JPH04297577A - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPH04297577A JPH04297577A JP6148591A JP6148591A JPH04297577A JP H04297577 A JPH04297577 A JP H04297577A JP 6148591 A JP6148591 A JP 6148591A JP 6148591 A JP6148591 A JP 6148591A JP H04297577 A JPH04297577 A JP H04297577A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- vacuum
- vacuum chamber
- pressure detector
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は処理空間内を真空にする
ための技術、特に、半導体装置の製造におけるスパッタ
処理などに用いて効果のある技術に関するものである。
ための技術、特に、半導体装置の製造におけるスパッタ
処理などに用いて効果のある技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】スパッタ、プラズマＣＶＤ、ＳＥＭ（走
査形電子顕微鏡）などにおいては、被処理物の設置雰囲
気を真空にする必要があり、そのために真空装置が用い
られる。 図３は従来の真空装置の一例を示す断面図
である。
査形電子顕微鏡）などにおいては、被処理物の設置雰囲
気を真空にする必要があり、そのために真空装置が用い
られる。 図３は従来の真空装置の一例を示す断面図
である。
【０００３】箱状の真空室１には真空配管２が接続され
、この真空配管２に真空状態を維持させるための真空弁
３が設けられている。また、弁４を介してガス配管５が
接続され、さらに、真空室１内の大気圧への到達を検出
するために、圧力検出器６が接続されている。この圧力
検出器６の出力は、不図示の制御部に印加され、加圧制
御に伴う検出情報として利用される。この他、ウェハな
どの被処理物の搬入／搬出のための開閉口７が設けられ
ている。
、この真空配管２に真空状態を維持させるための真空弁
３が設けられている。また、弁４を介してガス配管５が
接続され、さらに、真空室１内の大気圧への到達を検出
するために、圧力検出器６が接続されている。この圧力
検出器６の出力は、不図示の制御部に印加され、加圧制
御に伴う検出情報として利用される。この他、ウェハな
どの被処理物の搬入／搬出のための開閉口７が設けられ
ている。
【０００４】運用に際しては、まず、真空弁３を閉めて
ガス配管５からパージガス（窒素ガス）を導入し、圧力
検出器６が出力信号を発生、すなわち大気圧に達した時
点で弁４を閉める。ここで、開閉口７を開け、この開閉
口７から被処理物を搬入し、開閉口７を閉める。ついで
真空弁３を開け、真空配管２から真空室１内のガスを真
空ポンプで引き、真空室１内を所定の真空度にし、スパ
ッタなどの処理を実行、あるいは開示されていない搬送
手段によって別の真空室へ被処理物ａを搬送する。処理
が終われば、真空弁３を閉じると共に弁４を開け、圧力
検出器６が検出信号を発生するまで真空室１内にパージ
ガスを導入する。圧力検出器６が出力信号を発生、すな
わち大気圧に達した時点で弁４を閉め、開閉口７を開け
て被処理物を本体外へ搬出する。
ガス配管５からパージガス（窒素ガス）を導入し、圧力
検出器６が出力信号を発生、すなわち大気圧に達した時
点で弁４を閉める。ここで、開閉口７を開け、この開閉
口７から被処理物を搬入し、開閉口７を閉める。ついで
真空弁３を開け、真空配管２から真空室１内のガスを真
空ポンプで引き、真空室１内を所定の真空度にし、スパ
ッタなどの処理を実行、あるいは開示されていない搬送
手段によって別の真空室へ被処理物ａを搬送する。処理
が終われば、真空弁３を閉じると共に弁４を開け、圧力
検出器６が検出信号を発生するまで真空室１内にパージ
ガスを導入する。圧力検出器６が出力信号を発生、すな
わち大気圧に達した時点で弁４を閉め、開閉口７を開け
て被処理物を本体外へ搬出する。
【０００５】ところで、本発明者は、真空装置に付属す
る圧力検出器の故障に伴う真空装置の加圧破損について
検討した。
る圧力検出器の故障に伴う真空装置の加圧破損について
検討した。
【０００６】以下は、本発明者等によって検討された技
術であり、その概要は次の通りである。
術であり、その概要は次の通りである。
【０００７】すなわち、被処理物の搬入／搬出時には真
空室１内を大気圧にするが、大気圧に達したか否かは、
圧力検出器６の検出値に基づいて判断し、その検出値が
設定圧相当を出力したときに弁４の弁閉制御を行ってい
る。
空室１内を大気圧にするが、大気圧に達したか否かは、
圧力検出器６の検出値に基づいて判断し、その検出値が
設定圧相当を出力したときに弁４の弁閉制御を行ってい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記の如く
圧力検出器により加圧制御を行う真空装置においては、
圧力検出器に故障などの異常が生じた場合、規定値を越
えたガスが真空装置本体内に導入され、真空装置本体の
耐圧限界を越えた場合には破裂などの事故を招く恐れの
あることが本発明者によって見出された。
圧力検出器により加圧制御を行う真空装置においては、
圧力検出器に故障などの異常が生じた場合、規定値を越
えたガスが真空装置本体内に導入され、真空装置本体の
耐圧限界を越えた場合には破裂などの事故を招く恐れの
あることが本発明者によって見出された。
【０００９】そこで、本発明の目的は、圧力検出器が作
動しない場合でも、真空装置本体内が異常に加圧される
のを防止することのできる技術を提供することにある。
動しない場合でも、真空装置本体内が異常に加圧される
のを防止することのできる技術を提供することにある。
【００１０】本発明の前記ならびに他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【００１２】すなわち、被処理物の搬入／搬出が可能な
真空室と、該真空室を真空にする真空発生手段と、真空
後の前記真空室を大気圧に加圧する加圧手段と、前記真
空室内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器の
検出出力に基づいて前記真空室への加圧を停止させる制
御手段とを備えた真空装置であって、前記圧力検出器と
は別に、前記真空室の内圧が大気圧を越えた際に一定値
に保持する安全手段を設けたものである。
真空室と、該真空室を真空にする真空発生手段と、真空
後の前記真空室を大気圧に加圧する加圧手段と、前記真
空室内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器の
検出出力に基づいて前記真空室への加圧を停止させる制
御手段とを備えた真空装置であって、前記圧力検出器と
は別に、前記真空室の内圧が大気圧を越えた際に一定値
に保持する安全手段を設けたものである。
【００１３】
【作用】上記した手段によれば、大気圧を検出する圧力
検出器が故障した場合、真空室に大気圧を越えた圧力が
加わっても、破壊圧に達する以前に真空室への加圧を停
止し、あるいはリークして真空室内が或る圧力値以上に
なるのを防止する。したがって、真空室を過大圧力から
守り、破壊を防止することができる。
検出器が故障した場合、真空室に大気圧を越えた圧力が
加わっても、破壊圧に達する以前に真空室への加圧を停
止し、あるいはリークして真空室内が或る圧力値以上に
なるのを防止する。したがって、真空室を過大圧力から
守り、破壊を防止することができる。
【００１４】
【実施例】図１は本発明による真空装置の一実施例を示
す系統図である。なお、図１においては、図３と同一で
あるものには同一引用数字を用いているので、ここでは
重複する説明を省略する。
す系統図である。なお、図１においては、図３と同一で
あるものには同一引用数字を用いているので、ここでは
重複する説明を省略する。
【００１５】図１に示すように、弁４の直前のガス配管
５に第２の圧力検出器８が取り付けられている。この圧
力検出器８の動作圧は、真空室１の加圧破損に対する許
容圧の上限に設定される。制御部１０に圧力検出器８及
び圧力検出器６の検出信号が送出され、その検出内容に
基づいて弁４の開閉制御が成される。また、制御部１０
には、圧力検出器６の故障を警報音などで報知するため
のアラーム１１が接続されている。
５に第２の圧力検出器８が取り付けられている。この圧
力検出器８の動作圧は、真空室１の加圧破損に対する許
容圧の上限に設定される。制御部１０に圧力検出器８及
び圧力検出器６の検出信号が送出され、その検出内容に
基づいて弁４の開閉制御が成される。また、制御部１０
には、圧力検出器６の故障を警報音などで報知するため
のアラーム１１が接続されている。
【００１６】以上の構成において、真空室１内を大気圧
にする場合、製造プログラムに従って制御部１０が動作
し、真空弁３を閉め、弁４を開ける。真空室１内の圧力
は真空状態から徐々に高まり、圧力検出器６の検出値が
大気圧に到達した時点で、制御部１０は弁４を閉める。
にする場合、製造プログラムに従って制御部１０が動作
し、真空弁３を閉め、弁４を開ける。真空室１内の圧力
は真空状態から徐々に高まり、圧力検出器６の検出値が
大気圧に到達した時点で、制御部１０は弁４を閉める。
【００１７】しかし、圧力検出器６が故障していると、
加圧過程で真空室１内に過大なガス圧が加わり、最悪の
場合、真空室１を加圧破損することになる。ところが、
本実施例によれば、圧力検出器８が設けられているため
に、この圧力検出器８が真空室１を破損するような圧力
の場合、検出信号を制御部１０へ送出する。圧力検出器
８の検出信号に基づいて、制御部１０は弁４を開き、真
空室１を大気圧にする動作を禁止する。これにより、真
空室１を破損するような事故を生じることはない。また
、圧力検出器８が作動したことをもって、制御部１０は
アラーム１１を駆動させ、作業者に異常を報知する。
加圧過程で真空室１内に過大なガス圧が加わり、最悪の
場合、真空室１を加圧破損することになる。ところが、
本実施例によれば、圧力検出器８が設けられているため
に、この圧力検出器８が真空室１を破損するような圧力
の場合、検出信号を制御部１０へ送出する。圧力検出器
８の検出信号に基づいて、制御部１０は弁４を開き、真
空室１を大気圧にする動作を禁止する。これにより、真
空室１を破損するような事故を生じることはない。また
、圧力検出器８が作動したことをもって、制御部１０は
アラーム１１を駆動させ、作業者に異常を報知する。
【００１８】図２は本発明による真空装置の他の実施例
を示す系統図である。なお、図２においては、図１と同
一であるものには同一引用数字を用いているので、ここ
では重複する説明を省略する。
を示す系統図である。なお、図２においては、図１と同
一であるものには同一引用数字を用いているので、ここ
では重複する説明を省略する。
【００１９】本実施例は、圧力検出器８に代えて逆止弁
１２を真空室１に設けたところに特徴がある。この実施
例では、真空室１が加圧に伴って或る圧力値に到達する
と、逆止弁１２が開き、真空室１内の圧力が異常に高く
なるのを防止する。この実施例の場合、弁４の開作業は
自動的に行われないので、逆止弁１２の作動を知って、
手動により弁４を閉めることになる。
１２を真空室１に設けたところに特徴がある。この実施
例では、真空室１が加圧に伴って或る圧力値に到達する
と、逆止弁１２が開き、真空室１内の圧力が異常に高く
なるのを防止する。この実施例の場合、弁４の開作業は
自動的に行われないので、逆止弁１２の作動を知って、
手動により弁４を閉めることになる。
【００２０】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００２１】例えば、前記実施例では、圧力検出器８が
ガス配管に取り付けてあるが、真空室１に付けても良い
し、また、或る圧力値になると検出信号を発するものと
したが、検出器が連続的に圧力値を検出する構造のもの
であってもよい。この場合、取り込んだ検出信号を制御
部１０により予め設定された比較値と比較して圧力上昇
を判定することになる。
ガス配管に取り付けてあるが、真空室１に付けても良い
し、また、或る圧力値になると検出信号を発するものと
したが、検出器が連続的に圧力値を検出する構造のもの
であってもよい。この場合、取り込んだ検出信号を制御
部１０により予め設定された比較値と比較して圧力上昇
を判定することになる。
【００２２】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００２３】すなわち、被処理物の搬入／搬出が可能な
真空室と、該真空室を真空にする真空発生手段と、真空
後の前記真空室を大気圧に加圧する加圧手段と、前記真
空室内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器の
検出出力に基づいて前記真空室への加圧を停止させる制
御手段とを備えた真空装置であって、前記真空室の内圧
が大気圧を越えた際に一定値に保持する安全手段を設け
たので、大気圧を検出する圧力検出器が故障した場合で
も、異常加圧によって真空室が破壊されるのを防止する
ことができる。
真空室と、該真空室を真空にする真空発生手段と、真空
後の前記真空室を大気圧に加圧する加圧手段と、前記真
空室内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器の
検出出力に基づいて前記真空室への加圧を停止させる制
御手段とを備えた真空装置であって、前記真空室の内圧
が大気圧を越えた際に一定値に保持する安全手段を設け
たので、大気圧を検出する圧力検出器が故障した場合で
も、異常加圧によって真空室が破壊されるのを防止する
ことができる。
【図１】本発明による真空装置の一実施例を示す系統図
である。
である。
【図２】本発明による真空装置の他の実施例を示す系統
図である。
図である。
【図３】従来の真空装置を示す系統図である。
１ 真空室
２ 真空配管
３ 真空弁
４ 弁
５ ガス配管
６ 圧力検出器
７ 開閉口
８ 圧力検出器
１０ 制御部
１１ アラーム
１２ 逆止弁
Claims (4)
- 【請求項１】 被処理物の搬入／搬出が可能な真空室
と、該真空室を真空にする真空発生手段と、真空後の前
記真空室を大気圧に加圧する加圧手段と、前記真空室内
の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器の検出出
力に基づいて前記真空室への加圧を停止させる制御手段
とを備えた真空装置であって、前記圧力検出器とは別に
、前記真空室の内圧が大気圧を越えた際に一定値に保持
する安全手段を設けたことを特徴とする真空装置。 - 【請求項２】 前記安全手段は、前記真空室の破壊圧
以前の圧力値の到達を検出する圧力検出器と、該圧力検
出器の検出値に基づいて前記真空室に対する加圧を中止
する制御手段とを有することを特徴とする請求項１記載
の真空装置。 - 【請求項３】 前記安全手段は、前記真空室の破壊圧
以下の圧力値で作動するリーク手段であることを特徴と
する請求項１記載の真空装置。 - 【請求項４】 前記安全手段は、前記真空室の内圧が
大気圧を越え、かつ前記真空室の破壊圧以下に設定した
圧力値を検出したことをもって警報を発する警報手段を
設けたことを特徴とする請求項１記載の真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148591A JPH04297577A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148591A JPH04297577A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | 真空装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04297577A true JPH04297577A (ja) | 1992-10-21 |
Family
ID=13172436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6148591A Pending JPH04297577A (ja) | 1991-03-26 | 1991-03-26 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04297577A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014226655A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 日立工機株式会社 | 遠心機 |
| JP2018115392A (ja) * | 2018-03-01 | 2018-07-26 | ピコサン オーワイＰｉｃｏｓｕｎ Ｏｙ | Ａｌｄコーティングによるガスコンテナ内部の保護 |
| US11326254B2 (en) | 2014-03-03 | 2022-05-10 | Picosun Oy | Protecting an interior of a gas container with an ALD coating |
-
1991
- 1991-03-26 JP JP6148591A patent/JPH04297577A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014226655A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 日立工機株式会社 | 遠心機 |
| US11326254B2 (en) | 2014-03-03 | 2022-05-10 | Picosun Oy | Protecting an interior of a gas container with an ALD coating |
| JP2018115392A (ja) * | 2018-03-01 | 2018-07-26 | ピコサン オーワイＰｉｃｏｓｕｎ Ｏｙ | Ａｌｄコーティングによるガスコンテナ内部の保護 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8851099B2 (en) | Pipe monitoring system and method | |
| JP3284942B2 (ja) | ガスリーク検査方法と装置及び記録媒体 | |
| JP4410854B2 (ja) | 包装材のシール性の検査 | |
| US5417236A (en) | Automated process gas supply system for evacuating a process line | |
| US6253783B1 (en) | Method for sub-atmospheric gas delivery with backflow control | |
| KR940006184A (ko) | 감압처리장치 및 감압처리방법 | |
| JPH07148427A (ja) | シリンダ付ガス供給装置 | |
| JPH07146199A (ja) | 大きな漏れを検出するための装置及び方法 | |
| JPH0560645A (ja) | 真空系多目的検査およびガス分析装置 | |
| JPH1030798A (ja) | 半導体製造用ガス供給設備におけるガス漏洩監視装置 | |
| JP6817164B2 (ja) | 放射性物質の貯蔵容器 | |
| JPH0341272A (ja) | 装置を過圧から保護する器具 | |
| EP1333187B1 (en) | Exhaust apparatus with control means for a multistage labyrinth seal of a hydrostatic bearing used in vacuum | |
| JP2959579B2 (ja) | Ｘ線露光装置 | |
| JP2658643B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH0429678A (ja) | 非接触式ドライガスシールの異常検出システム | |
| JPH0831369A (ja) | ガス供給装置 | |
| JPH03117800A (ja) | 危険ガス容器保管庫 | |
| JPH0735094A (ja) | 圧縮機のサージング防止装置 | |
| JPH0449613A (ja) | Ｘ線露光装置 | |
| JP4975278B2 (ja) | 筐体の接合機構 | |
| JPH08191075A (ja) | 半導体製造装置の熱処理炉 | |
| JPH085545Y2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| KR20070045792A (ko) | 반도체 제조 설비의 진공 누출 감지 시스템 및 그의 설비인터락 제어 방법 | |
| JPH06174281A (ja) | クリーンルームの圧力破壊防止装置 |