JPH04269724A - 電気光学装置 - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 43
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 28
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 22
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 12
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 10
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000005529 poole-frenkel effect Effects 0.000 description 1
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
学装置に関する。更に詳しくは、液晶層を挟持した一対
の基板の一方の基板上に画素電極とそれを駆動する非線
形素子とを配置した電気光学装置に関するものである。
線形素子としてメタル・インシュレータ・メタル(Me
tal Insulator Metal,以下MIM
素子という)を用いた液晶表示装置を例にして説明する
。図1はこの種の液晶表示装置の一部の斜視図、図2は
MIM素子を有する側の基板の一部の平面図、図3は要
部の拡大断面図である。
上下一対の基板であり、その一方の基板1にはITO等
よりなる対向電極4が形成され、他方の基板2にはIT
O等よりなる多数の画素電極5がマトリックス状に形成
されている。6はタンタル(Ta)等よりなる第1の導
電体、7は酸化タンタル(TaOx)等よりなる絶縁体
、8はクロム(Cr)等よりなる第2の導電体であり、
それら第1の導電体6と絶縁体7および第2の導電体8
とで、画素を駆動するためのMIM素子が構成されてい
る。
6の側面だけを画素駆動用素子として利用するいわゆる
ラテラルMIMの構造を用いている。このラテラルMI
Mは、第1の導電体6の側面以外、つまりMIMを構成
する部分以外の表面をバリア層として厚い絶縁体7bで
覆うことにより、MIM素子を構成する第1の導電体6
の側面の薄い絶縁体7aよりも電気抵抗を高くして素子
として働かないようにしたものである。このような構造
にすることで、素子の面積を非常に小さくすることがで
きるもので、この種の素子を用いた液晶表示装置等の電
気光学装置の高密度化、高精細化に有効な技術である。
なMIM素子等の非線形素子を用いた電気光学装置にお
いて、素子の容量をCMIM 、その素子で駆動される
画素の容量をCLC、印加電圧をVとしたとき、{CL
C/(CMIM +CLC)}×Vの電圧が素子に印加
される。従って、印加電圧に対して素子が良好に駆動す
るためには、CLCが一定であるとすると、CMIM
を小さくしなければならない。一般的には、CLC/C
MIM ≧10 が望ましいとされていた。しかしな
がら、CMIM を小さくする(素子サイズを小さくす
る)と素子の抵抗が増大し、走査駆動をすると、液晶層
に印加される実効電圧が下がってしまうという問題があ
った。
た結果、非線形素子の容量を必ずしも過度に小さくしな
くても素子を良好に駆動させて表示性能のよい電気光学
装置が得られることを見出したものである。
光学装置は、液晶層を狭持する一対の基板の一方の基板
上に対向電極が配置され、他方の基板上には、画素電極
と、該画素電極を駆動するための非線形素子とが配置さ
れ、その非線形素子が第1の導電体と絶縁体および第2
の導電体とを有してなり、その第1の導電体と絶縁体お
よび第2の導電体の重なる部分が、電流電圧特性に非線
形性をもつ電気光学装置において、上記第1の導電体と
絶縁体および第2の導電体の重なる部分のうち画素電極
を駆動するための非線形素子となる部分の容量に対する
画素電極の容量比を変化させたとき通常の使用温度(例
えば、0℃〜50℃程度)でコントラストが最も大きく
なるように上記の容量比を設定したことを特徴とする。
2の導電体の重なる部分のうち画素電極を駆動するため
の非線形素子となる部分の容量に対する画素電極の容量
比を変化させたとき通常の使用温度でコントラストが最
も大きくなるように容量比を設定することにより、非線
形素子の容量を過度に小さくすることなく素子を良好に
駆動させて表示性能のよい電気光学装置を得ることが可
能となる。
の導電体としてそれぞれタンタル、酸化タンタル、クロ
ムを用いる場合には、それ等の重なる部分のうち画素電
極を駆動するための非線形素子となる部分の容量に対す
る画素の容量の比を、2から8の範囲内に設定すればよ
い。
る画素電極の面積比に置き換えることができる。例えば
上記と同様に第1の導電体と絶縁体および第2の導電体
としてそれぞれタンタル、酸化タンタル、クロムを用い
る場合には、それ等の重なる部分のうち画素電極を駆動
するための非線形素子となる部分の面積に対する画素電
極の面積の比を、1000から4000の範囲内に設定
すればよい。
形素子としてMIM素子を用いた液晶表示装置を例にし
て具体的に説明する。一般に、MIM素子をはじめ非線
形な2端子素子を液晶表示装置の画素を駆動するために
用いる場合には、非線形素子に対する画素電極の容量も
しくは面積の比は重要な要素であり、それ等の比を所定
の値に設定する必要がある。
る画素の容量CLCの比CLC/CMIM は、前述の
ように従来一般的には、10以上にするのが望ましいと
されていたが、実際には必ずしも10以上にしなくとも
良好な表示が得られることが分かった。具体的には、例
えばMIM素子を構成する第1の導電体と絶縁体および
第2の導電体としてそれぞれタンタル(Ta)、酸化タ
ンタル(TaOx)、クロム(Cr)を用い、上記酸化
タンタルの比誘電率が約27で膜厚を60nmに設定し
た場合の容量比は、2から8の範囲内に設定するのが望
ましい。それは以下の理由による。即ち、画素の容量を
一定とし、素子の容量を大きくして容量比が2より小さ
くなるようにすると、画素の選択時には大きな書き込み
電流が流れ、充分な電位を画素電極に与えることができ
る反面、画素の非選択時にも大きな漏れ電流が生じてし
まい、画素電極の電位を充分に保持することができなく
なる。従って画素の選択時、非選択時をあわせた実効電
圧は、容量比が小さくなるほど下がってしまう。一方、
素子の容量を小さくして容量比が大きくなるようにする
と、画素の非選択時には漏れ電流が小さいので、充分に
画素電極の電位を保持することができる反面、画素の選
択時においては大きな書き込み電流を得られないので、
画素電極に充分な電位を与えることができない。従って
画素の選択時、非選択時を合わせた実効電圧は、容量比
が大きくなるほど下がってしまう。
の近傍の容量比の変化に対する画素の実効電圧の変化率
が0になる容量比が存在することがわかる。その実効電
圧の変化率が0になる容量比は、具体的には前記の条件
においては約4程度であり、容量比を2から8の範囲、
より好ましくは3.5から5.5の範囲内に設定すれば
良好な表示が得られるものである。
構成する第1の導電体と絶縁体および第2の導電体とし
てそれぞれタンタル、酸化タンタル、クロムを用い、そ
の酸化タンタルの比誘電率が約27で膜厚を60nmに
設定し、対向電極基板間に液晶層(層厚約5ミクロン)
を介在させた液晶表示装置における容量比に対するコン
トラスト(オン・オフ時の透過光量比)を示すもので、
容量比が4程度で良好なコントラストが得られることが
わかる。酸化タンタルの比誘電率や膜厚を多少変化させ
た場合も同様である。さらに図4において、曲線A、B
、Cはそれぞれ0℃、25℃、50℃でのコントラスト
を示すもので、通常の使用温度0℃〜50℃の範囲にお
いては、温度変化によってもコントラストが最大となる
容量比は大きく変動せず、容量比を前記のような条件に
設定することにより常に高コントラストの表示が得られ
ることがわかる。
の面積に対する画素の面積、つまり画素電極の面積の比
(以下、駆動面積比という)に置き換えることができる
。即ち、例えばMIM素子を構成する第1の導電体と絶
縁体および第2の導電体として、それぞれ前述のように
タンタル、酸化タンタル、クロムを用い、前記と同じ条
件に設定した液晶表示装置の場合には、容量比で2から
8は、駆動面積比でおよそ1000から4000に相当
する。従って、液晶や非線形素子の容量比を変えるとき
には、駆動面積比を1000〜4000の範囲内、より
好ましくは1700〜2800の範囲内に設定すればよ
い。
ショットキー効果またはプールフレンケル効果に依存し
ており電流密度をjとして以下のように表される。 j=kVexp(β√V)
‥‥‥(1
) β=1/αKT(q3 /πε
r ε0 d)1/2 ‥‥‥(2)
k=ημq/dexp(−φ/αKT)
‥‥‥(3)V: 電圧 εr :絶縁体の比誘電率 d: 絶縁体の膜厚 α=1: プールフレンケル α=2: ショットキー
厚60nm、比誘電率27)、クロムのMIM素子の場
合には、比線形素子の急峻性を示すβは上記式(2)か
ら約4〜8が得られる。また、この場合の素子容量CL
Cは、 CLC=εr ε0 S/d
‥‥‥(4
)S: 素子面積 となり、素子容量は素子面積で調整される。
合、画素容量CLC、素子容量CMIM の容量比CL
C/CMIM には、前述したように表示特性(コント
ラスト、階調再現性など)にとって最適な値が存在する
。そのときの容量比は約4(駆動面積比では約2000
)である。 CLCは素子面積Sに依存するため、最適容量比(容量
)となる素子面積をS´とした場合、上記(1)式から
書き込み時(素子印加電圧平均VON)の最適電流値の
平均I´は、 I´=j(VON)S´
‥‥‥(5)と
なる。ここで上記素子の急峻性を表すβが向上したとす
ると前記(1)式からjが上昇するため、最適電流値の
平均I´を得るためには上記(5)式の最適素子面積S
´または素子印加平均電圧VONを小さくしなくてはな
らないことがわかる。ところで、素子の急峻性βは、
β √(1/εr d)
‥‥‥(
6)であるから、比線形素子の絶縁体の比誘電率εr
や膜厚dを変えることによって最適素子サイズは変動す
ることになる。
IMを例示したが、これに限られるものではない。また
実施例はMIM素子を構成する第1の導電体と絶縁体お
よび第2の導電体として、それぞれタンタル、酸化タン
タル、クロムを用いた場合を例にして説明したが、それ
等の材質は適宜であり、材質の如何に拘らず素子に対す
る画素電極の容量比もしくは駆動面積比を変化させたと
き通常の使用温度でコントラストが最も大きくなるよう
に前記の容量比もしくは駆動面積比を設定すれば、上記
と同様の効果が得られる。さらに実施例は液晶表示装置
を例にして説明したが、他の各種液晶装置その他の電気
光学装置にも適用可能である。
を用いた液晶表示装置等の電気光学装置において、非線
形素子に対する画素電極の容量比もしくは面積比を変化
させたとき通常の使用温度でコントラストが最も大きく
なるように上記の容量比もしくは面積比を設定すること
により、非線形素子の容量を過度に小さくすることなく
素子を良好に駆動させることが可能となるもので、性能
および安定性のよい電気光学装置が得られる等の効果が
ある。
。
フ。
Claims (4)
- 【請求項1】 液晶層を狭持する一対の基板の一方の
基板上に対向電極が配置され、他方の基板上には、画素
電極と、該画素電極を駆動するための非線形素子とが配
置され、その非線形素子が第1の導電体と絶縁体および
第2の導電体とを有してなり、その第1の導電体と絶縁
体および第2の導電体の重なる部分が、電流電圧特性に
非線形性をもつ電気光学装置において、上記第1の導電
体と絶縁体および第2の導電体の重なる部分のうち画素
電極を駆動するための非線形素子となる部分の容量に対
する画素電極の容量比を変化させたとき通常の使用温度
でコントラストが最も大きくなるように上記の容量比を
設定したことを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項2】 前記第1の導電体と絶縁体および第2
の導電体としてそれぞれタンタル、酸化タンタル、クロ
ムを用い、それ等の重なる部分のうち画素電極を駆動す
るための非線形素子となる部分の容量に対する該非線形
素子によって駆動される画素の容量の比を、2から8の
範囲内に設定したことを特徴とする請求項1記載の電気
光学装置。 - 【請求項3】 液晶層を狭持する一対の基板の一方の
基板上に対向電極が配置され、他方の基板上には、画素
電極と、該画素電極を駆動するための非線形素子とが配
置され、その非線形素子が第1の導電体と絶縁体および
第2の導電体とを有してなり、その第1の導電体と絶縁
体および第2の導電体の重なる部分が、電流電圧特性に
非線形性をもつ電気光学装置において、上記第1の導電
体と絶縁体および第2の導電体の重なる部分のうち画素
電極を駆動するための非線形素子となる部分の面積に対
する画素電極の面積比を変化させたとき通常の使用温度
でコントラストが最も大きくなるように上記の面積比を
設定したことを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項4】 前記第1の導電体と絶縁体および第2
の導電体としてそれぞれタンタル、酸化タンタル、クロ
ムを用い、それ等の重なる部分のうち画素電極を駆動す
るための非線形素子となる部分の面積に対する画素電極
の面積の比を、1000から4000の範囲内に設定し
たことを特徴とする請求項1記載の電気光学装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5337491A JP3125311B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 電気光学装置 |
| KR1019910018007A KR100247110B1 (ko) | 1991-02-25 | 1991-10-14 | 전기 광학 장치 |
| TW080108473A TW209277B (ja) | 1991-02-25 | 1991-10-29 | |
| EP19920100994 EP0501136A3 (en) | 1991-02-25 | 1992-01-22 | Electro-optical device |
| US08/369,608 US5661579A (en) | 1991-02-25 | 1995-01-06 | Manufacturing method for liquid crystal display having matched liquid crystal and MIM element capacitances for enhancing contrast ratio |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5337491A JP3125311B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 電気光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269724A true JPH04269724A (ja) | 1992-09-25 |
| JP3125311B2 JP3125311B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=12941045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5337491A Expired - Fee Related JP3125311B2 (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 電気光学装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0501136A3 (ja) |
| JP (1) | JP3125311B2 (ja) |
| KR (1) | KR100247110B1 (ja) |
| TW (1) | TW209277B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6256222B1 (en) | 1994-05-02 | 2001-07-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetoresistance effect device, and magnetoresistaance effect type head, memory device, and amplifying device using the same |
| JP3240620B2 (ja) * | 1995-09-27 | 2001-12-17 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置、電子機器及び表示装置の製造方法 |
| US5936810A (en) | 1996-02-14 | 1999-08-10 | Hitachi, Ltd. | Magnetoresistive effect head |
| US6545847B2 (en) | 1996-02-14 | 2003-04-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetoresistive effect head |
| JP3828777B2 (ja) | 2001-10-22 | 2006-10-04 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気抵抗効果ヘッド |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59131974A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-07-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置 |
| US5128784A (en) * | 1989-03-23 | 1992-07-07 | Seiko Epson Corporation | Active matrix liquid crystal display device and method for production thereof |
-
1991
- 1991-02-25 JP JP5337491A patent/JP3125311B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1991-10-14 KR KR1019910018007A patent/KR100247110B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1991-10-29 TW TW080108473A patent/TW209277B/zh active
-
1992
- 1992-01-22 EP EP19920100994 patent/EP0501136A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0501136A3 (en) | 1992-12-09 |
| JP3125311B2 (ja) | 2001-01-15 |
| KR920016885A (ko) | 1992-09-25 |
| EP0501136A2 (en) | 1992-09-02 |
| TW209277B (ja) | 1993-07-11 |
| KR100247110B1 (ko) | 2000-03-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001003 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071102 Year of fee payment: 7 |
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