JPH04277441A - 陰極線管の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空外囲器であるガラ
スバルブ内に十分な量のフラッシュゲッタを装着して内
部に適切な所定膜厚のゲッタ膜を蒸着させ、陰極線管の
管体を排気装置から切り離した後に管内各部からバルブ
内へ放出されて来る気体を前記ゲッタ膜に吸着させ、管
内残留気体の圧力を長期間にわたって常に低い値に保持
できるようにした陰極線管の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、陰極線管、特にカラー陰極線管
は、そのバルブ内に、高い電圧が印加される面積の広い
螢光面やシャドウマスクが存在し、使用中は、それらが
常に高速高電流密度の電子ビームの衝撃にさらされるの
で、製造工程中の排気作業で一旦バルブ内の真空度を高
くしても、排気装置から切り離されたのちの長い実使用
期間中には、上記螢光面やシャドウマスクなどを始めバ
ルブ内の各部から漸次、吸蔵、吸着されていた気体が放
出されて来るので、良好な電子放出特性の維持などのた
めにゲッタの使用は必要不可欠である。

【０００３】通常、陰極線管に対しては、バルブの外部
から高周波誘導加熱法で加熱、蒸発させるフラッシュゲ
ッタが使用される。ゲッタ剤には、バリウム、アルミニ
ウム、ニッケルを主成分とし、外部加熱によりゲッタ剤
の成分が発熱反応を起こすいわゆる自己発熱型のゲッタ
が用いられる。ゲッタ自体でゲッタ蒸発量の安定化を工
夫してあるものもあるが、普通、ゲッタ蒸着量の制御は
、ゲッタを加熱し始めてからゲッタが飛び始めるまでの
時間（スタートタイムＳＴと呼ぶ）と外部加熱を停止す
るまでの時間（トータルタイムＴＴと呼ぶ）の二つのパ
ラメータにより行なっている。その他、陰極線管におけ
るフラッシュゲッタの使用法に関して、種々の提案がな
されており、例えば特公平２−７１３９号公報には、管
体の内部導電膜に接続される電子銃の支持片で支持され
、ゲッタ剤が充填されたゲッタ容器と、ゲッタ容器の開
口側に管体内に向って拡開したらっぱ状のゲッタシール
ドとを有する対称構造のゲッタ装置を備え、外部の加熱
コイルに２００〜３５０ｋＨｚの高周波電流を通電して
上記ゲッタ容器を加熱してゲッタ剤をゲッタ容器から蒸
発させ、この蒸発したゲッタ剤を上記ゲッタシールドに
よって内部導電膜上に反射させてゲッタ膜を形成させる
ゲッタフラッシュ法が記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記技術は、螢光面へ
ゲッタ剤が付着したり、ゲッタの金属蒸気が電子銃側に
飛散するのを阻止して電子銃各電極間の短絡事故やバル
ブ内沿面放電を防止してバルブが破損するのを防止する
ことを目的としており、ゲッタ蒸着量を適正にすること
については特に意図してはいない。

【０００５】ゲッタをフラッシュさせるために先ずゲッ
タ容器を加熱するが、容器全体を均一に再現性良く加熱
することは存外難しく、部分的に過熱してしまうことが
少なくない。部分的過熱が生ずると、ゲッタ容器の一部
溶融、又はゲッタ容器内のゲッタ剤が容器から浮き上が
り、程度が悪いものの中にはゲッタが落下してしまうも
のもあり、このような高温の金属がバルブガラスに接触
するとバルブがクラックしてしまう場合がある。更に自
己発熱型のゲッタでは特に、ゲッタ剤金属が蒸発され過
ぎて、電子銃電極に付着してストレーエミッションの発
生源となったり、ファンネルの一部を高抵抗化してスパ
ーク発生時にスパーク電流抑制効果を持たせようとして
いたのを短絡して無効にする場合がある。以上のような
過熱に対しては外部加熱入力を小さくすれば良さそうで
あるが、ゲッタ容器の一部が特に過熱されるような熱源
とゲッタの配置になっていると、過熱部分に近い位置の
ゲッタ剤が飛び始めるので、所謂ＳＴの値の割にはゲッ
タ剤の飛散量が少ない陰極線管が出来上がってしまう。

【０００６】本発明は上記従来の問題の原因となってい
るゲッタ剤の飛ばし過ぎ、不足、又は過熱を防止するた
めになされたもので、陰極線管内を長期間にわたって高
真空に保持するのに充分なゲッタ量を確実に供給できる
ゲッタフラッシュ法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明においては、ゲッタ蒸着作業中に、既に蒸着さ
せたゲッタの蒸着量（蒸着されたゲッタ剤の膜厚）を測
定しながら、その測定結果に応じて外部からゲッタを加
熱するために加熱コイルに供給する入力電力量を電力値
的または時間的に制御して、ゲッタ膜厚が不足にも過剰
にもならないように、即ちゲッタの蒸着量が一定になる
ようにした。

【０００８】

【作用】上記のような手段を採れば、ゲッタフラッシュ
の途中で、蒸着されたゲッタ膜厚を常にモニタしている
ので、過熱によるゲッタ容器の溶けが発生する程に急速
にゲッタが蒸着されて行くときには加熱電力量を減少さ
せて過熱を防止できるし、逆に入力が小さ過ぎてゲッタ
膜が所望のように蒸着されて行かない時には入力を上げ
ることによって対策できる。

【０００９】

【実施例】図１は本発明一実施例陰極線管の概略断面図
である。管体１のネック部１ａ内に設置された電子銃２
に支持片３（通称アンテナ）の一端が取付けられ、この
支持片３の他端に、ファンネル部１ｂに塗布された内装
導電膜６にスペーサ５を介して接するように、ゲッタ装
置４が固定支持されている。内装導電膜６には、ゲッタ
装置４が固定されている部分の反対側にゲッタ膜厚測定
部６ａ（窓）として実際には内装導電膜６が存在しない
部分を持つ。

【００１０】図２は本発明一実施例における、バルブの
ネック部１ａとファンネルコーン部１ｂの接続箇所の近
傍と、高周波加熱コイル７及びゲッタ膜厚の検出子１１
の配設位置関係の拡大断面図である。

【００１１】ゲッタフラッシュは図３に示したフローチ
ャートに従って行なう。フローチャートの高周波加熱開
始のときの入力は従来のＳＴを参考にして、ゲッタ剤が
過剰に蒸着されないように設定しておく。高周波加熱を
開始して、ゲッタ容器４ａが約８００℃程度になると、
ゲッタ剤４ｂ内で発熱反応が始まり、ただちにゲッタ剤
４ｂの温度が１３００℃程度にまで上昇し、同時にゲッ
タ剤が蒸発して、内装導電膜６が存在していないゲッタ
膜厚測定部６ａにゲッタ剤が蒸着される。ついでゲッタ
膜厚の測定を膜厚検出子により行ない、その測定結果に
より高周波電源の出力を制御することにより、それまで
のゲッタ剤の飛散量の過不足分をちょうど補償するよう
に、それ以後、ゲッタ剤を飛ばすことができる。

【００１２】金属用の膜厚計（例えば所定の高周波磁界
により生ずる渦電流の流れ易さで計る）は、通常、測定
部近傍にある金属のすべてに反応するので、ゲッタ膜厚
の測定箇所は、カラー陰極線管の場合には、シャドウマ
スク、インナシールド等の鉄製部材、又は螢光面を被覆
しているアルミニウム膜、更には電子銃の電極を構成し
ている金属、およびゲッタ容器等から離して設ける必要
がある。また、ゲッタ剤の蒸着膜が連続膜になっていな
い場合には、金属膜の特性である導電性が著しく低下し
正確な蒸着量を測定できないので、上記ゲッタ膜厚測定
部６ａにはポーラスな内装導電膜６は形成されておらず
、滑らかなバルブガラス内壁面が露出されるようになっ
ている。

【００１３】ゲッタ剤を蒸発させるために通常は、高周
波による誘導加熱で約８００℃にゲッタ容器を加熱し、
この時にゲッタ剤中で起きる発熱反応による反応熱と前
記高周波加熱とが合計してゲッタ剤の蒸発熱に相当する
ので、ゲッタ容器の一部が過熱されるような条件になっ
ているとＳＴの割にはゲッタ剤の蒸発量が少なくなるが
、高周波出力電力値を上げるとゲッタ容器が溶断し易く
なる。このような条件下では、高周波出力の印加時間を
長くする（ＴＴを長くする）ように制御すると良い。 即ち、ＳＴは通常レベルと同等であるが、ゲッタ剤膜厚
が不足する場合が上記に相当する。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ゲ
ッタ剤を蒸着させながら、ゲッタ剤の既に蒸着した量を
検出して行くので、ゲッタの飛ばし損ないがなくなり、
陰極線管の実使用時に管内を高真空に維持するのに必要
かつ十分なゲッタを飛ばすことができる。また、同時に
、ゲッタの飛ばし過ぎを作らなくなるので、バリウムの
ようなゲッタ剤金属の付着によるストレーエミッション
などのように耐電圧を劣化させることがなくなる。更に
、ゲッタ容器に入っているゲッタ剤を効率良く飛ばすこ
とができるので、余分な容量のゲッタを使用しなくても
良くなる。つまり、小さい容量のゲッタから蒸着できる
最大限のゲッタ剤を蒸発させ得るので、残余のゲッタ容
器およびゲッタ剤が軽くなり、振動等により内装導電膜
の黒鉛を削り落したりする恐れを減らすことが出来る。 それと同時に容量の小さいゲッタを使用できるので材料
原価も下がるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】フラッシュゲッタを装着した本発明一実施例陰
極線管の概略断面図である。

【図２】本発明一実施例陰極線管のバルブのネック部と
ファンネルコーン部との接続箇所の近傍と、高周波加熱
コイル及びゲッタ膜厚検出子の配設位置関係を示す拡大
断面図である。

【図３】本発明一実施例のフローチャートを示す図であ
る。

【符合の説明】

１…管体、　　１ａ…ネック部、　　１ｂ…ファンネル
部、　　２…電子銃、　　３…支持片、　　４…ゲッタ
装置、　　４ａ…ゲッタ容器、　　４ｂ…ゲッタ剤、　
　５…スペーサ、　　６…内装導電膜、　　６ａ…ゲッ
タ膜厚測定部、　　７…コイル、　　８…螢光膜、　　
９…シャドウマスク、　　１０…ゲッタ膜、　　１１…
ゲッタ膜厚検出子。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空外囲器内に、其の外部から加熱して真
   空外囲器内部材の表面に気体吸着機能を有する蒸着膜を
   形成させるゲッタを装着した陰極線管の製造方法におい
   て、ゲッタ蒸着作業中に、既に蒸着させたゲッタの蒸着
   量を測定しながら、その測定結果に応じて上記外部加熱
   操作を制御して、ゲッタの蒸着量を一定にするようにし
   たことを特徴とする陰極線管の製造方法。