JPH042988U - - Google Patents
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- JPH042988U JPH042988U JP4269690U JP4269690U JPH042988U JP H042988 U JPH042988 U JP H042988U JP 4269690 U JP4269690 U JP 4269690U JP 4269690 U JP4269690 U JP 4269690U JP H042988 U JPH042988 U JP H042988U
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- JP
- Japan
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- mover
- electrostatic actuator
- stator
- electrodes arranged
- insulators
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- Pending
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Landscapes
- Micromachines (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す静電アクチユエ
ータの断面の構造および電位分布を示す図、第２
図は従来の静電アクチユエータの断面の構造およ
び電位分布を示す図、第３図は従来の静電アクチ
ユエータの断面展開図である。 １……固定子、２……移動子、４……導体板、
１１，１２，１３……固定子電極、２１……絶縁
体、２２……金属または強誘電体。
ータの断面の構造および電位分布を示す図、第２
図は従来の静電アクチユエータの断面の構造およ
び電位分布を示す図、第３図は従来の静電アクチ
ユエータの断面展開図である。 １……固定子、２……移動子、４……導体板、
１１，１２，１３……固定子電極、２１……絶縁
体、２２……金属または強誘電体。
Claims (1)
- 金属または強誘電体と誘電率の小さい絶縁体と
が移動方向に所定のピツチで交互に複数個配置さ
れ、可動自在に支持された移動子と前記移動子に
空隙を介して対向して、前記金属または強誘電体
と所定の関係を持つピツチで配設された電極を備
えた固定子とから構成された静電アクチユエータ
において、移動子の移動方向に配置された前記複
数の固定子電極の間に、前記電極とは電気的に絶
縁されたほぼ同じ板厚の導体板を備えたことを特
徴とする静電アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4269690U JPH042988U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4269690U JPH042988U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042988U true JPH042988U (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=31554465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4269690U Pending JPH042988U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042988U (ja) |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP4269690U patent/JPH042988U/ja active Pending
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