JPH0428155B2 - - Google Patents
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- JPH0428155B2 JPH0428155B2 JP24408783A JP24408783A JPH0428155B2 JP H0428155 B2 JPH0428155 B2 JP H0428155B2 JP 24408783 A JP24408783 A JP 24408783A JP 24408783 A JP24408783 A JP 24408783A JP H0428155 B2 JPH0428155 B2 JP H0428155B2
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- JP
- Japan
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- laser rod
- laser
- flow path
- circumferential direction
- rod
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 26
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 16
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 3
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
- H01S3/093—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp focusing or directing the excitation energy into the active medium
- H01S3/0931—Imaging pump cavity, e.g. elliptical
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/042—Arrangements for thermal management for solid state lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/025—Constructional details of solid state lasers, e.g. housings or mountings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はレーザロツドが冷却水によつて冷却
される固体レーザ発振装置に関する。
される固体レーザ発振装置に関する。
一般に、固体レーザ発振装置はたとえば楕円筒
などの集光反射鏡の内部にレーザロツドと励起ラ
ンプとを対向させて収容するとともに、上記レー
ザロツドの端面に各々共振器を形成する一対のミ
ラーを平行に配置してなる。そして、レーザロツ
ドを励起ランプで光励起することにより、上記共
振器の出力側のミラーからレーザ光が出力される
ようになつている。また、レーザロツドは励起ラ
ンプから受ける熱で大きく歪んだり、早期に損傷
するから、上記レーザロツドを流水パイプに挿通
し、この流水パイプに冷却水を流がすことによつ
て水冷するようにしている。
などの集光反射鏡の内部にレーザロツドと励起ラ
ンプとを対向させて収容するとともに、上記レー
ザロツドの端面に各々共振器を形成する一対のミ
ラーを平行に配置してなる。そして、レーザロツ
ドを励起ランプで光励起することにより、上記共
振器の出力側のミラーからレーザ光が出力される
ようになつている。また、レーザロツドは励起ラ
ンプから受ける熱で大きく歪んだり、早期に損傷
するから、上記レーザロツドを流水パイプに挿通
し、この流水パイプに冷却水を流がすことによつ
て水冷するようにしている。
ところで、従来冷却水は流水パイプ内をレーザ
ロツドの軸方向に沿つて流がされており、またレ
ーザロツドは１本あるいは２本の励起ランプによ
り周方向の１方向あるいは180度ずれた２方向か
ら光励起されていた。そのため、レーザロツドは
励起ランプによつて周方向が均一に加熱されない
ばかりか、周方向の励起ランプによつて励起され
て温度上昇した個所を軸方向に沿つて流れる冷却
水は他の個所を流れる冷却水に比べて温度上昇が
著しいから、レーザロツドと周方向における温度
差が一段と拡大される。
ロツドの軸方向に沿つて流がされており、またレ
ーザロツドは１本あるいは２本の励起ランプによ
り周方向の１方向あるいは180度ずれた２方向か
ら光励起されていた。そのため、レーザロツドは
励起ランプによつて周方向が均一に加熱されない
ばかりか、周方向の励起ランプによつて励起され
て温度上昇した個所を軸方向に沿つて流れる冷却
水は他の個所を流れる冷却水に比べて温度上昇が
著しいから、レーザロツドと周方向における温度
差が一段と拡大される。
このように、レーザロツドの周方向における温
度に差が生じると、レーザロツドが温度上昇する
ことによつて生じる凸エンズ作用が不均一とな
る。つまり、レーザロツドの励起ランプを含む第
１の断面方向と、この第１の断面方向と直交する
方向の第２の断面方向とでは、第１の断面方向が
第２の断面方向よりも焦点距離が大きくなる。す
ると、たとえばレーザロツドの断面が円形であつ
ても、出力されるレーザ光のパターンが矩形状と
なつてしまうから、このレーザ光によつて切断加
工を行なう場合など走査方向によつて加工幅が異
なり、精密な切断加工が行なえなくなるという問
題が生じる。また、レーザロツドの周方向におけ
る凸レンズ作用が均一でないと、励起ランプへの
入力を増大させても、レーザ光の出力の飽和点が
低下し、高出力のレーザ光が得られないという問
題もある。
度に差が生じると、レーザロツドが温度上昇する
ことによつて生じる凸エンズ作用が不均一とな
る。つまり、レーザロツドの励起ランプを含む第
１の断面方向と、この第１の断面方向と直交する
方向の第２の断面方向とでは、第１の断面方向が
第２の断面方向よりも焦点距離が大きくなる。す
ると、たとえばレーザロツドの断面が円形であつ
ても、出力されるレーザ光のパターンが矩形状と
なつてしまうから、このレーザ光によつて切断加
工を行なう場合など走査方向によつて加工幅が異
なり、精密な切断加工が行なえなくなるという問
題が生じる。また、レーザロツドの周方向におけ
る凸レンズ作用が均一でないと、励起ランプへの
入力を増大させても、レーザ光の出力の飽和点が
低下し、高出力のレーザ光が得られないという問
題もある。
なお、冷却水に流れについては特開昭55−
74919号公報に開示された技術が知られている。
この技術は固体レーザではなく、ガスレーザに関
するもので、レーザ細管の周りに冷却液を流すた
めのウオーダジヤケツト内に螺旋状の整流板を設
け、この整流板によつて冷却液がレーザ細管に一
様に接触るようにしたものである。しかしなが
ら、固体レーザの場合はガスレーザにおけるレー
ザ細管とは異なり、冷却液が一様に接触するとい
うことの他に、励起作用に支障がないように考慮
する必要がある。
74919号公報に開示された技術が知られている。
この技術は固体レーザではなく、ガスレーザに関
するもので、レーザ細管の周りに冷却液を流すた
めのウオーダジヤケツト内に螺旋状の整流板を設
け、この整流板によつて冷却液がレーザ細管に一
様に接触るようにしたものである。しかしなが
ら、固体レーザの場合はガスレーザにおけるレー
ザ細管とは異なり、冷却液が一様に接触するとい
うことの他に、励起作用に支障がないように考慮
する必要がある。
この発明はレーザロツドが周方向においてほぼ
均一な温度になるよう冷却されるようにして、出
力されるレーザ光のパターンが均一で、しかも励
起ランプへの入力に対してレーザ光の出力の飽和
点を十分高くすることができるようにした固体レ
ーザ発振装置を提供することにある。
均一な温度になるよう冷却されるようにして、出
力されるレーザ光のパターンが均一で、しかも励
起ランプへの入力に対してレーザ光の出力の飽和
点を十分高くすることができるようにした固体レ
ーザ発振装置を提供することにある。
集光反射鏡の内部に励起ランプに対向して設け
られるレーザロツドを流水パイプに収容し、この
流水パイプによつてレーザロツドの外周に流通路
を区画形成し、この流通路に流通路を流れる例水
をレーザロツドの周方向に旋回させる螺旋状のガ
イド体を設けることにより、レーザロツドの周方
向全体が均一な温度の冷却水で冷却されるように
したものである。
られるレーザロツドを流水パイプに収容し、この
流水パイプによつてレーザロツドの外周に流通路
を区画形成し、この流通路に流通路を流れる例水
をレーザロツドの周方向に旋回させる螺旋状のガ
イド体を設けることにより、レーザロツドの周方
向全体が均一な温度の冷却水で冷却されるように
したものである。
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説
明する。図中１は内周面が楕円状に形成された発
振装置の本体である。この本体１の軸方向両端開
口は端板２によつて閉塞されている。また、本体
１の内周面には軸方向両端部を除く個所に本体１
の内周面と同様な楕円筒状でその内周面が鏡面加
工された集光反射鏡３が設けられている。この集
光反射鏡３の一方の焦点位置にはYAGロツドや
その他のレーザロツドなどの断面円形のレーザロ
ツド４、他方の焦点位置には励起ランプ５がそれ
ぞれ軸線を本体１の軸線と平行にして設けられて
いる。
明する。図中１は内周面が楕円状に形成された発
振装置の本体である。この本体１の軸方向両端開
口は端板２によつて閉塞されている。また、本体
１の内周面には軸方向両端部を除く個所に本体１
の内周面と同様な楕円筒状でその内周面が鏡面加
工された集光反射鏡３が設けられている。この集
光反射鏡３の一方の焦点位置にはYAGロツドや
その他のレーザロツドなどの断面円形のレーザロ
ツド４、他方の焦点位置には励起ランプ５がそれ
ぞれ軸線を本体１の軸線と平行にして設けられて
いる。
上記レーザロツド４の両端には各々支持パイプ
６の一端が液密に嵌着されている。これら支持パ
イプ６の他端は上記端板２に穿設された通孔７に
液密に嵌挿されている。各端板２から突出した支
持パイプ６の他端開口には共振器を形成する全反
射ミラー８と出力ミラー９とがそれぞれ上記レー
ザロツド４の端面に対して平行に対向して配設さ
れている。そして、レーザロツド４が励起ランプ
５によつて光励起されると、上記出力ミラー９か
らレーザ光Ｌが出力されるようになつている。ま
た、レーザロツド４は光学的に透明な材料で作ら
れた流水パイプ１０に挿通されている。この流水
パイプ１０はレーザロツド４よりも大径で、この
内周面とレーザロツド４の外周面との間に冷却水
の流通路１１を区画形成している。この流通路１
１つまりレーザロツド４の外周面には、光学的に
透明な材料によつて外径寸法が流水パイプ１０の
内径寸法とほぼ同径に形成された螺旋状のガイド
体１２が取着されている。
６の一端が液密に嵌着されている。これら支持パ
イプ６の他端は上記端板２に穿設された通孔７に
液密に嵌挿されている。各端板２から突出した支
持パイプ６の他端開口には共振器を形成する全反
射ミラー８と出力ミラー９とがそれぞれ上記レー
ザロツド４の端面に対して平行に対向して配設さ
れている。そして、レーザロツド４が励起ランプ
５によつて光励起されると、上記出力ミラー９か
らレーザ光Ｌが出力されるようになつている。ま
た、レーザロツド４は光学的に透明な材料で作ら
れた流水パイプ１０に挿通されている。この流水
パイプ１０はレーザロツド４よりも大径で、この
内周面とレーザロツド４の外周面との間に冷却水
の流通路１１を区画形成している。この流通路１
１つまりレーザロツド４の外周面には、光学的に
透明な材料によつて外径寸法が流水パイプ１０の
内径寸法とほぼ同径に形成された螺旋状のガイド
体１２が取着されている。
また、上記流水パイプ１０の両端は、上記本体
１の軸方向両端部に仕切壁１３によつて区画形成
された断面円形状の第１の流路１４と第２の流路
１５にそれぞれ液密に接続されている。したがつ
て、本体１内は流水パイプ１０と上記一対の仕切
壁１３とによつてレーザロツド４が収容された径
方向上側の上部室１６と、励起ランプ５が収容さ
れた下側の下部室１７そとに隔別されている。さ
らに、本体１には上記第１の流路１４に連通する
供給管１８および下部室１７の上記第１の流路１
４と対応する一端に連通する排出管１９が接続さ
れている。また、上記第２の流路１５を形成する
仕切壁１３には、この第２の流路１５と下部室１
７とを連通する透孔２０が穿設されている。上記
供給管１８からは冷却水が供給される。したがつ
て、供給管１８から第１の流路１４に流入した冷
却水は、第１図に矢印で示すように流水パイプ１
０、第２の流路１５、透孔２０および下部室１７
に通つて上記排出管１９から流出するようになつ
ている。
１の軸方向両端部に仕切壁１３によつて区画形成
された断面円形状の第１の流路１４と第２の流路
１５にそれぞれ液密に接続されている。したがつ
て、本体１内は流水パイプ１０と上記一対の仕切
壁１３とによつてレーザロツド４が収容された径
方向上側の上部室１６と、励起ランプ５が収容さ
れた下側の下部室１７そとに隔別されている。さ
らに、本体１には上記第１の流路１４に連通する
供給管１８および下部室１７の上記第１の流路１
４と対応する一端に連通する排出管１９が接続さ
れている。また、上記第２の流路１５を形成する
仕切壁１３には、この第２の流路１５と下部室１
７とを連通する透孔２０が穿設されている。上記
供給管１８からは冷却水が供給される。したがつ
て、供給管１８から第１の流路１４に流入した冷
却水は、第１図に矢印で示すように流水パイプ１
０、第２の流路１５、透孔２０および下部室１７
に通つて上記排出管１９から流出するようになつ
ている。
このように構成されたレーザ発振装置におい
て、レーザ光Ｌを出力させる場合に、供給管１８
から冷却水を供給するとともに、励起ランプ５に
通電してレーザロツド４を光励起すれば、共振器
を形成する出力ミラー９からレーザ光Ｌが出力さ
れる。一方供給管１８から第１の流路１４の供給
された冷却水がレーザロツド４の外周に流通路１
１を形成した流水パイプ１０に流入すると、この
流通路１１に設けられた螺旋状のガイド体１２に
沿つてレーザロツド４の外周面を旋回しながら流
れる。そのため、レーザロツド４の周方向が全周
にわたつて同じ温度の冷却水で冷却されるから、
レーザロツド４が周方向の一方向からだけ励起ラ
ンプ５で光励起されていても、このレーザロツド
４の周方向は同じ温度の冷却水によつてほぼ均一
な温度に冷却される。したがつて、レーザロツド
４の凸レンズ作用は、励起ランプ５によつて光励
起される径方向と、この径方向と直交する方向に
おいてほぼ同一となうから、出力ミラー９から出
力されるレーザ光Ｌのパターン形状はレーザロツ
ド４の端面形状に等しい円形となる。そして、レ
ーザロツド４の断面形状と同じ円形のレーザ光Ｌ
が出力されると、このレーザ光Ｌによつて切断加
工を行なうような場合、走査方向が異なつても切
断幅が一定となるから、切断加工を精密に行なう
ことができる。また、レーザロツド４の凸レンズ
作用が周方向において均一化されると、励起ラン
プ５への入力に対してレーザ光Ｌの出力がほぼ比
例的に変化するから、レーザ光Ｌの出力の飽和点
が上昇する。つまり、高出力のレーザ光Ｌを得る
ことができる。
て、レーザ光Ｌを出力させる場合に、供給管１８
から冷却水を供給するとともに、励起ランプ５に
通電してレーザロツド４を光励起すれば、共振器
を形成する出力ミラー９からレーザ光Ｌが出力さ
れる。一方供給管１８から第１の流路１４の供給
された冷却水がレーザロツド４の外周に流通路１
１を形成した流水パイプ１０に流入すると、この
流通路１１に設けられた螺旋状のガイド体１２に
沿つてレーザロツド４の外周面を旋回しながら流
れる。そのため、レーザロツド４の周方向が全周
にわたつて同じ温度の冷却水で冷却されるから、
レーザロツド４が周方向の一方向からだけ励起ラ
ンプ５で光励起されていても、このレーザロツド
４の周方向は同じ温度の冷却水によつてほぼ均一
な温度に冷却される。したがつて、レーザロツド
４の凸レンズ作用は、励起ランプ５によつて光励
起される径方向と、この径方向と直交する方向に
おいてほぼ同一となうから、出力ミラー９から出
力されるレーザ光Ｌのパターン形状はレーザロツ
ド４の端面形状に等しい円形となる。そして、レ
ーザロツド４の断面形状と同じ円形のレーザ光Ｌ
が出力されると、このレーザ光Ｌによつて切断加
工を行なうような場合、走査方向が異なつても切
断幅が一定となるから、切断加工を精密に行なう
ことができる。また、レーザロツド４の凸レンズ
作用が周方向において均一化されると、励起ラン
プ５への入力に対してレーザ光Ｌの出力がほぼ比
例的に変化するから、レーザ光Ｌの出力の飽和点
が上昇する。つまり、高出力のレーザ光Ｌを得る
ことができる。
さらに、レーザロツド４を収容した流水パイプ
１０と、レーザロツド４の外周面に設けられたガ
イド体１２とは、ともに光学的に透明な材料で作
られているから、これらが励起ランプ５の光を遮
断し、レーザロツド４が効率よく光励起されなく
なるということがない。
１０と、レーザロツド４の外周面に設けられたガ
イド体１２とは、ともに光学的に透明な材料で作
られているから、これらが励起ランプ５の光を遮
断し、レーザロツド４が効率よく光励起されなく
なるということがない。
なお、この発明は上記一実施例に限定されず、
たとえばレーザ発振装置としては、レーザロツド
の周方向180度ずれを位置に２本の励起ランプが
設けられたものであつてもよい。また、ガイド体
はレーザロツドの外周でなく、流水パイプの内周
または流水の上流部と下流部において仕切壁など
に取着してもよく、要は流水パイプによつて形成
された流通路に固定的に設けられていればよい。
たとえばレーザ発振装置としては、レーザロツド
の周方向180度ずれを位置に２本の励起ランプが
設けられたものであつてもよい。また、ガイド体
はレーザロツドの外周でなく、流水パイプの内周
または流水の上流部と下流部において仕切壁など
に取着してもよく、要は流水パイプによつて形成
された流通路に固定的に設けられていればよい。
以上述べたようにこの発明は、集光反射鏡の内
部に励起ランプと対向して設けられるレーザロツ
ドを流水パイプに収容し、この流水パイプによつ
てレーザロツドの外周に流通路を区画形成し、こ
の流通路に冷却水をレーザロツドの周方向に旋回
させて流がす螺旋状のガイド体を設けたから、レ
ーザロツドの周方向が励起ランプにより不均一に
光励起されても、レーザロツドの周方向に旋回す
る冷却水によりこのレーザロツドの周方向におけ
る温度分布はほぼ均一になる。したがつて、レー
ザロツドの凸レンズ作用は周方向においてほぼ均
一となるから、レーザロツドの断面形状と同じパ
ターンのレーザ光が得られ、たとえば切断加工な
どを走査方向によつて切断幅が変わるようなこと
なく高精度に行なえるばかりか、励起ランプへの
入力に比例して飽和点の高い高出力のレーザ光を
得ることができるなどの利点を有する。
部に励起ランプと対向して設けられるレーザロツ
ドを流水パイプに収容し、この流水パイプによつ
てレーザロツドの外周に流通路を区画形成し、こ
の流通路に冷却水をレーザロツドの周方向に旋回
させて流がす螺旋状のガイド体を設けたから、レ
ーザロツドの周方向が励起ランプにより不均一に
光励起されても、レーザロツドの周方向に旋回す
る冷却水によりこのレーザロツドの周方向におけ
る温度分布はほぼ均一になる。したがつて、レー
ザロツドの凸レンズ作用は周方向においてほぼ均
一となるから、レーザロツドの断面形状と同じパ
ターンのレーザ光が得られ、たとえば切断加工な
どを走査方向によつて切断幅が変わるようなこと
なく高精度に行なえるばかりか、励起ランプへの
入力に比例して飽和点の高い高出力のレーザ光を
得ることができるなどの利点を有する。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は概
略的構成を示す縦断面図、第２図は第１図−
線に沿う断面図である。 ３……集光反射鏡、４……レーザロツド、５…
…励起ランプ、１０……流水パイプ、１１……流
通路、１２……ガイド体。
略的構成を示す縦断面図、第２図は第１図−
線に沿う断面図である。 ３……集光反射鏡、４……レーザロツド、５…
…励起ランプ、１０……流水パイプ、１１……流
通路、１２……ガイド体。
Claims (1)
- １ 集光反射鏡と、この集光反射鏡の内部に互い
に対向して設けられたレーザロツドおよび励起ラ
ンプと、上記レーザロツドを内部に収容しこのレ
ーザロツドの外周に冷却水の流通路を区画形成し
た流水パイプと、上記流通路に設けあらこの流通
路を流れる冷却水をレーザロツドの周方向に旋回
させる螺旋状で透光性を有するガイド体とを具備
したことを特徴とする固体レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24408783A JPS60136385A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 固体レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24408783A JPS60136385A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 固体レ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136385A JPS60136385A (ja) | 1985-07-19 |
| JPH0428155B2 true JPH0428155B2 (ja) | 1992-05-13 |
Family
ID=17113538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24408783A Granted JPS60136385A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 固体レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136385A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0797668B2 (ja) * | 1987-02-19 | 1995-10-18 | 株式会社東芝 | 固体レ−ザ−発振装置 |
| US5331652A (en) * | 1993-03-22 | 1994-07-19 | Alliedsignal Inc. | Solid state laser having closed cycle gas cooled construction |
| US6813289B2 (en) * | 2001-07-25 | 2004-11-02 | Innotech, Usa, Inc. | Portable laser device |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP24408783A patent/JPS60136385A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60136385A (ja) | 1985-07-19 |
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