JPS63177885U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63177885U JPS63177885U JP6676187U JP6676187U JPS63177885U JP S63177885 U JPS63177885 U JP S63177885U JP 6676187 U JP6676187 U JP 6676187U JP 6676187 U JP6676187 U JP 6676187U JP S63177885 U JPS63177885 U JP S63177885U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electrode
- mask
- repeating pattern
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
第１図から第５図はこの考案の一実施例を示し
、第１図はその基板の要部平面図、第２図はフオ
トマスクの要部平面図、第３図はフオトマスクの
マークの移動状態を示す図、第４図および第５図
はフオトマスクの不正確な移動によつて形成され
たチエツクマークを示す図、第６図ａ〜ｄは従来
例を示す図である。 １０……基板、１１……信号電極、１２……チ
エツクマーク、１３……フオトマスク。
、第１図はその基板の要部平面図、第２図はフオ
トマスクの要部平面図、第３図はフオトマスクの
マークの移動状態を示す図、第４図および第５図
はフオトマスクの不正確な移動によつて形成され
たチエツクマークを示す図、第６図ａ〜ｄは従来
例を示す図である。 １０……基板、１１……信号電極、１２……チ
エツクマーク、１３……フオトマスク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板と、 この基板上に、同一形状の繰り返しパターンが
形成されたマスクをその繰り返しパターンのピツ
チの整数倍の距離だけ移動させて少なくとも２回
露光し、現像、エツチングを行なうことにより形
成された繰り返しパターンの電極と、 前記基板の前記電極が形成された部分以外に形
成され、前記マスクの移動距離の誤差を検出する
誤差検出マークと、 を具備してなる電極基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6676187U JPS63177885U (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6676187U JPS63177885U (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177885U true JPS63177885U (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=30905054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6676187U Pending JPS63177885U (ja) | 1987-05-06 | 1987-05-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63177885U (ja) |
-
1987
- 1987-05-06 JP JP6676187U patent/JPS63177885U/ja active Pending