JPH04284655A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH04284655A
JPH04284655A JP3048455A JP4845591A JPH04284655A JP H04284655 A JPH04284655 A JP H04284655A JP 3048455 A JP3048455 A JP 3048455A JP 4845591 A JP4845591 A JP 4845591A JP H04284655 A JPH04284655 A JP H04284655A
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JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
heat dissipation
semiconductor integrated
package body
circuit device
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Pending
Application number
JP3048455A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Miwa
孝志 三輪
Toshihiro Matsunaga
俊博 松永
Masayuki Shirai
優之 白井
Toshihiro Tsuboi
敏宏 坪井
Hiroshi Kosaku
小作 浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Solutions Technology Ltd
Original Assignee
Hitachi ULSI Engineering Corp
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04284655A publication Critical patent/JPH04284655A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874—On different surfaces
    • H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路装置技
術に関し、特に、放熱フィンを有する半導体集積回路装
置に適用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路装置においては、
素子の高集積化や半導体チップの大形化並びに回路動作
の高速化等が進められている。
【0003】これらに伴い半導体集積回路が形成された
半導体チップからの発熱量も増す傾向にあり、半導体チ
ップから発生した熱を効率よく放散するための放熱設計
技術が重要視されている。
【0004】従来の半導体集積回路装置の放熱構造とし
ては、例えば半導体チップを封止するパッケージ本体の
背面側に所定の放熱フィンをかしめ付けや接着剤等によ
って接合する構造が知られている。
【0005】なお、従来の半導体集積回路装置の低熱抵
抗化技術については、例えば株式会社プレスジャーナル
、平成2年7月20日発行、「月刊  セミコンダクタ
ーワールド(Semiconductor World
)1990年8月号」P111〜P113に記載があり
、低熱抵抗化技術の動向およびPGA(Pin Gri
d Array)の低熱抵抗化技術について説明されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、放熱フィン
が接合されたパッケージ本体は、プリント配線基板等に
実装された後、大形計算機等のような所定の装置内にそ
の構成部品として組み込まれるようになっている。とこ
ろが、その組み込まれる装置によって空冷方向や組み込
みスペースが異なるので、パッケージ本体が同一であっ
ても放熱フィンの風向きや寸法・形状等が異なると、そ
の装置に組み込むことができないという問題があった。
【0007】また、近年は、パッケージ本体を赤外線加
熱処理によってプリント配線基板に実装する方法が採用
されつつある。ところが、パッケージ本体に放熱フィン
が接合されているとその赤外線加熱処理を使用できない
という問題があった。
【0008】本発明は上記課題に着目してなされたもの
であり、その目的は、放熱フィンをパッケージの実装要
望に応じて随時交換することのできる技術を提供するこ
とにある。
【0009】本発明の他の目的は、一つの放熱フィンで
も幾つかの実装要望にフレキシブルに対応することので
きる技術を提供することにある。
【0010】本発明の他の目的は、パッケージの実装処
理の変化にフレキシブルに対応することのできる技術を
提供することにある。
【0011】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、明細書の記述および添付図面から明らかにな
るであろう。
【0012】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0013】すなわち、請求項1記載の発明は、半導体
チップが封止されたパッケージ本体の背面側に放熱フィ
ンを着脱自在に固定した半導体集積回路装置構造とする
ものである。
【0014】請求項2記載の発明は、前記放熱フィンを
パッケージ本体との対向面内において回転自在に固定し
た半導体集積回路装置構造とするものである。
【0015】請求項4記載の発明は、前記パッケージ本
体と、前記放熱フィンとの間に熱伝導媒体を介在させた
半導体集積回路装置構造とするものである。
【0016】
【作用】上記した請求項1記載の発明によれば、例えば
放熱フィンの取り付けられたパッケージ本体をプリント
配線基板上に実装した後でも、要望に合わない放熱フィ
ンをパッケージ本体から取り外し、要望にあった他の放
熱フィンをパッケージ本体に取り付けることができる。
【0017】また、例えば放熱フィンの取り付けられた
パッケージ本体を赤外線加熱処理等によってプリント配
線基板に実装する際、パッケージ本体から放熱フィンを
一時的に取り外しておき、実装後、再び放熱フィンをパ
ッケージ本体に取り付けることができる。
【0018】上記した請求項2記載の発明によれば、同
一の放熱フィンであっても風向き角度を変えてパッケー
ジ本体に取り付けることができる。
【0019】上記した請求項4記載の発明によれば、パ
ッケージ本体と放熱フィンとの接触熱抵抗を小さくでき
る上、放熱フィンの着脱による放熱特性の変動を抑制す
ることができる。
【0020】
【実施例】図1は本発明の一実施例である半導体集積回
路装置の全体断面図、図2は図1に示した半導体集積回
路装置の平面図である。
【0021】図1に示す本実施例の半導体集積回路装置
は、例えばPGA1である。PGA1を構成するパッケ
ージ本体2は、熱拡散板3と、パッケージ基板4と、リ
ードピン5と、キャップ6とを有している。
【0022】熱拡散板3は、例えば銅(Cu)からなり
、その表面には酸化処理が施されている。熱拡散板3の
下面側中央には、半導体チップ7がその主面を図の下方
に向けた状態で接合されている。
【0023】半導体チップ7は、例えば単結晶シリコン
(Si)からなり、その主面側には、例えば高速動作を
行うCMOSゲートアレイ等のような半導体集積回路が
形成されている。その半導体集積回路は、ボンディング
ワイヤ8および後述する配線層9を通じてリードピン5
に電気的に接続されている。
【0024】熱拡散板3の下面側において半導体チップ
7の周囲には、パッケージ基板4が、例えばシリコーン
ゴム等からなる接着層10aによって接合されている。 パッケージ基板4は、例えばエポキシ樹脂またはビスマ
レイミドトリアジン(BT)樹脂等のようなプラスチッ
ク材料からなる。
【0025】パッケージ基板4の下面には、上記した配
線層9が形成されている。配線層9は、例えばCuから
なり、その層厚は、例えば18μm程度である。配線層
9には、信号用配線、GND用配線および電源電圧供給
用配線がパターン形成されており、それらの配線パター
ンは、パッケージ基板4に挿入されたリードピン5に電
気的に接続されている。
【0026】リードピン5は、例えばコバールからなり
、その露出表面には半田(Pb/Sn)コート処理が施
されている。そして、リードピン5は、図示しないプリ
ント配線基板のスルーホール内に挿入され、プリント配
線基板の配線層と電気的に接続されるようになっている
。
【0027】また、パッケージ基板4の下面側には、枠
体11および接着層10b,10cを介してキャップ6
が接合されている。キャップ6は、例えばアルミニウム
(Al)等からなり、これによって半導体チップ7が封
止されている。
【0028】ところで、本実施例においては、熱拡散板
3の背面側に、例えばAlからなる放熱フィン12がボ
ルト(締結手段)13およびナット(締結手段)14に
よって着脱自在に固定されている。すなわち、本実施例
のPGA1は、放熱フィン12の風向き・寸法・形状等
がそのPGA1の実装要望に合わない場合に、その放熱
フィン12をパッケージ本体2から取り外し、代わりに
実装要望に合う他の放熱フィンをパッケージ本体2に取
り付けることが可能な構造になっている。また、例えば
PGA1を赤外線加熱処理等によりプリント配線基板上
に実装する際に、放熱フィン12を一時的に取り外して
おき、実装後、再びパッケージ本体2に取り付けること
も可能になっている。
【0029】放熱フィン12と熱拡散板3とは、例えば
各々の対向面間に熱伝導性グリース(熱伝導媒体:図示
せず)を介した状態で、各々の張り出し部12a,3a
に穿孔された孔15a,16を貫通するボルト13およ
びボルト13の雄ねじ部13aに取り付けられたナット
14によって一定の荷重で締め合わされている。
【0030】放熱フィン12と熱拡散板3とは、ボルト
13およびナット14によって一定の荷重で締め合わせ
られているので、それらの間に熱伝導性グリースを介さ
なくとも接触熱抵抗を小さくでき、良好な放熱特性を得
ることができるが、熱伝導性グリースを介すことによっ
てさらに接触熱抵抗を小さくできる上、放熱フィン12
を何回着脱しても変動の少ない良好な放熱特性を常に得
ることが可能になっている。
【0031】図2に本実施例のPGA1の平面図を示す
。放熱フィン12は、例えば平面四角形状に形成されて
いる。ボルト13は、例えば放熱フィン12の外周各辺
の中央に配置されている。したがって、放熱フィン12
は、熱拡散板3と放熱フィン12との対向面内において
90度毎に回転して配置し固定することが可能なように
なっている。すなわち、この場合は、同一の放熱フィン
12であっても二方向の風向きを選択できるようになっ
ている。
【0032】このように本実施例によれば、以下の効果
を得ることが可能となる。
【0033】(1).放熱フィン12をパッケージ本体
2に着脱自在に固定したことにより、例えば放熱フィン
12の取り付けられたパッケージ本体2をプリント配線
基板上に実装した後でも、PGA1の実装要望に合わな
い放熱フィン12をパッケージ本体2から取り外し、代
わりに実装要望に合う他の放熱フィンをパッケージ本体
2に取り付けることができる。すなわち、PGA1の実
装要望にフレキシブルに対応することが可能となる。
【0034】(2).放熱フィン12をパッケージ本体
2に着脱自在に固定したことにより、例えば放熱フィン
12の取り付けられたパッケージ本体2を赤外線加熱処
理等によってプリント配線基板に実装する際に、放熱フ
ィン12をパッケージ本体2から一時的に取り外してお
き、実装後、再びパッケージ本体2に取り付けることが
できる。すなわち、PGA1の実装処理の変化にフレキ
シブルに対応することが可能となる。
【0035】(3).放熱フィン12をパッケージ本体
2との対向面内において回転自在に固定したことにより
、同一の放熱フィン12でも、例えば二方向の風向きを
選択することができ、二つの風向き要望にフレキシブル
に対応することが可能となる。
【0036】(4).熱拡散板3と放熱フィン12との
対向面間に熱伝導性グリースを介在したことにより、パ
ッケージ本体2と放熱フィン12との接触熱抵抗を小さ
くできる上、放熱フィン12の着脱による放熱特性の変
動を抑制できるので、常に良好な放熱特性を得ることが
可能となる。
【0037】図3は本発明の他の実施例である半導体集
積回路装置の全体断面図である。
【0038】本実施例においては、図3に示すように、
放熱フィン12がボルト13によって熱拡散板3に着脱
自在に固定されている。ボルト13の雄ねじ部13aは
、放熱フィン12に穿孔された孔15bを貫通して熱拡
散板3の背面側に形成された雌ねじ孔17に螺入されて
いる。そして、これによって熱拡散板3と放熱フィン1
2とは、一定の荷重で締め合わされている。熱拡散板3
と放熱フィン12との間には、前記第一の実施例と同様
、熱伝導性グリースが介在されている。
【0039】本実施例によれば、前記第一の実施例で得
られた効果の他に、次の効果を得ることが可能となる。 すなわち、熱拡散板3および放熱フィン12の外周に張
り出し部を設けない分、前記第一の実施例の場合よりも
PGA1を小形化することが可能となる。
【0040】図4は本発明の他の実施例である半導体集
積回路装置の全体断面図である。
【0041】本実施例においては、図4に示すように、
放熱フィン12が、その羽の上に載置された押し付け板
18と熱拡散板3との間に挟まれた状態で、熱拡散板3
の背面側にろう付けされたボルト13と、放熱フィン1
2に穿孔された孔15cおよび押し付け板18に穿孔さ
れた孔19を貫通して突出するボルト13の雄ねじ部1
3aに取り付けられたナット14とによって着脱自在に
固定されている。すなわち、本実施例のPGA1は、押
し付け板18によって、熱拡散板3と放熱フィン12と
の接触面全面に加わる荷重が常に均一となる構造になっ
ている。熱拡散板3と放熱フィン12との間には、前記
第一の実施例と同様、例えば熱伝導性グリースが介在さ
れている。
【0042】本実施例によれば、前記第二の実施例で得
られた効果の他に、次の効果を得ることが可能となる。 すなわち、押し付け板18によって熱拡散板3と放熱フ
ィン12との接触面全面に常に均一に荷重が加わるので
、放熱特性をさらに良好にすることが可能となる。
【0043】図5は本発明のさらに他の実施例である半
導体集積回路装置の全体断面図、図6は図5に示した半
導体集積回路装置の平面図である。
【0044】図5に示すように、熱拡散板3の上面には
、例えば断面T字状の突起部3bが形成されている。 突起部3bの横棒部・縦棒部および熱拡散板3の上面に
よって形成された凹状の溝には、放熱フィン12の脚部
12a,12aが嵌合されている。そして、放熱フィン
12の柱部12b,12bは、ボルト13およびナット
14によって突起部3bを互いに挟む方向に締め合わさ
れている。これによって、放熱フィン12は、パッケー
ジ本体2に着脱自在に固定されている。熱拡散板3と放
熱フィン12との間には、前記第一の実施例と同様、例
えば熱伝導性グリースが介在されている。
【0045】放熱フィン12は、図6に示すように、例
えば平面コ字状に形成されている。
【0046】したがって、一方側のみをボルト13およ
びナット14によって締め合わせれば良い構造になって
いる。
【0047】本実施例によれば前記第二の実施例と同様
の効果を得ることが可能となる。
【0048】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0049】例えば前記第一の実施例においては、ボル
トを放熱フィンの各辺の中央に配置した場合について説
明したが、これに限定されるものではなく種々変更可能
であり、例えば放熱フィンの風向きが初めから決まって
いるような場合には、図7に示すようにボルト13を放
熱フィンの一対の対角の近傍に配置しても良い。この場
合、放熱フィン12を回転して配置することはできない
ので、放熱フィン12をパッケージ本体に取り付ける際
、放熱フィン12の風向き等を間違えて取り付けること
がない。
【0050】また、前記第一の実施例においては、放熱
フィンの平面形状を四角形状としたが、これに限定され
るものではなく種々変更可能であり、例えば図8に示す
ように、平面円形状にしても良い。この場合、図8に示
すように、例えばボルト13を放熱フィン12と熱拡散
板3(図1参照)との対向面内において45度毎に配置
できるようにすることによって、放熱フィン12を45
度毎に回転して配置することが可能となる。すなわち、
一つの放熱フィン12で、四つの風向きを選択すること
ができ、四種の実装要望にフレキシブルに対応可能とな
る。
【0051】また、前記各実施例においては、放熱フィ
ンをパッケージ本体に接続する場合について説明したが
、これに限定されるものではなく、例えばパッケージ本
体と組み込み装置側の冷却ユニットとの接続に応用する
ことも可能である。
【0052】また、前記実施例においては、パッケージ
基板をプラスチック材料とした場合について説明したが
、これに限定されるものではなく、例えばセラミック等
でも良い。
【0053】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるPGA
に適用した場合について説明したが、これに限定されず
種々適用可能であり、例えばPLCC(Plastic
 Leaded Chip Carrier)やQFP
(Quad Flat Package)等のような他
の半導体集積回路装置に適用することも可能である。
【0054】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0055】(1).すなわち、請求項1記載の発明に
よれば、例えば放熱フィンの取り付けられたパッケージ
本体をプリント配線基板上に実装した後でも、要望に合
わない放熱フィンをパッケージ本体から取り外し、要望
にあった他の放熱フィンをパッケージ本体に取り付ける
ことができる。すなわち、放熱フィンをパッケージの実
装要望に応じて随時交換することが可能となる。
【0056】また、例えば放熱フィンの取り付けられた
パッケージ本体を赤外線加熱処理等によってプリント配
線基板に実装する際、パッケージ本体から放熱フィンを
一時的に取り外しておき、実装後、再び放熱フィンをパ
ッケージ本体に取り付けることができる。すなわち、パ
ッケージの実装処理の変化にフレキシブルに対応するこ
とが可能となる。
【0057】(2).請求項2記載の発明によれば、一
つの放熱フィンであっても風向き角度を変えてパッケー
ジ本体に取り付けることができるので、幾つかの実装要
望にフレキシブルに対応することが可能となる。
【0058】(3).請求項4記載の発明によれば、パ
ッケージ本体と放熱フィンとの接触熱抵抗を小さくでき
る上、放熱フィンの着脱による放熱特性の変動を抑制で
きるので、常に良好な放熱特性を得ることが可能となる
。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である半導体集積回路装置の
全体断面図である。
【図2】図1に示した半導体集積回路装置の平面図であ
る。
【図3】本発明の他の実施例である半導体集積回路装置
の全体断面図である。
【図4】本発明の他の実施例である半導体集積回路装置
の全体断面図である。
【図5】本発明の他の実施例である半導体集積回路装置
の全体断面図である。
【図6】図5に示した半導体集積回路装置の平面図であ
る。
【図7】本発明の他の実施例である半導体集積回路装置
の平面図である。
【図8】本発明の他の実施例である半導体集積回路装置
の平面図である。
【符号の説明】
1  PGA(半導体集積回路装置) 2  パッケージ本体 3  熱拡散板 3a  張り出し部 3b  突起部 4  パッケージ基板 5  リードピン 6  キャップ 7  半導体チップ 8  ボンディングワイヤ 9  配線層 10a  接着層 10b  接着層 10c  接着層 11  枠体 12  放熱フィン 12a  張り出し部 12b  柱部 13  ボルト(締結手段) 13a  雄ねじ部 14  ナット(締結手段) 15a  孔 15b  孔 15c  孔 16  孔 17  雌ねじ孔 18  押し付け板 19  孔

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  半導体チップが封止されたパッケージ
    本体の背面側に放熱フィンを着脱自在に固定したことを
    特徴とする半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】  前記放熱フィンをパッケージ本体との
    対向面内において回転自在に固定したことを特徴とする
    請求項1記載の半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】  前記パッケージ本体と、前記放熱フィ
    ンとを締結手段によって着脱自在に固定したことを特徴
    とする請求項1または2記載の半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】  前記パッケージ本体と、前記放熱フィ
    ンとの間に熱伝導媒体を介在させたことを特徴とする請
    求項1、2または3記載の半導体集積回路装置。
JP3048455A 1991-03-13 1991-03-13 半導体集積回路装置 Pending JPH04284655A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3048455A JPH04284655A (ja) 1991-03-13 1991-03-13 半導体集積回路装置

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JP3048455A JPH04284655A (ja) 1991-03-13 1991-03-13 半導体集積回路装置

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JPH04284655A true JPH04284655A (ja) 1992-10-09

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JP3048455A Pending JPH04284655A (ja) 1991-03-13 1991-03-13 半導体集積回路装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100479913B1 (ko) * 1997-09-10 2005-06-16 삼성테크윈 주식회사 피지에이패키지
JP2006303400A (ja) * 2005-03-22 2006-11-02 Kyocera Corp 電子部品収納用パッケージおよび電子装置ならびに電子装置の実装構造
JP2012222069A (ja) * 2011-04-06 2012-11-12 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
JP2014033119A (ja) * 2012-08-06 2014-02-20 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置
WO2019053845A1 (ja) * 2017-09-14 2019-03-21 日本電気株式会社 冷却装置

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Effective date: 19991012