JPH04291205A - 導波路型光デバイス - Google Patents

導波路型光デバイス

Info

Publication number
JPH04291205A
JPH04291205A JP3078268A JP7826891A JPH04291205A JP H04291205 A JPH04291205 A JP H04291205A JP 3078268 A JP3078268 A JP 3078268A JP 7826891 A JP7826891 A JP 7826891A JP H04291205 A JPH04291205 A JP H04291205A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
core
optical device
waveguide type
type optical
waveguide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP3078268A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideki Isono
秀樹 磯野
Kaoru Moriya
守谷　薫
Eiji Kikuchi
菊池　英治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP3078268A priority Critical patent/JPH04291205A/ja
Priority to US07/850,872 priority patent/US5218663A/en
Priority to CA002063310A priority patent/CA2063310A1/en
Priority to EP19920104790 priority patent/EP0504882A3/en
Publication of JPH04291205A publication Critical patent/JPH04291205A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は導波路型光デバイスに関
する。
【０００２】光通信又は光伝送の分野においては、光送
信機、光受信機及び伝送路以外に、光スイッチ及び光カ
プラ等の種々の光デバイスが使用される。光デバイスの
形態の一つとして、導波路型のものをあげることができ
る。導波路型光デバイスは、導波路基板上に光導波路を
形成し、この光導波路内に光ビームを閉じ込めた状態で
制御するように構成されており、構造上小型化が容易で
プレーナ技術等を用いて量産することができるという利
点の他、電界や磁界を効果的に印加することが可能であ
るという利点を有している。この種の導波路型光デバイ
スにおいては、例えば導波路型スターカプラのように多
数の光ファイバとの接続が必要になることがあり、光フ
ァイバとの接続が容易な導波路型光デバイスが要望され
ている。
【０００３】
【従来の技術】従来、導波路型光デバイスと光ファイバ
を接続する場合には、導波路型光デバイスの入出力端に
対して光ファイバを個別に位置調整し、所要の屈折率を
有する光学マッチング接着剤等を用いて入出力端と光フ
ァイバを固定するようにしていた。また、導波路型光デ
バイスの基板上に溝又は突起対を形成し、光ファイバを
この溝又は突起対に装着することによって、光ファイバ
の位置調整を行うことなしに光結合をなすようにするこ
とがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前者の方法であると、
光ファイバの位置調整に多大の時間を要し、導波路型光
デバイスと光ファイバを接続するのに煩雑な作業が要求
されるという問題があった。
【０００５】また、後者の方法であると、光ファイバの
位置調整は不要になるものの、低損失な光結合を行うた
めには溝又は突起対の形状として高精度なものが要求さ
れるという問題があった。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みて創作され
たもので、光ファイバとの接続が容易な導波路型光デバ
イスの提供を目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の導波路型光デバ
イスは、導波路基板と、該導波路基板上に形成された第
１クラッドと、該第１クラッド上に形成されたコアと、
該コアを覆うように上記第１クラッド上に形成された第
２クラッドとを備えた導波路型光デバイスにおいて、上
記導波路基板と平行な基準面を上記コアの両側に形成し
て構成される。
【０００８】
【作用】本発明の導波路型光デバイスにあっては、導波
路基板と平行な基準面をコアの両側に形成しているので
、この導波路型光デバイスと光ファイバを接続するに際
しては、上記基準面を光ファイバに対して所定の位置関
係にある平面等に密着させた状態で位置調整を行うよう
にすれば、従来よりも少ない位置調整の工数で足りるよ
うになる。即ち、接続しようとする光ファイバに対して
所定の位置関係にある平面を設定しておくことによって
、この平面と上記基準面とのすりあわせのみによって位
置調整が完了し、高い光結合効率で光ファイバと導波路
型光デバイスを接続することができるようになる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
【００１０】図１は本発明の実施例を示す導波路型光デ
バイスの製造工程図である。この図に沿って導波路型光
デバイスの製造手順を説明する。
【００１１】まず、（Ａ）に示すように、Ｓｉ等からな
る導波路基板２上に例えばＣＶＤ法によりＳｉＯ２　等
を主成分とする比較的低屈折率な第１クラッド４を均一
な厚みで形成し、この第１クラッド４上の相対する縁部
近傍に基準面となる一対のＳｉ薄膜層６を形成する。
【００１２】次いで（Ｂ）に示すように、第１クラッド
４及びＳｉ薄膜層６上に第１クラッド４よりも高屈折率
なコア層８を形成し、このコア層８上に、形成すべきコ
アの形状に対応した形状のＳｉパターン１０を形成する
。
【００１３】その後、コア層８のＳｉパターン１０が形
成されていない部分をエッチングにより除去し、（Ｃ）
に示すように、所定形状のコア８ａを形成して、このコ
ア８ａを覆うように第１クラッド４上にこれと同質の第
２クラッド１２を形成する。尚、上記エッチングに際し
ては、第１クラッド４上にはＳｉ薄膜層６が残留し、コ
ア８ａ上にはＳｉパターン１０が残留するので、基準面
となるＳｉ薄膜層６はそのままにして、コア８ａ上に残
留したＳｉパターンを除去する。
【００１４】そして（Ｄ）に示すように、第２クラッド
１２上にコア８ａを覆うようにマスク１４を形成して、
第２クラッド１２の露出部分についてエッチングを施す
。
【００１５】これにより（Ｅ）に示すように、第２クラ
ッド１２の所定部分が除去されて、Ｓｉ薄膜層６が基準
面としてコア８ａの両側に露出する。
【００１６】この実施例によると、基準面６をコア８ａ
の下面と同一平面上に位置させることができるので、こ
の基準面を用いて後述のようにコア８ａについての位置
調整を容易に且つ確実に行うことができる。
【００１７】一般にコアを覆っているクラッド（この実
施例では第２クラッド）の厚みは１０〜２０μｍであり
、この厚みは製造条件によりばらつきやすいので、第２
クラッド１２の上面を基準面とするのは望ましくない。 基準面とコアとの高精度な位置関係を確保するには、こ
の実施例のように第１クラッド４上に基準面を形成する
とよい。また、（Ｂ）に示された工程においてコア層８
上に基準面を形成しておき、最終的にこの基準面が残る
ようにしても良い。この場合には、基準面はコアの上面
と同一平面上に位置することとなり、本実施例における
のと同様にして、基準面とコアとの高精度な位置関係が
確保される。
【００１８】図２は本発明の実施例における導波路型光
デバイスと光ファイバの接続部の分解斜視図である。１
６は例えば図１に示された工程を経て製造された導波路
型光デバイスであり、１８はＳｉ等からなる基板である
。基板１８の概略中央部には、導波路型光デバイス１６
の第２クラッド１２を収容可能な長方形の穴２０が形成
されており、基板１８の長手方向端面と穴２０の壁面と
の間には、接続すべき光ファイバ２８を着座させるため
のＶ溝２２が平行にそれぞれ２本形成されている。Ｖ溝
２２のピッチは、導波路型光デバイス１６におけるコア
８ａのピッチに一致している。２４は基板１８の長手方
向端面間に形成されたＶ溝であり、このＶ溝２４は穴２
０の両側に２本形成されている。Ｖ溝２４は互いに概略
平行であり、また、Ｖ溝２４はＶ溝２２に対しても概略
平行であるが、これらの平行度は高精度である必要はな
い。２６はＶ溝２４に着座させる円柱状ロッドである。 この実施例では、Ｖ溝２４はＶ溝２２よりも深く、また
、円柱状ロッド２６は光ファイバ２８よりも大径である
。
【００１９】接続作業に際しては、光ファイバ２８及び
円柱状ロッド２６をそれぞれ基板のＶ溝２２，２４に着
座させた後、導波路型光デバイス１６の基準面６が円柱
状ロッド２６に接触するように導波路型光デバイス１６
を基板１８に装着する。このとき、導波路のコア８ａと
光ファイバ２８のコアとが同一平面上に位置するように
、溝２２，２４の形状並びに光ファイバ２８及び円柱状
ロッド２６の直径が設定されている。このような設定が
なされていると、基準面６を円柱状ロッド２６に接触さ
せた状態で導波路型光デバイス１６を平面上で位置調整
するだけで、光ファイバ２８を導波路のコア８ａに対向
させることができ、接続作業が容易になる。光ファイバ
２８とコア８ａの所要の位置関係が得られたならば、各
部材を相互に例えば接着剤により固定する。
【００２０】Ｖ溝２２，２４は例えばＳｉの異方性エッ
チングにより極めて高精度に形成することができる。ま
た、図１に示された製造工程による場合、基準面６と導
波路のコア８ａの位置関係は極めて高精度に設定するこ
とができる。従って、上述のように導波路型光デバイス
１６の一方のコア端面を光ファイバと接続すると、他方
のコア端面については、光ファイバをＶ溝２２に沿って
導波路端面に押し付けるだけで、正確にコア８ａと光フ
ァイバのコアとを対向させることができる。
【００２１】円柱状ロッド２６及び導波路型光デバイス
と接続すべき全ての光ファイバを基板１８に搭載した後
、基板１８を円柱状ロッド２６とともに長手方向概略中
央部で切断して、分割されたそれぞれの部分を用いて導
波路型光デバイスと光ファイバを接続するようにしても
良い。この場合、導波路型光デバイス１６の長手方向両
端面についてそれぞれ光ファイバとの位置調整を行うこ
とができる。
【００２２】図３は本発明の他の実施例を示す導波路型
光部品と光ファイバの接続部の分解斜視図である。この
実施例では、ＳＵＳ材等からなる基板３０上に同じくＳ
ＵＳ材からなる円柱形状のフェルール３２を、導波路型
光デバイスの入力側及び出力側にそれぞれ２本ずつ互い
に接触するように対向配置し、これらの両側に同じくＳ
ＵＳ材からなる円柱状ロッド３４を設けている。そして
、フェルール３２の中心細孔にはそれぞれ光ファイバ２
８が挿入固定されている。フェルール３２及び円柱状ロ
ッド３４は例えばレーザ溶接により基板３０上に固定さ
れる。
【００２３】この構成によると、同一径のフェルール３
２を用いるとともに、予め定められた同じく同一径の円
柱状ロッド３４を用いることによって、前実施例におけ
るのと同様に導波路型光デバイス１６を平面上での位置
調整のみによって容易に光ファイバと接続することがで
きる。この場合、導波路型光デバイス１６の基準面をす
り合わせるところは円柱状ロッド３４の表面である。
【００２４】図４は本発明のさらに他の実施例を示す導
波路型光デバイスと光ファイバの接続部の分解斜視図で
あり、図５は図４の接続部の説明図である。この実施例
ではコア層８の上面を基準面とする導波路型光デバイス
１６′が用いられており、このコア層８にはコア８ａの
両側に２つの溝３６が形成されている。４８は基板３８
上に形成されたＶ溝４０に複数の光ファイバ４２を着座
させてなるファイバアレイであり、基板３８には光ファ
イバ４２の両側にＶ溝４４が形成されている。Ｖ溝４４
には円柱状ロッド４６が着座されている。Ｖ溝４０のピ
ッチと導波路型光デバイスのコア８ａのピッチは一致し
ており、Ｖ溝４４の間隔と溝３６の間隔は一致している
。また、Ｖ溝４０とＶ溝４４の位置関係はコア８ａと溝
３６の位置関係に一致している。５０はファイバアレイ
４８の基板３８の端部に形成された切り込みであり、光
ファイバ４２の端面は切り込み５０の奥部に位置してい
る。
【００２５】この構成において、Ｖ溝４４と溝３６の間
に円柱状ロッド４６を介在させてファイバアレイ４８を
導波路型光デバイス１６′に装着したときに、各光ファ
イバ４２のコアと導波路型光デバイスの各コア８ａが同
一平面上に位置するように、溝３６の幅、Ｖ溝４０，４
４の形状並びに光ファイバ４２及び円柱状ロッド４６の
径を設定しておくと、光ファイバ４２と円柱状ロッド４
６の位置関係はコア８ａと円柱状ロッド４６の位置関係
に一致するから、光軸調整を行うことなしに、光ファイ
バ４２とコア８ａを接続することができる。即ち、円柱
状ロッド４６を溝３６及びＶ溝４４間に介在させた状態
で、ファイバアレイ４８を導波路型光デバイス１６′に
向けて押し付けることによって、光ファイバ４２のコア
と導波路型光デバイスのコア８ａを対向させて密着する
ことができる。この状態で各部材を接着剤等により相互
固定することによって、光ファイバと導波路コアの永久
接続が実現される。このように本実施例によると、光フ
ァイバと導波路型光デバイスの接続が極めて容易である
。
【００２６】以上の説明では、石英系光導波路について
本発明を適用したが、ＰＭＭＡ等のプラスチックからな
る導波路型光デバイスにも本発明を適用可能である。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
光ファイバとの接続が容易な導波路型光デバイスの提供
が可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す導波路型光デバイスの製
造工程図である。
【図２】本発明の実施例を示す導波路型光デバイスと光
ファイバの接続部の分解斜視図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す導波路型光デバイス
と光ファイバの接続部の分解斜視図である。
【図４】本発明のさらに他の実施例を示す導波路型光デ
バイスと光ファイバの接続部の分解斜視図である。
【図５】図４の導波路型光デバイスと光ファイバの接続
部の説明図である。
【符号の説明】
２　　導波路基板 ４　　第１クラッド ６　　基準面 ８　　コア層 ８ａ　　コア １２　　第２クラッド １６，１６′　　導波路型光デバイス

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　導波路基板（２）　と、該導波路基板
    （２）　上に形成された第１クラッド（４）　と、該第
    １クラッド（４）　上に形成されたコア（８ａ）と、該
    コア（８ａ）を覆うように上記第１クラッド（４）　上
    に形成された第２クラッド（１２）とを備えた導波路型
    光デバイスにおいて、上記導波路基板（２）　と平行な
    基準面（６）　を上記コア（８ａ）の両側に形成したこ
    とを特徴とする導波路型光デバイス。
  2. 【請求項２】　　上記基準面（６）　は上記第１クラッ
    ド（４）　上に形成されており、上記コア（８ａ）の下
    面と上記基準面（６）　は同一平面上に位置しているこ
    とを特徴とする請求項１に記載の導波路型光デバイス。
  3. 【請求項３】　　上記コア（８ａ）の上面と上記基準面
    は同一平面上に位置しており、上記基準面には所定幅の
    溝（３６）が形成されていることを特徴とする請求項１
    に記載の導波路型光デバイス。
JP3078268A 1991-03-19 1991-03-19 導波路型光デバイス Withdrawn JPH04291205A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3078268A JPH04291205A (ja) 1991-03-19 1991-03-19 導波路型光デバイス
US07/850,872 US5218663A (en) 1991-03-19 1992-03-13 Optical waveguide device and method for connecting optical waveguide and optical fiber using the optical waveguide device
CA002063310A CA2063310A1 (en) 1991-03-19 1992-03-18 Optical waveguide device and method for connecting optical waveguide and optical fiber using the optical waveguide device
EP19920104790 EP0504882A3 (en) 1991-03-19 1992-03-19 Optical waveguide device and method for connecting optical waveguide and optical fiber using the optical waveguide device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3078268A JPH04291205A (ja) 1991-03-19 1991-03-19 導波路型光デバイス

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04291205A true JPH04291205A (ja) 1992-10-15

Family

ID=13657236

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3078268A Withdrawn JPH04291205A (ja) 1991-03-19 1991-03-19 導波路型光デバイス

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5218663A (ja)
EP (1) EP0504882A3 (ja)
JP (1) JPH04291205A (ja)
CA (1) CA2063310A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017116673A (ja) * 2015-12-22 2017-06-29 日本電信電話株式会社 光信号処理装置

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5412748A (en) * 1992-12-04 1995-05-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical semiconductor module
US5343544A (en) * 1993-07-02 1994-08-30 Minnesota Mining And Manufacturing Company Integrated optical fiber coupler and method of making same
US5367593A (en) * 1993-09-03 1994-11-22 Motorola, Inc. Optical/electrical connector and method of fabrication
US5511138A (en) * 1994-06-27 1996-04-23 Motorola Interlocking waveguide and method of making
JP2851796B2 (ja) * 1994-07-28 1999-01-27 日本碍子株式会社 光ファイバアレイの基板への固定方法
TW281731B (ja) * 1994-08-26 1996-07-21 Akzo Nobel Nv
GB2293248B (en) * 1994-09-07 1998-02-18 Northern Telecom Ltd Providing optical coupling between optical components
SE514116C2 (sv) * 1994-10-19 2001-01-08 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande för framställning av en kapslad optokomponent, gjutform för kapsling av en optokomponent och tryckanordning för gjutform
FR2727768B1 (fr) * 1994-12-05 1997-01-10 Alcatel Nv Procede pour former une couche de silice a eliminer ulterieurement et procede pour rapporter un composant en optique integree
US5611014A (en) * 1994-12-07 1997-03-11 Lucent Technologies Inc. Optoelectronic device connecting techniques
KR100441810B1 (ko) * 1995-09-29 2004-10-20 모토로라 인코포레이티드 광전달구조물을정렬하기위한전자장치
US5659648A (en) * 1995-09-29 1997-08-19 Motorola, Inc. Polyimide optical waveguide having electrical conductivity
SE513046C2 (sv) * 1996-09-17 2000-06-26 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande för att framställa en optokomponent samt komponenten som sådan
DE19700549A1 (de) * 1997-01-10 1998-07-16 Alsthom Cge Alcatel Vorrichtung zur präzisen Anordnung von mikrooptischen Bauteilen auf einem Träger
KR19990061766A (ko) * 1997-12-31 1999-07-26 윤종용 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조
FR2799553B1 (fr) * 1999-10-12 2002-01-25 France Telecom Ajustement de l'assemblage d'un composant optique miniature forme par report d'une puce de circuit integre optique sur une plate-forme de connexion de fibres optiques
AU2002239458A1 (en) * 2000-10-26 2002-06-11 Nanogram Corporation Multilayered optical structures
US6754428B1 (en) * 2001-03-14 2004-06-22 Zygo Corporation Fiber array alignment substrate
GB2374156A (en) * 2001-04-02 2002-10-09 Kamelian Ltd Aligning array of optical fibres with waveguides of optical device
GB2390697B (en) 2001-04-02 2004-08-04 Kamelian Ltd Alignment of optical fibres with an optical device
US6744953B2 (en) * 2001-09-07 2004-06-01 Agilent Technologies, Inc. Planar optical waveguide with alignment structure
US7295742B2 (en) * 2002-05-31 2007-11-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element and method for producing the same
JP2005128419A (ja) * 2003-10-27 2005-05-19 Nec Corp 光導波路構造およびその作製方法
KR100584115B1 (ko) 2003-12-24 2006-05-30 전자부품연구원 광 스플리터 및 그의 제조방법
USD611628S1 (en) * 2006-06-20 2010-03-09 Panasonic Corporation Lighting apparatus
US7447405B1 (en) * 2006-10-23 2008-11-04 International Business Machines Corporation Ferrule for optical wave guide
USD580889S1 (en) * 2007-02-09 2008-11-18 Panasonic Corporation Light source of light-emitting diode
USD580890S1 (en) * 2007-02-09 2008-11-18 Panasonic Corporation Light source of light-emitting diode
USD586764S1 (en) * 2007-02-09 2009-02-17 Panasonic Corporation Light source of light-emitting diode
USD580377S1 (en) * 2007-02-09 2008-11-11 Panasonic Corporation Light source of light-emitting diode
US10620377B1 (en) * 2015-04-01 2020-04-14 National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc Kinematic chip to chip bonding
US10048455B2 (en) * 2016-01-18 2018-08-14 Cisco Technology, Inc. Passive fiber array connector alignment to photonic chip
USD825148S1 (en) * 2016-06-08 2018-08-14 Troy Horning Clothing accessory to prevent slippage
US10288812B1 (en) * 2018-03-12 2019-05-14 Corning Incorporated Fiber optic-to-waveguide coupling assembly with overlap for edge coupling
US10656339B2 (en) 2018-03-14 2020-05-19 Cisco Technology, Inc. Fiber to chip alignment using passive vgroove structures

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2596529B1 (fr) * 1986-03-28 1988-05-13 Thomson Csf Guide d'onde optique en materiau semiconducteur, laser appliquant ce guide d'onde et procede de realisation
JPS63311212A (ja) * 1987-06-12 1988-12-20 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路装置と、光導波路の実装方法
JPS63316009A (ja) * 1987-06-19 1988-12-23 Nec Corp 光結合構造
FR2623915B1 (fr) * 1987-11-26 1990-04-13 Corning Glass Works Procede de production d'un composant optique integre en verre comprenant des tranchees de positionnement et de fixation de fibres optiques en alignement avec des guides d'ondes et composants ainsi produits
JPH01234806A (ja) * 1988-03-16 1989-09-20 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路装置
FR2658307A1 (fr) * 1990-02-13 1991-08-16 Thomson Csf Guide d'onde optique integre et procede de realisation.
US5119460A (en) * 1991-04-25 1992-06-02 At&T Bell Laboratories Erbium-doped planar optical device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017116673A (ja) * 2015-12-22 2017-06-29 日本電信電話株式会社 光信号処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
CA2063310A1 (en) 1992-09-20
EP0504882A3 (en) 1993-10-27
EP0504882A2 (en) 1992-09-23
US5218663A (en) 1993-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04291205A (ja) 導波路型光デバイス
US6118917A (en) Optical fiber passive alignment apparatus using alignment platform
US6160936A (en) Apparatus and method for combining optical waveguide and optical fiber
JP2958305B2 (ja) 光繊維手動整列方法
JP3273490B2 (ja) 多芯マイクロキャピラリとこれを用いた光導波回路と光ファイバとの接続方法
JP3305027B2 (ja) 光ファイバアレイおよびその製造方法
JPH02280104A (ja) 接続端子台
CN113994245A (zh) 具有未完成端面的光纤阵列单元
JPH09159865A (ja) 光導波路の接続構造
JP4172097B2 (ja) ロッドレンズ付き光ファイバ配列部品の製造方法
KR20010022335A (ko) 평면 광학장치 커넥터 및 이의 제조방법
JP3591967B2 (ja) 光ガイドの接続構造
JP3450068B2 (ja) 光導波路の結合構造
JPS61267010A (ja) 光導波回路及びその製造方法
JPH08190031A (ja) 光導波路と光ファイバを接続するための光導波路モジュールとその製造方法
JP2843338B2 (ja) 光導波路・光ファイバ接続コネクタ
JP2022181677A (ja) 光ファイバアレイ及び光ファイバ接続構造
JPH04216509A (ja) 導波路型光デバイスと光ファイバの接続方法
JP3298975B2 (ja) 光結合器と光ファイバとの接続構造および接続方法
JP3243021B2 (ja) 光導波路素子の作製方法
JP3228614B2 (ja) 光ファイバと光導波路の接続部構造
JP2575742Y2 (ja) 光導波路と光ファイバの接続構造
JPH11183750A (ja) 光デバイス用光導波路モジュールおよび光デバイスの製造方法
KR100584115B1 (ko) 광 스플리터 및 그의 제조방법
JPH06160660A (ja) 光ファイバ保持具および保持方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19980514