JPH04282471A - 半導体集積回路測定装置 - Google Patents
半導体集積回路測定装置Info
- Publication number
- JPH04282471A JPH04282471A JP3068948A JP6894891A JPH04282471A JP H04282471 A JPH04282471 A JP H04282471A JP 3068948 A JP3068948 A JP 3068948A JP 6894891 A JP6894891 A JP 6894891A JP H04282471 A JPH04282471 A JP H04282471A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- measuring
- positioning mechanism
- main body
- semiconductor integrated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
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- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路（以下、
ＩＣという）の測定装置に関し、特に電気的特性を測定
するＩＣテスタと共に用いる自動選別装置に関する。
ＩＣという）の測定装置に関し、特に電気的特性を測定
するＩＣテスタと共に用いる自動選別装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体集積回路測定装置における
ＩＣリード端子と測定電極との接触部分（以下、測定部
という）は、図２に示すように、本体１と、測定電極２
と、本体１に取り付けられた位置決め機構３と、加圧機
構４とを備えている。
ＩＣリード端子と測定電極との接触部分（以下、測定部
という）は、図２に示すように、本体１と、測定電極２
と、本体１に取り付けられた位置決め機構３と、加圧機
構４とを備えている。
【０００３】測定部に送られたＩＣ５は、位置決め機構
３により測定電極２と一致する位置に位置決めされ、加
圧機構４により測定電極２と接触し電気的特性が測定さ
れる。
３により測定電極２と一致する位置に位置決めされ、加
圧機構４により測定電極２と接触し電気的特性が測定さ
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体集積
回路測定装置では、測定電極２を交換する際に位置決め
機構３を調整しなければならないが、測定部付近の構造
が複雑であるためＩＣリード端子と測定電極との位置を
確実に一致させるように高い位置精度で調整することが
困難であった。このため、一度の測定で正しく測定が行
われない場合が生じ、本来良品判定されるべきＩＣが不
良判定されるという不具合が発生していた。その結果、
良品率が低下し、不良判定されたものを再度測定する作
業（以下、リテストという）を行う必要があるというよ
うな問題点があった。また、ＩＣリード端子と測定電極
との位置ズレのため、ＩＣリード端子の曲がりリード端
子のメッキのはがれ等の外観不良が発生するという問題
点があった。
回路測定装置では、測定電極２を交換する際に位置決め
機構３を調整しなければならないが、測定部付近の構造
が複雑であるためＩＣリード端子と測定電極との位置を
確実に一致させるように高い位置精度で調整することが
困難であった。このため、一度の測定で正しく測定が行
われない場合が生じ、本来良品判定されるべきＩＣが不
良判定されるという不具合が発生していた。その結果、
良品率が低下し、不良判定されたものを再度測定する作
業（以下、リテストという）を行う必要があるというよ
うな問題点があった。また、ＩＣリード端子と測定電極
との位置ズレのため、ＩＣリード端子の曲がりリード端
子のメッキのはがれ等の外観不良が発生するという問題
点があった。
【０００５】本発明の目的は、測定部を本体より取外し
て測定電極を交換することを可能とした半導体集積回路
測定装置を提供することにある。
て測定電極を交換することを可能とした半導体集積回路
測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る半導体集積回路測定装置においては、測
定部と、位置決め機構とを有する半導体集積回路測定装
置であって、測定部は、測定電極を有し、測定対象の半
導体集積回路のリード端子と測定電極とを電気的に接触
させるものであり、位置決め機構は、リード端子と測定
電極とを位置決めするものであり、測定部と位置決め機
構とは、ユニット化され、装置本体に脱着可能に装着さ
れるものである。
、本発明に係る半導体集積回路測定装置においては、測
定部と、位置決め機構とを有する半導体集積回路測定装
置であって、測定部は、測定電極を有し、測定対象の半
導体集積回路のリード端子と測定電極とを電気的に接触
させるものであり、位置決め機構は、リード端子と測定
電極とを位置決めするものであり、測定部と位置決め機
構とは、ユニット化され、装置本体に脱着可能に装着さ
れるものである。
【０００７】
【作用】ユニット化された測定部６と位置決め機構３と
を装置本体１より取外し、この状態で測定電極２の交換
を行うようにしたものである。
を装置本体１より取外し、この状態で測定電極２の交換
を行うようにしたものである。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明する
。図１（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施例を示す図で
ある。図において、本発明に係る半導体集積回路測定装
置は、装置本体１と、測定電極２と、位置決め機構３と
、加圧機構４と、測定部６とを有する。
。図１（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施例を示す図で
ある。図において、本発明に係る半導体集積回路測定装
置は、装置本体１と、測定電極２と、位置決め機構３と
、加圧機構４と、測定部６とを有する。
【０００９】測定部６は、測定電極２を有し、測定対象
の半導体集積回路（以下、ＩＣという）５のリード端子
と測定電極２とを電気的に接触させるものである。
の半導体集積回路（以下、ＩＣという）５のリード端子
と測定電極２とを電気的に接触させるものである。
【００１０】位置決め機構３は、ＩＣ５のリード端子と
測定電極２とを位置決めするものである。
測定電極２とを位置決めするものである。
【００１１】測定部６と位置決め機構３とは、ユニット
化され、装置本体１の取付孔１ａ内に脱着可能に装着さ
れるものであり、測定部６には、装置本体１の取付孔１
ａの開口口縁に係止させる係止片６ａが設けられている
。
化され、装置本体１の取付孔１ａ内に脱着可能に装着さ
れるものであり、測定部６には、装置本体１の取付孔１
ａの開口口縁に係止させる係止片６ａが設けられている
。
【００１２】また、加圧機構４は、装置本体１に取付け
られた測定部６に対応して設置され、位置決めされたＩ
Ｃ５のリード端子を測定電極２に押付けるものである。
られた測定部６に対応して設置され、位置決めされたＩ
Ｃ５のリード端子を測定電極２に押付けるものである。
【００１３】実施例において、装置本体１に組み込まれ
た測定部６に送られたＩＣ５は、位置決めの機構３によ
り、測定部６に取り付けられた測定電極２と一致するよ
うに位置決めされ、加圧機構４により測定電極２と接触
し測定される。
た測定部６に送られたＩＣ５は、位置決めの機構３によ
り、測定部６に取り付けられた測定電極２と一致するよ
うに位置決めされ、加圧機構４により測定電極２と接触
し測定される。
【００１４】ここで、測定電極２を交換する場合、図１
（ｂ）に示すように測定部６を装置本体１より取り外し
た状態で行い、その状態で位置決め機構３を調整するこ
とができる。
（ｂ）に示すように測定部６を装置本体１より取り外し
た状態で行い、その状態で位置決め機構３を調整するこ
とができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、測定電極
を交換する際、測定部を本体より取り外して行える構造
をもつため、位置決め機構の調整を複雑な測定部付近の
構造に影響されず、容易かつ精度よく行うことが可能と
なり、その結果、測定の精度が向上し、良品率を向上さ
せ、かつリテストを廃止できる。さらにＩＣリード端子
と測定電極との位置ズレのため発生していた外観不良を
改善できるという効果を有する。
を交換する際、測定部を本体より取り外して行える構造
をもつため、位置決め機構の調整を複雑な測定部付近の
構造に影響されず、容易かつ精度よく行うことが可能と
なり、その結果、測定の精度が向上し、良品率を向上さ
せ、かつリテストを廃止できる。さらにＩＣリード端子
と測定電極との位置ズレのため発生していた外観不良を
改善できるという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の半導体集積回路測定装置の
測定部周辺の断面図であり、（ａ）は組立状態を示す図
、（ｂ）は測定部を本体より取り外した状態を示す図で
ある。
測定部周辺の断面図であり、（ａ）は組立状態を示す図
、（ｂ）は測定部を本体より取り外した状態を示す図で
ある。
【図２】従来の半導体集積回路測定装置の測定部を示す
断面図である。
断面図である。
１ 装置本体
２ 測定電極
３ 位置決め機構
４ 加圧機構
５ ＩＣ
６ 測定部
Claims (1)
- 【請求項１】 測定部と、位置決め機構とを有する半
導体集積回路測定装置であって、測定部は、測定電極を
有し、測定対象の半導体集積回路のリード端子と測定電
極とを電気的に接触させるものであり、位置決め機構は
、リード端子と測定電極とを位置決めするものであり、
測定部と位置決め機構とは、ユニット化され、装置本体
に脱着可能に装着されるものであることを特徴とする半
導体集積回路測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3068948A JPH04282471A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 半導体集積回路測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3068948A JPH04282471A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 半導体集積回路測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04282471A true JPH04282471A (ja) | 1992-10-07 |
Family
ID=13388398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3068948A Pending JPH04282471A (ja) | 1991-03-08 | 1991-03-08 | 半導体集積回路測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04282471A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161464A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-22 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃ測定ユニツト |
-
1991
- 1991-03-08 JP JP3068948A patent/JPH04282471A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161464A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-22 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃ測定ユニツト |
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