JPH04283417A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH04283417A JPH04283417A JP3047876A JP4787691A JPH04283417A JP H04283417 A JPH04283417 A JP H04283417A JP 3047876 A JP3047876 A JP 3047876A JP 4787691 A JP4787691 A JP 4787691A JP H04283417 A JPH04283417 A JP H04283417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- film
- magnetic recording
- carbon film
- alkyl group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lubricants (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は強磁性金属薄膜を磁気記
録層とする磁気記録媒体およびその製造方法に関し、特
にデジタルビデオテープレコーダや高精細度ビデオテー
プレコーダに最適な磁気テープに関する。
録層とする磁気記録媒体およびその製造方法に関し、特
にデジタルビデオテープレコーダや高精細度ビデオテー
プレコーダに最適な磁気テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気
記録媒体においては、様々な方法により耐食性、スチル
耐久性、走行耐久性を向上する試みが続けられてきた。 たとえば、強磁性金属薄膜上にカルボン酸系やリン酸系
の潤滑剤を設ける方法、さらに強磁性金属薄膜上に非磁
性金属の保護膜を設ける方法、またはシリカのような酸
化物の保護膜を設ける方法がある。
記録媒体においては、様々な方法により耐食性、スチル
耐久性、走行耐久性を向上する試みが続けられてきた。 たとえば、強磁性金属薄膜上にカルボン酸系やリン酸系
の潤滑剤を設ける方法、さらに強磁性金属薄膜上に非磁
性金属の保護膜を設ける方法、またはシリカのような酸
化物の保護膜を設ける方法がある。
【０００３】さらに最近では、特開昭６１ー１４２５２
５号公報、特開昭６１ー２０８６２２号公報に開示され
ているようにカーボン系の保護膜を設けたり、特開昭６
２ー２１９３１４号公報、特開昭６１ー２１０５１８号
公報に開示されているようにダイヤモンド状炭素膜を保
護膜として用いている。また、特開平２ー１３７１１６
号公報に開示されているようにダイヤモンド状炭素膜と
プラズマ重合膜を保護膜として用いる例もある。強磁性
薄膜の保護膜としてダイヤモンド状炭素膜を用いると、
スチル耐久性、走行耐久性、が著しく向上するが、ダイ
ヤモンド状炭素膜が不活性なために潤滑剤の配向が悪く
、撥水性が低いため、高温高湿環境で走行性が悪くなり
ジッターが発生しやすくなる欠点があった。そこで、ダ
イヤモンド状炭素膜とプラズマ重合膜を保護膜として、
撥水性はプラズマ重合膜にもたせることも考えられたが
、これも潤滑剤が重合膜と反応していないので潤滑剤の
大部分がバックコート側に移動し、潤滑剤不足による耐
久性の低下が避けられなかった。
５号公報、特開昭６１ー２０８６２２号公報に開示され
ているようにカーボン系の保護膜を設けたり、特開昭６
２ー２１９３１４号公報、特開昭６１ー２１０５１８号
公報に開示されているようにダイヤモンド状炭素膜を保
護膜として用いている。また、特開平２ー１３７１１６
号公報に開示されているようにダイヤモンド状炭素膜と
プラズマ重合膜を保護膜として用いる例もある。強磁性
薄膜の保護膜としてダイヤモンド状炭素膜を用いると、
スチル耐久性、走行耐久性、が著しく向上するが、ダイ
ヤモンド状炭素膜が不活性なために潤滑剤の配向が悪く
、撥水性が低いため、高温高湿環境で走行性が悪くなり
ジッターが発生しやすくなる欠点があった。そこで、ダ
イヤモンド状炭素膜とプラズマ重合膜を保護膜として、
撥水性はプラズマ重合膜にもたせることも考えられたが
、これも潤滑剤が重合膜と反応していないので潤滑剤の
大部分がバックコート側に移動し、潤滑剤不足による耐
久性の低下が避けられなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】強磁性金属薄膜型磁気
記録媒体のスチル耐久性、走行耐久性を著しく向上する
ダイヤモンド状炭素膜を用いても、高温高湿環境での走
行性悪化にもとづくジッターが発生せず、目づまりも少
ない薄膜型磁気記録媒体を提供することを目的としてい
る。
記録媒体のスチル耐久性、走行耐久性を著しく向上する
ダイヤモンド状炭素膜を用いても、高温高湿環境での走
行性悪化にもとづくジッターが発生せず、目づまりも少
ない薄膜型磁気記録媒体を提供することを目的としてい
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、ダイヤモンド状炭素膜と反応しやすい潤滑剤として
、ヒドラジノ骨格を持ち、かつ走行性に寄与する炭素数
６以上の長鎖アルキル基を持 った構造として、ダイヤ
モンド状炭素膜上から簡単に移動しない構成とする。
に、ダイヤモンド状炭素膜と反応しやすい潤滑剤として
、ヒドラジノ骨格を持ち、かつ走行性に寄与する炭素数
６以上の長鎖アルキル基を持 った構造として、ダイヤ
モンド状炭素膜上から簡単に移動しない構成とする。
【０００６】さらに、長鎖アルキル基を含んだヒドラジ
ノ化合物とダイヤモンド状炭素膜との反応性を高く保つ
ために、媒体を真空中からだすことなくダイヤモンド状
炭素膜形成後すぐに潤滑剤層として、長鎖アルキル基を
含んだヒドラジノ化合物を有機蒸着法で形成する。
ノ化合物とダイヤモンド状炭素膜との反応性を高く保つ
ために、媒体を真空中からだすことなくダイヤモンド状
炭素膜形成後すぐに潤滑剤層として、長鎖アルキル基を
含んだヒドラジノ化合物を有機蒸着法で形成する。
【０００７】
【作用】ヒドラジノ基、−ＮＨＮＨ２基がダイヤモンド
状炭素膜表面と強く反応し、いつまでも表面に残るため
耐久性がある。また、炭素数６以上の長鎖アルキル基の
効果で走行性も良くなり、ジッタ−も発生しにくくなる
。さらに、長期使用による目詰まりの発生もほとんどな
い。
状炭素膜表面と強く反応し、いつまでも表面に残るため
耐久性がある。また、炭素数６以上の長鎖アルキル基の
効果で走行性も良くなり、ジッタ−も発生しにくくなる
。さらに、長期使用による目詰まりの発生もほとんどな
い。
【０００８】本発明の利点は、高温高湿環境での走行不
良によるジッターの発生もなく、長期間使用による品質
の劣化がないことにある。
良によるジッターの発生もなく、長期間使用による品質
の劣化がないことにある。
【０００９】製造法的特徴は１つの真空槽中で保護膜関
連の２工程を一度に行うことにあり、ダイヤモンド状炭
素膜上に大気中の水や酸素が付着するのを防ぎながら潤
滑剤層を設けて、潤滑剤の反応性を高めている。
連の２工程を一度に行うことにあり、ダイヤモンド状炭
素膜上に大気中の水や酸素が付着するのを防ぎながら潤
滑剤層を設けて、潤滑剤の反応性を高めている。
【００１０】
【実施例】（図１）は金属薄膜型磁気テープの断面略図
であり、この構成について説明する。
であり、この構成について説明する。
【００１１】１はダイヤモンド状炭素膜と反応性の高い
潤滑剤層であり、分子中に炭素数６以上の長鎖アルキル
基とヒドラジノ基を有する。その例としては、Ｃ１２Ｈ
２５ＣＯＣ６Ｈ４ＮＨＮＨ２や Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２
）２ＣＯＣ６Ｈ４ＮＨＮＨ２、ＣＨ３（ＣＨ２）６−Ｎ
ＨＮＨ２がある。
潤滑剤層であり、分子中に炭素数６以上の長鎖アルキル
基とヒドラジノ基を有する。その例としては、Ｃ１２Ｈ
２５ＣＯＣ６Ｈ４ＮＨＮＨ２や Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２
）２ＣＯＣ６Ｈ４ＮＨＮＨ２、ＣＨ３（ＣＨ２）６−Ｎ
ＨＮＨ２がある。
【００１２】２はダイヤモンド状炭素膜で、膜のビッカ
ース硬度が約３０００と高く、磁気テープのダメージを
潤滑剤と共に防いでいる。厚みは１００Åから２００Å
が信頼性と出力とのバランス上最適である。
ース硬度が約３０００と高く、磁気テープのダメージを
潤滑剤と共に防いでいる。厚みは１００Åから２００Å
が信頼性と出力とのバランス上最適である。
【００１３】３は強磁性金属薄膜であり、材料的にはＣ
ｏ−Ｎｉ−Ｏ，Ｃｏ−Ｏ，Ｃｏ−Ｃｒ等が使用可能であ
る。その厚みは５００Åから３０００Åが一般的である
。
ｏ−Ｎｉ−Ｏ，Ｃｏ−Ｏ，Ｃｏ−Ｃｒ等が使用可能であ
る。その厚みは５００Åから３０００Åが一般的である
。
【００１４】４は非磁性基板であり、ポリエチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、
ポリイミド等のフイルムやアルミ基板、ガラス基板等が
可能である。基板の磁性面側の表面は１００Åから３０
０Åの突起形成処理が施されているものが信頼性と出力
を両立するうえで最適である。
フタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、
ポリイミド等のフイルムやアルミ基板、ガラス基板等が
可能である。基板の磁性面側の表面は１００Åから３０
０Åの突起形成処理が施されているものが信頼性と出力
を両立するうえで最適である。
【００１５】５はバックコート層で、材料的にはポリウ
レタン、ニトロセルロース、ポリエステルとカーボン、
炭酸カルシュウム等を含んでいる。厚みは５０００Åで
ある。 （図２）は本発明の磁気記録媒体の製造装置
の１例である。
レタン、ニトロセルロース、ポリエステルとカーボン、
炭酸カルシュウム等を含んでいる。厚みは５０００Åで
ある。 （図２）は本発明の磁気記録媒体の製造装置
の１例である。
【００１６】６は真空槽であり１０ー４Ｔｏｒｒから１
０ー３Ｔｏｒｒに管理されている。これは１１の排気口
からホンプで排気して管理する。
０ー３Ｔｏｒｒに管理されている。これは１１の排気口
からホンプで排気して管理する。
【００１７】７はダイヤモンド状炭素膜を製造する放電
管であり、交流と直流が電極に印加される。ガスは炭化
水素とアルゴン等の不活性ガスを使用する。
管であり、交流と直流が電極に印加される。ガスは炭化
水素とアルゴン等の不活性ガスを使用する。
【００１８】８は潤滑剤層を形成する有機蒸着用のノズ
ルであり、この中の抵抗加熱器９の中へ潤滑剤を入れて
蒸発させる。
ルであり、この中の抵抗加熱器９の中へ潤滑剤を入れて
蒸発させる。
【００１９】１０は金属薄膜型磁気テープのバックコー
ト層が沿って走行する冷却用のキャンである。
ト層が沿って走行する冷却用のキャンである。
【００２０】以下製造条件も含めて詳しく説明する。５
００ｍｍ幅のポリエチレンテレフタレート表面に、ＳＴ
Ｍ分析で高さが３００Å、直径が２０００Åの突起が１
ｍｍ２あたり１０５から１０９個形成された非磁性基板
４上へ、斜方真空蒸着法により酸素を導入しながら、Ｃ
ｏ（８０）−Ｎｉ（２０）からなる強磁性金属薄膜３を
１８００Åの厚みで形成する。その後リバースロールコ
ータによりポリウレタン、ニトロセルロース、カーボン
ブラックより構成された固形分３０％のメチルエチルケ
トン／トルエン／アノン溶液を乾燥後のバックコート５
の厚みが５０００Åになるように塗布する。
００ｍｍ幅のポリエチレンテレフタレート表面に、ＳＴ
Ｍ分析で高さが３００Å、直径が２０００Åの突起が１
ｍｍ２あたり１０５から１０９個形成された非磁性基板
４上へ、斜方真空蒸着法により酸素を導入しながら、Ｃ
ｏ（８０）−Ｎｉ（２０）からなる強磁性金属薄膜３を
１８００Åの厚みで形成する。その後リバースロールコ
ータによりポリウレタン、ニトロセルロース、カーボン
ブラックより構成された固形分３０％のメチルエチルケ
トン／トルエン／アノン溶液を乾燥後のバックコート５
の厚みが５０００Åになるように塗布する。
【００２１】この強磁性金属薄膜３上にアルゴンガスと
ヘキサンガスを１：４の比で混合し、トータルガス圧を
０．３Ｔｏｒｒに保って、周波数２０ＫＨｚ電圧１５０
０Ｖの交流と１０００Ｖの直流を放電管７内の電極に重
畳印加し、プラズマＣＶＤ法によりダイヤモンド状炭素
膜２を１５０Åの厚みで形成する。
ヘキサンガスを１：４の比で混合し、トータルガス圧を
０．３Ｔｏｒｒに保って、周波数２０ＫＨｚ電圧１５０
０Ｖの交流と１０００Ｖの直流を放電管７内の電極に重
畳印加し、プラズマＣＶＤ法によりダイヤモンド状炭素
膜２を１５０Åの厚みで形成する。
【００２２】次に各種ヒドラジノ化合物を溶媒に溶かし
てコ−タで塗布し、乾燥後の潤滑剤厚みを３０Åとした
。使用した炭素数６以上のアルキル基を持ったヒドラジ
ノ化合物のアルキル基の例としては、ＣＨ３ＣＨ２，Ｃ
Ｈ３（ＣＨ２）５，Ｃ１２Ｈ２５，Ｃ１４Ｈ２９ＣＯＣ
６Ｈ４，ＣＨ３Ｃ６Ｈ３Ｃ１０Ｈ２１，Ｃ６Ｆ１３（Ｃ
Ｈ２）２，Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２）２，ＣＦ３（ＣＨ２）
２を用い、これらをそれぞれ順番にサンプル１からサン
プル８とした。また、比較例としてダイヤモンド状炭素
膜上に含フッソカルボン酸、Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２）２Ｃ
ＯＯＨを３０Å設けたものを（比較例１）とし、含フッ
ソカルボン酸エステル、Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２）２ＣＯＯ
（ＣＨ２）８ＣＨ３を３０Å設けたものを（比較例２）
とした。
てコ−タで塗布し、乾燥後の潤滑剤厚みを３０Åとした
。使用した炭素数６以上のアルキル基を持ったヒドラジ
ノ化合物のアルキル基の例としては、ＣＨ３ＣＨ２，Ｃ
Ｈ３（ＣＨ２）５，Ｃ１２Ｈ２５，Ｃ１４Ｈ２９ＣＯＣ
６Ｈ４，ＣＨ３Ｃ６Ｈ３Ｃ１０Ｈ２１，Ｃ６Ｆ１３（Ｃ
Ｈ２）２，Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２）２，ＣＦ３（ＣＨ２）
２を用い、これらをそれぞれ順番にサンプル１からサン
プル８とした。また、比較例としてダイヤモンド状炭素
膜上に含フッソカルボン酸、Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２）２Ｃ
ＯＯＨを３０Å設けたものを（比較例１）とし、含フッ
ソカルボン酸エステル、Ｃ８Ｆ１７（ＣＨ２）２ＣＯＯ
（ＣＨ２）８ＣＨ３を３０Å設けたものを（比較例２）
とした。
【００２３】これらサンプル１から８と（比較例１）お
よび（比較例２）をスリッターで８ｍｍ幅に裁断し磁気
テープを作成した。試作した磁気テープサンプル１から
８と（比較例１）および（比較例２）を用いて、まず４
０℃−８０％環境下で動摩擦係数を測定した。測定は摩
擦係数測定機を用い、ポスト材質はＳＵＳ４２０Ｊ２，
直径４ｍｍ、表面粗さ０．２ｓ，荷重３０ｇｆ，テープ
速度０．５ｍｍ／ｓの条件でおこなった。その結果を各
サンプルについて（表１）に示した。また、この動摩擦
係数と関係があると考えられる４０℃−８０％環境のＶ
ＴＲデッキでのジッターレベルも（表１）に示した。
よび（比較例２）をスリッターで８ｍｍ幅に裁断し磁気
テープを作成した。試作した磁気テープサンプル１から
８と（比較例１）および（比較例２）を用いて、まず４
０℃−８０％環境下で動摩擦係数を測定した。測定は摩
擦係数測定機を用い、ポスト材質はＳＵＳ４２０Ｊ２，
直径４ｍｍ、表面粗さ０．２ｓ，荷重３０ｇｆ，テープ
速度０．５ｍｍ／ｓの条件でおこなった。その結果を各
サンプルについて（表１）に示した。また、この動摩擦
係数と関係があると考えられる４０℃−８０％環境のＶ
ＴＲデッキでのジッターレベルも（表１）に示した。
【００２４】さらに、これらのサンプル１から８と（比
較例１）および（比較例２）を１２０分テ−プとしてカ
セットに組み込み、８ｍｍＶＴＲで２００パス再生テス
トを行ない、目づまり特性を調べた。目づまりは、１０
０時間あたりの目づまり時間（秒）で表示した。その結
果も（表１）に示した。
較例１）および（比較例２）を１２０分テ−プとしてカ
セットに組み込み、８ｍｍＶＴＲで２００パス再生テス
トを行ない、目づまり特性を調べた。目づまりは、１０
０時間あたりの目づまり時間（秒）で表示した。その結
果も（表１）に示した。
【００２５】
【表１】
【００２６】また、サンプル６、７と（比較例１）およ
び（比較例２）を可溶性溶媒で十分に洗浄後、ＥＳＣＡ
分析により残存フッソ量を測定し、ダイヤモンド状炭素
膜と潤滑剤との反応性の強さを調べた。その結果を（図
３）に示した。
び（比較例２）を可溶性溶媒で十分に洗浄後、ＥＳＣＡ
分析により残存フッソ量を測定し、ダイヤモンド状炭素
膜と潤滑剤との反応性の強さを調べた。その結果を（図
３）に示した。
【００２７】このように、分子内に炭素数６以上のアル
キル基とヒドラジノ基をもつタイプの潤滑剤は、カルボ
ン酸やカルボン酸 エステルよりもダイヤモンド状炭素
膜表面と強く反応していることがわかった。その結果、
（表１）のサンプル２、３、４、５、６、７のようにア
ルキル基の長さが炭素数６以上であると、摩擦係数も低
く、かつジッタ−も良好であった。また、目づまりもア
ルキル基の炭素数が６以上になると発生しにくくなって
いた。
キル基とヒドラジノ基をもつタイプの潤滑剤は、カルボ
ン酸やカルボン酸 エステルよりもダイヤモンド状炭素
膜表面と強く反応していることがわかった。その結果、
（表１）のサンプル２、３、４、５、６、７のようにア
ルキル基の長さが炭素数６以上であると、摩擦係数も低
く、かつジッタ−も良好であった。また、目づまりもア
ルキル基の炭素数が６以上になると発生しにくくなって
いた。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明はダイヤモンド状炭
素膜上にこのダイヤモンド状炭素膜表面と反応しやすい
炭素数６以上のアルキルあるいはフッソを含んだアルキ
ル基を持ったヒドラジノ化合物−ＮＨＮＨ２を潤滑剤と
して設けることにより 、磁気テープの走行性とＶＴＲ
でのジッター特性を改善し、さらに再生中での目づまり
特性を改善する。
素膜上にこのダイヤモンド状炭素膜表面と反応しやすい
炭素数６以上のアルキルあるいはフッソを含んだアルキ
ル基を持ったヒドラジノ化合物−ＮＨＮＨ２を潤滑剤と
して設けることにより 、磁気テープの走行性とＶＴＲ
でのジッター特性を改善し、さらに再生中での目づまり
特性を改善する。
【図１】本発明の実施例である金属薄膜型磁気テープの
断面略図である。
断面略図である。
【図２】本発明の実施例である保護膜形成装置の略図で
ある。
ある。
【図３】ダイヤモンド状炭素膜表面へのアルキル置換ヒ
ドラジノ化合物の反応性の強さを示す図である。
ドラジノ化合物の反応性の強さを示す図である。
１ 潤滑剤層
２ ダイヤモンド状炭素膜
３ 強磁性金属薄膜
４ ポリエチレンテレフタレート
５ バックコート
６ 真空槽
７ ダイヤモンド状炭素膜用放電管
８ 有機蒸着用ノズル
９ 抵抗加熱器
１０ キャン
１１ 排気口
Claims (4)
- 【請求項１】 非磁性基板上に強磁性金属薄膜とダイ
ヤモンド状炭素膜と潤滑剤層とを設けた磁気記録媒体で
あって、前記潤滑剤層が分子内にアルキル基とヒドラジ
ノ基を有することを特徴とする磁気記録媒体 。 - 【請求項２】 アルキル基が炭素数６以上の基である
ことを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 アルキル基中にフッソ原子を含むこと
を特徴とする請求項２記載の磁気記録媒体。 - 【請求項４】 ダイヤモンド状炭素膜をプラズマＣＶ
Ｄ法で、潤滑剤層を有機蒸着法で連続的に形成すること
を特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3047876A JPH04283417A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3047876A JPH04283417A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04283417A true JPH04283417A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=12787586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3047876A Pending JPH04283417A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04283417A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0595564A3 (en) * | 1992-10-29 | 1994-06-15 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01199315A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-08-10 | Seiko Epson Corp | 磁気記憶体 |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP3047876A patent/JPH04283417A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01199315A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-08-10 | Seiko Epson Corp | 磁気記憶体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0595564A3 (en) * | 1992-10-29 | 1994-06-15 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5589263A (en) | Magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film, a dry etched layer, a carbonaceous film, and a lubricant film | |
| US5560995A (en) | Magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film upon which is coated a phosphorous and fluorine containing composition | |
| WO1999003954A1 (en) | Lubricant composition, magnetic recording medium, and process for producing magnetic recording medium | |
| US5869186A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPH04222922A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JP3700978B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2000017281A (ja) | 潤滑剤組成物ならびに磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH08167146A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP3491942B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06236545A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH08287458A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 | |
| JP2002269724A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05307745A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPS61110330A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH07110930A (ja) | 金属薄膜型磁気テープおよびその製造方法 | |
| JPS60138758A (ja) | 磁気テ−プ摺接部材およびその製造方法 | |
| JPH02158909A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH06333230A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06103560A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61105728A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0944846A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH04125813A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPWO1996037886A1 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2002334420A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2000073081A (ja) | 潤滑剤組成物ならびに磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法 |