JPH04270292A - 可溶性の重金属アミノアルコキシド - Google Patents

可溶性の重金属アミノアルコキシド

Info

Publication number
JPH04270292A
JPH04270292A JP3040671A JP4067191A JPH04270292A JP H04270292 A JPH04270292 A JP H04270292A JP 3040671 A JP3040671 A JP 3040671A JP 4067191 A JP4067191 A JP 4067191A JP H04270292 A JPH04270292 A JP H04270292A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
copper
heavy metal
barium
metal
alkoxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3040671A
Other languages
English (en)
Inventor
Carl Cataldo Greco
カール カタルド グレコ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Akzo NV
Original Assignee
Akzo NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Akzo NV filed Critical Akzo NV
Publication of JPH04270292A publication Critical patent/JPH04270292A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C215/00Compounds containing amino and hydroxy groups bound to the same carbon skeleton
    • C07C215/02Compounds containing amino and hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having hydroxy groups and amino groups bound to acyclic carbon atoms of the same carbon skeleton
    • C07C215/04Compounds containing amino and hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having hydroxy groups and amino groups bound to acyclic carbon atoms of the same carbon skeleton the carbon skeleton being saturated
    • C07C215/06Compounds containing amino and hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having hydroxy groups and amino groups bound to acyclic carbon atoms of the same carbon skeleton the carbon skeleton being saturated and acyclic
    • C07C215/10Compounds containing amino and hydroxy groups bound to the same carbon skeleton having hydroxy groups and amino groups bound to acyclic carbon atoms of the same carbon skeleton the carbon skeleton being saturated and acyclic with one amino group and at least two hydroxy groups bound to the carbon skeleton
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/725Process of making or treating high tc, above 30 k, superconducting shaped material, article, or device
    • Y10S505/734From organometallic precursors, e.g. acetylacetonates
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/80Material per se process of making same
    • Y10S505/801Composition
    • Y10S505/802Organic
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S505/00Superconductor technology: apparatus, material, process
    • Y10S505/80Material per se process of making same
    • Y10S505/81Compound
    • Y10S505/811Organic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、新規な重金属アミノア
ルコキシドに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば銅のアミノアルコキシド組成物に
関して、従来技術の内にいくつかの開示がある。例えば
、日本国特公昭62−240691 号公報(1987
年10月21日)には、一般式Cu(ORNR´2)2
 (ここでRはアルキレン基であり、少なくとも一つの
R´がヒドロキシアルキル基である)の化合物が記載さ
れている。もっと最近には、サイエンス(Scienc
e)第243 巻(1989年1月6日)66〜69ペ
ージに、超伝導体YBa2 Cu3 O6+x の生成
に関連して、例えば式Cu(OCH2 CH2 N(C
2 H5 )2 )2 の、加水分解され得る化合物が
開示されている。
【0003】1988年11月18日にカール  シー
  グレコ(Carl C. Greco) らによっ
て提出された関連する米国シリアル番号第270,57
0 号には、一般式M(ORNR´2 )2 (ここで
、Mは超伝導体金属前駆体例えば銅であり、Rは2〜3
個の炭素原子を有するアルキレン基であり、R´は1〜
8個の炭素原子を有するアルキル基である)の、特定の
金属(ジアルキルアミノアルコラート)溶液が開示され
ている。この関連出願中に示された適当な化合物の例は
、一般式Cu(OCH2 CH2 NR´2 )2 (
ここで、R´はメチル基またはエチル基であり得る)を
有する。そのような銅化合物を(例えば溶解することに
よって)含有する溶液はしかし、数週間以上放置すると
、元は溶解していた銅(ジアルキルアミノアルコラート
)の望ましくない沈殿をある程度生じ得る。
【0004】ディー  ジー  ギロット(D. G.
 Guillot) の米国特許第3,856,835
 号には、有機金属化合物とアミノポリオールとの、エ
ポキシド化合物の重合のための触媒組成物として有用な
種々の反応生成物が記載されている。その実施例11〜
12には、ジフェニルマグネシウムと、より低いモル量
の3−ジメチルアミノ−1,2− プロパンジオールま
たは3−ジエチルアミノ−1,2− プロパンジオール
のいずれかとの反応によって生じた触媒の存在下での、
プロピレンオキサイドの重合が記載されている。この特
許は、その触媒組成物の構造を、いくつかの炭素‐マグ
ネシウム結合が未反応のまま残っていると言うこと以外
には、記載していない。この総ての実施例では、マグネ
シウムを含有する有機金属反応物を用い、亜鉛、アルミ
ニウム、カルシウム、カドミウム、ストロンチウム、ガ
リウム、あるいはバリウムのような金属を有するものは
使用していない。ギロットの特許中に記載された方法を
用いて生じた組成物は、混合物であり、本明細書に記載
されたような実質的に純粋な重金属アミノアルコキシド
ではない。
【0005】
【発明の構成】より優れた貯蔵安定性を有する(すなわ
ち、そこに含有され溶解した金属化合物が沈殿する傾向
が減ぜられた)優れた溶液を、本発明に従い得ることが
できる。本発明は、一般式I M[OCH(CH2 OH)−CH2 NR2 ]2 
   (I)(ここで、Mは重金属例えばバリウム、鉛
、銅などであり、Rは低級アルキル基である)の化合物
に、及びそれらを溶解含有する有機溶媒溶液に関する。
【0006】本発明の化合物は、式IでRが約1〜3個
の炭素原子を有する低級アルキル基であり得る、重金属
アミノアルコキシド化合物に関する。典型的な例は、R
がメチル基またはエチル基であるこれら化合物を包含す
る。本文中で用いられる“重金属”と言う語は、約60
以上の原子量を有し、ここに記載されたタイプの化合物
を生成し得る重金属を包含し、さらに、バリウム及びス
トロンチウムのようなアルカリ土類金属、並びに銅及び
鉛のような遷移金属を包含する趣旨である。該金属は二
価であり、アミノアルコキシド配位子と組み合わされる
と、六配位のサイトとなり得ると信じられている。初め
の二つは、酸素原子と共有結合してアルキルアミノ基を
誘導すると信じられている。次の二つは、電子が豊富な
ヒドロキシ置換基との間に配位結合を作ると信じられて
いる。最後の二つは、アミノ官能性の電子の豊富な二つ
の窒素原子との間に配位結合を作ると信じられている。 しかしながら、良好な溶解性のためのこの配位の説明は
、本発明についての可能な理論的説明に過ぎず、それに
よって本出願を拘束することを意図しているのではない
と解されるべきである。
【0007】これらの化合物は、下記の実施例2及び3
に非常に詳しく記載されているように、金属アルコキシ
ド例えば銅メトキシドを、適当な有機溶媒例えばテトラ
ヒドロフランに懸濁させ、続いて 3−(ジアルキルア
ミノ)−1,2−プロパンジオールを加え、同時に該混
合物を適当に加熱して適当な交換反応を起こし、所望の
銅アミノアルコキシドを含有する溶液を得ることによっ
て、容易に合成することができる。以下の実施例4と比
較例1との比較によって示されるように、本化合物は、
例えば式Cu(OCH2 CH2 N(Et)2 )2
 の銅(ジアルキルアミノアルコラート)化合物に比べ
、時間経過におけるより優れた溶解性を有する。実施例
5及び6は、本発明に従う、鉛の及びバリウムのアミノ
アルコキシドの合成を説明する。該溶液は、例えばか燒
されて超伝導体酸化物組成物を生成し得る超伝導体前駆
体組成物の生成に有用である。
【0008】本発明は、ギロットの開示とは異なり、重
金属アミノアルコキシドが有機金属化合物を試薬として
用いて合成されるのではないため、開示された重金属ア
ミノアルコキシドを、実質的に金属‐炭素結合不含の、
実質的に純粋な形で製造することが可能である。本文中
で“実質的に純粋”とは、ギロットの組成物に必ず含有
される金属‐炭素成分を含まないような重金属アミノア
ルコキシドの組成物を意味すると意図している。
【0009】本発明を以下の実施例によってさらに説明
する。
【0010】
【実施例】
【0011】
【実施例1】塩化銅(II)34g(0.25モル)を
600 mlのメタノールに溶解し、次に、5g(0.
725モル)のリチウムを添加した。該溶液を室温で4
時間攪拌したところ、青色の固体沈殿が生じた。該沈殿
を反応混合物から濾別し、各回250 mlずつのメタ
ノールで4回洗浄した。該青色固体(銅メトキシド)を
真空乾燥し、実施例2及び3で使用した。
【0012】
【実施例2】実施例1で得られた銅メトキシド15g(
0.12モル)を、350 mlのテトラヒドロフラン
中に、室温で懸濁した。このものに、良好な攪拌の下、
35g の 3−(ジエチルアミノ)−1,2−プロパ
ンジオール(0.24モル)を、15分間に渡って加え
た。得られた溶液を1時間還流し、その間に50mlの
溶媒を除去した。該溶液を次に、生成物として集めた。 分析は、溶液中に3.11%の銅があることを示した。 従って、分析によると、溶液中の次式Cu[OCH(C
H2 OH)−CH2 N(C2 H5 )2 ]2  の銅アルコキシドの量は、17.4g 、すなわち 9
.2重量%であった。
【0013】
【実施例3】実施例1で得られた銅メトキシド10.5
g(0.084 モル)を350 mlのトルエンに室
温にて懸濁した。このものに、24.6g の 3−(
ジエチルアミノ)−1,2−プロパンジオール(0.1
68モル)を添加した。得られた溶液を2時間還流し、
次に溶媒を留去した。蒸留は、約80℃のポット温度を
用い、僅かな減圧下で行った。生成物として、粘稠なオ
イル 29.8gが残った。このオイルを分析し、次に
211gのトルエンに再溶解して、実施例2におけるよ
うに、12重量%の所望の銅アルコキシド濃度とした。 該溶液をドライボックス中で約3か月貯蔵しても、沈殿
の証拠はなかった。
【0014】
【実施例4】500 mlの一口フラスコ中に、実施例
2で得られた銅アルコキシド‐テトラヒドロフラン溶液
150gを加えた。この溶液は3.11重量%の銅(0
.0735モル)を含有した。この溶液に、ジエチルア
ミノプロパンジオールのバリウムアルコキシドのキシレ
ン溶液190gを添加した。この溶液は 3.5重量%
のバリウム(0.049モル)を含有した。最後に、3
.7 重量%のイットリウム(0.0245 モル)を
含有する、イットリウムジエチルアミノエトキシドのキ
シレン溶液59gを添加した。上記の溶液を、80mm
Hgの減圧下、80℃にて、最終残渣の重量が155g
となるまで蒸留した。該溶液はそれ故、3.02重量%
の銅、4.35重量%のバリウム、及び1.41重量%
のイットリウムを含有した。この溶液は、2か月放置後
にも沈殿の徴候を示さず、極めて貯蔵安定であった。
【0015】
【比較例1】600 mlのメタノールに、34g の
塩化銅(II)(0.253モル)を溶解した。この溶
液に、5gのリチウム(0.725モル)を加えた。該
溶液を室温で4時間攪拌した。すると、青色固体の沈殿
(銅メトキシド)が生じた。該沈殿を反応混合物から濾
別し、4回洗浄した。各回 250mlのメタノールを
使用し、LiCl及び未反応の塩化銅を除去した。該青
色固体を減圧オーブン中、窒素下で40℃にて減圧乾燥
し、次に400 mlのトルエンに懸濁した。このスラ
リーに86g のジエチルアミノエタノール(0.76
モル)を、10分間に渡って加えた。該反応混合物を、
25mmHgの減圧下、35℃に45分間加熱してメタ
ノールを除去した。この間、ポット温度を40℃未満に
保ちながら、約100 mlのメタノール‐トルエンを
留去した。加熱段階の後に透明な濃青色の溶液が生じ、
さらにトルエンで希釈して、668gの最終重量とした
。この溶液中の、式Cu(OCH2 CH2 N(Et
)2 )2 の銅アルコキシドの量は、74.8g 、
すなわち11.2重量%であった。
【0016】該物質をドライボックス中で数週間貯蔵し
たところ、沈殿の証拠は生じなかった。この物質の一部
をバリウムジエチルアミノ‐エトキシドの溶液と混合し
、窒素下、室温で放置した。この溶液はまた、幾週間も
安定であった。沈殿の徴候は見られなかった。しかしな
がら、1か月放置の後、元の銅アルコキシド溶液中に、
沈殿が僅かに生成した。沈殿の量は、該溶液を50℃よ
り高くに僅か数時間加熱することによって、増加させる
ことができた。
【0017】
【実施例5】1リットルの三口フラスコに、還流冷却器
、温度計、攪拌機、及び添加ロートを備え付けた。40
.5g の鉛(II)アセチルアセトナート、及び 6
00mlのキシレンをフラスコに加えた。このスラリー
に、29.4g の 3−(ジエチルアミノ)−1,2
−プロパンジオール(0.2モル)を、窒素の覆いの下
で添加した。該反応混合物を、総ての固体が溶解する温
度まで加熱して還流した。該反応混合物を2時間還流し
、その間に150ml の溶媒を留去した。蒸留は、副
生成物のアセチルアセトンを除去するために必要である
。少量の微粒子を除去するために、該反応混合物を濾過
した。濾液の重量は328gであり、6.3 %の鉛を
含有した。収率は、次式: Pb[OCH(CH2 OH)−CH2 N(C2 H
5 )2 ]2  の鉛ジエチルアミノヒドロキシプロポキシドとして定量
的であった。
【0018】この鉛化合物は適当な基体上にスパンコー
トし(spun coated) 、熱分解して酸化鉛
コーティングを作ることができる。
【0019】
【実施例6】実施例5で用いたのと同じ装置に、16.
4g の金属バリウム(0.12モル)、及び250 
mlのキシレンを加えた。得られたスラリーに、35g
 の 3−(ジエチルアミノ)−1,2−プロパンジオ
ール(0.24モル)を、窒素の覆いの下で添加した。 該反応混合物を加熱して還流したところ、反応媒質から
水素が抜けるのが観察されるにつれ、総ての固体が溶解
した。該反応媒質を2時間還流し、その間に殆どの水素
が発生した。次に、該反応混合物を濾過して少量の微粒
子を除去した。該濾液は396gの重量であり、3.5
4%のバリウムを含有した。次式:Ba[OCH(CH
2 OH)−CH2 N(C2 H5 )2 ]2  の所望のバリウム化合物の理論量の83.3%の収率で
あった。
【0020】ここに示したアミノアルコキシドは、適当
な基体に有機コーティングにて施与し、熱分解して金属
酸化物フィルムを作ることができる。
【0021】先の実施例は、本発明の特定の態様を説明
するために供されたものであり、それ故、本発明をこの
範囲に限定すべきではない。その範囲は、特許請求の範
囲の記載によって決定されるべきである。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  次式 M[OCH(CH2 OH)−CH2 NR2 ]2 
    (ここで、Mは二価の重金属、Rは低級アルキル基であ
    る)で表される、実質的に純粋な重金属アミノアルコキ
    シド。
  2. 【請求項2】  Mが銅である、請求項1記載のアルコ
    キシド。
  3. 【請求項3】  Mが鉛である、請求項1記載のアルコ
    キシド。
  4. 【請求項4】  Mがバリウムである、請求項1記載の
    アルコキシド。
  5. 【請求項5】  請求項1の式の重金属アミノアルコキ
    シドを溶解含有する有機溶媒溶液。
  6. 【請求項6】  Mが銅である請求項1の式の銅アミノ
    アルコキシドを溶解含有する有機溶媒溶液。
  7. 【請求項7】  Mが鉛である請求項1の式の鉛アミノ
    アルコキシドを溶解含有する有機溶媒溶液。
  8. 【請求項8】  Mがバリウムである請求項1の式のバ
    リウムアミノアルコキシドを溶解含有する有機溶媒溶液
  9. 【請求項9】  金属アルコキシドを有機溶媒溶液中の
     3−(ジアルキルアミノ)−1,2−プロパンジオー
    ルと反応させることを含む、請求項1記載の重金属アミ
    ノアルコキシドの製造法。
  10. 【請求項10】  金属が銅である、請求項9記載の方
    法。
  11. 【請求項11】  金属が鉛である、請求項9記載の方
    法。
  12. 【請求項12】  金属がバリウムである、請求項9記
    載の方法。
JP3040671A 1990-02-15 1991-02-14 可溶性の重金属アミノアルコキシド Pending JPH04270292A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US480,705 1990-02-15
US07/480,705 US5084201A (en) 1989-11-14 1990-02-15 Soluble copper amino alkoxides

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04270292A true JPH04270292A (ja) 1992-09-25

Family

ID=23909018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3040671A Pending JPH04270292A (ja) 1990-02-15 1991-02-14 可溶性の重金属アミノアルコキシド

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5084201A (ja)
EP (1) EP0442563A3 (ja)
JP (1) JPH04270292A (ja)
CA (1) CA2035607A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5304666A (en) * 1988-07-01 1994-04-19 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for making superconductors and their precursors
US5252247A (en) * 1988-11-14 1993-10-12 Akzo America Inc. Metal (dialkylaminoalcoholate) solutions
JP3392609B2 (ja) * 1995-12-01 2003-03-31 三菱重工業株式会社 ガス中の炭酸ガスを除去する方法
US6369256B1 (en) * 2000-06-09 2002-04-09 National Research Council Of Canada Self-reducible copper(II) source reagents for chemical vapor deposition of copper metal
US6620956B2 (en) * 2001-11-16 2003-09-16 Applied Materials, Inc. Nitrogen analogs of copper II β-diketonates as source reagents for semiconductor processing
US6646147B2 (en) * 2002-02-14 2003-11-11 Phibrotech, Inc. Process for the dissolution of copper metal
US7273944B2 (en) * 2003-11-19 2007-09-25 Arch Chemicals, Inc. Methods for producing copper ethanolamine solutions
KR101039442B1 (ko) * 2008-10-30 2011-06-08 한국화학연구원 신규의 스트론튬 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2147226A (en) * 1937-02-06 1939-02-14 Dow Chemical Co Manufacture of 1-dimethylamino-2,3-propanediol
US2459896A (en) * 1945-01-18 1949-01-25 Schwarz George Silver impregnation
DE1007335B (de) * 1953-10-01 1957-05-02 Hoechst Ag Verfahren zur Herstellung von neuen chlorierten Benzoesaeurealkaminestern
US2989412A (en) * 1956-04-17 1961-06-20 Union Carbide Corp Organometallic pigment dispersants based on acylates polyhydric alcoholates and aminoalcoholates of group iv-b metals
US2985607A (en) * 1957-03-05 1961-05-23 Union Carbide Corp Rubber additives
US2999872A (en) * 1958-03-06 1961-09-12 Rohm & Haas Metal salt aminoalcohol complexes
US3403163A (en) * 1960-10-25 1968-09-24 Ferro Corp Metal alkoxides and methods of making the same
US3856835A (en) * 1970-10-14 1974-12-24 Uniroyal Inc Reaction product of an organometallic compound and an aminopolyol
US3932545A (en) * 1974-04-08 1976-01-13 The National Hellenic Research Foundation Alkali metal-containing, organometallic products
US4446119A (en) * 1981-01-12 1984-05-01 The Dow Chemical Company Method and compositions for reducing corrosion in the removal of acidic gases from gaseous mixtures
JPS62240691A (ja) * 1986-03-10 1987-10-21 Res Dev Corp Of Japan 銅(2)−アルカノ−ルアミン錯体
AU607219B2 (en) * 1987-05-29 1991-02-28 Toray Industries, Inc. Method of forming superconductive thin films and solutions for forming the same
US4847239A (en) * 1987-12-07 1989-07-11 Texas Alkyls, Inc. Hydrocarbon soluble copper alkoxide compositions
US4982019A (en) * 1989-07-31 1991-01-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Volatile divalent metal alkoxides

Also Published As

Publication number Publication date
CA2035607A1 (en) 1991-08-16
EP0442563A3 (en) 1991-11-27
US5084201A (en) 1992-01-28
EP0442563A2 (en) 1991-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5180040B2 (ja) 三座ベータケトイミネートの金属錯体
Schulz et al. A Simple Synthesis of [(Cp* Al) 4] and Its Conversion to the Heterocubanes [(Cp* AlSe) 4] and [(Cp* AlTe) 4](Cp*= η5‐C5 (CH3) 5)
KR101720371B1 (ko) 인듐 클로르디알콕사이드의 제조 방법
JPH07258282A (ja) メタロセン錯体および配位子系
JPS62281835A (ja) 有機溶剤可溶性多価金属アルコキシアルコキシドおよびその製造方法
US20080286464A1 (en) Group 2 Metal Precursors For Depositing Multi-Component Metal Oxide Films
JPH04270292A (ja) 可溶性の重金属アミノアルコキシド
KR20020063696A (ko) 비대칭형 β-케토이미네이트 리간드 화합물, 이의제조방법, 및 이를 포함하는 유기금속 전구체
JPH01221340A (ja) 炭化水素可溶性銅アルコキシド組成物
KR100435816B1 (ko) 화학증착용 유기티탄 전구체 및 그의 제조 방법
JPH01129032A (ja) ラダー状ポリチタノキサンおよびその製造方法
EP0079392B1 (en) Composite oxyalkoxides and derivatives thereof
JP4120925B2 (ja) 銅錯体およびこれを用いた銅含有薄膜の製造方法
US5008420A (en) Novel spinel precursors
EP2301990A1 (en) Polymer manufacturing method
US3216845A (en) Metal depositions from alkoxides
US3306916A (en) Process for preparing vinylcyclopentadienyl manganese tricarbonyl
CN101328188A (zh) 用于沉积多组分金属氧化物薄膜的第2族金属前体
EP0891366B1 (en) Volatile magnesium alkylaluminum alkoxide and deposition of magnesium aluminate film using the same
US5237033A (en) Preparation of polysilanes
JP2500539B2 (ja) ポリシランの製造方法
CN117924348B (zh) 一种ald前驱体锡配合物的一锅法制备工艺
JPH11255784A (ja) チタン錯体およびその合成方法
Gordon et al. Liquid Compounds for CVD of Alkaline Earth Metals
JPS5936934B2 (ja) ポリアルミノキサンキレ−ト化合物の製造法