JPH0628667Y2 - 圧力計 - Google Patents
圧力計Info
- Publication number
- JPH0628667Y2 JPH0628667Y2 JP1988085785U JP8578588U JPH0628667Y2 JP H0628667 Y2 JPH0628667 Y2 JP H0628667Y2 JP 1988085785 U JP1988085785 U JP 1988085785U JP 8578588 U JP8578588 U JP 8578588U JP H0628667 Y2 JPH0628667 Y2 JP H0628667Y2
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- pressure
- chamber
- diaphragm
- measured
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- Expired - Lifetime
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 17
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は微差圧を測定する圧力計に関する。
従来、工業プロセスの流体圧を測定する差圧発信器等の
被測定対象のスパン調整等に使用される圧力計としては
第５図に示すものが知られている。この圧力計はシリコ
ンダイヤフラム１Ａからなる感圧センサ１を内蔵した測
定器本体２と、シリンダ等の外部基準圧力発生器３とを
備え、感圧センサ１の一方の室４と被測定対象である差
圧発信器５の一方の受圧室および前記圧力発生器３とを
空気回路Ａ１，Ａ２，Ａ３によつて接続し、感圧センサ
１の他方の室６と差圧発信器５の他方の受圧室とを大気
開放された空気回路Ａ４によつて接続し、圧力発生器３
により感圧センサ１と差圧発信器５に基準圧力を加え、
差圧発信器５による測定圧を感圧センサ１の測定圧と比
較し、その値が一致するよう差圧発信器５のスパン調整
を行うようにしている。
被測定対象のスパン調整等に使用される圧力計としては
第５図に示すものが知られている。この圧力計はシリコ
ンダイヤフラム１Ａからなる感圧センサ１を内蔵した測
定器本体２と、シリンダ等の外部基準圧力発生器３とを
備え、感圧センサ１の一方の室４と被測定対象である差
圧発信器５の一方の受圧室および前記圧力発生器３とを
空気回路Ａ１，Ａ２，Ａ３によつて接続し、感圧センサ
１の他方の室６と差圧発信器５の他方の受圧室とを大気
開放された空気回路Ａ４によつて接続し、圧力発生器３
により感圧センサ１と差圧発信器５に基準圧力を加え、
差圧発信器５による測定圧を感圧センサ１の測定圧と比
較し、その値が一致するよう差圧発信器５のスパン調整
を行うようにしている。
ところが、このような従来の圧力計においては空気回路
Ａ１，Ａ２，Ａ３が密閉された系を形成しているので、
測定時に周囲の温度の影響を受け易く、これによつて圧
力計の出力が変化するという問題があつた。例えば、圧
力発生器３を手で押えて操作すると、体温の影響を受け
るため微差圧測定の場合、該発生器３の内部圧力および
空気回路Ａ１，Ａ２，Ａ３内の圧力が容易に変化してし
まう。ちなみに、容積変化がないとして温度が１０℃か
ら１５℃へ変化したとすると、基準圧力６mmH2Oの場合
は、 ∴Ｐ＝6.10mmH2O よつて基準圧力に対して となり、1.6％の出力誤差を生じる。
Ａ１，Ａ２，Ａ３が密閉された系を形成しているので、
測定時に周囲の温度の影響を受け易く、これによつて圧
力計の出力が変化するという問題があつた。例えば、圧
力発生器３を手で押えて操作すると、体温の影響を受け
るため微差圧測定の場合、該発生器３の内部圧力および
空気回路Ａ１，Ａ２，Ａ３内の圧力が容易に変化してし
まう。ちなみに、容積変化がないとして温度が１０℃か
ら１５℃へ変化したとすると、基準圧力６mmH2Oの場合
は、 ∴Ｐ＝6.10mmH2O よつて基準圧力に対して となり、1.6％の出力誤差を生じる。
実際は、実験室内の温度変化により圧力計の表示が時々
刻々と変化（圧力発生器によつて発生している圧力が温
度変化により変化していることになる）し、被測定対象
におけるスパン調整の校正などの際、非常に、手間がか
かるものである。
刻々と変化（圧力発生器によつて発生している圧力が温
度変化により変化していることになる）し、被測定対象
におけるスパン調整の校正などの際、非常に、手間がか
かるものである。
すなわち、スパン調整の方法としては通常被測定対象物
の出力をデジタルボルトメータで表示し、圧力発生器３
によつて発声した圧力が一定であることを圧力計で確認
しながら、デジタルボルトメータの出力を見ながらスパ
ン調整を行うため、基準となる圧力計の値が変化する
と、正確なスパン調整が行えなくなるからである。
の出力をデジタルボルトメータで表示し、圧力発生器３
によつて発声した圧力が一定であることを圧力計で確認
しながら、デジタルボルトメータの出力を見ながらスパ
ン調整を行うため、基準となる圧力計の値が変化する
と、正確なスパン調整が行えなくなるからである。
したがつて、本考案は上述したような問題点を解決し、
簡単な構成で温度変化による圧力変動を効果的に吸収し
得、スパン調整等を容易に行い得るようにした圧力計を
提供することを目的とするものである。
簡単な構成で温度変化による圧力変動を効果的に吸収し
得、スパン調整等を容易に行い得るようにした圧力計を
提供することを目的とするものである。
本考案は上記目的を達成するために、センサ室を感圧セ
ンサによつて２室に画成し、その一方の室を、第１連通
路によつて外部基準圧力発生器および被測定対象の一方
の圧力測定部に接続し、他方の室を大気開放孔を有する
第２連通路によつて前記被測対象の他方の圧力測定部に
接続し、前記第１および第２連通路間にこれら両連通路
が連通するダイヤフラム室を設け、その内部をダイヤフ
ラムによつて第１連通路に連通する第１室と、第２連通
路に連通する第２室に画成し、前記ダイヤフラムのコン
プライアンスを前記感圧センサのシリコンダイヤフラム
のそれより大きく設定したものである。
ンサによつて２室に画成し、その一方の室を、第１連通
路によつて外部基準圧力発生器および被測定対象の一方
の圧力測定部に接続し、他方の室を大気開放孔を有する
第２連通路によつて前記被測対象の他方の圧力測定部に
接続し、前記第１および第２連通路間にこれら両連通路
が連通するダイヤフラム室を設け、その内部をダイヤフ
ラムによつて第１連通路に連通する第１室と、第２連通
路に連通する第２室に画成し、前記ダイヤフラムのコン
プライアンスを前記感圧センサのシリコンダイヤフラム
のそれより大きく設定したものである。
本考案においてダイヤフラムのコンプライアンスをシリ
コンダイヤフラムのコンプライアンスより大きくしてお
くと、基準圧を加えた際、ダイヤフラムが変形しながら
シリコンダイヤフラムも変形した後、定常状態になる。
その後、温度変化による微小な体積変化は、コンプライ
アンスの差によりシリコンダイヤフラムはあまり変形せ
ず、ダイヤフラムのみが変形して体積膨張を吸収する。
コンダイヤフラムのコンプライアンスより大きくしてお
くと、基準圧を加えた際、ダイヤフラムが変形しながら
シリコンダイヤフラムも変形した後、定常状態になる。
その後、温度変化による微小な体積変化は、コンプライ
アンスの差によりシリコンダイヤフラムはあまり変形せ
ず、ダイヤフラムのみが変形して体積膨張を吸収する。
以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本考案に係る圧力計の一実施例を示す概略構成
図、第２図は基準圧を加える前の状態を示す要部断面
図、第３図は基準圧を加えた状態を示す要部断面図であ
る。なお、図中第５図と同一構成部品，部分に対しては
同一符号を以て示し、その説明を省略する。これらの図
において、密閉された空気回路Ａ１，Ａ２，Ａ３は第１
連通路１０を構成し、大気開放孔１１を有する空気回路
Ａ４は第２連通路１２を構成し、これら両連通路１０，
１２間にダイヤフラム室１３が設けられ、その内部をダ
イヤフラム１４によつて２つの室、すなわち第１室13A
と第２室13Bに画成している。第１室13Aは空気回路Ａ１
と圧力センサ１の一方の室４に連通し、第２室13Bは圧
力センサ１の他方の室６と第２連通路１２に連通してい
る。前記ダイヤフラム１４のコンプライアンスΦ１は感
圧センサ１のシリコンダイヤフラム1Aのコンプライアン
スΦ２より大きく（Φ１＞Φ２）設定されている。その
他の構成は従来構造と同様である。
図、第２図は基準圧を加える前の状態を示す要部断面
図、第３図は基準圧を加えた状態を示す要部断面図であ
る。なお、図中第５図と同一構成部品，部分に対しては
同一符号を以て示し、その説明を省略する。これらの図
において、密閉された空気回路Ａ１，Ａ２，Ａ３は第１
連通路１０を構成し、大気開放孔１１を有する空気回路
Ａ４は第２連通路１２を構成し、これら両連通路１０，
１２間にダイヤフラム室１３が設けられ、その内部をダ
イヤフラム１４によつて２つの室、すなわち第１室13A
と第２室13Bに画成している。第１室13Aは空気回路Ａ１
と圧力センサ１の一方の室４に連通し、第２室13Bは圧
力センサ１の他方の室６と第２連通路１２に連通してい
る。前記ダイヤフラム１４のコンプライアンスΦ１は感
圧センサ１のシリコンダイヤフラム1Aのコンプライアン
スΦ２より大きく（Φ１＞Φ２）設定されている。その
他の構成は従来構造と同様である。
このような構成からなる圧力計において、圧力発生器３
により基準圧Ｐ０を感圧センサ１と被測定対象である差
圧発信器５に印加すると、ダイヤフラム１４が基準圧に
応じて第３図右方に変形する。この時、感圧センサ１の
シリコンダイヤフラム1Aも右方に変形し、定常状態にな
る。このような定常状態で温度変化による微少な体積変
化が生じると、従来はダイヤフラム１４を備えないため
これが直接シリコンダイヤフラム1Aに作用して出力変動
を起していたが、本考案ではコンプライアンスΦ１の大
きいダイヤフラム１４を備え、これが温度変化に伴う体
積変化により変形して体積膨張を吸収するため、シリコ
ンダイヤフラム1Aはあまり変化せず、したがつて圧力計
の出力は略一定で、差圧発信器５のスパン調整を容易か
つ短時間で行うことができる。
により基準圧Ｐ０を感圧センサ１と被測定対象である差
圧発信器５に印加すると、ダイヤフラム１４が基準圧に
応じて第３図右方に変形する。この時、感圧センサ１の
シリコンダイヤフラム1Aも右方に変形し、定常状態にな
る。このような定常状態で温度変化による微少な体積変
化が生じると、従来はダイヤフラム１４を備えないため
これが直接シリコンダイヤフラム1Aに作用して出力変動
を起していたが、本考案ではコンプライアンスΦ１の大
きいダイヤフラム１４を備え、これが温度変化に伴う体
積変化により変形して体積膨張を吸収するため、シリコ
ンダイヤフラム1Aはあまり変化せず、したがつて圧力計
の出力は略一定で、差圧発信器５のスパン調整を容易か
つ短時間で行うことができる。
第４図は本考案の他の実施例を示す要部断面図である。
この実施例は過大な圧力に対するダイヤフラム１４の破
損等を防止するため保護機構２０を組込んだものであ
る。保護機構２０は、空気回路Ａ１とＡ４のダイヤフラ
ム室１３の直前に小室２１，２２をそれぞれ設け、ダイ
ヤフラム室１３を貫通しその中央がダイヤフラム１４の
中央部に溶接固定された作動杆２４の両端を前記小室２
１，２２内にそれぞれ挿入位置させると共に、該両端に
回路閉塞板２６，２７を設け、過大圧力Ｐ１（またはＰ
２）が回路閉塞板２６（または２７）に作用した際、該
回路閉塞板２６（または２７）をＯリング２８（または
２９）に密接させて第１室13Aと小室２１（または第２
室13Bと小室２２）の連通を遮断し、過大圧力Ｐ１また
はＰ２がダイヤフラム１４に作用しないように構成した
ものである。
この実施例は過大な圧力に対するダイヤフラム１４の破
損等を防止するため保護機構２０を組込んだものであ
る。保護機構２０は、空気回路Ａ１とＡ４のダイヤフラ
ム室１３の直前に小室２１，２２をそれぞれ設け、ダイ
ヤフラム室１３を貫通しその中央がダイヤフラム１４の
中央部に溶接固定された作動杆２４の両端を前記小室２
１，２２内にそれぞれ挿入位置させると共に、該両端に
回路閉塞板２６，２７を設け、過大圧力Ｐ１（またはＰ
２）が回路閉塞板２６（または２７）に作用した際、該
回路閉塞板２６（または２７）をＯリング２８（または
２９）に密接させて第１室13Aと小室２１（または第２
室13Bと小室２２）の連通を遮断し、過大圧力Ｐ１また
はＰ２がダイヤフラム１４に作用しないように構成した
ものである。
以上述べたように本考案に係る圧力計によれば、ダイヤ
フラム室を設け、その中に感圧センサのシリコンダイヤ
フラムのコンプライアンスより大きなコンプライアンス
を有するダイヤフラムを設け、これにより温度変化に伴
う体積変化を吸収するようにしたので、定常状態になつ
た後はシリコンダイヤフラムの温度変化による変形を効
果的に防止し得、したがつて温度変化にかかわらず測定
圧が一定で、被測定対象のスパン調整作業を容易にす
る。
フラム室を設け、その中に感圧センサのシリコンダイヤ
フラムのコンプライアンスより大きなコンプライアンス
を有するダイヤフラムを設け、これにより温度変化に伴
う体積変化を吸収するようにしたので、定常状態になつ
た後はシリコンダイヤフラムの温度変化による変形を効
果的に防止し得、したがつて温度変化にかかわらず測定
圧が一定で、被測定対象のスパン調整作業を容易にす
る。
第１図は本考案に係る圧力計の一実施例を示す概略構成
図、第２図は基準圧をかける前の状態を示す要部断面
図、第３図は基準圧をかけた後の状態を示す要部断面
図、第４図はダイヤフラムの保護機構を示す断面図、第
５図は従来の圧力計の概略構成図である。 １……感圧センサ、1A……シリコンダイヤフラム、３…
…圧力発生器、４……一方の室、５……差圧発信器、６
……他方の室、１０……第１連通路、１１……大気開放
孔、１２……第２連通路、１３……ダイヤフラム室、13
A……第１室、13B……第２室、１４……ダイヤフラム、
Ａ１〜Ａ４……空気回路。
図、第２図は基準圧をかける前の状態を示す要部断面
図、第３図は基準圧をかけた後の状態を示す要部断面
図、第４図はダイヤフラムの保護機構を示す断面図、第
５図は従来の圧力計の概略構成図である。 １……感圧センサ、1A……シリコンダイヤフラム、３…
…圧力発生器、４……一方の室、５……差圧発信器、６
……他方の室、１０……第１連通路、１１……大気開放
孔、１２……第２連通路、１３……ダイヤフラム室、13
A……第１室、13B……第２室、１４……ダイヤフラム、
Ａ１〜Ａ４……空気回路。
Claims (1)
- 【請求項１】センサ室を感圧センサのシリコンダイヤフ
ラムによつて２室に画成し、その一方の室を第１連通路
によつて外部基準圧力発生器および被測定対象の一方の
圧力測定部に接続し、他方の室を大気開放孔を有する第
２連通路によつて前記被測定対象の他方の圧力測定部に
接続し、前記第１および第２連通路間にこれら両連通路
が連通するダイヤフラム室を設け、その内部をダイヤフ
ラムによつて第１連通路に連通する第１室と、第２連通
路に連通する第２室に画成し、前記ダイヤフラムのコン
プライアンスを前記シリコンダイヤフラムのそれより大
きく設定したことを特徴とする圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988085785U JPH0628667Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988085785U JPH0628667Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027538U JPH027538U (ja) | 1990-01-18 |
| JPH0628667Y2 true JPH0628667Y2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=31310440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988085785U Expired - Lifetime JPH0628667Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628667Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49136349U (ja) * | 1973-03-23 | 1974-11-22 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5661629A (en) * | 1979-10-26 | 1981-05-27 | Hitachi Ltd | Differential-pressure transmitter |
| JPS5886545U (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-11 | 横河電機株式会社 | 差圧測定装置 |
| JPS6120831A (ja) * | 1984-07-10 | 1986-01-29 | Toshiba Corp | 差圧伝送器 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP1988085785U patent/JPH0628667Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH027538U (ja) | 1990-01-18 |
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