JPH04305360A - Ａｌを含有する耐熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法 - Google Patents
Ａｌを含有する耐熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法Info
- Publication number
- JPH04305360A JPH04305360A JP2416640A JP41664090A JPH04305360A JP H04305360 A JPH04305360 A JP H04305360A JP 2416640 A JP2416640 A JP 2416640A JP 41664090 A JP41664090 A JP 41664090A JP H04305360 A JPH04305360 A JP H04305360A
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- JP
- Japan
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- vacuum
- pump
- brazing
- furnace
- diffusion pump
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は耐熱鋼の真空ロウ付け炉
運転方法に関するものである。
運転方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空ロウ付けの対象素材として、
アルミ（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、ステンレス鋼等が用いら
れている。このなかで、Ａｌを含有した耐熱鋼（ステン
レス鋼）の真空ロウ付けにおいては、昇熱時に真空度が
十分で無かった場合、鋼の表面にＡｌの酸化皮膜が生成
され、ロウ材溶融時に、流れ込み不良が発生することが
判明した。
アルミ（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、ステンレス鋼等が用いら
れている。このなかで、Ａｌを含有した耐熱鋼（ステン
レス鋼）の真空ロウ付けにおいては、昇熱時に真空度が
十分で無かった場合、鋼の表面にＡｌの酸化皮膜が生成
され、ロウ材溶融時に、流れ込み不良が発生することが
判明した。
【０００３】Ａｌの酸化皮膜生成を防止するには、真空
度をあるレベル以上に維持することが必要であり、設備
としては図３に示す如く、真空炉１に対して拡散ポンプ
２、メカニカルブースターポンプ３、油回転ポンプ４な
どを用いて真空度を維持して運転を行っていた。
度をあるレベル以上に維持することが必要であり、設備
としては図３に示す如く、真空炉１に対して拡散ポンプ
２、メカニカルブースターポンプ３、油回転ポンプ４な
どを用いて真空度を維持して運転を行っていた。
【０００４】連続式で無い真空炉を使用してロウ付けを
行う場合、ロウ材を固定するために使用したバンダー材
が昇熱時に蒸発し、拡散ポンプ２、メカニカルブースタ
ーポンプ３、油回転ポンプ４の順に真空排気系を経由し
て炉外に排出される。そのため蒸発したバインダー材が
各真空ポンプの油中に混入固形化し、各真空ポンプの内
部機構の汚染、性能劣化の原因となっていた。特に、拡
散ポンプは必要な高真空を維持するため、頻繁なポンプ
油の交換と内部清掃を必要としていたことと、拡散ポン
プの使用油が高価であるため改善が望まれていた。
行う場合、ロウ材を固定するために使用したバンダー材
が昇熱時に蒸発し、拡散ポンプ２、メカニカルブースタ
ーポンプ３、油回転ポンプ４の順に真空排気系を経由し
て炉外に排出される。そのため蒸発したバインダー材が
各真空ポンプの油中に混入固形化し、各真空ポンプの内
部機構の汚染、性能劣化の原因となっていた。特に、拡
散ポンプは必要な高真空を維持するため、頻繁なポンプ
油の交換と内部清掃を必要としていたことと、拡散ポン
プの使用油が高価であるため改善が望まれていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述した如く
、ロウ材を固定するためバインダー材を用いた真空ロウ
付炉の運転を行う際、バインダー材が蒸発して真空炉を
汚染する問題を解決する極めて有利な耐熱鋼の真空ロウ
付け炉の運転方法を提供することを目的とするものであ
る。
、ロウ材を固定するためバインダー材を用いた真空ロウ
付炉の運転を行う際、バインダー材が蒸発して真空炉を
汚染する問題を解決する極めて有利な耐熱鋼の真空ロウ
付け炉の運転方法を提供することを目的とするものであ
る。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】本発明の要旨は、ロウ
材を固定するバインダー材の蒸発と、ロウ材の溶融凝固
が同一真空炉室内において行われる耐熱鋼の真空ロウ付
け炉運転方法において、バインダーが蒸発する温度領域
においてはメカニカルブースターポンプと油回転ポンプ
を用いて運転を行い、バインダー材の蒸発後には拡散ポ
ンプとメカニカルブースターポンプと油回転ポンプを用
いて運転することを特徴とする耐熱鋼の真空ロウ付け炉
運転方法にある。即ち、本発明は複数のポンプを用いて
排気する真空炉において、バインダー材が蒸発する温度
領域は拡散ポンプを経由しない排気系統を用いて排気運
転を行い、高真空を必要とする際、バインダー材が蒸発
した後に拡散ポンプを起動させ、拡散ポンプを運転する
ようにしたものである。
材を固定するバインダー材の蒸発と、ロウ材の溶融凝固
が同一真空炉室内において行われる耐熱鋼の真空ロウ付
け炉運転方法において、バインダーが蒸発する温度領域
においてはメカニカルブースターポンプと油回転ポンプ
を用いて運転を行い、バインダー材の蒸発後には拡散ポ
ンプとメカニカルブースターポンプと油回転ポンプを用
いて運転することを特徴とする耐熱鋼の真空ロウ付け炉
運転方法にある。即ち、本発明は複数のポンプを用いて
排気する真空炉において、バインダー材が蒸発する温度
領域は拡散ポンプを経由しない排気系統を用いて排気運
転を行い、高真空を必要とする際、バインダー材が蒸発
した後に拡散ポンプを起動させ、拡散ポンプを運転する
ようにしたものである。
【０００７】以下、本発明を図１を用いて詳細に説明す
る。本発明は図示の如く、真空炉１に対して拡散ポンプ
２、メカニカルブースターポンプ３、油回転ポンプ４を
用いて耐熱鋼の真空ロウ付け炉の運転を行うものである
が、拡散ポンプ２とメカニカルブースターポンプ３の間
の配管７ａに、真空炉１から接続する配管７ｂを設けて
いる。配管７ａには真空弁６を設けており、配管７ｂに
は真空弁５を設けている。
る。本発明は図示の如く、真空炉１に対して拡散ポンプ
２、メカニカルブースターポンプ３、油回転ポンプ４を
用いて耐熱鋼の真空ロウ付け炉の運転を行うものである
が、拡散ポンプ２とメカニカルブースターポンプ３の間
の配管７ａに、真空炉１から接続する配管７ｂを設けて
いる。配管７ａには真空弁６を設けており、配管７ｂに
は真空弁５を設けている。
【０００８】このような真空ロウ付け炉を用いるもので
あるが、真空炉全体としての運転パターンはプリセット
プログラムによる無人運転で行う。即ち、真空ロウ付け
炉を運転する際、先ず、真空炉１から配管７ｂの系統に
て真空弁５を開とし、真空弁６を閉とし、メカニカルブ
ースターポンプ３と油回転ポンプ４を起動させて排気運
転を行う。常温から徐々に昇温させ、ロウ材を固定する
ために用いるバインダー材が蒸発する温度領域の間はこ
の状態で運転を行い、バインダー材の蒸発後は真空弁５
を閉とし、配管７ａの真空弁６を開にする真空弁の自動
切替えを行い、拡散ポンプ２とメカニカルブースターポ
ンプ３と油回転ポンプ４を用いて排気運転を行って高真
空を達成し、耐熱鋼の表面にＡｌの酸化皮膜が生成され
るのを防止した高真空状態のままロウ材の溶融（約１２
００℃）及び凝固を行い、その後、炉内冷却を行う。
あるが、真空炉全体としての運転パターンはプリセット
プログラムによる無人運転で行う。即ち、真空ロウ付け
炉を運転する際、先ず、真空炉１から配管７ｂの系統に
て真空弁５を開とし、真空弁６を閉とし、メカニカルブ
ースターポンプ３と油回転ポンプ４を起動させて排気運
転を行う。常温から徐々に昇温させ、ロウ材を固定する
ために用いるバインダー材が蒸発する温度領域の間はこ
の状態で運転を行い、バインダー材の蒸発後は真空弁５
を閉とし、配管７ａの真空弁６を開にする真空弁の自動
切替えを行い、拡散ポンプ２とメカニカルブースターポ
ンプ３と油回転ポンプ４を用いて排気運転を行って高真
空を達成し、耐熱鋼の表面にＡｌの酸化皮膜が生成され
るのを防止した高真空状態のままロウ材の溶融（約１２
００℃）及び凝固を行い、その後、炉内冷却を行う。
【０００９】上記バインダー材が蒸発する温度領域は１
５０℃〜４００℃の範囲であり、この温度領域内で真空
弁を介して排気系列の切替えを行うものである。即ち、
本発明はバインダー材の蒸発はロウ溶融温度よりかなり
低い温度で行われることに着目し、温度帯域別の排気系
列の切替えを行うようにしたものである。
５０℃〜４００℃の範囲であり、この温度領域内で真空
弁を介して排気系列の切替えを行うものである。即ち、
本発明はバインダー材の蒸発はロウ溶融温度よりかなり
低い温度で行われることに着目し、温度帯域別の排気系
列の切替えを行うようにしたものである。
【００１０】尚、本発明はバインダー材が蒸発する温度
領域を、拡散ポンプを用いないで真空ロウ付け炉の運転
を行うもので、その態様は前述した系統の他に、次に示
す系統を用いてもよい。即ち、昇温開始前に配管７ａの
真空弁６を開にし、配管７ｂの真空弁５を閉にして拡散
ポンプ、メカニカルブースターポンプ、油回転ポンプを
用いる系統にし、真空ロウ付けに必要な高真空を達成す
る（炉のリークが発生していないことを確認）。その後
、昇温を開始し、バインダー材が蒸発してくる温度（約
１５０℃）になったら真空弁６を閉にし、真空弁５を開
にする真空弁の自動切替えを行い、拡散ポンプ２を経由
しない系統に切り換える。
領域を、拡散ポンプを用いないで真空ロウ付け炉の運転
を行うもので、その態様は前述した系統の他に、次に示
す系統を用いてもよい。即ち、昇温開始前に配管７ａの
真空弁６を開にし、配管７ｂの真空弁５を閉にして拡散
ポンプ、メカニカルブースターポンプ、油回転ポンプを
用いる系統にし、真空ロウ付けに必要な高真空を達成す
る（炉のリークが発生していないことを確認）。その後
、昇温を開始し、バインダー材が蒸発してくる温度（約
１５０℃）になったら真空弁６を閉にし、真空弁５を開
にする真空弁の自動切替えを行い、拡散ポンプ２を経由
しない系統に切り換える。
【００１１】次いで、バインダー材が蒸発完了した温度
（約４００℃）で前述した如く、真空弁の自動切替えを
行い拡散ポンプ２を経由する系統に復帰して高真空を達
成しても良い。このように本発明では、蒸発時間８内は
拡散ポンプ２は使用されず、従ってバインダーによる運
転トラブルを発生させない。
（約４００℃）で前述した如く、真空弁の自動切替えを
行い拡散ポンプ２を経由する系統に復帰して高真空を達
成しても良い。このように本発明では、蒸発時間８内は
拡散ポンプ２は使用されず、従ってバインダーによる運
転トラブルを発生させない。
【００１２】
【実施例】図１に示す設備構成で、図２に示す運転パタ
ーンを実施した。その時の真空度の状況は次の如くであ
った。
ーンを実施した。その時の真空度の状況は次の如くであ
った。
【００１３】
昇熱開始前の真空度 ２×１０
−４Ｔｏｒｒ（拡散ポンプ使用） ６０℃バイン
ダー蒸発中の真空度 １×１０−２Ｔｏｒｒ
（拡散ポンプ不使用）２００℃バインダー蒸発後の真空
度 ４×１０−４Ｔｏｒｒ（拡散ポンプ使用
） ４００℃ロウ材の溶融凝固中の真空度 ６
×１０−４Ｔｏｒｒ（拡散ポンプ使用）１２００℃以上
の如く、Ａｌの酸化皮膜が生成されることが懸念される
温度帯域での高真空を確保するとともに、蒸発したバイ
ンダー材が拡散ポンプの油中に混入固形化することが皆
無であった。
−４Ｔｏｒｒ（拡散ポンプ使用） ６０℃バイン
ダー蒸発中の真空度 １×１０−２Ｔｏｒｒ
（拡散ポンプ不使用）２００℃バインダー蒸発後の真空
度 ４×１０−４Ｔｏｒｒ（拡散ポンプ使用
） ４００℃ロウ材の溶融凝固中の真空度 ６
×１０−４Ｔｏｒｒ（拡散ポンプ使用）１２００℃以上
の如く、Ａｌの酸化皮膜が生成されることが懸念される
温度帯域での高真空を確保するとともに、蒸発したバイ
ンダー材が拡散ポンプの油中に混入固形化することが皆
無であった。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、蒸発したバインダー材
が拡散ポンプの油中に混入固形化することが皆無となり
、拡散ポンプの補修時間、補修費用は従来よりほぼ半分
に削減でき、その効果は極めて大きいものである。
が拡散ポンプの油中に混入固形化することが皆無となり
、拡散ポンプの補修時間、補修費用は従来よりほぼ半分
に削減でき、その効果は極めて大きいものである。
【図１】図１は本発明の耐熱鋼の真空ロウ付け炉の運転
方法を示す説明図である。
方法を示す説明図である。
【図２】図２は本発明の実施例に用いた真空炉の運転パ
ターンを示す図である。
ターンを示す図である。
【図３】図３は従来の耐熱鋼の真空ロウ付け炉の運転方
法を示す説明図である。
法を示す説明図である。
１ 真空炉本体
２ 拡散ポンプ
３ メカニカルブースターポンプ４
油回転ポンプ ５ 真空弁 ６ 真空弁 ７ａ，７ｂ 配管 ８ 蒸発時間
油回転ポンプ ５ 真空弁 ６ 真空弁 ７ａ，７ｂ 配管 ８ 蒸発時間
Claims (1)
- 【請求項１】 ロウ材を固定するバインダー材の蒸発
と、ロウ材の溶融凝固が同一真空炉室内において行われ
る耐熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法において、バインダ
ーが蒸発する温度領域においてはメカニカルブースター
ポンプと油回転ポンプを用いて運転を行い、バインダー
材の蒸発後には拡散ポンプとメカニカルブースターポン
プと油回転ポンプを用いて運転することを特徴とする耐
熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2416640A JPH04305360A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | Ａｌを含有する耐熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2416640A JPH04305360A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | Ａｌを含有する耐熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04305360A true JPH04305360A (ja) | 1992-10-28 |
Family
ID=18524853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2416640A Pending JPH04305360A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | Ａｌを含有する耐熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04305360A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3045253A1 (de) * | 2015-01-19 | 2016-07-20 | PVA Industrial Vacuum Systems GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Entbindern von Lotpasten im Vakuum-Lötofen |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199071A (ja) * | 1987-02-14 | 1988-08-17 | Ulvac Corp | バッチ式真空ロウ付け装置 |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP2416640A patent/JPH04305360A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199071A (ja) * | 1987-02-14 | 1988-08-17 | Ulvac Corp | バッチ式真空ロウ付け装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3045253A1 (de) * | 2015-01-19 | 2016-07-20 | PVA Industrial Vacuum Systems GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Entbindern von Lotpasten im Vakuum-Lötofen |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960123 |