JPH04269814A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

垂直磁気記録媒体

Info

Publication number
JPH04269814A
JPH04269814A JP5323591A JP5323591A JPH04269814A JP H04269814 A JPH04269814 A JP H04269814A JP 5323591 A JP5323591 A JP 5323591A JP 5323591 A JP5323591 A JP 5323591A JP H04269814 A JPH04269814 A JP H04269814A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording medium
film
magnetic recording
perpendicular magnetic
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5323591A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3045797B2 (ja
Inventor
Atsushi Kuga
淳 久我
Hideaki Yoshimoto
吉本 秀明
Junji Numazawa
沼澤 潤二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Broadcasting Corp
Original Assignee
Nippon Hoso Kyokai NHK
Japan Broadcasting Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Hoso Kyokai NHK, Japan Broadcasting Corp filed Critical Nippon Hoso Kyokai NHK
Priority to JP3053235A priority Critical patent/JP3045797B2/ja
Publication of JPH04269814A publication Critical patent/JPH04269814A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3045797B2 publication Critical patent/JP3045797B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は性能の向上された垂直
磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、磁気記録の高密度化の要求にとも
ない、磁性層の膜厚方向に記録する、いわゆる垂直磁気
記録方法の研究が盛んに行われている。これら垂直磁気
記録媒体はおもに真空蒸着法、スパッタ法あるいはメッ
キ法によって作製され、特にスパッタ法により作製され
た垂直磁気記録媒体は、磁性膜の磁気特性の制御が容易
であるため盛んに研究がなされている。しかしながら高
密度の記録を行なう場合、記録されるビット長の大幅な
縮小や狭トラック化、広帯域化を必要とするため高C/
N化が必要とされてきている。このため、Co−Cr合
金からなる垂直磁気記録層とベースフィルムとの間にN
i−Fe合金からなる軟磁性層を形成した、いわゆる「
垂直磁気記録2層媒体」と垂直磁気記録用単磁極ヘッド
の組み合わせによる記録方法が研究されてきている。こ
の方法によれば、垂直磁気記録用単磁極ヘッドの主磁極
と垂直2層媒体の軟磁性層との間に、強い磁気的相互作
用が働き、膜厚方向に対して垂直に磁力線を発生できる
ため、高記録密度においても理想的な垂直磁気記録が行
なえ、再生時においても軟磁性層がリターンパスとなる
ため高再生出力が得られている。この種の先行技術の一
例としては、本願人が先に出願した特願平1−2997
43号「垂直磁気記録二層媒体及びその製造方法」があ
り、この先願例は、非磁性基板上に膜面内に磁化容易軸
を有する低保持力磁性層と膜面に垂直方向の磁化容易軸
を有する磁気記録磁性層を順次形成してなる垂直磁気記
録媒体において、その磁気記録磁性層を飽和磁化のより
小さい下部層と飽和磁化のより大きい上部層とで形成し
、これら一連の磁性層を特定条件のスパッタリング法で
形成し、高密度化に適した性能のよい垂直磁気記録媒体
を提供している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本願発明は前記特願平
1−299743号記載の発明の効果をさらに別の立脚
点に立って推進したもので、いわば前記特願平の改良特
許とも言うべきものである。すなわち性能のよい垂直磁
気記録テープを実現しようとするにはCo−Cr/Ni
−Fe垂直磁気記録2層媒体の記録磁性層Co−Cr膜
の結晶のC軸が非磁性基板に対して垂直方向に配向して
いることも必要である。そこで本発明の目的は、記録磁
性層Co−Cr膜の結晶のC軸配向性を改善し性能のよ
い垂直磁気記録媒体を提供せんとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らはかかる問題
に対し、鋭意検討の結果、従来のCo−Cr/Ni−F
e垂直磁気記録2層媒体では、非磁性基板上に形成した
Ni−Fe膜の結晶配向性が悪いため、結晶のC軸配向
性のよい記録磁性層Co−Cr膜を形成できないことを
見いだした。そこで非磁性基板上に結晶配向性のよい膜
厚0.0075μm 以上のCo−Cr下地膜を形成す
ることによって、その上に順次形成するNi−Fe膜と
記録磁性層Co−Cr膜がCo−Cr下地膜の良好なh
cp(002)面の結晶配向性を順次引き継いでヘテロ
エピタキシャル成長し、Ni−Fe膜と記録磁性層Co
−Cr膜の結晶配向性を改善できることを見いだした。 すなわち前述の目的を達成するための本発明垂直磁気記
録媒体は、非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を有する
単結晶または多結晶の低保磁力磁性層と膜面に垂直方向
の磁化容易軸を有する単結晶または多結晶の記録磁性層
を順次形成してなる磁気記録媒体において、前記非磁性
基板と前記低保磁力磁性層との間にCo−Cr系合金か
らなる下地膜を設けたことを特徴とするものである。
【0005】
【実施例】以下添付図面を参照し実施例により本発明を
説明する。図1に本発明に係わる垂直磁気記録媒体の基
本構成を模式的に示す。図1図示構成を説明すると、C
o−Cr下地膜が非磁性基板(例えばポリイミドフィル
ム)1上に対向ターゲットスパッタ法により例えば0.
01μm の厚さに被着される。このCo−Cr下地膜
2のCo原子含有率は66〜73原子%であることが望
ましい。続いて単結晶または多結晶の低保磁力磁性層3
が例えば0.1 μm の厚さに被着され、さらに単結
晶または多結晶の記録磁性層4が例えば0.13μm 
の厚さに形成される。本発明者らは実施例として図2に
示した垂直磁気記録媒体を作製した。これは図1で、低
保磁力磁性層3をNi−Fe膜7とし、記録磁性層4を
より小さい飽和磁化の下部層8とより大きい飽和磁化の
上部層9に2層化したものに相当する。これらの成膜条
件を以下に具体例でより詳細に説明する。 Co−Cr下地膜の成膜条件 ターゲット組成    :Co−Cr(Co:67原子
%、Cr:33原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー        :1.0kW基板フィルム
温度  :25℃ 膜厚              :0.0025〜0
.03μm飽和磁化          :51(em
u/cc)低保磁力磁性層のNi−Fe膜の成膜条件タ
ーゲット組成    :Ni−Fe(Ni:80原子%
、Fe:20原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー        :1.0kW基板フィルム
温度  :130 ℃ 膜厚              :0.1 μm記録
磁性層の下部層のCo−Cr膜の成膜条件ターゲット組
成    :Co−Cr(Co:67原子%、Cr:3
3原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー        :1.0kW基板フィルム
温度  :130 ℃ 膜厚              :0.03μm飽和
磁化          :51(emu/cc)記録
磁性層の上部層のCo−Cr膜の成膜条件ターゲット組
成    :Co−Cr(Co:79原子%、Cr:2
1原子%) スパッタアルゴン圧:1mTorr 投入パワー        :1.0kW基板フィルム
温度  :130 ℃ 膜厚              :0.1 μm飽和
磁化          :514(emu/cc)以
上のようにして、膜厚0.0025μm 以上のCo−
Cr下地膜上に膜厚0.1 μm のNi−Fe膜と膜
厚0.13μm の2層からなる記録磁性層Co−Cr
膜が形成される。これらは具体例のほんの一例である。 図3に図2図示垂直磁気記録媒体のCo−Cr下地膜の
成長膜厚に対する低保磁力磁性層Ni−Fe膜と記録磁
性層Co−Cr膜のX線回折強度I(111)(kCP
S)およびI(002)(kCPS)とロッキング曲線
の半値幅Δθ50(deg.)との変化の実験曲線を示
した。図で白ぬき丸印、黒丸印はそれぞれCo−Cr膜
およびNi−Fe膜のX線回折強度データを示し、強度
が強い程この膜の単結晶化のすすんでいることを示して
いる。また同図で白ぬき四角印、黒四角印はそれぞれC
o−Cr膜およびNi−Fe膜のロッキング曲線の半値
幅を示し、半値幅が狭いほどやはり膜の単結晶化がすす
んでいることを示している。また(kCPS)とはキロ
カウント/秒のことである。この図3図示データ曲線よ
りCo−Cr下地膜の好適な膜厚は少なくとも0.00
75μm であることがわかるであろう。またX線回折
強度、ロッキング曲線の半値幅は上述の数値以上では飽
和するが、最大許容膜厚はこの垂直磁気記録媒体の全膜
厚により規定され、全膜厚は極力薄いことが望まれるが
、全体のバランス上ほぼ0.03μm が好適とされる
。またこの下地膜のCo原子とCr原子それぞれの含有
率はCo原子について少なくとも66原子%から73原
子%を越えない範囲のものが好適であることが本発明者
らの種々の実験結果から得られている。さらにまた、上
述の条件によりCo−Cr系合金からなる下地層を設け
れば、その下地層の上に設けられるべき低保磁力磁性層
と記録磁性層の好適な条件は前記特願平1−29974
3号明細書に記載された好適な条件にほぼ一致すること
がさらに本願発明者により確かめられており、本発明請
求項5,6,7,9に記載された内容は前記特願平1−
299743号明細書記載の内容が参照されるべきもの
である。以上本発明を実施例により説明してきたが、本
発明はこれに限定されることなく、特許請求の範囲に記
載された要旨内で各種の変形、変更が可能であろう。
【0006】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば非磁性基板と垂直磁気記録2層媒体(Co−Cr/N
i−Fe)のうちのNi−Fe膜との間に薄膜Co−C
r下地膜が形成されて、低保磁力磁性層Ni−Fe膜と
記録磁性層Co−Cr膜の単結晶化が前記下地膜により
エピタキシャル的に促進されて、結晶配向性が従来例よ
り大幅に改善され、高密度記録に適した垂直磁気記録媒
体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るCo−Cr下地膜を有する垂直磁
気記録媒体の基本構成図。
【図2】実施例として作製したCo−Cr下地膜を有す
る垂直磁気記録媒体の構成図。
【図3】Co−Cr下地膜の成長膜厚に対する低保持力
磁性層Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜のX線回
折強度とロッキング曲線の半値幅の変化を示した実験曲
線。
【符号の説明】
1  非磁性基板 2  Co−Cr下地膜 3  低保磁力磁性層 4  記録磁性層 5  基板ポリイミドフィルム 6  Co−Cr下地膜(Co:67原子%、Cr:3
3原子%)7  3のNi−Fe膜(Ni:80原子%
、Fe:20原子%)8  4の下部層Co−Cr膜(
Co:67原子%、Cr:33原子%) 9  4の上部層Co−Cr膜(Co:79原子%、C
r:21原子%)

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を
    有する単結晶または多結晶の低保磁力磁性層と膜面に垂
    直方向の磁化容易軸を有する単結晶または多結晶の記録
    磁性層を順次形成してなる磁気記録媒体において、前記
    非磁性基板と前記低保磁力磁性層との間にCo−Cr系
    合金からなる下地膜を設けたことを特徴とする垂直磁気
    記録媒体。
  2. 【請求項2】  請求項1記載の記録媒体において、前
    記Co−Cr系合金からなる下地膜の厚さが少なくとも
    0.0075μm から0.03μm を越えない範囲
    であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】  請求項2記載の記録媒体において、前
    記Co−Cr系合金からなる下地膜のCo原子含有率が
    少なくとも66原子%から73原子%を越えない範囲で
    あることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】  請求項1記載の記録媒体において、前
    記記録磁性層がCo−Cr系合金からなることを特徴と
    する垂直磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】  請求項4記載の記録媒体において、前
    記記録磁性層が飽和磁化のより小さい下部層と飽和磁化
    のより大きい上部層とからなることを特徴とする垂直磁
    気記録媒体。
  6. 【請求項6】  請求項5記載の記録媒体において、前
    記下部層の厚さおよび前記下部層と前記上部層の厚さの
    和がそれぞれ0.05μm を越えない厚さおよび0.
    15μm を越えない厚さであることを特徴とする垂直
    磁気記録媒体。
  7. 【請求項7】  請求項6記載の記録媒体において、前
    記下部層の飽和磁化の値および前記上部層の飽和磁化の
    値がそれぞれ200emu/cc を越えない値および
    200emu/cc を越えた値であることを特徴とす
    る垂直磁気記録媒体。
  8. 【請求項8】  請求項1記載の記録媒体において、前
    記低保持力磁性層がNi−Fe系合金からなることを特
    徴とする垂直磁気記録媒体。
  9. 【請求項9】  請求項8記載の記録媒体において、前
    記低保磁力磁性層の厚さが少なくとも0.05μm か
    ら0.15μm を越えない範囲であることを特徴とす
    る垂直磁気記録媒体。
JP3053235A 1991-02-26 1991-02-26 垂直磁気記録媒体 Expired - Lifetime JP3045797B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3053235A JP3045797B2 (ja) 1991-02-26 1991-02-26 垂直磁気記録媒体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3053235A JP3045797B2 (ja) 1991-02-26 1991-02-26 垂直磁気記録媒体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04269814A true JPH04269814A (ja) 1992-09-25
JP3045797B2 JP3045797B2 (ja) 2000-05-29

Family

ID=12937146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3053235A Expired - Lifetime JP3045797B2 (ja) 1991-02-26 1991-02-26 垂直磁気記録媒体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3045797B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05282650A (ja) * 1991-10-03 1993-10-29 Censtor Corp 局部緩和抑制現象を示す改善された垂直型磁気記録媒体
US6387483B1 (en) 1997-12-18 2002-05-14 Nec Corporation Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05282650A (ja) * 1991-10-03 1993-10-29 Censtor Corp 局部緩和抑制現象を示す改善された垂直型磁気記録媒体
US6387483B1 (en) 1997-12-18 2002-05-14 Nec Corporation Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor

Also Published As

Publication number Publication date
JP3045797B2 (ja) 2000-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5851643A (en) Magnetic recording media and magnetic recording read-back system which uses such media
US6387483B1 (en) Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor
JPH01158618A (ja) 磁気記録媒体
JP2539349B2 (ja) 垂直磁気記録媒体
JPH10334444A (ja) 磁気記録媒体
JP3665221B2 (ja) 面内磁気記録媒体及び磁気記憶装置
US6348276B1 (en) Magnetic recording media with a surface-oxidized nial sub-seedlayer
US5496620A (en) Magnetic recording medium
JP3045797B2 (ja) 垂直磁気記録媒体
JPWO1996027187A1 (ja) 磁気記録媒体及び磁気記憶装置
JPH09320033A (ja) 磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記憶装置
JPS61267927A (ja) 垂直磁気記録媒体
JPH05258272A (ja) 垂直磁気記録媒体及びその製造方法
JPH03160616A (ja) 垂直磁気記録二層媒体の製造方法
JPH0512647A (ja) 磁気記録媒体
JPH06103555A (ja) 垂直磁気記録媒体
JPH01143312A (ja) 非晶質軟磁性積層膜
JPH0573877A (ja) 磁気記録媒体
JPH10229012A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH053050B2 (ja)
JPH02202005A (ja) 軟磁性薄膜
JPS63119017A (ja) 垂直磁気記録媒体
JPS58171717A (ja) 磁気記録媒体
JPH05159264A (ja) 磁気記録媒体
JPH08335308A (ja) 磁気記録媒体