JPH0429151A - ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 - Google Patents
ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置Info
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- JPH0429151A JPH0429151A JP2136494A JP13649490A JPH0429151A JP H0429151 A JPH0429151 A JP H0429151A JP 2136494 A JP2136494 A JP 2136494A JP 13649490 A JP13649490 A JP 13649490A JP H0429151 A JPH0429151 A JP H0429151A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、被製版ロールを水平に両端チャックして所定
回転数で回転し、該被製版ロールの一端より他端に向っ
て、現像ユニットを移動して感光膜の露光部分の硬化反
応を促進させる加熱処理とアルカリ現像処理と水洗処理
と乾燥処理を順に行うユニット移動式現像方法及びユニ
ット移動式現像装置に関する。
回転数で回転し、該被製版ロールの一端より他端に向っ
て、現像ユニットを移動して感光膜の露光部分の硬化反
応を促進させる加熱処理とアルカリ現像処理と水洗処理
と乾燥処理を順に行うユニット移動式現像方法及びユニ
ット移動式現像装置に関する。
[従来の技術]
従来において、この種のユニット移動式現像方法及びユ
ニット移動式現像装置は、全く存在しない、従来の現像
処理及び現像処理の前後の処理は、感光膜の露光部分の
硬化反応を促進させるため被製版ロールを露光後約30
分の放置することが行われた後、シャワー式アルカリ現
像装置によりアルカリ現像が行われ、続いてシャワー式
水洗装置により水洗が行われ、引続き人手によりロール
表面の付着洗浄水の手拭き処理が行われていた。
ニット移動式現像装置は、全く存在しない、従来の現像
処理及び現像処理の前後の処理は、感光膜の露光部分の
硬化反応を促進させるため被製版ロールを露光後約30
分の放置することが行われた後、シャワー式アルカリ現
像装置によりアルカリ現像が行われ、続いてシャワー式
水洗装置により水洗が行われ、引続き人手によりロール
表面の付着洗浄水の手拭き処理が行われていた。
[発明が解決しようとする課題]
しかるに、従来の現像処理及び現像処理の前後の処理は
、装置ラインに占めるスペースが大きいこと、装置の数
が多い分だけ製作コストが高く付くこと、シャワー式ア
ルカリ現像処理ではフレンジが約10ミクロンと大きい
こと、複数の被製版ロールを各装置に振分けて処理する
場合に各装置における処理時間の管理が難しいこと、被
製版ロールを所定処理(例えばアルカリ現像処理)を絆
えて次の処理(例えば水洗処理)を行うに際して次の処
理装W(水洗装置)が他の被製版ロールを処理中である
ときに待機させたときに現像の不安定化が生じること、
人手を必要とすることなどの不具合があった。
、装置ラインに占めるスペースが大きいこと、装置の数
が多い分だけ製作コストが高く付くこと、シャワー式ア
ルカリ現像処理ではフレンジが約10ミクロンと大きい
こと、複数の被製版ロールを各装置に振分けて処理する
場合に各装置における処理時間の管理が難しいこと、被
製版ロールを所定処理(例えばアルカリ現像処理)を絆
えて次の処理(例えば水洗処理)を行うに際して次の処
理装W(水洗装置)が他の被製版ロールを処理中である
ときに待機させたときに現像の不安定化が生じること、
人手を必要とすることなどの不具合があった。
本願発明は、上述した点に鑑み案出したもので、現像と
、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置できてマル
チ処理後は直ちにエツチング処理に入ることができ、ま
た細毛を摺動接触させてアルカリ現像液が感光膜に効果
的に浸透するように擦込み塗布できてフレツクを従来の
約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さくする
ことができるユニット移動式現像方法及び該ユニット移
動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置を提
供することを主たる目的としている。
、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置できてマル
チ処理後は直ちにエツチング処理に入ることができ、ま
た細毛を摺動接触させてアルカリ現像液が感光膜に効果
的に浸透するように擦込み塗布できてフレツクを従来の
約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さくする
ことができるユニット移動式現像方法及び該ユニット移
動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置を提
供することを主たる目的としている。
本願発明は、現像前の加熱と、現像と、現像後の水洗、
水洗後の乾燥をマルチ処置できて、従来の露光後の硬化
反応の待時間を必要としないで直ちにマルチ処理に入る
ことができるユニット移動式現像方法及び該ユニット移
動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置を提
供することを副次的な目的としている。
水洗後の乾燥をマルチ処置できて、従来の露光後の硬化
反応の待時間を必要としないで直ちにマルチ処理に入る
ことができるユニット移動式現像方法及び該ユニット移
動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置を提
供することを副次的な目的としている。
[課題を解決するための手段]
本願第一発明によれば、上記課題を解決するための手段
として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が露
光された被製版ロールを水平に両端チャックして所定回
転数で回転し、該被製版ロールの下側一端より他端に向
って、植毛ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水
洗手段とスポンジロール接触バキューム式乾燥手段を処
理順に備えた現像ユニットを移送することにより、前記
植毛ロール接触式現像手段の所要柔軟な細毛が所要高密
度に植設されてなる第一植毛ロールをアルカリ現像液に
浸しつつ前記被製版ロールと反対方向に接触回転させて
アルカリ現像を行うとともに、該アルカリ現像の後を追
うように、前記植毛ロール接触式水洗手段の所要柔軟な
細毛が所要高密度に植設されてなる第二植毛ロールを洗
浄水に浸しつつ前記被製版ロールと反対方向に接触回転
させて付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの洗
い流しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、前
記スポンジロール接触バキューム式水分除去手段のスポ
ンジロールを前記被製版ロールに接触させて連回り回転
させつつ該スポンジロール内方よりバキュームを行って
付着洗浄水の吸引除去を行うことを特徴とするユニット
移動式現像方法を提供するものである。
として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が露
光された被製版ロールを水平に両端チャックして所定回
転数で回転し、該被製版ロールの下側一端より他端に向
って、植毛ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水
洗手段とスポンジロール接触バキューム式乾燥手段を処
理順に備えた現像ユニットを移送することにより、前記
植毛ロール接触式現像手段の所要柔軟な細毛が所要高密
度に植設されてなる第一植毛ロールをアルカリ現像液に
浸しつつ前記被製版ロールと反対方向に接触回転させて
アルカリ現像を行うとともに、該アルカリ現像の後を追
うように、前記植毛ロール接触式水洗手段の所要柔軟な
細毛が所要高密度に植設されてなる第二植毛ロールを洗
浄水に浸しつつ前記被製版ロールと反対方向に接触回転
させて付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの洗
い流しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、前
記スポンジロール接触バキューム式水分除去手段のスポ
ンジロールを前記被製版ロールに接触させて連回り回転
させつつ該スポンジロール内方よりバキュームを行って
付着洗浄水の吸引除去を行うことを特徴とするユニット
移動式現像方法を提供するものである。
また本願第二発明によれば、上記の課題を解決する手段
として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が露
光された被製版ロールを水平に両端チャックして所定回
転数で回転するロールチャック手段と、該ロールチャッ
ク手段の所要下方の一側から他側までの間を水平移動と
昇降動を所定の順序で行う二次元テーブルを有する二次
元テーブル装置と、該二次元テーブル上に設けられ植毛
ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水洗手段とス
ポンジロール接触バキューム式水分除去手段をロール軸
に沿った処理方向前側より順に配列された現像ユニット
からなり、 前記植毛ロール接触式現像手段は、所要の細毛が所要高
密度に植設されてなる第一植毛ロールを現像液貯溜ミニ
タンク内のアルカリ現像液に浸漬されるように有し、前
記植毛ロール接触式水洗手段は、所要の細毛が所要高密
度に植設されてなる第二植毛ロールを有し、該第二植毛
ロールに装置外部からフレキシブルホースを通して洗浄
水を撒水するように成っており、前記スポンジロール接
触バキューム式水分除去手段は、多孔管の外側に環状の
スポンジが固定されてなるスポンジロールをフリー回転
可能に有し、該スポンジロールの内側を負圧にする負圧
発生手段が該スポンジロールに接続されており、 さらに、前記二次元テーブルが前記被製版ロールの径に
応じた所要高さに上昇して該被製版ロールの下側を水平
移動するときに、 前記植毛ロール接触式現像手段は、前記第一植毛ロール
が前記被製版ロールの回転と反対方向に回転駆動され該
被製版ロールに接触回転してアルカリ現像液を塗布して
アルカリ現像を行うように成っており、前記植毛ロール
接触式水洗手段は、前記第二植毛ロールが前記被製版ロ
ールの回転と反対方向に回転駆動され該被製版ロールの
現像処理済部分の付着アルカリ現像液及び付着溶解状レ
ジストの洗い落しを行うように成っており、前記スポン
ジロール接触バキューム式水分除去手段は、前記スポン
ジロールが前記被製版ロールと接触して連れ回り回転し
該被製版ロールの前記被水洗部分の付着洗浄水の吸引除
去を行うように成っていることを特徴とするユニット移
動式現像装置を提供するものである。
として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が露
光された被製版ロールを水平に両端チャックして所定回
転数で回転するロールチャック手段と、該ロールチャッ
ク手段の所要下方の一側から他側までの間を水平移動と
昇降動を所定の順序で行う二次元テーブルを有する二次
元テーブル装置と、該二次元テーブル上に設けられ植毛
ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水洗手段とス
ポンジロール接触バキューム式水分除去手段をロール軸
に沿った処理方向前側より順に配列された現像ユニット
からなり、 前記植毛ロール接触式現像手段は、所要の細毛が所要高
密度に植設されてなる第一植毛ロールを現像液貯溜ミニ
タンク内のアルカリ現像液に浸漬されるように有し、前
記植毛ロール接触式水洗手段は、所要の細毛が所要高密
度に植設されてなる第二植毛ロールを有し、該第二植毛
ロールに装置外部からフレキシブルホースを通して洗浄
水を撒水するように成っており、前記スポンジロール接
触バキューム式水分除去手段は、多孔管の外側に環状の
スポンジが固定されてなるスポンジロールをフリー回転
可能に有し、該スポンジロールの内側を負圧にする負圧
発生手段が該スポンジロールに接続されており、 さらに、前記二次元テーブルが前記被製版ロールの径に
応じた所要高さに上昇して該被製版ロールの下側を水平
移動するときに、 前記植毛ロール接触式現像手段は、前記第一植毛ロール
が前記被製版ロールの回転と反対方向に回転駆動され該
被製版ロールに接触回転してアルカリ現像液を塗布して
アルカリ現像を行うように成っており、前記植毛ロール
接触式水洗手段は、前記第二植毛ロールが前記被製版ロ
ールの回転と反対方向に回転駆動され該被製版ロールの
現像処理済部分の付着アルカリ現像液及び付着溶解状レ
ジストの洗い落しを行うように成っており、前記スポン
ジロール接触バキューム式水分除去手段は、前記スポン
ジロールが前記被製版ロールと接触して連れ回り回転し
該被製版ロールの前記被水洗部分の付着洗浄水の吸引除
去を行うように成っていることを特徴とするユニット移
動式現像装置を提供するものである。
[作用]
本願第二発明のユニー/ )移動式現像装置について作
用を説明する。
用を説明する。
先ず、ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情
報が露光された被製版ロールを固定側回転チャー2りと
可動側回転チャックとで水平に両端チャックする。
報が露光された被製版ロールを固定側回転チャー2りと
可動側回転チャックとで水平に両端チャックする。
次に、チャック回転用モーターを駆動して被製版ロール
を回転し、また、第一植毛ロールと第二植毛ロールを被
製版ロールの回転と反対方向に低速回転し、第二植毛ロ
ールに撒水ノズルから洗浄水を噴射し、現像液貯溜ミニ
タンク内にアルカリ現像液を貯溜し、スポンジロールの
内側を負圧にする。
を回転し、また、第一植毛ロールと第二植毛ロールを被
製版ロールの回転と反対方向に低速回転し、第二植毛ロ
ールに撒水ノズルから洗浄水を噴射し、現像液貯溜ミニ
タンク内にアルカリ現像液を貯溜し、スポンジロールの
内側を負圧にする。
続いて、二次元テーブルが所定高さに上昇して停止した
後、被製版ロールの他端に向って移動していき、このた
め、加熱手段が右へ移動していくとともに、該加熱の後
を追うように、第一植毛ロールがアルカリ現像液に浸さ
れつつ被製版ロールの左端に接触回転してアルカリ現像
を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二植毛ロ
ールが洗浄水に浸されつつ被製版ロールに接触回転して
付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの洗い流し
を行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、スポンジ
ロールが被製版ロールに接触して連回す回転しつつ該ス
ポンジロール内方よりバキュームが行われ付着洗浄水の
吸引除去を行う。
後、被製版ロールの他端に向って移動していき、このた
め、加熱手段が右へ移動していくとともに、該加熱の後
を追うように、第一植毛ロールがアルカリ現像液に浸さ
れつつ被製版ロールの左端に接触回転してアルカリ現像
を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二植毛ロ
ールが洗浄水に浸されつつ被製版ロールに接触回転して
付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの洗い流し
を行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、スポンジ
ロールが被製版ロールに接触して連回す回転しつつ該ス
ポンジロール内方よりバキュームが行われ付着洗浄水の
吸引除去を行う。
そうして、スポンジロールが被製版ロールの他端に至る
と、二次元テーブルが水平移動を停止して下降し、下降
位置で元位置へ水平移動して復帰する。現像を終了した
被製版ロールは、チャック解除して次工程のエツチング
装置へ搬送する。
と、二次元テーブルが水平移動を停止して下降し、下降
位置で元位置へ水平移動して復帰する。現像を終了した
被製版ロールは、チャック解除して次工程のエツチング
装置へ搬送する。
被製版ロールのマルチ処理について詳述すると、被製版
ロールは所要低速回転し、第一植毛ロールと第二植毛ロ
ールは、被製版ロールに対し、接触圧を極小に抑えられ
かつ反対方向に所要低速回転し、スポンジロールは、被
製版ロールに対し所要の接触圧にして連回り回転する。
ロールは所要低速回転し、第一植毛ロールと第二植毛ロ
ールは、被製版ロールに対し、接触圧を極小に抑えられ
かつ反対方向に所要低速回転し、スポンジロールは、被
製版ロールに対し所要の接触圧にして連回り回転する。
そして、第一植毛ロールと第二植毛ロールとスポンジロ
ールを被製版ロールのロール軸方向に低速移動させるの
で、被製版ロールに対する現像と水洗と乾燥が処理方向
に順に並んでマルチ処理される。
ールを被製版ロールのロール軸方向に低速移動させるの
で、被製版ロールに対する現像と水洗と乾燥が処理方向
に順に並んでマルチ処理される。
現像は被製版ロールに対してスキャン方式で処理するの
で、被製版ロールは全長にわたり均一に現像される。
で、被製版ロールは全長にわたり均一に現像される。
第一植毛ロールの細毛は、被製版ロールの感光膜に対し
、接触圧を極小に抑えられて同じ部分に何回も摺動接触
し少しずつ移動していきつつアルカリ現像液を塗布する
。アルカリ現像液は、感光膜の光硬化反応を起さない軟
質部分へ選択的に浸透していき、該軟質部分が膨潤して
溶解が始まりロール表面からの解離が行われると、レジ
スト画像が形成される。細毛は、レジスト画像が形成さ
れる過程で、十分に柔かく膨潤したレジストカスを取除
く作用を果し、新たに露出する該軟質部分へのアルカリ
現像液を一層効果的な擦込み塗布を行う、細毛を摺動接
触させてアルカリ現像液を擦込み塗布する効果として、
フリンジを2〜3ミクロンと小さく抑えることができる
。
、接触圧を極小に抑えられて同じ部分に何回も摺動接触
し少しずつ移動していきつつアルカリ現像液を塗布する
。アルカリ現像液は、感光膜の光硬化反応を起さない軟
質部分へ選択的に浸透していき、該軟質部分が膨潤して
溶解が始まりロール表面からの解離が行われると、レジ
スト画像が形成される。細毛は、レジスト画像が形成さ
れる過程で、十分に柔かく膨潤したレジストカスを取除
く作用を果し、新たに露出する該軟質部分へのアルカリ
現像液を一層効果的な擦込み塗布を行う、細毛を摺動接
触させてアルカリ現像液を擦込み塗布する効果として、
フリンジを2〜3ミクロンと小さく抑えることができる
。
第二植毛ロールの細毛は、被製版ロールの感光膜に対し
、現像処理によって作られたレジスト画像に摺動接触し
つつ遅滞なく水洗を行い、付着アルカリ現像液及び付着
溶解状レジストを洗い落すことになり、付着アルカリ現
像液の放置によるレジスト画像の膨潤化が回避される。
、現像処理によって作られたレジスト画像に摺動接触し
つつ遅滞なく水洗を行い、付着アルカリ現像液及び付着
溶解状レジストを洗い落すことになり、付着アルカリ現
像液の放置によるレジスト画像の膨潤化が回避される。
スポンジロールは、被製版ロールに所定圧で接触して連
れ回り回転して、レジスト画像に対して滑らないように
接触して、スポンジロールの内部のバキュームによって
付着洗浄水の付着洗浄水の吸引除去を行うことになる。
れ回り回転して、レジスト画像に対して滑らないように
接触して、スポンジロールの内部のバキュームによって
付着洗浄水の付着洗浄水の吸引除去を行うことになる。
[実施例]
第1図ないし第3図は、本願第二発明のユニット移動式
現を装置に係る第一実施例である。なお、該ユニット移
動式現像装置は、本願第一発明上移動式現像方法の使用
した一実施例で6の二二ツ ある。
現を装置に係る第一実施例である。なお、該ユニット移
動式現像装置は、本願第一発明上移動式現像方法の使用
した一実施例で6の二二ツ ある。
先ず1本実施例装置の構成を説明する。
本実施例装置は、フレームFの上部にロールチャック手
段Aを備え、下部に二次元テーブル装置Bを備え、該二
次元テーブル装置Bの二次元テーブル7上に現像ユニッ
トCを備えてなる。
段Aを備え、下部に二次元テーブル装置Bを備え、該二
次元テーブル装置Bの二次元テーブル7上に現像ユニッ
トCを備えてなる。
ロールチャック手段Aは、固定側回転チャック1と可動
側回転チャック2とを一軸線上に互いに対向するように
備え、可動側回転チャック2が可動軸受ブロック3に枢
支され、該可動軸受ブロック3に可動側回転チャック2
を回転するチャック回転用モーター4が取付けられ、可
動軸受ブロック3がチャック用水平ガイド5に係合案内
されかつフレームFに固定されたエアシリンダー6によ
って移動されるように設けられてなる。
側回転チャック2とを一軸線上に互いに対向するように
備え、可動側回転チャック2が可動軸受ブロック3に枢
支され、該可動軸受ブロック3に可動側回転チャック2
を回転するチャック回転用モーター4が取付けられ、可
動軸受ブロック3がチャック用水平ガイド5に係合案内
されかつフレームFに固定されたエアシリンダー6によ
って移動されるように設けられてなる。
従って、ロールチャック手段Aは、チャック間に被製版
ロールRを水平に位置させ、該被製版ロールHの一端を
固定側回転チャー、りlに嵌合させてからエアシリンダ
ー6を伸張作動すると可動軸受ブロック3をチャック方
向に移動し、可動側回転チャック2が被製版ロールRの
他端に嵌合して両端チャックでき、チャック回転用モー
ター4を駆動すると、被製版ロールRを所定回転数で回
転し得る。
ロールRを水平に位置させ、該被製版ロールHの一端を
固定側回転チャー、りlに嵌合させてからエアシリンダ
ー6を伸張作動すると可動軸受ブロック3をチャック方
向に移動し、可動側回転チャック2が被製版ロールRの
他端に嵌合して両端チャックでき、チャック回転用モー
ター4を駆動すると、被製版ロールRを所定回転数で回
転し得る。
二次元テーブル装!lBは、被製版ロールRの長さに応
じて所要寸法水平移動し得るとともに、被製版ロールR
の径に応じて所要寸法昇降動し得る二次元テーブル7を
有していれば、適宜の構造に構成されて!いても良い0
図示の二次元テーブル7は、テーブル水平移動用モータ
ー8の駆動により移動自在な一次元テーブル9の上に、
テーブル昇降用モーター10の駆動により昇降自在に設
けられている。従って、二次元テーブル7は、−次元テ
ーブル9と一体に水平移動し得るとともに、該−次元テ
ーブル9に対して昇降動じ得る。
じて所要寸法水平移動し得るとともに、被製版ロールR
の径に応じて所要寸法昇降動し得る二次元テーブル7を
有していれば、適宜の構造に構成されて!いても良い0
図示の二次元テーブル7は、テーブル水平移動用モータ
ー8の駆動により移動自在な一次元テーブル9の上に、
テーブル昇降用モーター10の駆動により昇降自在に設
けられている。従って、二次元テーブル7は、−次元テ
ーブル9と一体に水平移動し得るとともに、該−次元テ
ーブル9に対して昇降動じ得る。
−次元テーブル9は、フレームFに両端を軸支され横ね
じ軸11に螺合挿通されているとともに、フレームFに
両端を固定されテーブル用水平ガイド12に摺動可能に
挿通されていて、横ねじ軸11と直結されたテーブル水
平移動用モーター8を正転すると図面右方向へ水平移動
し、またテーブル水平移動用モーター8を反転すると図
面左方向へ水平移動する。
じ軸11に螺合挿通されているとともに、フレームFに
両端を固定されテーブル用水平ガイド12に摺動可能に
挿通されていて、横ねじ軸11と直結されたテーブル水
平移動用モーター8を正転すると図面右方向へ水平移動
し、またテーブル水平移動用モーター8を反転すると図
面左方向へ水平移動する。
二次元テーブル7は、四本の縦ねじ軸13゜13、・・
の各上端を軸支し、6縦ねじ軸13゜13、・・が−次
元テーブル9に螺合挿通されて一次元テーブル9に支持
される一方、テーブル昇降用モーター10を載置してお
り、テーブル昇降用モーターlOと四本の縦ねじ軸13
.13にチェーン捲掛装M14が捲掛けされてなり、テ
ーブル昇降用モーター10を正転すると上昇し、テーブ
ル昇降用モーターlOを反転すると下降する。
の各上端を軸支し、6縦ねじ軸13゜13、・・が−次
元テーブル9に螺合挿通されて一次元テーブル9に支持
される一方、テーブル昇降用モーター10を載置してお
り、テーブル昇降用モーターlOと四本の縦ねじ軸13
.13にチェーン捲掛装M14が捲掛けされてなり、テ
ーブル昇降用モーター10を正転すると上昇し、テーブ
ル昇降用モーターlOを反転すると下降する。
二次元テーブル7上に設けられる現像ユニットCは、加
熱手段15と、植毛ロール接触式現像手段16と、植毛
ロール接触式水洗手段17と、スポンジロール接触バキ
ューム式水分除去手段18からなり、これらの手段は、
加熱→現像→水洗→水分除去の処理順序となるようにロ
ール軸に沿うた処理方向前側より順に配列されている。
熱手段15と、植毛ロール接触式現像手段16と、植毛
ロール接触式水洗手段17と、スポンジロール接触バキ
ューム式水分除去手段18からなり、これらの手段は、
加熱→現像→水洗→水分除去の処理順序となるようにロ
ール軸に沿うた処理方向前側より順に配列されている。
加熱手段15は遠赤外線ヒーターが採用されているが、
電熱ヒータや熱風ヒータが採用されても良い。
電熱ヒータや熱風ヒータが採用されても良い。
植毛ロール接触式現像手段16は、現像液貯溜ミニタン
ク16aと、該現像液貯溜ミニタンク16a内に収容さ
れた第一植毛ロール16bと、第一植毛ロール16bを
被製版ロールRの回転と反対方向に低速回転する植毛ロ
ール駆動モーター16cを有し、現像液貯溜ミニタンク
16aに所定量の現像液が溜まるように、装置外に設置
される図示しない現像液貯溜タンク内のアルカリ現像液
が図示しない定量給送ポンプの駆動によってフレキシブ
ルパイプ16dを通して微少流量が供給される一方、現
像液貯溜ミニタンク16aから略同量の微少流量が垂れ
流されることにより、現像液貯溜ミニタンク16a内に
所定量の現像液が溜まるように維持される。第一植毛ロ
ール16bは、感光膜に傷を付けないソフトタッチとな
るように、軟質かつ腰が柔かい細毛が高密集状態に植設
されてなり、例えば、30〜40ミクロンの太さで8〜
10mmの長さのナイロン製の細毛が20〜30本束ね
られて被植設布に1〜2 m mピー2千間隔に植設さ
れたものが採用される。第一植毛ロール16bは、ベー
スロールに植毛布を−巻きして固定したものが更新の面
から好ましい。
ク16aと、該現像液貯溜ミニタンク16a内に収容さ
れた第一植毛ロール16bと、第一植毛ロール16bを
被製版ロールRの回転と反対方向に低速回転する植毛ロ
ール駆動モーター16cを有し、現像液貯溜ミニタンク
16aに所定量の現像液が溜まるように、装置外に設置
される図示しない現像液貯溜タンク内のアルカリ現像液
が図示しない定量給送ポンプの駆動によってフレキシブ
ルパイプ16dを通して微少流量が供給される一方、現
像液貯溜ミニタンク16aから略同量の微少流量が垂れ
流されることにより、現像液貯溜ミニタンク16a内に
所定量の現像液が溜まるように維持される。第一植毛ロ
ール16bは、感光膜に傷を付けないソフトタッチとな
るように、軟質かつ腰が柔かい細毛が高密集状態に植設
されてなり、例えば、30〜40ミクロンの太さで8〜
10mmの長さのナイロン製の細毛が20〜30本束ね
られて被植設布に1〜2 m mピー2千間隔に植設さ
れたものが採用される。第一植毛ロール16bは、ベー
スロールに植毛布を−巻きして固定したものが更新の面
から好ましい。
植毛ロール接触式水洗手段17は、第一植毛ロール16
bと同一に構成される第二植毛ロール17aを有すると
ともに、第二植毛ロール17aの下部に向って洗浄水を
噴射し得る撒水ノズル17bを有し、さらに第二植毛ロ
ール17aと撒水ノズル17bを囲って水飛散防止ミニ
タンク17cを有し、前記植毛ロール駆動モーター16
cが共用されて第二植毛ロール17aが被製版ロールH
の回転と反対方向に低速回転する。撒水ノズル17bは
、フレキシブルパイプ17dを介して外部の水道源と連
通接続されている。飛散防止ミニタンク17a内の水は
溜まらないように垂れ流される。
bと同一に構成される第二植毛ロール17aを有すると
ともに、第二植毛ロール17aの下部に向って洗浄水を
噴射し得る撒水ノズル17bを有し、さらに第二植毛ロ
ール17aと撒水ノズル17bを囲って水飛散防止ミニ
タンク17cを有し、前記植毛ロール駆動モーター16
cが共用されて第二植毛ロール17aが被製版ロールH
の回転と反対方向に低速回転する。撒水ノズル17bは
、フレキシブルパイプ17dを介して外部の水道源と連
通接続されている。飛散防止ミニタンク17a内の水は
溜まらないように垂れ流される。
スポンジロール接触バキューム式水分除去手段18は、
適宜の多孔管18a’に環状のスポンジ18a”が被嵌
固定されてなるスポンジロール1; 18aをボックス形のハウジング18b7よりフリー回
転可能に両端支持し、多孔管18a゛の内側を負圧にす
る負圧発生手段として、多孔管18a’の一端より内部
に吸引パイプ18cが差込まれ、該吸引パイプ18cと
外部に設置されるブロアー18dの吸引口とが大口径の
フレキシブルパイプ18eを介して連通接続されており
、ブロアー18dの吸引口には、フレキシブルパイプ1
8e内を通ってくる水を分離し得る水分離管18fが設
けられている。
適宜の多孔管18a’に環状のスポンジ18a”が被嵌
固定されてなるスポンジロール1; 18aをボックス形のハウジング18b7よりフリー回
転可能に両端支持し、多孔管18a゛の内側を負圧にす
る負圧発生手段として、多孔管18a’の一端より内部
に吸引パイプ18cが差込まれ、該吸引パイプ18cと
外部に設置されるブロアー18dの吸引口とが大口径の
フレキシブルパイプ18eを介して連通接続されており
、ブロアー18dの吸引口には、フレキシブルパイプ1
8e内を通ってくる水を分離し得る水分離管18fが設
けられている。
加熱手段15の近傍に付設される第一近接スイッチS工
は、被製版ロールRの下面を検知し、この検知信号は、
二次元テーブル7の上昇停止信号として利用される。
は、被製版ロールRの下面を検知し、この検知信号は、
二次元テーブル7の上昇停止信号として利用される。
そうして、二次元テーブル7が上昇停止されると、第一
植毛ロール16bと第二植毛ロール17aが、被製版ロ
ールの感光膜に対して接触圧を極小に抑えられるととも
に、スポンジロール18aが被製版ロールの感光膜に対
して連回り回転し得る所要接触圧に抑えられる。スポン
ジロール18aの近傍に付設される第二近接スイッチS
2は、被製版ロールHの右端を検知し、この検知信号は
、−次元テーブル9の右方向の水平移動停止信号として
利用される。
植毛ロール16bと第二植毛ロール17aが、被製版ロ
ールの感光膜に対して接触圧を極小に抑えられるととも
に、スポンジロール18aが被製版ロールの感光膜に対
して連回り回転し得る所要接触圧に抑えられる。スポン
ジロール18aの近傍に付設される第二近接スイッチS
2は、被製版ロールHの右端を検知し、この検知信号は
、−次元テーブル9の右方向の水平移動停止信号として
利用される。
次に、上記構成の本実施例装置の作用を説明する。
先ず、ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情
報が露光された被製版ロールRの下面両端を適宜のハン
ドリング装置で支承して固定側回転チャックlと可動側
回転チャック2の間に水平に位置させ、エアシリンダー
6を伸張作動して被製版ロールRを両端チャックする。
報が露光された被製版ロールRの下面両端を適宜のハン
ドリング装置で支承して固定側回転チャックlと可動側
回転チャック2の間に水平に位置させ、エアシリンダー
6を伸張作動して被製版ロールRを両端チャックする。
次に、第1図に示すように、二次元テーブル7が現像処
理の開始時に左位置にあり、加熱手段15は固定側回転
チャー7りlと可動側回転チャック2とでチャックされ
る被製版ロールHの左端の下方に位置される状態で、図
示しない現像開始スイッチをオンする。
理の開始時に左位置にあり、加熱手段15は固定側回転
チャー7りlと可動側回転チャック2とでチャックされ
る被製版ロールHの左端の下方に位置される状態で、図
示しない現像開始スイッチをオンする。
すると、チャック回転用モーター4が駆動してズ
被製版ロールRを矢印Iの方向に所定回転数で回転し、
また、植毛ロール駆動モーター16cが駆動して第一植
毛ロール16bと第二植毛ロール17aを被製版ロール
Hの回転と反対の矢印νの方向に低速回転し、さらに第
二植毛ロール17aの下部に向って撒水ノズル17bか
ら洗浄水を噴射され、現像液貯溜ミニタンク16a内に
微少流量が供給され所定量が貯溜され、ブロアー18d
のモーターが駆動されスポンジロール18aの多孔管1
8a ’の内側が負正になる。
また、植毛ロール駆動モーター16cが駆動して第一植
毛ロール16bと第二植毛ロール17aを被製版ロール
Hの回転と反対の矢印νの方向に低速回転し、さらに第
二植毛ロール17aの下部に向って撒水ノズル17bか
ら洗浄水を噴射され、現像液貯溜ミニタンク16a内に
微少流量が供給され所定量が貯溜され、ブロアー18d
のモーターが駆動されスポンジロール18aの多孔管1
8a ’の内側が負正になる。
続いて、テーブル昇降用モーター10が正転駆動され二
次元テーブル7が上昇し、加熱手段15が被製版ロール
Hの一端下側に近接すると、二次元テーブル7が上昇停
止し、第一近接スイッチS1が被製版ロールHの下面を
検知すると、テーブル昇降用モーター10が駆動停止し
て二次元テーブル7が上昇停止し、加熱手段15が低速
回転する被製版ロールRを加熱して、被製版ロールRの
露光後の硬化反応を促進−させる。
次元テーブル7が上昇し、加熱手段15が被製版ロール
Hの一端下側に近接すると、二次元テーブル7が上昇停
止し、第一近接スイッチS1が被製版ロールHの下面を
検知すると、テーブル昇降用モーター10が駆動停止し
て二次元テーブル7が上昇停止し、加熱手段15が低速
回転する被製版ロールRを加熱して、被製版ロールRの
露光後の硬化反応を促進−させる。
テーブル昇降用モーターlOが駆動停止すると、テーブ
ル水平移動用モーター8が正転駆動されて、−次元テー
ブル9を図面右方向へ遅速移動していく、このため、加
熱手段15が右へ移動していくとともに、該加熱の後を
追うように、第一植毛ロール16bがアルカリ現像液に
浸されつつ被製版ロールHの左端に接触回転してアルカ
リ現像を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二
植毛ロール17aが洗浄水に浸されつつ被製版ロールR
に接触回転して付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジ
ストの洗い流しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うよ
うに、スポンジロール18aが被製版ロールHに接触し
て連回り回転しつつ該スポンジロール内方よりバキュー
ムが行われ付着洗浄水の吸引除去を行う。
ル水平移動用モーター8が正転駆動されて、−次元テー
ブル9を図面右方向へ遅速移動していく、このため、加
熱手段15が右へ移動していくとともに、該加熱の後を
追うように、第一植毛ロール16bがアルカリ現像液に
浸されつつ被製版ロールHの左端に接触回転してアルカ
リ現像を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二
植毛ロール17aが洗浄水に浸されつつ被製版ロールR
に接触回転して付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジ
ストの洗い流しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うよ
うに、スポンジロール18aが被製版ロールHに接触し
て連回り回転しつつ該スポンジロール内方よりバキュー
ムが行われ付着洗浄水の吸引除去を行う。
そうして、第二近接スイー、チS2が被製版ロールRの
右端を検知すると、テーブル水平移動用モーター8が駆
動停止してテーブル昇降用モーターlOが反転駆動して
二次元テーブル7が下降し、二次元テーブル7が下降位
置にくると、テーブル昇降用モーターlOが反転駆動を
停止し。
右端を検知すると、テーブル水平移動用モーター8が駆
動停止してテーブル昇降用モーターlOが反転駆動して
二次元テーブル7が下降し、二次元テーブル7が下降位
置にくると、テーブル昇降用モーターlOが反転駆動を
停止し。
テーブル水平移動用モーター8が反転駆動して二次元テ
ーブル7を元位置へ水平移動する。また、チャック回転
用モーター4が駆動停止する。
ーブル7を元位置へ水平移動する。また、チャック回転
用モーター4が駆動停止する。
被製版ロールRの下面両端を適宜のハンドリング装置で
支承してエアシリンダー6を縮小作動してチャック解除
し、被製版ロールRを次工程のエツチング装置へ搬送す
る。
支承してエアシリンダー6を縮小作動してチャック解除
し、被製版ロールRを次工程のエツチング装置へ搬送す
る。
第4図は、本発明のユニット移動式現像装置に係る第二
実施例である。
実施例である。
本実施例装置については、第一実施例装置と異なる部分
について説明する。
について説明する。
チャック回転用モーター4は、固定側回転チャックlを
回転するようになっている。
回転するようになっている。
可動側回転チャック2は、リニアガイド19によって案
内されかつねじ軸20に螺合された可動軸受ブロック3
にフリー回転可能に軸支され、ねじ軸20に直結された
可動軸受ブロツク移動用モーター21によって移動され
る。リニアガイド19とねじ軸可動軸受20とブロック
移動用モーター21は、横桁フレームF°に設けられて
いる。−次元テーブル8の移動エリアの下側にドレン皿
22が設けられていて、現像液のドレン23と、洗浄液
のドレン24と、スポンジロールのドレン25を受けて
いて図示しない排水処理に接続されている。二次元テー
ブル7は、該二次元テーブル7より垂下され一次元テー
ブル8に摺動可能に挿通保合された昇降ガイド26と、
−次元テーブル8より設けられ二次元テーブル7に螺合
挿通された縦ねじ軸28によって、−次元テーブル8上
に支持され、縦ねじ軸29と直結され二次元テーブル7
より設けられたテーブル昇降用モーターlOにより昇降
される。
内されかつねじ軸20に螺合された可動軸受ブロック3
にフリー回転可能に軸支され、ねじ軸20に直結された
可動軸受ブロツク移動用モーター21によって移動され
る。リニアガイド19とねじ軸可動軸受20とブロック
移動用モーター21は、横桁フレームF°に設けられて
いる。−次元テーブル8の移動エリアの下側にドレン皿
22が設けられていて、現像液のドレン23と、洗浄液
のドレン24と、スポンジロールのドレン25を受けて
いて図示しない排水処理に接続されている。二次元テー
ブル7は、該二次元テーブル7より垂下され一次元テー
ブル8に摺動可能に挿通保合された昇降ガイド26と、
−次元テーブル8より設けられ二次元テーブル7に螺合
挿通された縦ねじ軸28によって、−次元テーブル8上
に支持され、縦ねじ軸29と直結され二次元テーブル7
より設けられたテーブル昇降用モーターlOにより昇降
される。
本実施例装置の作動は、第一実施例装置と同一である。
[発明の効果]
以上説明してきたように、本発明のユニット移動式現像
方法及びユニット移動式現像装置によれば、 ■現像と、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置で
き、装置ラインに占めるスペースが従来に比して小さく
でき、装置の数が1つとなるので製作コストが大幅に低
減できる一方、高機能となり、処理時間の管理が容易と
なり、マルチ処理後は直ちにエツチング処理に入ること
ができる。
方法及びユニット移動式現像装置によれば、 ■現像と、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置で
き、装置ラインに占めるスペースが従来に比して小さく
でき、装置の数が1つとなるので製作コストが大幅に低
減できる一方、高機能となり、処理時間の管理が容易と
なり、マルチ処理後は直ちにエツチング処理に入ること
ができる。
■第一植毛ロールがレジスト画像が形成される過程で十
分に柔かく膨潤したレジストカスを取除く作用を果し、
新たに露出する該軟質部分へのアルカリ現像液を一層効
果的な擦込み塗布を行い、細毛を摺動接触させてアルカ
リ現像液を擦込み塗布する効果として、フリンジを従来
の約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さく抑
えることができた。
分に柔かく膨潤したレジストカスを取除く作用を果し、
新たに露出する該軟質部分へのアルカリ現像液を一層効
果的な擦込み塗布を行い、細毛を摺動接触させてアルカ
リ現像液を擦込み塗布する効果として、フリンジを従来
の約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さく抑
えることができた。
さらに、現像前の加熱と、現像と、現像後の水洗、水洗
後の乾燥をマルチ処置できる実施態様のユニット移動式
現像方法及びユニット移動式現像装置によれば、 ■従来の露光後の硬化反応の待時間を必要としないで直
ちにマルチ処理に入ることができる。
後の乾燥をマルチ処置できる実施態様のユニット移動式
現像方法及びユニット移動式現像装置によれば、 ■従来の露光後の硬化反応の待時間を必要としないで直
ちにマルチ処理に入ることができる。
第1図ないし第3図は本発明の第一実施例に係るユニッ
ト移動式現像装置に係り、第1図は処理開始前の縦断正
面図であり、第2図は処理中の縦断正面図であり、第3
図は処理終了時の縦断正面図である。 第4図は本発明の第二実施例に係るユニット移動式現像
装置の処理中の縦断正面図である。 A・・拳ロールチャック手段、 B−・・二次元テーブル装置、 Cφ・・現像ユニット、 7e11・二次元テーブル。 15・・Φ加熱手段、 16・・e植毛ロール接触式現像手段、16ae・・現
像液貯溜ミニタンク、 16b−・・第一植毛ロール、 17・・・植毛ロール接触式水洗手段、17a11m@
第二植毛ロール、 17d・・・フレキシブルパイプ、 18・・・スポンジロール接触バキューム式水分除去手
段、 スポンジロール、 ・ブロアー (負圧発生手段) −Q′−−− ナマ
ト移動式現像装置に係り、第1図は処理開始前の縦断正
面図であり、第2図は処理中の縦断正面図であり、第3
図は処理終了時の縦断正面図である。 第4図は本発明の第二実施例に係るユニット移動式現像
装置の処理中の縦断正面図である。 A・・拳ロールチャック手段、 B−・・二次元テーブル装置、 Cφ・・現像ユニット、 7e11・二次元テーブル。 15・・Φ加熱手段、 16・・e植毛ロール接触式現像手段、16ae・・現
像液貯溜ミニタンク、 16b−・・第一植毛ロール、 17・・・植毛ロール接触式水洗手段、17a11m@
第二植毛ロール、 17d・・・フレキシブルパイプ、 18・・・スポンジロール接触バキューム式水分除去手
段、 スポンジロール、 ・ブロアー (負圧発生手段) −Q′−−− ナマ
Claims (4)
- (1)ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情
報が露光された被製版ロールを水平に両端チャックして
所定回転数で回転し、該被製版ロールの下側一端より他
端に向って、植毛ロール接触式現像手段と植毛ロール接
触式水洗手段とスポンジロール接触バキューム式乾燥手
段を処理順に備えた現像ユニットを移送するものであっ
て、前記植毛ロール接触式現像手段として所要柔軟な細
毛が所要高密度に植設されてなる第一植毛ロールをアル
カリ現像液に浸しつつ前記被製版ロールと反対方向に接
触回転させてアルカリ現像を行うとともに、該アルカリ
現像の後を追うように、前記植毛ロール接触式水洗手段
として所要柔軟な露光が所要高密度に植設されてなる第
二植毛ロールを洗浄水に浸しつつ前記被製版ロールと反
対方向に接触回転させて付着アルカリ現像液及び付着溶
解状レジストの洗い流しを行い、さらに、該水洗浄の後
を追うように、前記スポンジロール接触バキューム式水
分除去手段としてスポンジロールを前記被製版ロールに
接触させて連回り回転させつつ該スポンジロール内方よ
りバキュームを行って付着洗浄水の吸引除去を行うこと
を特徴とするユニット移動式現像方法。 - (2)前記現像ユニットは、前記植毛ロール接触式現像
手段の処理方向前側に前記被製版ロールに近接し得る適
宜の加熱手段を備えて、前記アルカリ現像に先立って前
記感光膜の露光後の硬化反応を促進し得る所要温度に加
熱する、ことを特徴とする請求項(1)に記載のユニッ
ト移動式現像方法。 - (3)ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情
報が露光された被製版ロールを水平に両端チャックして
所定回転数で回転するロールチャック手段と、該ロール
チャック手段の所要下方の一側から他側までの間を水平
移動と昇降動を所定の順序で行う二次元テーブルを有す
る二次元テーブル装置と、該二次元テーブル上に設けら
れ植毛ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水洗手
段とスポンジロール接触バキューム式水分除去手段をロ
ール軸に沿った処理方向前側より順に配列された現像ユ
ニットからなり、 前記植毛ロール接触式現像手段は、所要の細毛が所要高
密度に植設されてなる第一植毛ロールを現像液貯溜ミニ
タンク内のアルカリ現像液に浸漬されるように有し、前
記植毛ロール接触式水洗手段は、所要の露光が所要高密
度に植設されてなる第二植毛ロールを有し、該第二植毛
ロールに装置外部からフレキシブルホースを通して洗浄
水を撒水するように成っており、前記スポンジロール接
触バキューム式水分除去手段は、多孔管の外側に環状の
スポンジが固定されてなるスポンジロールをフリー回転
可能に有し、該スポンジロールの内側を負圧にする負圧
発生手段が該スポンジロールに接続されており、 さらに、前記二次元テーブルが前記被製版ロールの径に
応じた所要高さに上昇して該被製版ロールの下側を水平
移動するときに、 前記植毛ロール接触式現像手段は、前記第一植毛ロール
が前記被製版ロールの回転と反対方向に回転駆動され該
被製版ロールに接触回転してアルカリ現像液を塗布して
アルカリ現像を行うように成っており、前記植毛ロール
接触式水洗手段は、前記第二植毛ロールが前記被製版ロ
ールの回転と反対方向に回転駆動され該被製版ロールの
現像処理済部分の付着アルカリ現像液及び付着溶解状レ
ジストの洗い落しを行うように成っており、前記スポン
ジロール接触バキューム式水分除去手段は、前記スポン
ジロールが前記被製版ロールと接触して連れ回り回転し
該被製版ロールの前記被水洗部分の付着洗浄水の吸引除
去を行うように成っていることを特徴とするユニット移
動式現像装置。 - (4)前記現像ユニットは、前記植毛ロール接触式現像
手段の処理方向前側に設けられ、前記二次元テーブルが
前記被製版ロールの径に応じた所要高さに上昇して該被
製版ロールの下側を水平移動するときに、該被製版ロー
ルに近接して前記感光膜の露光後の硬化反応を促進し得
る所要温度に加熱する適宜の加熱手段を有してなる、こ
とを特徴とする請求項(3)に記載のユニット移動式現
像装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2136494A JP2530243B2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 |
| US07/702,946 US5253006A (en) | 1990-05-24 | 1991-05-20 | Moving-unit type developing method and a moving-unit type developing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2136494A JP2530243B2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0429151A true JPH0429151A (ja) | 1992-01-31 |
| JP2530243B2 JP2530243B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15176476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2136494A Expired - Lifetime JP2530243B2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5253006A (ja) |
| JP (1) | JP2530243B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009266480A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | 回路遮断器の端子カバー |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0595775B1 (en) * | 1992-10-29 | 1999-07-28 | STMicroelectronics S.r.l. | Method of evaluating the dielectric layer of nonvolatile EPROM, EEPROM and flash-EEPROM memories |
| EP0594920B1 (en) * | 1992-10-29 | 1999-07-28 | STMicroelectronics S.r.l. | Method of evaluating the gate oxide of non-volatile EPROM, EEPROM and flash-EEPROM memories |
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