JPH0430725U - - Google Patents
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- JPH0430725U JPH0430725U JP7183890U JP7183890U JPH0430725U JP H0430725 U JPH0430725 U JP H0430725U JP 7183890 U JP7183890 U JP 7183890U JP 7183890 U JP7183890 U JP 7183890U JP H0430725 U JPH0430725 U JP H0430725U
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- JP
- Japan
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Description
第１図および第２図は本考案に係るアライメン
ト測定装置の一実施例を示す図であり、第１図は
アライメント測定パターンのマスクへの配置例を
示す図、第２図はアライメント測定パターンを示
す図、第３図は従来の合わせマークパターンを示
す図である。 １０……マスクパターン、２０……アライメン
ト測定パターン。
ト測定装置の一実施例を示す図であり、第１図は
アライメント測定パターンのマスクへの配置例を
示す図、第２図はアライメント測定パターンを示
す図、第３図は従来の合わせマークパターンを示
す図である。 １０……マスクパターン、２０……アライメン
ト測定パターン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 各層のマスクに大きさの異なる矩形のアライメ
ント測定用合わせパターンおよび被合わせパター
ンを形成し、該合わせパターンと該被合わせパタ
ーンのずれによりマスク間のアライメントずれを
測定するアライメント測定装置において、 各層のマスクに全層の前記合わせパターンおよ
び被合わせパターンを所定の順序により並べて形
成して、各層間のアライメントずれを測定するよ
うに構成されたことを特徴とするアライメント測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990071838U JP2530950Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 基板のアライメントパターン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990071838U JP2530950Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 基板のアライメントパターン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430725U true JPH0430725U (ja) | 1992-03-12 |
| JP2530950Y2 JP2530950Y2 (ja) | 1997-04-02 |
Family
ID=31609231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990071838U Expired - Lifetime JP2530950Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | 基板のアライメントパターン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2530950Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5382173A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-20 | Fujitsu Ltd | Positioning method |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP1990071838U patent/JP2530950Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5382173A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-20 | Fujitsu Ltd | Positioning method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2530950Y2 (ja) | 1997-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |