JPH04269814A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPH04269814A JPH04269814A JP5323591A JP5323591A JPH04269814A JP H04269814 A JPH04269814 A JP H04269814A JP 5323591 A JP5323591 A JP 5323591A JP 5323591 A JP5323591 A JP 5323591A JP H04269814 A JPH04269814 A JP H04269814A
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- JP
- Japan
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- recording medium
- film
- magnetic recording
- perpendicular magnetic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は性能の向上された垂直
磁気記録媒体に関するものである。
磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、磁気記録の高密度化の要求にとも
ない、磁性層の膜厚方向に記録する、いわゆる垂直磁気
記録方法の研究が盛んに行われている。これら垂直磁気
記録媒体はおもに真空蒸着法、スパッタ法あるいはメッ
キ法によって作製され、特にスパッタ法により作製され
た垂直磁気記録媒体は、磁性膜の磁気特性の制御が容易
であるため盛んに研究がなされている。しかしながら高
密度の記録を行なう場合、記録されるビット長の大幅な
縮小や狭トラック化、広帯域化を必要とするため高C/
N化が必要とされてきている。このため、Co−Cr合
金からなる垂直磁気記録層とベースフィルムとの間にN
i−Fe合金からなる軟磁性層を形成した、いわゆる「
垂直磁気記録2層媒体」と垂直磁気記録用単磁極ヘッド
の組み合わせによる記録方法が研究されてきている。こ
の方法によれば、垂直磁気記録用単磁極ヘッドの主磁極
と垂直2層媒体の軟磁性層との間に、強い磁気的相互作
用が働き、膜厚方向に対して垂直に磁力線を発生できる
ため、高記録密度においても理想的な垂直磁気記録が行
なえ、再生時においても軟磁性層がリターンパスとなる
ため高再生出力が得られている。この種の先行技術の一
例としては、本願人が先に出願した特願平1−2997
43号「垂直磁気記録二層媒体及びその製造方法」があ
り、この先願例は、非磁性基板上に膜面内に磁化容易軸
を有する低保持力磁性層と膜面に垂直方向の磁化容易軸
を有する磁気記録磁性層を順次形成してなる垂直磁気記
録媒体において、その磁気記録磁性層を飽和磁化のより
小さい下部層と飽和磁化のより大きい上部層とで形成し
、これら一連の磁性層を特定条件のスパッタリング法で
形成し、高密度化に適した性能のよい垂直磁気記録媒体
を提供している。
ない、磁性層の膜厚方向に記録する、いわゆる垂直磁気
記録方法の研究が盛んに行われている。これら垂直磁気
記録媒体はおもに真空蒸着法、スパッタ法あるいはメッ
キ法によって作製され、特にスパッタ法により作製され
た垂直磁気記録媒体は、磁性膜の磁気特性の制御が容易
であるため盛んに研究がなされている。しかしながら高
密度の記録を行なう場合、記録されるビット長の大幅な
縮小や狭トラック化、広帯域化を必要とするため高C/
N化が必要とされてきている。このため、Co−Cr合
金からなる垂直磁気記録層とベースフィルムとの間にN
i−Fe合金からなる軟磁性層を形成した、いわゆる「
垂直磁気記録2層媒体」と垂直磁気記録用単磁極ヘッド
の組み合わせによる記録方法が研究されてきている。こ
の方法によれば、垂直磁気記録用単磁極ヘッドの主磁極
と垂直2層媒体の軟磁性層との間に、強い磁気的相互作
用が働き、膜厚方向に対して垂直に磁力線を発生できる
ため、高記録密度においても理想的な垂直磁気記録が行
なえ、再生時においても軟磁性層がリターンパスとなる
ため高再生出力が得られている。この種の先行技術の一
例としては、本願人が先に出願した特願平1−2997
43号「垂直磁気記録二層媒体及びその製造方法」があ
り、この先願例は、非磁性基板上に膜面内に磁化容易軸
を有する低保持力磁性層と膜面に垂直方向の磁化容易軸
を有する磁気記録磁性層を順次形成してなる垂直磁気記
録媒体において、その磁気記録磁性層を飽和磁化のより
小さい下部層と飽和磁化のより大きい上部層とで形成し
、これら一連の磁性層を特定条件のスパッタリング法で
形成し、高密度化に適した性能のよい垂直磁気記録媒体
を提供している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本願発明は前記特願平
1−299743号記載の発明の効果をさらに別の立脚
点に立って推進したもので、いわば前記特願平の改良特
許とも言うべきものである。すなわち性能のよい垂直磁
気記録テープを実現しようとするにはCo−Cr/Ni
−Fe垂直磁気記録2層媒体の記録磁性層Co−Cr膜
の結晶のC軸が非磁性基板に対して垂直方向に配向して
いることも必要である。そこで本発明の目的は、記録磁
性層Co−Cr膜の結晶のC軸配向性を改善し性能のよ
い垂直磁気記録媒体を提供せんとするものである。
1−299743号記載の発明の効果をさらに別の立脚
点に立って推進したもので、いわば前記特願平の改良特
許とも言うべきものである。すなわち性能のよい垂直磁
気記録テープを実現しようとするにはCo−Cr/Ni
−Fe垂直磁気記録2層媒体の記録磁性層Co−Cr膜
の結晶のC軸が非磁性基板に対して垂直方向に配向して
いることも必要である。そこで本発明の目的は、記録磁
性層Co−Cr膜の結晶のC軸配向性を改善し性能のよ
い垂直磁気記録媒体を提供せんとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らはかかる問題
に対し、鋭意検討の結果、従来のCo−Cr/Ni−F
e垂直磁気記録2層媒体では、非磁性基板上に形成した
Ni−Fe膜の結晶配向性が悪いため、結晶のC軸配向
性のよい記録磁性層Co−Cr膜を形成できないことを
見いだした。そこで非磁性基板上に結晶配向性のよい膜
厚0.0075μm 以上のCo−Cr下地膜を形成す
ることによって、その上に順次形成するNi−Fe膜と
記録磁性層Co−Cr膜がCo−Cr下地膜の良好なh
cp(002)面の結晶配向性を順次引き継いでヘテロ
エピタキシャル成長し、Ni−Fe膜と記録磁性層Co
−Cr膜の結晶配向性を改善できることを見いだした。 すなわち前述の目的を達成するための本発明垂直磁気記
録媒体は、非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を有する
単結晶または多結晶の低保磁力磁性層と膜面に垂直方向
の磁化容易軸を有する単結晶または多結晶の記録磁性層
を順次形成してなる磁気記録媒体において、前記非磁性
基板と前記低保磁力磁性層との間にCo−Cr系合金か
らなる下地膜を設けたことを特徴とするものである。
に対し、鋭意検討の結果、従来のCo−Cr/Ni−F
e垂直磁気記録2層媒体では、非磁性基板上に形成した
Ni−Fe膜の結晶配向性が悪いため、結晶のC軸配向
性のよい記録磁性層Co−Cr膜を形成できないことを
見いだした。そこで非磁性基板上に結晶配向性のよい膜
厚0.0075μm 以上のCo−Cr下地膜を形成す
ることによって、その上に順次形成するNi−Fe膜と
記録磁性層Co−Cr膜がCo−Cr下地膜の良好なh
cp(002)面の結晶配向性を順次引き継いでヘテロ
エピタキシャル成長し、Ni−Fe膜と記録磁性層Co
−Cr膜の結晶配向性を改善できることを見いだした。 すなわち前述の目的を達成するための本発明垂直磁気記
録媒体は、非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を有する
単結晶または多結晶の低保磁力磁性層と膜面に垂直方向
の磁化容易軸を有する単結晶または多結晶の記録磁性層
を順次形成してなる磁気記録媒体において、前記非磁性
基板と前記低保磁力磁性層との間にCo−Cr系合金か
らなる下地膜を設けたことを特徴とするものである。
【0005】
【実施例】以下添付図面を参照し実施例により本発明を
説明する。図1に本発明に係わる垂直磁気記録媒体の基
本構成を模式的に示す。図1図示構成を説明すると、C
o−Cr下地膜が非磁性基板(例えばポリイミドフィル
ム)1上に対向ターゲットスパッタ法により例えば0.
01μm の厚さに被着される。このCo−Cr下地膜
2のCo原子含有率は66〜73原子%であることが望
ましい。続いて単結晶または多結晶の低保磁力磁性層3
が例えば0.1 μm の厚さに被着され、さらに単結
晶または多結晶の記録磁性層4が例えば0.13μm
の厚さに形成される。本発明者らは実施例として図2に
示した垂直磁気記録媒体を作製した。これは図1で、低
保磁力磁性層3をNi−Fe膜7とし、記録磁性層4を
より小さい飽和磁化の下部層8とより大きい飽和磁化の
上部層9に2層化したものに相当する。これらの成膜条
件を以下に具体例でより詳細に説明する。 Co−Cr下地膜の成膜条件 ターゲット組成 :Co−Cr(Co:67原子
%、Cr:33原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :25℃ 膜厚 :0.0025〜0
.03μm飽和磁化 :51(em
u/cc)低保磁力磁性層のNi−Fe膜の成膜条件タ
ーゲット組成 :Ni−Fe(Ni:80原子%
、Fe:20原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :130 ℃ 膜厚 :0.1 μm記録
磁性層の下部層のCo−Cr膜の成膜条件ターゲット組
成 :Co−Cr(Co:67原子%、Cr:3
3原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :130 ℃ 膜厚 :0.03μm飽和
磁化 :51(emu/cc)記録
磁性層の上部層のCo−Cr膜の成膜条件ターゲット組
成 :Co−Cr(Co:79原子%、Cr:2
1原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :130 ℃ 膜厚 :0.1 μm飽和
磁化 :514(emu/cc)以
上のようにして、膜厚0.0025μm 以上のCo−
Cr下地膜上に膜厚0.1 μm のNi−Fe膜と膜
厚0.13μm の2層からなる記録磁性層Co−Cr
膜が形成される。これらは具体例のほんの一例である。 図3に図2図示垂直磁気記録媒体のCo−Cr下地膜の
成長膜厚に対する低保磁力磁性層Ni−Fe膜と記録磁
性層Co−Cr膜のX線回折強度I(111)(kCP
S)およびI(002)(kCPS)とロッキング曲線
の半値幅Δθ50(deg.)との変化の実験曲線を示
した。図で白ぬき丸印、黒丸印はそれぞれCo−Cr膜
およびNi−Fe膜のX線回折強度データを示し、強度
が強い程この膜の単結晶化のすすんでいることを示して
いる。また同図で白ぬき四角印、黒四角印はそれぞれC
o−Cr膜およびNi−Fe膜のロッキング曲線の半値
幅を示し、半値幅が狭いほどやはり膜の単結晶化がすす
んでいることを示している。また(kCPS)とはキロ
カウント/秒のことである。この図3図示データ曲線よ
りCo−Cr下地膜の好適な膜厚は少なくとも0.00
75μm であることがわかるであろう。またX線回折
強度、ロッキング曲線の半値幅は上述の数値以上では飽
和するが、最大許容膜厚はこの垂直磁気記録媒体の全膜
厚により規定され、全膜厚は極力薄いことが望まれるが
、全体のバランス上ほぼ0.03μm が好適とされる
。またこの下地膜のCo原子とCr原子それぞれの含有
率はCo原子について少なくとも66原子%から73原
子%を越えない範囲のものが好適であることが本発明者
らの種々の実験結果から得られている。さらにまた、上
述の条件によりCo−Cr系合金からなる下地層を設け
れば、その下地層の上に設けられるべき低保磁力磁性層
と記録磁性層の好適な条件は前記特願平1−29974
3号明細書に記載された好適な条件にほぼ一致すること
がさらに本願発明者により確かめられており、本発明請
求項5,6,7,9に記載された内容は前記特願平1−
299743号明細書記載の内容が参照されるべきもの
である。以上本発明を実施例により説明してきたが、本
発明はこれに限定されることなく、特許請求の範囲に記
載された要旨内で各種の変形、変更が可能であろう。
説明する。図1に本発明に係わる垂直磁気記録媒体の基
本構成を模式的に示す。図1図示構成を説明すると、C
o−Cr下地膜が非磁性基板(例えばポリイミドフィル
ム)1上に対向ターゲットスパッタ法により例えば0.
01μm の厚さに被着される。このCo−Cr下地膜
2のCo原子含有率は66〜73原子%であることが望
ましい。続いて単結晶または多結晶の低保磁力磁性層3
が例えば0.1 μm の厚さに被着され、さらに単結
晶または多結晶の記録磁性層4が例えば0.13μm
の厚さに形成される。本発明者らは実施例として図2に
示した垂直磁気記録媒体を作製した。これは図1で、低
保磁力磁性層3をNi−Fe膜7とし、記録磁性層4を
より小さい飽和磁化の下部層8とより大きい飽和磁化の
上部層9に2層化したものに相当する。これらの成膜条
件を以下に具体例でより詳細に説明する。 Co−Cr下地膜の成膜条件 ターゲット組成 :Co−Cr(Co:67原子
%、Cr:33原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :25℃ 膜厚 :0.0025〜0
.03μm飽和磁化 :51(em
u/cc)低保磁力磁性層のNi−Fe膜の成膜条件タ
ーゲット組成 :Ni−Fe(Ni:80原子%
、Fe:20原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :130 ℃ 膜厚 :0.1 μm記録
磁性層の下部層のCo−Cr膜の成膜条件ターゲット組
成 :Co−Cr(Co:67原子%、Cr:3
3原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :130 ℃ 膜厚 :0.03μm飽和
磁化 :51(emu/cc)記録
磁性層の上部層のCo−Cr膜の成膜条件ターゲット組
成 :Co−Cr(Co:79原子%、Cr:2
1原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー :1.0kW基板フィルム
温度 :130 ℃ 膜厚 :0.1 μm飽和
磁化 :514(emu/cc)以
上のようにして、膜厚0.0025μm 以上のCo−
Cr下地膜上に膜厚0.1 μm のNi−Fe膜と膜
厚0.13μm の2層からなる記録磁性層Co−Cr
膜が形成される。これらは具体例のほんの一例である。 図3に図2図示垂直磁気記録媒体のCo−Cr下地膜の
成長膜厚に対する低保磁力磁性層Ni−Fe膜と記録磁
性層Co−Cr膜のX線回折強度I(111)(kCP
S)およびI(002)(kCPS)とロッキング曲線
の半値幅Δθ50(deg.)との変化の実験曲線を示
した。図で白ぬき丸印、黒丸印はそれぞれCo−Cr膜
およびNi−Fe膜のX線回折強度データを示し、強度
が強い程この膜の単結晶化のすすんでいることを示して
いる。また同図で白ぬき四角印、黒四角印はそれぞれC
o−Cr膜およびNi−Fe膜のロッキング曲線の半値
幅を示し、半値幅が狭いほどやはり膜の単結晶化がすす
んでいることを示している。また(kCPS)とはキロ
カウント/秒のことである。この図3図示データ曲線よ
りCo−Cr下地膜の好適な膜厚は少なくとも0.00
75μm であることがわかるであろう。またX線回折
強度、ロッキング曲線の半値幅は上述の数値以上では飽
和するが、最大許容膜厚はこの垂直磁気記録媒体の全膜
厚により規定され、全膜厚は極力薄いことが望まれるが
、全体のバランス上ほぼ0.03μm が好適とされる
。またこの下地膜のCo原子とCr原子それぞれの含有
率はCo原子について少なくとも66原子%から73原
子%を越えない範囲のものが好適であることが本発明者
らの種々の実験結果から得られている。さらにまた、上
述の条件によりCo−Cr系合金からなる下地層を設け
れば、その下地層の上に設けられるべき低保磁力磁性層
と記録磁性層の好適な条件は前記特願平1−29974
3号明細書に記載された好適な条件にほぼ一致すること
がさらに本願発明者により確かめられており、本発明請
求項5,6,7,9に記載された内容は前記特願平1−
299743号明細書記載の内容が参照されるべきもの
である。以上本発明を実施例により説明してきたが、本
発明はこれに限定されることなく、特許請求の範囲に記
載された要旨内で各種の変形、変更が可能であろう。
【0006】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば非磁性基板と垂直磁気記録2層媒体(Co−Cr/N
i−Fe)のうちのNi−Fe膜との間に薄膜Co−C
r下地膜が形成されて、低保磁力磁性層Ni−Fe膜と
記録磁性層Co−Cr膜の単結晶化が前記下地膜により
エピタキシャル的に促進されて、結晶配向性が従来例よ
り大幅に改善され、高密度記録に適した垂直磁気記録媒
体が得られる。
ば非磁性基板と垂直磁気記録2層媒体(Co−Cr/N
i−Fe)のうちのNi−Fe膜との間に薄膜Co−C
r下地膜が形成されて、低保磁力磁性層Ni−Fe膜と
記録磁性層Co−Cr膜の単結晶化が前記下地膜により
エピタキシャル的に促進されて、結晶配向性が従来例よ
り大幅に改善され、高密度記録に適した垂直磁気記録媒
体が得られる。
【図1】本発明に係るCo−Cr下地膜を有する垂直磁
気記録媒体の基本構成図。
気記録媒体の基本構成図。
【図2】実施例として作製したCo−Cr下地膜を有す
る垂直磁気記録媒体の構成図。
る垂直磁気記録媒体の構成図。
【図3】Co−Cr下地膜の成長膜厚に対する低保持力
磁性層Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜のX線回
折強度とロッキング曲線の半値幅の変化を示した実験曲
線。
磁性層Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜のX線回
折強度とロッキング曲線の半値幅の変化を示した実験曲
線。
1 非磁性基板
2 Co−Cr下地膜
3 低保磁力磁性層
4 記録磁性層
5 基板ポリイミドフィルム
6 Co−Cr下地膜(Co:67原子%、Cr:3
3原子%)7 3のNi−Fe膜(Ni:80原子%
、Fe:20原子%)8 4の下部層Co−Cr膜(
Co:67原子%、Cr:33原子%) 9 4の上部層Co−Cr膜(Co:79原子%、C
r:21原子%)
3原子%)7 3のNi−Fe膜(Ni:80原子%
、Fe:20原子%)8 4の下部層Co−Cr膜(
Co:67原子%、Cr:33原子%) 9 4の上部層Co−Cr膜(Co:79原子%、C
r:21原子%)
Claims (9)
- 【請求項1】 非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を
有する単結晶または多結晶の低保磁力磁性層と膜面に垂
直方向の磁化容易軸を有する単結晶または多結晶の記録
磁性層を順次形成してなる磁気記録媒体において、前記
非磁性基板と前記低保磁力磁性層との間にCo−Cr系
合金からなる下地膜を設けたことを特徴とする垂直磁気
記録媒体。 - 【請求項2】 請求項1記載の記録媒体において、前
記Co−Cr系合金からなる下地膜の厚さが少なくとも
0.0075μm から0.03μm を越えない範囲
であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項3】 請求項2記載の記録媒体において、前
記Co−Cr系合金からなる下地膜のCo原子含有率が
少なくとも66原子%から73原子%を越えない範囲で
あることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項4】 請求項1記載の記録媒体において、前
記記録磁性層がCo−Cr系合金からなることを特徴と
する垂直磁気記録媒体。 - 【請求項5】 請求項4記載の記録媒体において、前
記記録磁性層が飽和磁化のより小さい下部層と飽和磁化
のより大きい上部層とからなることを特徴とする垂直磁
気記録媒体。 - 【請求項6】 請求項5記載の記録媒体において、前
記下部層の厚さおよび前記下部層と前記上部層の厚さの
和がそれぞれ0.05μm を越えない厚さおよび0.
15μm を越えない厚さであることを特徴とする垂直
磁気記録媒体。 - 【請求項7】 請求項6記載の記録媒体において、前
記下部層の飽和磁化の値および前記上部層の飽和磁化の
値がそれぞれ200emu/cc を越えない値および
200emu/cc を越えた値であることを特徴とす
る垂直磁気記録媒体。 - 【請求項8】 請求項1記載の記録媒体において、前
記低保持力磁性層がNi−Fe系合金からなることを特
徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項9】 請求項8記載の記録媒体において、前
記低保磁力磁性層の厚さが少なくとも0.05μm か
ら0.15μm を越えない範囲であることを特徴とす
る垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3053235A JP3045797B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3053235A JP3045797B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269814A true JPH04269814A (ja) | 1992-09-25 |
| JP3045797B2 JP3045797B2 (ja) | 2000-05-29 |
Family
ID=12937146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3053235A Expired - Lifetime JP3045797B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3045797B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05282650A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-10-29 | Censtor Corp | 局部緩和抑制現象を示す改善された垂直型磁気記録媒体 |
| US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
-
1991
- 1991-02-26 JP JP3053235A patent/JP3045797B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05282650A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-10-29 | Censtor Corp | 局部緩和抑制現象を示す改善された垂直型磁気記録媒体 |
| US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3045797B2 (ja) | 2000-05-29 |
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