JPH04280667A - 高集積半導体装置 - Google Patents

高集積半導体装置

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JPH04280667A
JPH04280667A JP3043891A JP4389191A JPH04280667A JP H04280667 A JPH04280667 A JP H04280667A JP 3043891 A JP3043891 A JP 3043891A JP 4389191 A JP4389191 A JP 4389191A JP H04280667 A JPH04280667 A JP H04280667A
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JP
Japan
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wiring
chip
solder
semiconductor device
board
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JP3043891A
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English (en)
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Koichi Nakajima
浩一 中嶋
Tsuneo Endo
恒雄 遠藤
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Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04280667A publication Critical patent/JPH04280667A/ja
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    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/144Stacked arrangements of planar printed circuit boards
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36Assembling printed circuits with other printed circuits
    • H05K3/368Assembling printed circuits with other printed circuits parallel to each other
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/60Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
    • H10W70/67Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
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    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、メモリカード、メモリ
モジュール、ハイブリッドIC、VTR、テレビカメラ
等に用いられる複数の半導体チップで構成される高集積
半導体装置に関し、特に、半導体チップを搭載した複数
の配線基板をほぼ平行に重ね合せて積層構造体に組み立
て、それらを電気的に接続する技術に関するものである
【0002】
【従来の技術】従来の積層構造による三次元的回路構成
を成しているデバイスは、日経マイクロデバイス(’8
9,11月号,P15,日経BP社発行)に記載される
ように、TAB(Tape AoutmatedBon
ding )のアウターリードをもって、隣り合うリー
ド同士を電気的に接続するものである。
【0003】メモリチップを積層する場合を例にとると
、TABのアウターリードを垂直方向に折り曲げ、これ
を必要なチップ数だけ積み上げた後、重なり合ったアウ
ターリード同士を半田材等により電気的接続を行う。 しかる後、接続されたアウターリードを水平方向に曲げ
、ガルウィング状に成形する。
【0004】また、メモリチップのチップセレクト端子
は各チップ毎に電気的に独立させておくことが必要であ
るために、TABを積層以前に不必要なアウターリード
部分を切り落しておくか、あるいはアウターリードを半
田等による接続を行った後に切り離しておく必要がある
【0005】また、刊行物「混成集積回路(1968年
6月工業調査会発行)」に記載されているように、ベア
チップの電極端子と配線基板側の電極端子の間に金属性
のボールを介在させ、半田材等によってベアチップの電
極と基板側の電極端子を電気的に接続するフリップチッ
プ実装がある。
【0006】また、プリント板に電子部品を組み立てた
ものを三次元的に実装する場合には、複数のプリント板
同士を所定の間隔(5mm〜1cm)でほぼ平行に重ね
て配置し、各プリント板にリード線を貫通させてリード
線と各プリント板とを半田付けし、電気的機械的接続を
行っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術では、フ
リップチップ実装の場合、チップに裏面と表面につなが
った電極を付けることができないために積層構造をとる
ことができず、表裏の導通をとるためには何らかの中継
点を付ける必要があった。このために考案されたのが積
層TABであり、TABのアウターリードがこの中継点
に相当する。
【0008】しかしながら、積層TABでは、上下のT
ABの間にはチップの厚さに相当するギャップがあり、
このギャップを埋めるためにアウターリードを折り曲げ
成形する必要があり、その際に、アウターリードは非常
に薄く、成形精度が出しづらい、強度も弱という欠点が
ある。そのために、マザーボードに組み付ける際に接続
部がはずれやすいという問題があった。
【0009】また、アウターリードの取り出しがチップ
周囲に限られているために接続ピン数に制限があり、電
気的に接続不要なピンがあった場合、アウターリードを
切断しなければならないという問題があった。
【0010】また、前記従来のプリント板に電子部品を
組み立てたものを三次元的に実装する場合では、プリン
ト板上に実装される部品がより薄型化し、積層化したプ
リント板積層体の厚さも薄くして小型化してきており、
かつプリント板(材質:ガラスエポキシ、フェノール等
)と半田のなじみが悪い(半田の表面張力による)ため
、半田が狭い隙間に入りづらくなるという問題があった
【0011】本発明は、前記問題点を解決するためにな
されたものであり、その課題は、半導体チップの数を増
しても平面的には大きくならない高集積半導体装置が得
られる技術を提供することにある。
【0012】本発明の他の課題は、半導体チップを搭載
した複数の配線基板が重ね合せられた積層構造の半導体
装置において、配線基板同士間の電気的接続の信頼性を
向上することが可能な技術を提供することにある。
【0013】本発明の他の課題は、アウターリードを折
り曲げ又は切断することなく、安価な部品で配線基板同
士間を電気的に接続することが可能な技術を提供するこ
とにある。
【0014】本発明の前記ならびにその他の課題と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
【0015】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0016】(1)半導体チップを搭載した複数の配線
基板がほぼ平行に所定の間隔で配置され、これらが各配
線基板を貫通する少なくとも一本のリード線で積層構造
体に組み立てられ、前記リード線と前記各配線基板上の
電極端子とを半田付けして電気的に接続した高集積半導
体装置である。
【0017】(2)前記各配線基板の端面から半田が侵
入し得る距離より端面側に、配線基板上に設けられてい
る電極端子に接続される半田誘導線を配置したものであ
る。
【0018】(3)前記各配線基板の対向面側の端部に
テーパを設けたものである。
【0019】
【作用】前述の手段によれば、以下の作用効果を奏する
【0020】ここでは、ベアチップを搭載した配線基板
を拡大された新たなチップと見なす。スルーホールによ
り配線基板には表と裏に同一電位の端子が設けられてお
り、この基板上にベアチップをボンディングしたことに
よって、ベアチップだけでは表側にしか電極端子がなか
ったものが、チップの両面に電極端子が形成されたのと
同じ状態になる。これにより積層した基板同士の電極が
向き合う形となるため、半田付け等の接続手段により向
き合った端子同士を接続することができるようになる。
【0021】しかし、配線基板の表面から上にチップ,
ワイヤー及びこれらを保護するための物質による出っ張
りがあり、積層した時に配線基板と配線基板の間には隙
間がある。この隙間を埋めるために導電性の物質を介在
させる必要がある。本発明では導電性の物質としてリー
ド線を適用し、このリード線を前記配線基板のスルーホ
ールに貫通し、リード線と各配線基板とを半田で電気的
機械的に接続する。
【0022】また、導電性物体の位置合せがまずく、ず
れた場合には導通不良やショート不良となるため、本発
明では位置ずれが起きにくくするためにリード線を前記
スルーホールに貫通している。
【0023】また、前記各配線基板の端面から半田が侵
入し得る距離より端面側に、配線基板上に設けられてい
る電極端子に接続される半田誘導線を配置したので、リ
ード線と配線基板上の配線端子との半田付けを容易に行
うことができる。
【0024】また、前記各配線基板の間対向面側の端部
にテーパを設けていることにより、半田の表面張力が小
さくなるので、半田のなじみが良くなり、半田が各配線
基板間の隙間に入り易くなる。
【0025】このようにすることにより、複数の配線基
板の積層構造体における各配線基板同士とリード線とが
半田により固着されるので、位置ズレが発生せず、かつ
電気的接続が良好で機械的衝撃にも強い構造となる。
【0026】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体
的に説明する。
【0027】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
【0028】[実施例1]図1は、本発明をSRAMメ
モリチップを搭載した配線基板に適用した一実施例の高
集積半導体装置の全体概略構成を示す断面図、図2は、
図1のSRAMメモリチップを搭載した配線基板の一個
の概略構成を示す断面図、図3は、図1に示す(イ)−
(イ)線で切った断面図である。
【0029】図1図,図2及び図3に示すように、本実
施例の半導体装置100A,100B,100C,10
0Dは、それぞれ256kbitSRAMメモリチップ
(以下、単にチップという)1が配線基板(以下、単に
基板という)2上に接着剤等を介して搭載されている。
【0030】前記基板2は、その上面(表面)に配線パ
ターン3が設けられ、かつスルーホール配線4により基
板2の表面と裏面が電気的に接続されているリジッドな
配線基板となっている。例えば、スルーホール配線4に
よって表裏両面が電気的に接続されたプリント基板であ
り、各スルーホール配線4は基板2の配線パターン3及
びボンディングワイヤー5により、チップ1上の端子と
電気的に接続されている。
【0031】そして、前記スルーホール配線4の周辺の
表面と裏面には半田付可能なランド4Aが形成されてい
る。このランド4Aには、図5の(a)に示すように、
半田8が前記基板2の端面から侵入し易くするために、
配線と同材料の半田誘導線4Bが前記基板2の端面の近
かくからランド4Aまで配置されている。このようにす
ることにより、半田8が基板2の端面から侵入し易い位
置から半田誘導線4Bによりランド4まで誘導されるの
で、基板2間が狭くてもリード線7とランド4Aとを確
実に半田付けすることができる。
【0032】なお、前記配線パターン3,スルーホール
配線4,ランド4A及び半田誘導線4Bは、基板2に個
々に形成してもよいし、一体に形成してもよい。また、
配線パターン3,スルーホール配線4及びランド4Aは
、それぞれ電気的に接続されている。また、半田誘導線
4Bは、ランド4Aと電気的に接続されていなくてもよ
く、半田8がランド4Aに誘導される機能さえもってい
ればよい。
【0033】また、図5の(b)に示すように、前記基
板2上に設けられている配線パターン3に接続されてい
るランド4Aの端部は、基板2を半田槽に浸け込んで半
田付けを行う際に、前記各基板2の対向面側の端部に、
半田8の表面張力が小さくなるようにテーパ(斜めの切
り欠き)2Aを設けてもよい。このようにすることによ
り、半田8の表面張力が小さくなるので、基板2間が狭
くなっても半田のなじみが良くなり、基板2の端面から
半田が配線パターン3の端部までの隙間に入り易くなる
【0034】そして、前記チップ1及びボンディングワ
イヤー5を保護するために、レジン等の封止用樹脂6の
トランスファモールドにより封止されている。また、マ
ザーボード10には、前記各半導体装置端部に形成され
ているスルーホール配線4と同位置に設けられたスルー
ホール配線11が設けられている。
【0035】本実施例の高集積半導体装置100は、前
記チップ1が搭載されている基板2の複数枚、すなわち
、半導体装置100A,100B,100C,100D
が、図3に示すように、前記リード線7を延長させたリ
ード線延長部7Aは、マザーボード10に設けられてい
るスルーホール配線11の貫通穴に挿入される。このリ
ード線延長部7Aとスルーホール配線11の周辺の表面
と裏面に設けられているランド11Aとが半田8で電気
的機械的に接続される。従って、チップ1のアドレス端
子、データ端子、電源端子は共通に接続される。
【0036】また、各半導体装置100A,100B,
100C,100Dの各チップ1を選択するためのチッ
プセレクト端子はそれぞれ独立に接続してある。
【0037】次に、チップ1A,1B,1C,1Dを選
択する手段について説明する。
【0038】図6図,図7,図8は、チップセレクト端
子部の構成を説明するための説明図であり、図6は断面
説明図、図7及び図8は各基板2の配線パターン3が全
て異なる場合の例を示す説明図である。
【0039】例えば、各半導体装置100A,100B
,100C,100Dの各チップをそれぞれ1A,1B
,1C,1Dとすると、それらの選択は、図6,図7及
び図8に示すように、それぞれチップセレクト端子CS
1,CS2,CS3,CS4によってなされる。
【0040】図6において、上から一番目のチップ1A
はチップセレクト端子CS1により選択される。同様に
、上から二番目のチップ1Bはチップセレクト端子CS
2で、上から三番目のチップ1Cはチップセレクト端子
CS3で、上から四番目のチップ1Dはチップセレクト
端子CS4でそれぞれ選択される。
【0041】前記チップセレクト端子CS1は、図7に
示すように、上から一番目のチップ1Aのチップセレク
ト配線パターン9Aにスルーホール配線4により電気的
に接続され、チップセレクト配線パターン9Aはボンデ
ィングワイヤー5によりチップ1Aに電気的に接続され
ている。
【0042】同様に、チップセレクト端子CS2は、上
から二番目のチップ1Bの配線端子パターン9B(図示
していない)にスルーホール配線4により電気的に接続
され、チップセレクト配線パターン9Bはボンディング
ワイヤー5によりチップ1Bに電気的に接続されている
【0043】チップセレクト端子CS3は、上から三番
目のチップ1Cのチップセレクト配線パターン9C(図
示していない)にスルーホール配線4により電気的に接
続され、チップセレクト配線パターン9Cはボンディン
グワイヤー5によりチップ1Cに電気的に接続されてい
る。
【0044】チップセレクト端子CS4は、図8に示す
ように、上から四番目のチップ1Dの配線端子パターン
9Dにスルーホール配線4により電気的に接続され、チ
ップセレクト配線パターン9Dはボンディングワイヤー
5によりチップ1Dに電気的に接続されている。
【0045】また、前記各チップ1A,1B,1C,1
Dの選択は、図9及び図10(基板2のチップセレクト
配線パターンが全て同じでワイヤーボンディングを打ち
変える場合の例を示す図)に示すように、各基板2にチ
ップセレクト配線パターン9A,9B,9C,9Dが全
て設けられ、各基板2が選択されるチップセレクト配線
パターンのみが、ワイヤーボンディングされるようにし
てもよい。
【0046】また、図11(断面説明図),図12及び
図13(チップセレクト配線パターン)に示すように、
各基板2に全て共通のチップセレクト配線パターン9E
を設け、基板2を重ね合せる時に金属ボール12や半田
でショートさせるようにしてもよい。
【0047】次に、本実施例の高集積半導体装置100
の組み立て方法について簡単に説明する。
【0048】図14に示すように、本実施例の前記半導
体装置100A,100B,100C,100Dは、チ
ップ1を前記基板2(a)上に接着剤等を介して搭載す
る(b)。次に、チップ1上の端子と基板2の配線パタ
ーン3とをボンディングワイヤー5により、電気的に接
続する(b)。その後、前記チップ1及びボンディング
ワイヤー5を保護するために、レジン等の封止用樹脂6
のトランスファモールドにより封止する(c)。これに
より、各半導体装置100A,100B,100C,1
00Dが完成する。
【0049】次に、半導体装置100A,100Bを積
み重ね、スルーホール配線4の貫通孔にリード線7を串
刺し状に挿入し、リード線7が半導体装置100Bの裏
面に長く突き出させる。この状態で半田槽の中にディピ
ングし、スルーホール配線4の周辺の表面と裏面に設け
られているランド4Aとリード線7とを半田付けして電
気的に接続する(d)。
【0050】次に、前記長く突き出ている当該リード線
7をマザーボード10のスルーホール配線11の貫通孔
に挿入する(e)。この貫通孔にはあらかじめ半田ペー
ストを塗布しておく。この状態で前記マザーボード10
に熱風(240℃)をかけ、半田ペーストをとかすこと
により、マザーボード10のスルーホール配線11の周
辺の表面と裏面に設けられているランド11Aとリード
線7とを半田付けして電気的機械的に接続する(f)。 最後に余分なリード線7を切断して組み立ては完了する
【0051】もし、電気的に接続したくない端子があっ
たならば、その部分の半田付け用ランドを形成しておか
なければ、電気的には接続されない。
【0052】以上の説明からわかるように、本実施例に
よれば、チップ1が基板2を介して三次元的に相互接続
され、回路網を形成することにより、チップ1の数を増
しても平面的には大きくならないので、半導体素子を高
密度に実装することができる。例えば、1MbitSR
AMのメモリ容量と同一機能を持ったメモリが、ほぼ同
一パッケージサイズで実現でき、高集積回路のメモリが
短期間で製作することができる。
【0053】また、基板2のスルーホール4には貫通孔
があけられており、上下の基板同士をリード線7により
電気的に接続することが容易にできる。
【0054】また、基板2同士又は基板2とマザーボー
ド10がリード線7により固定されるので、位置ズレが
おきにくく、かつ機械的に衝撃にも強く電気的接続の信
頼性の高い高集積半導体装置100が得られる。
【0055】また、接続用のリード線7があるために、
基板同士の接続の際に配線部を曲げたり変形させる必要
がないので、精度の良い安定した形状が得られる。
【0056】また、接続用のリード線7は容易に取り付
けたり取り除いたりできるので、回路形成が容易にでき
る。
【0057】また、マザーボード10に搭載する際に上
向き搭載と下向き搭載の2通りの搭載をしたい場合、一
種類の部品を用意するだけでよい。
【0058】以上、本発明を実施例にもとづき具体的に
説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更し
得ることは言うまでもない。
【0059】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【0060】(1)半導体チップが基板を介して三次元
的に相互接続され、回路網を形成しているために、半導
体チップの数を増しても平面的には大きくならない高集
積半導体装置が得られる。
【0061】(2)半田が基板の端面から侵入し易い位
置からランドまで誘導されるので、基板間が狭くてもリ
ード線とランドとを確実に半田付けすることができる。
【0062】(3)各基板の間対向面側の端部にテーパ
を設けたことにより、半田の表面張力が小さくなるので
、半田のなじみが良くなり、各基板間の狭い隙間であっ
ても、半田が電極端子パターンの端部までの隙間に入り
易くなる。
【0063】前記(2),(3)により、基板同士又は
基板とマザーボード間の位置ズレがおきにくく、かつ機
械的に衝撃にも強く電気的接続の信頼性の高い高集積半
導体装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明をSRAMメモリチップを搭載した基板
に適用した一実施例の高集積半導体装置の全体概略構成
を示す外観斜視図。
【図2】図1図に示す一個のSRAMメモリチップを搭
載した基板の概略構成を示す断面図。
【図3】図1に示す(イ)−(イ)線で切った断面図。
【図4】図1に示す基板上のランド近傍の拡大図。
【図5】図3に示す基板端部の構造を説明するための断
面図。
【図6】本実施例のチップセレクト手段を説明するため
の説明図。
【図7】本実施例のチップセレクト手段を説明するため
の説明図。
【図8】本実施例のチップセレクト手段を説明するため
の説明図。
【図9】本実施例のチップセレクト手段の変形例を説明
するための説明図。
【図10】本実施例のチップセレクト手段の変形例を説
明するための説明図。
【図11】本実施例のチップセレクト手段の他の変形例
を説明するための説明図。
【図12】本実施例のチップセレクト手段の他の変形例
を説明するための説明図。
【図13】本実施例のチップセレクト手段の他の変形例
を説明するための説明図。
【図14】本実施例の高集積半導体装置の組み立て方法
を説明するための図。
【符号の説明】
1,1A,1B,1C,1D…チップ、2…基板、3…
配線パターン、4,11…スルーホール配線、4A,1
1A…ランド、4B…半田誘導線、5…ボンディングワ
イヤー、6…封止用樹脂、7…リード線、8…半田、S
1,CS2,CS3,CS4…チップセレクト端子、9
A,9B,9C,9D…チップセレクト配線パターン、
10…マザーボード、100A,100B,100C,
100D…半導体装置、100…高集積半導体装置。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  半導体チップを搭載した複数の配線基
    板がほぼ平行に所定の間隔で配置され、これらが各配線
    基板を貫通する少なくとも一本のリード線で積層構造体
    に組み立てられ、前記リード線と前記各配線基板上の電
    極端子とを半田付けして電気的に接続したことを特徴と
    する高集積半導体装置。
  2. 【請求項2】  前記請求項1に記載の高集積半導体装
    置において、前記配線基板上の基板端面から半田が侵入
    し得る距離より端面側に設けられている電極端子に接続
    される半田誘導線を配置したことを特徴とする高集積半
    導体装置。
  3. 【請求項3】  前記請求項1又は2に記載の高集積半
    導体装置において、各配線基板の対向面側の端部にテー
    パを設けたことを特徴とする高集積半導体装置。
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