JPH04285832A - 流体圧力センサとその製造方法 - Google Patents
流体圧力センサとその製造方法Info
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- JPH04285832A JPH04285832A JP7384291A JP7384291A JPH04285832A JP H04285832 A JPH04285832 A JP H04285832A JP 7384291 A JP7384291 A JP 7384291A JP 7384291 A JP7384291 A JP 7384291A JP H04285832 A JPH04285832 A JP H04285832A
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- pressure
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Links
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は流体圧力センサに関する
。特に水圧圧力センサの圧力媒体を封入する空洞の構成
に関する。
。特に水圧圧力センサの圧力媒体を封入する空洞の構成
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より使用されている流体圧力センサ
、例えば水圧測定用センサにおいては、圧力検出部の感
圧素子として金属製ダイヤフラムやゴムダイヤフラムを
採用し、この感圧素子へ圧力を伝達するためにシリコン
オイル等の圧力媒体を封止したオイル室を、前記感圧素
子と連通するように設けていた。圧力媒体を入れるため
には、オイル室に別にオイル導入口を穿設して、この導
入口よりオイルを注入して後封止していた。
、例えば水圧測定用センサにおいては、圧力検出部の感
圧素子として金属製ダイヤフラムやゴムダイヤフラムを
採用し、この感圧素子へ圧力を伝達するためにシリコン
オイル等の圧力媒体を封止したオイル室を、前記感圧素
子と連通するように設けていた。圧力媒体を入れるため
には、オイル室に別にオイル導入口を穿設して、この導
入口よりオイルを注入して後封止していた。
【０００３】
【発明の解決すべき課題】前述の従来例においては、オ
イル室へ圧力媒体を注入、封止するためにわざわざ導入
口を設けねばならないので構造が複雑となり、それだけ
製造工程が多くなる等の問題点があった。
イル室へ圧力媒体を注入、封止するためにわざわざ導入
口を設けねばならないので構造が複雑となり、それだけ
製造工程が多くなる等の問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は前記の問題点を
解決することを目的とするもので、その目的を達成する
ための手段を提供する。ベース板１０に設けた孔部８の
一方の入口よりシリコン結晶又は金属製の感圧素子４を
具えた圧力検出部２を嵌入固定し、ベース板１０に取り
付けた圧力ポート１２に形成した圧力導入口１４と前部
孔部８の他方の入口との境界に多孔質膜１６を介装して
形成した空洞２０内に圧力媒体１８を封止してなる流体
圧力センサで、その製造方法は次のとおりである。ベー
ス板１０に設けた孔部８の一方の入口よりシリコン結晶
又は金属製感圧素子４を具えた圧力検出部２を嵌入固定
する工程と、前記孔部８に圧力媒体１８を注入する工程
と、圧力ポート１２に形成した圧力導入口１４と前記孔
部８の入口との境界に多孔質膜１６を介装して、空洞２
０内に圧力媒体１８を封止する工程と、圧力媒体１８を
封止したまま真空状態で放置して空洞２０内の空気を外
部へ放出する工程とよりなる流体圧力センサの製造方法
である。
解決することを目的とするもので、その目的を達成する
ための手段を提供する。ベース板１０に設けた孔部８の
一方の入口よりシリコン結晶又は金属製の感圧素子４を
具えた圧力検出部２を嵌入固定し、ベース板１０に取り
付けた圧力ポート１２に形成した圧力導入口１４と前部
孔部８の他方の入口との境界に多孔質膜１６を介装して
形成した空洞２０内に圧力媒体１８を封止してなる流体
圧力センサで、その製造方法は次のとおりである。ベー
ス板１０に設けた孔部８の一方の入口よりシリコン結晶
又は金属製感圧素子４を具えた圧力検出部２を嵌入固定
する工程と、前記孔部８に圧力媒体１８を注入する工程
と、圧力ポート１２に形成した圧力導入口１４と前記孔
部８の入口との境界に多孔質膜１６を介装して、空洞２
０内に圧力媒体１８を封止する工程と、圧力媒体１８を
封止したまま真空状態で放置して空洞２０内の空気を外
部へ放出する工程とよりなる流体圧力センサの製造方法
である。
【０００５】
【作用】圧力導入口１４へ水圧が加わると、圧力は多孔
質膜１６と空洞２０内に封入したシリコンオイル等の圧
力媒体１８を介して圧力検出部２のシリコン結晶又は金
属製ダイヤフラム４へ伝達され、その物理的歪みは電気
回路等により電気的信号に変換されて後測定機器に表示
される。
質膜１６と空洞２０内に封入したシリコンオイル等の圧
力媒体１８を介して圧力検出部２のシリコン結晶又は金
属製ダイヤフラム４へ伝達され、その物理的歪みは電気
回路等により電気的信号に変換されて後測定機器に表示
される。
【０００６】
【実施例】以下添付図面を参照して本発明に係る流体圧
力センサの一実施例を説明する。ベース板１０のほぼ中
央に孔部８を穿設し、この孔部８の一方の入口へ圧力検
出部２の脚部３を挿入固定する。圧力検出部２にはシリ
コン結晶又は金属製ダイヤフラムよりなる感圧素子４を
配設する。前記脚部３には通路６を形成する。前記ベー
ス板１０の下側に圧力導入口１４を具えた圧力ポート１
２を取り付ける。前記孔部８内へシリコンオイル等の圧
力媒体１８を注入して、前記孔部８の入口を、フッ素樹
脂等よりなる多孔質膜１６を用いて閉鎖して、空洞２０
を形成し、シリコンオイル等の圧力媒体１８をこの空洞
２０内へ封止する。圧力媒体１８は空洞２０及び圧力検
出部２の通路６にも充満する。前記多孔質膜１６の取付
け方法は、直接孔部８の入口を閉鎖するように接着する
か又は圧力ポート１２のベース板１０に接する面にスリ
ット１３を形成し、このスリット１３内に多孔質膜１６
を収納してもよい。多孔質膜１６は多孔質であるから、
空気を通過させるけれどもシリコンオイル等の油類を通
過させない。
力センサの一実施例を説明する。ベース板１０のほぼ中
央に孔部８を穿設し、この孔部８の一方の入口へ圧力検
出部２の脚部３を挿入固定する。圧力検出部２にはシリ
コン結晶又は金属製ダイヤフラムよりなる感圧素子４を
配設する。前記脚部３には通路６を形成する。前記ベー
ス板１０の下側に圧力導入口１４を具えた圧力ポート１
２を取り付ける。前記孔部８内へシリコンオイル等の圧
力媒体１８を注入して、前記孔部８の入口を、フッ素樹
脂等よりなる多孔質膜１６を用いて閉鎖して、空洞２０
を形成し、シリコンオイル等の圧力媒体１８をこの空洞
２０内へ封止する。圧力媒体１８は空洞２０及び圧力検
出部２の通路６にも充満する。前記多孔質膜１６の取付
け方法は、直接孔部８の入口を閉鎖するように接着する
か又は圧力ポート１２のベース板１０に接する面にスリ
ット１３を形成し、このスリット１３内に多孔質膜１６
を収納してもよい。多孔質膜１６は多孔質であるから、
空気を通過させるけれどもシリコンオイル等の油類を通
過させない。
【０００７】本発明の流体圧力計は以上の構成であるが
、製造工程においては、孔部８内へシリコンオイル等の
圧力媒体１８を注入して後、入口を多孔質膜１６で封鎖
して空洞２０を形成したとき、空洞２０や通路６に空気
が残留していたとしても、真空状態で放置することによ
り、空気は多孔質膜を通過して外部へ放出され、結局シ
リコンオイル等の圧力媒体１８のみを空洞２０内に封止
するものである。
、製造工程においては、孔部８内へシリコンオイル等の
圧力媒体１８を注入して後、入口を多孔質膜１６で封鎖
して空洞２０を形成したとき、空洞２０や通路６に空気
が残留していたとしても、真空状態で放置することによ
り、空気は多孔質膜を通過して外部へ放出され、結局シ
リコンオイル等の圧力媒体１８のみを空洞２０内に封止
するものである。
【０００８】
【効果】本発明においては、シリコン結晶ダイヤフラム
、金属製ダイヤフラム等の感圧素子を採用した流体圧力
センサの空洞内へ収容した圧力媒体を、多孔質膜を用い
て、ベース板へ圧力ポートを組み付ける際にその封止を
行うもので、従来例のように圧力媒体を注入するための
孔等は不要となり、構成の簡易化と、製造上の工程の減
少によるコストの低減を計るものである。
、金属製ダイヤフラム等の感圧素子を採用した流体圧力
センサの空洞内へ収容した圧力媒体を、多孔質膜を用い
て、ベース板へ圧力ポートを組み付ける際にその封止を
行うもので、従来例のように圧力媒体を注入するための
孔等は不要となり、構成の簡易化と、製造上の工程の減
少によるコストの低減を計るものである。
【図１】本発明に係る流体圧力センサの一実施例の断面
図。
図。
２ 圧力検出部
４ 感圧素子（ダイヤフラム）
８ 孔部
１０ ベース板
１２ 圧力ポート
１３ スリット
１４ 圧力導入口
１６ 多孔質膜
１８ 圧力媒体
２０ 空洞
Claims (4)
- 【請求項１】 ベース板に設けた孔部の一方の入口よ
りシリコン結晶又は金属製等の感圧素子を具えた圧力検
出部を嵌入固定し、ベース板に取り付けた圧力ポートに
形成した圧力導入口と前部孔部の他方の入口との境界に
多孔質膜を介装して形成した空洞内に圧力媒体を封止し
てなる流体圧力センサ。 - 【請求項２】 多孔質膜はフッ素樹脂等である請求項
１記載の流体圧力センサ。 - 【請求項３】 多孔質膜を圧力ポートに形成したスリ
ットへ挿入してなる請求項１記載の流体圧力センサ。 - 【請求項４】 ベース板に設けた孔部の一方の入口よ
りシリコン結晶又は金属製感圧素子を具えた圧力検出部
を嵌入固定する工程と、前記孔部に圧力媒体を注入する
工程と、圧力ポートに形成した圧力導入口と前記孔部の
入口との境界に多孔質膜を介装して、空洞内に圧力媒体
を封止する工程と、圧力媒体を封止したまま真空状態で
放置して空洞内の空気を外部へ放出する工程とよりなる
流体圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7384291A JPH04285832A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 流体圧力センサとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7384291A JPH04285832A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 流体圧力センサとその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04285832A true JPH04285832A (ja) | 1992-10-09 |
Family
ID=13529800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7384291A Withdrawn JPH04285832A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 流体圧力センサとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04285832A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5595939A (en) * | 1994-03-04 | 1997-01-21 | Nippondenso Co., Ltd. | Liquid-sealed semiconductor pressure sensor and manufacturing method thereof |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP7384291A patent/JPH04285832A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5595939A (en) * | 1994-03-04 | 1997-01-21 | Nippondenso Co., Ltd. | Liquid-sealed semiconductor pressure sensor and manufacturing method thereof |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |