JPH0430726U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0430726U JPH0430726U JP1990071839U JP7183990U JPH0430726U JP H0430726 U JPH0430726 U JP H0430726U JP 1990071839 U JP1990071839 U JP 1990071839U JP 7183990 U JP7183990 U JP 7183990U JP H0430726 U JPH0430726 U JP H0430726U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- alignment
- layer mask
- alignment measurement
- peripheral part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Description
第１図〜第４図は本考案に係るアライメント測
定装置の一実施例を示す図であり、第１図はアラ
イメント測定パターンを示す図、第２図および第
３図はアライメント測定方法を説明するための図
、第４図はアライメント測定パターンのマスクへ
の配置例を示す図、第５図は従来の合わせマーク
パターンを示す図、第６図は従来のアライメント
測定のためのバーニアを示す図である。 １０……アライメント測定パターン、１０ａ〜
１０ｄ……パターン、１１ａ〜１１ｄ……パター
ンの外周部、１２ａ〜１２ｄ……パターンの内周
部、１３，１４……正方形アライメントパターン
、２１……マスク。
定装置の一実施例を示す図であり、第１図はアラ
イメント測定パターンを示す図、第２図および第
３図はアライメント測定方法を説明するための図
、第４図はアライメント測定パターンのマスクへ
の配置例を示す図、第５図は従来の合わせマーク
パターンを示す図、第６図は従来のアライメント
測定のためのバーニアを示す図である。 １０……アライメント測定パターン、１０ａ〜
１０ｄ……パターン、１１ａ〜１１ｄ……パター
ンの外周部、１２ａ〜１２ｄ……パターンの内周
部、１３，１４……正方形アライメントパターン
、２１……マスク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 各層のマスクにパターンを形成し、該パターン
によりマスク間のアライメントずれを測定するア
ライメント測定装置において、 第１層マスクに各層マスクに対応するアライメ
ント測定パターンを設け、 該アライメント測定パターンは、矩形の外周部
とその同心上に内包される矩形の内周部とからな
るパターンが複数個並べて形成されたものであつ
て、該パターンの外周部はそれぞれ同一の大きさ
に形成されるとともに、前記内周部は同一の大き
さに形成された外周部よりアライメント精度に対
応する所定の大きさだけ各パターン毎に規則性を
もつて小さく形成されていることを特徴とするア
ライメント測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990071839U JP2513540Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | アライメント測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990071839U JP2513540Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | アライメント測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430726U true JPH0430726U (ja) | 1992-03-12 |
| JP2513540Y2 JP2513540Y2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=31609233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990071839U Expired - Fee Related JP2513540Y2 (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | アライメント測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513540Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP1990071839U patent/JP2513540Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2513540Y2 (ja) | 1996-10-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |