−ク | 発光分光法による定性・定量分析のための方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2772374B2 (ja) | 1998-07-02 |
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Legal Events
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