JPH042687A - 酸化物単結晶育成用るつぼ - Google Patents
酸化物単結晶育成用るつぼInfo
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- JPH042687A JPH042687A JP10251690A JP10251690A JPH042687A JP H042687 A JPH042687 A JP H042687A JP 10251690 A JP10251690 A JP 10251690A JP 10251690 A JP10251690 A JP 10251690A JP H042687 A JPH042687 A JP H042687A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は光学的用途に利用されるニオブ酸リチウム(L
iNbO3)、ホウ素酸バリウム(β−BaB203)
及びチタン酸バリウム(BaTiC)+)等の酸化物単
結晶を製造する際に、その融液を保持する容器として使
用するのに好適の酸化物単結晶育成用るつぼに関する。
iNbO3)、ホウ素酸バリウム(β−BaB203)
及びチタン酸バリウム(BaTiC)+)等の酸化物単
結晶を製造する際に、その融液を保持する容器として使
用するのに好適の酸化物単結晶育成用るつぼに関する。
[従来の技術]
従来、融点が1000乃至1500°Cの範囲である出
発原料から引き上げ法により酸化物単結晶を製造する場
合には、その融液を保持する容器として白金るつぼが使
用されている。
発原料から引き上げ法により酸化物単結晶を製造する場
合には、その融液を保持する容器として白金るつぼが使
用されている。
しかしながら、特に1200°Cを超える温度で白金る
つぼを使用すると、微細な白金の結晶粒子が2次的に再
結晶化して粗大な結晶粒子が形成される。
つぼを使用すると、微細な白金の結晶粒子が2次的に再
結晶化して粗大な結晶粒子が形成される。
そうすると、白金の結晶粒界に割れが発生して、短期間
で白金るつぼが使用不能になってしまう。
で白金るつぼが使用不能になってしまう。
そこで、このような粒界割れを抑制してるつぼの寿命を
延ばすために、るつぼの材質として白金−ロジウム合金
を使用したものがある。また、再結晶化により白金の結
晶粒子が粗大化することを抑制して白金るつぼの耐熱強
度を高めるために、白金中に例えば0.05乃至1重量
%の酸化物粒子を分散させたものがある。更に、白金る
つぼの使用温度域を超えるような高融点材料の融液を保
持するために、るつぼの材質としてイリジウム(Ir)
を使用したものがある。
延ばすために、るつぼの材質として白金−ロジウム合金
を使用したものがある。また、再結晶化により白金の結
晶粒子が粗大化することを抑制して白金るつぼの耐熱強
度を高めるために、白金中に例えば0.05乃至1重量
%の酸化物粒子を分散させたものがある。更に、白金る
つぼの使用温度域を超えるような高融点材料の融液を保
持するために、るつぼの材質としてイリジウム(Ir)
を使用したものがある。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上述した従来の酸化物単結晶育成用るつ
ぼにおいては、以下に示すような問題点がある。
ぼにおいては、以下に示すような問題点がある。
白金−ロジウム合金製るつぼは、寿命が白金るつぼに比
して若干延びるものの、ロジウムがるつぼ内の融液中に
溶出して融液を汚染しやすい。また、粒子分散型の白金
るつぼは、分散した酸化物粒子がるつぼの内面に露出し
ているため、高温で長時間使用すると、酸化物粒子を構
成する金属元素等がるつぼ内の融液中に溶出して融液を
汚染しやすい。このようにして融液が汚染されると、育
成して得られる単結晶が着色してしまうので、所望の光
学的特性等の品質を有する酸化物単結晶を得ることがで
きないという問題点がある。
して若干延びるものの、ロジウムがるつぼ内の融液中に
溶出して融液を汚染しやすい。また、粒子分散型の白金
るつぼは、分散した酸化物粒子がるつぼの内面に露出し
ているため、高温で長時間使用すると、酸化物粒子を構
成する金属元素等がるつぼ内の融液中に溶出して融液を
汚染しやすい。このようにして融液が汚染されると、育
成して得られる単結晶が着色してしまうので、所望の光
学的特性等の品質を有する酸化物単結晶を得ることがで
きないという問題点がある。
一方、イリジウム製るつぼは、高温で使用する場合、蒸
発によりイリジウム自体が消耗することを防止するため
に、その周囲を不活性雰囲気又は還元性雰囲気にする必
要がある。ところが、酸化物単結晶を育成する場合には
、その融液を所定の酸素分圧下にて引き上げる必要があ
るため、イリジウム製るつぼの消耗を抑制することが極
めて困難であるという問題点がある。
発によりイリジウム自体が消耗することを防止するため
に、その周囲を不活性雰囲気又は還元性雰囲気にする必
要がある。ところが、酸化物単結晶を育成する場合には
、その融液を所定の酸素分圧下にて引き上げる必要があ
るため、イリジウム製るつぼの消耗を抑制することが極
めて困難であるという問題点がある。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
長寿命であると共に、融液の汚染を防止することができ
る酸化物単結晶育成用るつぼを提供することを目的とす
る。
長寿命であると共に、融液の汚染を防止することができ
る酸化物単結晶育成用るつぼを提供することを目的とす
る。
[課題を解決するための手段]
本発明に係る酸化物単結晶育成用るつぼは、厚さが0.
1關以上であり純度が99.5重量%以上の白金からな
る内層と、平均粒径が1μm以下の酸化物粒子を0.0
5乃至!重量%含有する白金又は白金−ロジウム合金か
らなる外層との積層体からなることを特徴とする。
1關以上であり純度が99.5重量%以上の白金からな
る内層と、平均粒径が1μm以下の酸化物粒子を0.0
5乃至!重量%含有する白金又は白金−ロジウム合金か
らなる外層との積層体からなることを特徴とする。
[作用コ
本発明においては、所定の厚さ及び純度の白金からなる
内層と、所定の粒径の酸化物粒子を所定量分散させた白
金又は白金−ロジウム合金からなる外層との積層体によ
り酸化物単結晶育成用るっぼを構成している。前記内層
は所定の純度の白金により形成するため、るつぼ内に貯
留される酸化物の融液に前記内層から不純物が溶出する
ことを防止できる。また、前記内層は0.1m■以上の
厚さを有するため、仮に高温において前記内層を構成す
る白金の結晶粒子が再結晶化してその結晶粒界に割れが
発生しても、前記融液がこの割れを介して前記外層に到
達することはない。一方、前記外層は白金又は白金−ロ
ジウム合金中に所定の粒径の酸化物粒子を所定量分散さ
せたものであるため、この酸化物粒子の作用により前記
外層を構成する白金又は白金−ロジウム合金の結晶粒子
が再結晶化することを防止できる。このため、前記外層
は高温における耐熱強度が高い。
内層と、所定の粒径の酸化物粒子を所定量分散させた白
金又は白金−ロジウム合金からなる外層との積層体によ
り酸化物単結晶育成用るっぼを構成している。前記内層
は所定の純度の白金により形成するため、るつぼ内に貯
留される酸化物の融液に前記内層から不純物が溶出する
ことを防止できる。また、前記内層は0.1m■以上の
厚さを有するため、仮に高温において前記内層を構成す
る白金の結晶粒子が再結晶化してその結晶粒界に割れが
発生しても、前記融液がこの割れを介して前記外層に到
達することはない。一方、前記外層は白金又は白金−ロ
ジウム合金中に所定の粒径の酸化物粒子を所定量分散さ
せたものであるため、この酸化物粒子の作用により前記
外層を構成する白金又は白金−ロジウム合金の結晶粒子
が再結晶化することを防止できる。このため、前記外層
は高温における耐熱強度が高い。
而して、本発明に係る酸化物単結晶育成用るつぼは、前
記内層と前記外層との積層体により構成されているので
、長寿命であると共に、融液の汚染を防止することがで
きる。
記内層と前記外層との積層体により構成されているので
、長寿命であると共に、融液の汚染を防止することがで
きる。
次に、内層を構成する白金の純度及び厚さ並びに外層を
構成する白金又は白金−ロジウム合金が含有する酸化物
粒子の平均粒径及び含有量の限定理由について説明する
。
構成する白金又は白金−ロジウム合金が含有する酸化物
粒子の平均粒径及び含有量の限定理由について説明する
。
の1
白金(内層)の純度が99.5重量%未満である場合、
るつぼ内に貯留される融液に内層から不純物が溶出して
融液が汚染される。そうすると、得られる酸化物単結晶
は着色して光学的特性が劣化する。このため、前記内層
を構成する白金の純度は99.5重量%以上にする。
るつぼ内に貯留される融液に内層から不純物が溶出して
融液が汚染される。そうすると、得られる酸化物単結晶
は着色して光学的特性が劣化する。このため、前記内層
を構成する白金の純度は99.5重量%以上にする。
また、前記白金(内層)の厚さが0.1m+*未滴であ
る場合は、この白金の再結晶化等によりるつぼの内面に
クラック又は傷が形成された場合、これらを介して融液
が内層と外層と界面に到達する。
る場合は、この白金の再結晶化等によりるつぼの内面に
クラック又は傷が形成された場合、これらを介して融液
が内層と外層と界面に到達する。
そうすると、前記外層中に分散される酸化物粒子を構成
する金属元素等が溶出して融液を汚染する。
する金属元素等が溶出して融液を汚染する。
このため、前記内層を構成する白金の厚さは0.1■1
以上にする。なお、前記白金の厚さは0.1mm以上で
あれば良いが、材料コストを勘案すると極力薄い方が好
ましい。
以上にする。なお、前記白金の厚さは0.1mm以上で
あれば良いが、材料コストを勘案すると極力薄い方が好
ましい。
の
外層を構成する白金又は白金−ロジウム合金が含有する
酸化物粒子の平均粒径が1μmを超える場合は、平均粒
径が数μmである白金又は白金−ロジウム合金の結晶粒
子が2次的な再結晶化により粗粒化することを抑制でき
ない。このため、前記酸化物粒子の平均粒径は1μm以
下にする。
酸化物粒子の平均粒径が1μmを超える場合は、平均粒
径が数μmである白金又は白金−ロジウム合金の結晶粒
子が2次的な再結晶化により粗粒化することを抑制でき
ない。このため、前記酸化物粒子の平均粒径は1μm以
下にする。
また、前記酸化物粒子の含有量が0.05重量%未満で
ある場合は、白金又は白金−ロジウム合金の結晶粒子の
再結晶化を抑制する作用が不十分である。一方、前記酸
化物粒子の含有量が1重量%を超えると、材質が脆弱に
なるため、塑性加工により前記外層をるつぼ形状に加工
することが困難になる。また、鋳造により前記外層をる
つぼ形状に加工する場合においては、薄肉に加工するこ
とが困難になる。このため、外層を構成する白金又は白
金−ロジウム合金が含有する酸化物粒子の含有量は0.
05乃至1重量%にする。
ある場合は、白金又は白金−ロジウム合金の結晶粒子の
再結晶化を抑制する作用が不十分である。一方、前記酸
化物粒子の含有量が1重量%を超えると、材質が脆弱に
なるため、塑性加工により前記外層をるつぼ形状に加工
することが困難になる。また、鋳造により前記外層をる
つぼ形状に加工する場合においては、薄肉に加工するこ
とが困難になる。このため、外層を構成する白金又は白
金−ロジウム合金が含有する酸化物粒子の含有量は0.
05乃至1重量%にする。
なお、前記酸化物粒子はジルコニア(ZrO3)又はイ
ツトリア(Y2O,1+ )からなるものを使用するこ
とが好ましい。
ツトリア(Y2O,1+ )からなるものを使用するこ
とが好ましい。
[実施例コ
次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して説
明する。
明する。
第1図は本発明の実施例に係る酸化物単結晶育成用るつ
ぼ及び単結晶育成装置を示す模式的断面図である。
ぼ及び単結晶育成装置を示す模式的断面図である。
るつぼ1は内層1a及び外層1bからなる2層構造をな
しており、その内部には融液3が貯留されるようになっ
ている。内層1aは厚さが0.1m箇以上、純度が99
.5重量%以上の白金により成形されている。一方、外
層1bは平均粒径が1μm以下の酸化物粒子を0.05
乃至1重量%含有する白金又は白金−ロジウム合金によ
り成形されている。
しており、その内部には融液3が貯留されるようになっ
ている。内層1aは厚さが0.1m箇以上、純度が99
.5重量%以上の白金により成形されている。一方、外
層1bは平均粒径が1μm以下の酸化物粒子を0.05
乃至1重量%含有する白金又は白金−ロジウム合金によ
り成形されている。
このるつぼ1はこのるっぽ1を取り囲むように配置され
たヒータ2により加熱されるようになっている。種棒4
はるっぽ1の直上域にその長手方向を鉛直にして配置さ
れており、その上端部が上昇・下降へラド7に固定され
ている。種棒4の下端部には種結晶取付部5が設けられ
ており、この種結晶取付部5に種結晶6を白金線等によ
り縛って取り付けるようになっている。上昇・下降ヘッ
ド7は駆動装置(図示せず)により上下動し、このヘッ
ド7の昇降に伴って種棒4は上昇又は下降移動するよう
になっている。
たヒータ2により加熱されるようになっている。種棒4
はるっぽ1の直上域にその長手方向を鉛直にして配置さ
れており、その上端部が上昇・下降へラド7に固定され
ている。種棒4の下端部には種結晶取付部5が設けられ
ており、この種結晶取付部5に種結晶6を白金線等によ
り縛って取り付けるようになっている。上昇・下降ヘッ
ド7は駆動装置(図示せず)により上下動し、このヘッ
ド7の昇降に伴って種棒4は上昇又は下降移動するよう
になっている。
次に、上述した酸化物単結晶育成用るつぼ及び単結晶育
成装置を使用して酸化物単結晶を製造した場合について
、比較例と比較して説明する。
成装置を使用して酸化物単結晶を製造した場合について
、比較例と比較して説明する。
支り健P
先ず、出発原料として、純度が99.99重量%以上の
酸化チタン(TiO2)及び純度が99.99重量%以
上の炭酸バリウム(BaCO:+)を用意した。そして
、このTiO2とB a C03とを35:65のモル
比に秤量して混合した。その後、この混合試料を約10
00℃に5時間加熱して仮焼成し、粉砕して原料粉末と
した。
酸化チタン(TiO2)及び純度が99.99重量%以
上の炭酸バリウム(BaCO:+)を用意した。そして
、このTiO2とB a C03とを35:65のモル
比に秤量して混合した。その後、この混合試料を約10
00℃に5時間加熱して仮焼成し、粉砕して原料粉末と
した。
次に、るつぼ1として、厚さが0 、1 m+w 1純
度が93.5重量%の白金からなる内層と、平均粒径が
1μmのジルコニア(ZrO2)粒子を1重量%分散さ
せた厚さが0.5m■の粒子分散型白金からなる外層と
の積層体により構成されているものを用意した。そして
、上述した原料粉末をるっぽ1内に装入し、このるつぼ
1をヒータ2により加熱して原料粉末を溶融させて融液
3を得た。この融液3をヒータ2により1000°Cに
加熱して溶融保持した。
度が93.5重量%の白金からなる内層と、平均粒径が
1μmのジルコニア(ZrO2)粒子を1重量%分散さ
せた厚さが0.5m■の粒子分散型白金からなる外層と
の積層体により構成されているものを用意した。そして
、上述した原料粉末をるっぽ1内に装入し、このるつぼ
1をヒータ2により加熱して原料粉末を溶融させて融液
3を得た。この融液3をヒータ2により1000°Cに
加熱して溶融保持した。
次に、種棒4の下端部の種結晶取付部5にチタン酸バリ
ウム(BaTi03)の種結晶6を白金線により固定し
た。この種結晶6は縦が3mm1横が3酊、長さが10
m++であり、長手方向が<100〉方向になるように
切り出したものである。
ウム(BaTi03)の種結晶6を白金線により固定し
た。この種結晶6は縦が3mm1横が3酊、長さが10
m++であり、長手方向が<100〉方向になるように
切り出したものである。
次に、上昇・下降ヘッド7を下降させて種結晶6を融液
3に接触させた。そして、融液3の温度を5°C/時で
下降させ、種結晶6に結晶が晶出してくるのを確認した
後、融液3の温度降下速度を0.5℃/時に変更し、種
棒4を0.3vsm/時の速度で上昇させた。
3に接触させた。そして、融液3の温度を5°C/時で
下降させ、種結晶6に結晶が晶出してくるのを確認した
後、融液3の温度降下速度を0.5℃/時に変更し、種
棒4を0.3vsm/時の速度で上昇させた。
このようにして約50時間結晶を育成した後、この結晶
を100°C/時の温度降下速度で冷却した。
を100°C/時の温度降下速度で冷却した。
これにより、直径カ月5+ui、長さが15龍のBaT
iC)+単結晶を得た。
iC)+単結晶を得た。
また、るつぼ1の内に固化した残留物を粉砕して取り出
し、るつぼ1を洗浄した。そして、以後、上述したBa
TiO3単結晶の育成を繰り返し行なった。
し、るつぼ1を洗浄した。そして、以後、上述したBa
TiO3単結晶の育成を繰り返し行なった。
実JL医2−
るつぼ1として、厚さがO,1111、純度が99.5
重量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μmのジル
コニア粒子を0.05重量%分散させた厚さが0.5m
mの粒子分散型白金−ロジウム合金(10重量%;ロジ
ウム、残部;白金)からなる外層との積層体により構成
されているものを使用したこと以外は、実施例1と同様
にして、BaTiO3単結晶の育成を繰り返し行なった
。
重量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μmのジル
コニア粒子を0.05重量%分散させた厚さが0.5m
mの粒子分散型白金−ロジウム合金(10重量%;ロジ
ウム、残部;白金)からなる外層との積層体により構成
されているものを使用したこと以外は、実施例1と同様
にして、BaTiO3単結晶の育成を繰り返し行なった
。
比][例」−
るつぼ1として、厚さが0.61の純白金からなるもの
を使用したこと以外は、実施例1と同様にして、BaT
i0+単結晶の育成を繰り返し行なった。
を使用したこと以外は、実施例1と同様にして、BaT
i0+単結晶の育成を繰り返し行なった。
L艷監す
るつぼ1として、厚さが0.0Illffl、純度が9
9.5重量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μm
のジルコニア粒子を1重量%分散させた厚さが0.51
の粒子分散型白金からなる外層との積層体により構成さ
れているものを使用したこと以外は、実施例1と同様に
して、BaTiC)+単結晶の育成を繰り返し行なった
。
9.5重量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μm
のジルコニア粒子を1重量%分散させた厚さが0.51
の粒子分散型白金からなる外層との積層体により構成さ
れているものを使用したこと以外は、実施例1と同様に
して、BaTiC)+単結晶の育成を繰り返し行なった
。
L較五す
るつぼ1として、厚さがO,]++++、純度が99.
5重量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μmのジ
ルコニア粒子を0.O1重量%分散させた厚さが0.5
關の粒子分散型白金からなる外層との積層体により構成
されているものを使用したこと以外は、実施例1と同様
にして、BaT i03単結晶の育成を繰り返し行なっ
た。
5重量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μmのジ
ルコニア粒子を0.O1重量%分散させた厚さが0.5
關の粒子分散型白金からなる外層との積層体により構成
されているものを使用したこと以外は、実施例1と同様
にして、BaT i03単結晶の育成を繰り返し行なっ
た。
比」乞例」よ
るつぼ1として、厚さが0.1mm、純度が99.1重
量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μmのジルコ
ニア粒子を1重量%分散させた厚さが0.51の粒子分
散型白金からなる外層との積層体により構成されている
ものを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、B
aTiO3単結晶の育成を繰り返し行なった。
量%の白金からなる内層と、平均粒径が1μmのジルコ
ニア粒子を1重量%分散させた厚さが0.51の粒子分
散型白金からなる外層との積層体により構成されている
ものを使用したこと以外は、実施例1と同様にして、B
aTiO3単結晶の育成を繰り返し行なった。
その結果、実施例1及び2に使用したるつぼは、B a
T i O3単結晶の育成を50回行なった後におい
ても、割れが生じることはなかった。また、得られたB
a T i O3単結晶は、るつぼからの汚染がない
ため、いずれも着色することがなく、所望の光学的特性
を示した。
T i O3単結晶の育成を50回行なった後におい
ても、割れが生じることはなかった。また、得られたB
a T i O3単結晶は、るつぼからの汚染がない
ため、いずれも着色することがなく、所望の光学的特性
を示した。
一方、比較例1に使用した純白金のみからなるるつぼは
、20回目の単結晶育成により割れが生じ、使用不能と
なった。比較例2に使用した白金からなる内層の厚さが
0.01mであるるつぼは、単結晶育成を50回行なっ
た後においても、割れが生じなかった。しかしながら、
25回目以降に育成された単結晶は、外層に含まれるジ
ルコニアにより汚染されて着色し、所望の光学的特性を
示さなかった。
、20回目の単結晶育成により割れが生じ、使用不能と
なった。比較例2に使用した白金からなる内層の厚さが
0.01mであるるつぼは、単結晶育成を50回行なっ
た後においても、割れが生じなかった。しかしながら、
25回目以降に育成された単結晶は、外層に含まれるジ
ルコニアにより汚染されて着色し、所望の光学的特性を
示さなかった。
比較例3に使用した外層のジルコニア粒子の含有量が0
.01重量%であるるつぼは、25回目の単結晶育成に
より割れが生じ、使用不能となった。そして、比較例4
に使用した内層の白金の純度が99.1重量%であるる
つぼは、単結晶育成を50回行なうた後においても、割
れが生じなかった。しかしながら、10回目以降に育成
された単結晶は、内層に含まれる不純物により汚染され
て着色し、所望の光学的特性を示さなかった。
.01重量%であるるつぼは、25回目の単結晶育成に
より割れが生じ、使用不能となった。そして、比較例4
に使用した内層の白金の純度が99.1重量%であるる
つぼは、単結晶育成を50回行なうた後においても、割
れが生じなかった。しかしながら、10回目以降に育成
された単結晶は、内層に含まれる不純物により汚染され
て着色し、所望の光学的特性を示さなかった。
[発明の効果コ
以上説明したように本発明によれば、所定の厚さ及び純
度の白金からなる内層と、所定の粒径の酸化物粒子を所
定量含有する白金又は白金−ロジウム合金からなる外層
との積層体により酸化物単結晶育成用るつぼを構成する
から、このるつぼ内に貯留される融液が汚染されること
を前記内層により防止することができると共に、前記外
層により高温での耐熱強度を向上させることができる。
度の白金からなる内層と、所定の粒径の酸化物粒子を所
定量含有する白金又は白金−ロジウム合金からなる外層
との積層体により酸化物単結晶育成用るつぼを構成する
から、このるつぼ内に貯留される融液が汚染されること
を前記内層により防止することができると共に、前記外
層により高温での耐熱強度を向上させることができる。
従って、酸化物単結晶育成用るつぼの寿命を従来の白金
るつぼの寿命の2倍以上長(することができると共に、
融液の汚染を防止することにより所望の光学的特性の酸
化物単結晶を得ることができる。
るつぼの寿命の2倍以上長(することができると共に、
融液の汚染を防止することにより所望の光学的特性の酸
化物単結晶を得ることができる。
第1図は本発明の実施例に係る酸化物単結晶育成用るつ
ぼ及び単結晶育成装置を示す模式的断面図である。 1;るつぼ、1a;内層、1b;外層、2;ヒータ、3
;融液、4;種棒、5;種結晶取付部、6;種結晶、7
;上昇会下降ヘッド
ぼ及び単結晶育成装置を示す模式的断面図である。 1;るつぼ、1a;内層、1b;外層、2;ヒータ、3
;融液、4;種棒、5;種結晶取付部、6;種結晶、7
;上昇会下降ヘッド
Claims (2)
- (1)厚さが0.1mm以上であり純度が99.5重量
%以上の白金からなる内層と、平均粒径が1μm以下の
酸化物粒子を0.05乃至1重量%含有する白金又は白
金−ロジウム合金からなる外層との積層体からなること
を特徴とする酸化物単結晶育成用るつぼ。 - (2)前記酸化物粒子はジルコニア及びイットリアのい
ずれか一方であることを特徴とする請求項1に記載の酸
化物単結晶育成用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10251690A JPH042687A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 酸化物単結晶育成用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10251690A JPH042687A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 酸化物単結晶育成用るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042687A true JPH042687A (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=14329524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10251690A Pending JPH042687A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 酸化物単結晶育成用るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042687A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012166958A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-09-06 | Ohara Inc | 酸化物単結晶の製造方法 |
| WO2024252544A1 (ja) * | 2023-06-07 | 2024-12-12 | 住友電気工業株式会社 | 坩堝、それを用いたベータ型三酸化二ガリウム単結晶基板の製造方法、およびベータ型三酸化二ガリウム単結晶基板 |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP10251690A patent/JPH042687A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012166958A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-09-06 | Ohara Inc | 酸化物単結晶の製造方法 |
| WO2024252544A1 (ja) * | 2023-06-07 | 2024-12-12 | 住友電気工業株式会社 | 坩堝、それを用いたベータ型三酸化二ガリウム単結晶基板の製造方法、およびベータ型三酸化二ガリウム単結晶基板 |
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