JPH04277746A - プリント配線板製造用フィルムツール及びその伸縮測定方法 - Google Patents
プリント配線板製造用フィルムツール及びその伸縮測定方法Info
- Publication number
- JPH04277746A JPH04277746A JP3063797A JP6379791A JPH04277746A JP H04277746 A JPH04277746 A JP H04277746A JP 3063797 A JP3063797 A JP 3063797A JP 6379791 A JP6379791 A JP 6379791A JP H04277746 A JPH04277746 A JP H04277746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film tool
- expansion
- scale
- printed wiring
- contraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板製造用フ
ィルムツール及びその伸縮測定方法に関する。目的とす
る回路パターンを持ち、基準穴等の設けられた作業用フ
ォトマスクをフィルムツール又はフォトツールと呼んで
いる。プリント配線板の回路パターンを得る方法として
はドライフィルム法、スクリーン印刷法、オフセット印
刷法があげられ、それぞれレジストパターンを作成する
方法が異なっている。
ィルムツール及びその伸縮測定方法に関する。目的とす
る回路パターンを持ち、基準穴等の設けられた作業用フ
ォトマスクをフィルムツール又はフォトツールと呼んで
いる。プリント配線板の回路パターンを得る方法として
はドライフィルム法、スクリーン印刷法、オフセット印
刷法があげられ、それぞれレジストパターンを作成する
方法が異なっている。
【0002】通常、ドライフィルム法で回路パターン加
工する際に用いられるマスク用フィルムをフィルムツー
ルと呼んでいる。回路パターンは設計からフィルムツー
ル完成までに種々の工程を経て作成され、その製作方法
は手作業からCAD/CAMによる自動化が進み、高密
度の配線化が可能となっている。
工する際に用いられるマスク用フィルムをフィルムツー
ルと呼んでいる。回路パターンは設計からフィルムツー
ル完成までに種々の工程を経て作成され、その製作方法
は手作業からCAD/CAMによる自動化が進み、高密
度の配線化が可能となっている。
【0003】従って、フィルムツールも精度良く回路パ
ターンを再現する必要が増々高まってきているとともに
、プリント配線板の高密度化に伴いフィルムツールの伸
縮状態の厳しい管理が要求されている。
ターンを再現する必要が増々高まってきているとともに
、プリント配線板の高密度化に伴いフィルムツールの伸
縮状態の厳しい管理が要求されている。
【0004】このため、常時、フィルムツールの伸縮状
態を精度良くしかも簡単に測定し、フィルムツールの伸
縮の程度を管理する必要がある。
態を精度良くしかも簡単に測定し、フィルムツールの伸
縮の程度を管理する必要がある。
【0005】
【従来の技術】従来のフィルムツールの伸縮状態の管理
方法としては、2次元測長機等によりフィルムツールの
伸縮した長さを測定する方法が用いられていた。
方法としては、2次元測長機等によりフィルムツールの
伸縮した長さを測定する方法が用いられていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このように従来は2次
元測長機等によりフィルムツールの伸縮の程度を測定し
ていたが、2次元測長機では1点を原点に合わせるため
、精度良く測定するためには長時間を必要としていた。 従って、数多くのフィルムツールの伸縮状態を常時測定
し、フィルムツールを管理するのに長時間を必要とする
という問題があった。
元測長機等によりフィルムツールの伸縮の程度を測定し
ていたが、2次元測長機では1点を原点に合わせるため
、精度良く測定するためには長時間を必要としていた。 従って、数多くのフィルムツールの伸縮状態を常時測定
し、フィルムツールを管理するのに長時間を必要とする
という問題があった。
【0007】本発明はこのように点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、プリント配線板製
造用フィルムツールの伸縮の程度を容易に管理すること
のできるフィルムツール及びその伸縮測定方法を提供す
ることである。
のであり、その目的とするところは、プリント配線板製
造用フィルムツールの伸縮の程度を容易に管理すること
のできるフィルムツール及びその伸縮測定方法を提供す
ることである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の側面によ
ると、上述した課題を解決するために、X方向及びY方
向ともそれぞれ所定間隔離間して少なくとも2個の副尺
を設けたことを特徴とするプリント配線板製造用フィル
ムツールが提供される。
ると、上述した課題を解決するために、X方向及びY方
向ともそれぞれ所定間隔離間して少なくとも2個の副尺
を設けたことを特徴とするプリント配線板製造用フィル
ムツールが提供される。
【0009】本発明の第2の側面によると、それぞれ一
定幅の不透明部分及び透明部分が一定ピッチで並んだポ
ジ型目盛りを、X方向及びY方向にそれぞれ1つ以上設
けたことを特徴とするプリント配線板製造用フィルムツ
ールが提供される。
定幅の不透明部分及び透明部分が一定ピッチで並んだポ
ジ型目盛りを、X方向及びY方向にそれぞれ1つ以上設
けたことを特徴とするプリント配線板製造用フィルムツ
ールが提供される。
【0010】
【作用】第1の側面によるプリント配線板製造用フィル
ムツールにおいては、スケールを2個の副尺に当て、ス
ケールの読みの差から2個の副尺の原点間の距離を求め
ることができる。
ムツールにおいては、スケールを2個の副尺に当て、ス
ケールの読みの差から2個の副尺の原点間の距離を求め
ることができる。
【0011】第2の側面によるプリント配線板製造用フ
ィルムツールにおいては、フィルムツールのポジ型目盛
りの不透明部分の幅よりも一定幅広いか又は狭い透明部
分が不透明部分と交互に、ポジ型目盛りと同一ピッチで
並んだネガ型目盛りを有するスケールを使用する。この
スケールをポジ型目盛り上に重ね、光の通過具合でプリ
ント配線板製造用フィルムの伸縮の程度を測定すること
ができる。即ち、光が全く通過しない場合は伸縮の程度
が許容範囲内であり、通過する場合は許容範囲を超えて
いるものとしてフィルムツールを選別する。
ィルムツールにおいては、フィルムツールのポジ型目盛
りの不透明部分の幅よりも一定幅広いか又は狭い透明部
分が不透明部分と交互に、ポジ型目盛りと同一ピッチで
並んだネガ型目盛りを有するスケールを使用する。この
スケールをポジ型目盛り上に重ね、光の通過具合でプリ
ント配線板製造用フィルムの伸縮の程度を測定すること
ができる。即ち、光が全く通過しない場合は伸縮の程度
が許容範囲内であり、通過する場合は許容範囲を超えて
いるものとしてフィルムツールを選別する。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図1は本発明第1実施例の測定方法説明図
である。フィルムツール10にはX方向に所定間隔離間
して一対のバーニア(副尺)12a,12bが設けられ
ている。特に図示しないが、このバーニアの対12a,
12bはY方向にも設けられている。
に説明する。図1は本発明第1実施例の測定方法説明図
である。フィルムツール10にはX方向に所定間隔離間
して一対のバーニア(副尺)12a,12bが設けられ
ている。特に図示しないが、このバーニアの対12a,
12bはY方向にも設けられている。
【0013】フィルムツール10の伸縮状態を測定する
場合には、スケール14を一対のバーニア12a,12
bにあて、バーニア12bでのスケール14の読みと、
バーニア12aでのスケール14の読みの差から、座標
A,B間の距離を素早く正確に測定することができる。
場合には、スケール14を一対のバーニア12a,12
bにあて、バーニア12bでのスケール14の読みと、
バーニア12aでのスケール14の読みの差から、座標
A,B間の距離を素早く正確に測定することができる。
【0014】このように測定したフィルムツール10の
伸縮の程度が予め定めた許容範囲内であれば、このフィ
ルムツールはフォトマスクとして使用することができ、
許容範囲外であれば、使用しないという選別を容易に行
うことができ、フィルムツールの管理が容易となる。
伸縮の程度が予め定めた許容範囲内であれば、このフィ
ルムツールはフォトマスクとして使用することができ、
許容範囲外であれば、使用しないという選別を容易に行
うことができ、フィルムツールの管理が容易となる。
【0015】図2は本発明第2実施例の構成図を示して
いる。フィルムツール20には一定幅、例えば200μ
mの不透明部分22aと、同じく一定幅、例えば400
μmの透明部分22bが一定ピッチで並んだポジ型目盛
り22が形成されている。
いる。フィルムツール20には一定幅、例えば200μ
mの不透明部分22aと、同じく一定幅、例えば400
μmの透明部分22bが一定ピッチで並んだポジ型目盛
り22が形成されている。
【0016】26はスケールであり、ポジ型目盛り22
の不透明部分22aの幅よりも一定幅狭い透明部分24
bが不透明部分24aと交互に、前記ポジ型目盛り22
と同一ピッチで並んで形成されたネガ型目盛り24を有
している。例えばこの実施例では、スケール26の透明
部分は180μmであり、不透明部分は420μmであ
る。スケール26は、熱膨張係数が小さなガラス等から
形成するのが望ましい。
の不透明部分22aの幅よりも一定幅狭い透明部分24
bが不透明部分24aと交互に、前記ポジ型目盛り22
と同一ピッチで並んで形成されたネガ型目盛り24を有
している。例えばこの実施例では、スケール26の透明
部分は180μmであり、不透明部分は420μmであ
る。スケール26は、熱膨張係数が小さなガラス等から
形成するのが望ましい。
【0017】図3に示すように、フィルムツール20の
一方の対角上にX方向のポジ型目盛り22が2個形成さ
れており、他方の対角上にY方向のポジ型目盛り22が
2個形成されている。このようにポジ型目盛り22を複
数個形成したのは、方向によってもまた場所によっても
フィルムツール20の伸縮の程度が異なるためであり、
複数箇所においてフィルムツール20の伸縮の程度が許
容範囲内にあるか否かを測定する必要があるからである
。
一方の対角上にX方向のポジ型目盛り22が2個形成さ
れており、他方の対角上にY方向のポジ型目盛り22が
2個形成されている。このようにポジ型目盛り22を複
数個形成したのは、方向によってもまた場所によっても
フィルムツール20の伸縮の程度が異なるためであり、
複数箇所においてフィルムツール20の伸縮の程度が許
容範囲内にあるか否かを測定する必要があるからである
。
【0018】次に図4を参照して、第2実施例によるフ
ィルムツールの伸縮測定方法について説明する。スケー
ル26をフィルムツール20上に形成されたポジ型目盛
り22に重ねて、フィルムツール20の伸縮の程度を測
定する。図4(A)に示すように、スケール26をポジ
型目盛り22に重ねた場合に全て不透明部分となり、光
の通過が全然ない場合には、フィルムツール20の伸縮
の程度が許容範囲内にあるとする。
ィルムツールの伸縮測定方法について説明する。スケー
ル26をフィルムツール20上に形成されたポジ型目盛
り22に重ねて、フィルムツール20の伸縮の程度を測
定する。図4(A)に示すように、スケール26をポジ
型目盛り22に重ねた場合に全て不透明部分となり、光
の通過が全然ない場合には、フィルムツール20の伸縮
の程度が許容範囲内にあるとする。
【0019】これに対して、図4(B)に示すように、
一部に透明部分が表れ光の透過がある場合には、フィル
ムツール20の伸縮の程度が許容範囲外であるとする。 この場合、フィルムツール20を透明又は半透明の測定
台上に置き、測定台の裏側から光をあてるようにすると
測定しやすい。
一部に透明部分が表れ光の透過がある場合には、フィル
ムツール20の伸縮の程度が許容範囲外であるとする。 この場合、フィルムツール20を透明又は半透明の測定
台上に置き、測定台の裏側から光をあてるようにすると
測定しやすい。
【0020】代案として、透明又は半透明の測定台にフ
ィルムツールのポジ型目盛りに対応する位置及び数のネ
ガ型目盛りを設け、測定台の裏側から光をあてることに
より複数箇所の伸縮を一度に測定することも可能である
。
ィルムツールのポジ型目盛りに対応する位置及び数のネ
ガ型目盛りを設け、測定台の裏側から光をあてることに
より複数箇所の伸縮を一度に測定することも可能である
。
【0021】上述した実施例では、スケール26の透明
部分24bの幅をフィルムツール20に設けた不透明部
分22aの幅よりも狭く形成したが、スケール26の透
明部分24bの幅をフィルムツール20の不透明部分2
2aの幅よりも広く形成するようにしても良い。この場
合には勿論、スケール26の不透明部分24aの幅はフ
ィルムツール20の透明部分22bの幅よりも狭くなり
、ポジ型目盛り22とネガ型目盛り24のピッチ間隔を
同一とする必要がある。また、目盛りのネガ型及びポジ
型を、フィルムツールとスケールで反対にするようにし
ても良い。
部分24bの幅をフィルムツール20に設けた不透明部
分22aの幅よりも狭く形成したが、スケール26の透
明部分24bの幅をフィルムツール20の不透明部分2
2aの幅よりも広く形成するようにしても良い。この場
合には勿論、スケール26の不透明部分24aの幅はフ
ィルムツール20の透明部分22bの幅よりも狭くなり
、ポジ型目盛り22とネガ型目盛り24のピッチ間隔を
同一とする必要がある。また、目盛りのネガ型及びポジ
型を、フィルムツールとスケールで反対にするようにし
ても良い。
【0022】
【発明の効果】本発明は以上詳述したように、フィルム
ツールにバーニア又は所定のピッチ間隔で透明部分及び
不透明部分が並んだポジ型目盛りを設けるようにしたの
で、フィルムツールの伸縮の程度が許容範囲内にあるか
否かを迅速に測定することができ、フィルムツールの管
理が容易になるという効果を奏する。
ツールにバーニア又は所定のピッチ間隔で透明部分及び
不透明部分が並んだポジ型目盛りを設けるようにしたの
で、フィルムツールの伸縮の程度が許容範囲内にあるか
否かを迅速に測定することができ、フィルムツールの管
理が容易になるという効果を奏する。
【図1】本発明第1実施例の測定方法説明図である。
【図2】本発明第2実施例の構成説明図である。
【図3】本発明第2実施例のポジ型目盛り配置図である
。
。
【図4】第2実施例の測定方法説明図である。
10,20 フィルムツール
12a,12b バーニア(副尺)
14,26 スケール
22 ポジ型目盛り
22a,24a 不透明部分
22b,24b 透明部分
24 ネガ型目盛り
Claims (3)
- 【請求項1】 目的とする回路パターンの形成された
プリント配線板製造用フィルムツール(10)において
、X方向及びY方向共それぞれ所定間隔離間して少なく
とも2個の副尺(12a,12b) を設けたことを特
徴とするプリント配線板製造用フィルムツール。 - 【請求項2】 目的とする回路パターンの形成された
プリント配線板製造用フィルムツールにおいて、それぞ
れ一定幅の不透明部分(22a) 及び透明部分(22
b) が交互に一定ピッチで並んだポジ型目盛り(22
)を、X方向及びY方向にそれぞれ一つ以上設けたこと
を特徴とするプリント配線板製造用フィルムツール。 - 【請求項3】 それぞれ一定幅の不透明部分(22a
) 及び透明部分(22b) が交互に一定ピッチで並
んだポジ型目盛り(22)をX方向及びY方向にそれぞ
れ一つ以上設けたプリント配線板製造用フィルムツール
(20)の伸縮測定方法であって、前記ポジ型目盛り(
22)の不透明部分(22a) の幅よりも一定幅広い
か又は狭い透明部分(24b) が不透明部分(24a
) と交互に前記ポジ型目盛り(22)と同一ピッチで
並んだネガ型目盛り(24)を有するスケール(26)
を、該ポジ型目盛り(22)上に重ね、光の通過具合で
プリント配線板製造用フィルムツール(20)の伸縮の
程度を測定することを特徴とするプリント配線板製造用
フィルムツールの伸縮測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3063797A JPH04277746A (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | プリント配線板製造用フィルムツール及びその伸縮測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3063797A JPH04277746A (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | プリント配線板製造用フィルムツール及びその伸縮測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04277746A true JPH04277746A (ja) | 1992-10-02 |
Family
ID=13239731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3063797A Withdrawn JPH04277746A (ja) | 1991-03-06 | 1991-03-06 | プリント配線板製造用フィルムツール及びその伸縮測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04277746A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106707685A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-05-24 | 奥士康精密电路(惠州)有限公司 | 一种菲林涨缩的控制方法 |
| CN107911943A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-04-13 | 江苏博敏电子有限公司 | 一种印刷线路板的涨缩补救方法 |
-
1991
- 1991-03-06 JP JP3063797A patent/JPH04277746A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106707685A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-05-24 | 奥士康精密电路(惠州)有限公司 | 一种菲林涨缩的控制方法 |
| CN107911943A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-04-13 | 江苏博敏电子有限公司 | 一种印刷线路板的涨缩补救方法 |
| CN107911943B (zh) * | 2017-10-24 | 2020-02-18 | 江苏博敏电子有限公司 | 一种印刷线路板的涨缩补救方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0138602B1 (en) | Method of fabricating a photomask pattern | |
| US6074786A (en) | Reticle for alignment and pitch determination | |
| CN103246152A (zh) | 确定覆盖误差的方法和动态控制中间掩模位置的控制系统 | |
| KR20180033971A (ko) | 웨이퍼 좌표계와 직교하지 않는 방향을 따라서 형성된 패턴 층용 오버레이 마크 및 이를 이용한 오버레이 측정방법 및 반도체 디바이스 제조방법 | |
| JPH04277746A (ja) | プリント配線板製造用フィルムツール及びその伸縮測定方法 | |
| US4566192A (en) | Critical dimension measurement structure | |
| CN204102865U (zh) | 一种对准测量结构 | |
| CN114690537B (zh) | 一种相移掩膜版以及光刻机狭缝透光均匀性的检测方法 | |
| CN222281048U (zh) | 一种套刻量测标记 | |
| JPS5983167A (ja) | 多層印刷の位置合わせ方法 | |
| US5616438A (en) | Reticle and a method for measuring blind setting accuracy using the same | |
| JPS5591826A (en) | Method of exposing electronic beam | |
| JPS59134826A (ja) | バ−ニヤパタ−ン | |
| JPH0837148A (ja) | 逐次移動式投影型露光装置によるパターニング方法 | |
| US5317338A (en) | Visual measurement technique and test pattern for aperture offsets in photoplotters | |
| JPS63311798A (ja) | 位置合せマ−ク | |
| GB1450777A (en) | Methods of manufacturing printed circuit boards | |
| JP2787904B2 (ja) | 露光装置 | |
| JPH03282546A (ja) | レチクル | |
| JPS61144022A (ja) | フオトマスク | |
| JPH05273740A (ja) | ディストーション検査マスク | |
| JPH109826A (ja) | Pga基板の外寸測定方法 | |
| JPS60192945A (ja) | マスク・プリント方法 | |
| JPS5858807B2 (ja) | フオトマスク | |
| JPH07273160A (ja) | パターン評価方法及びパターン転写方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |