JPH04307677A - パッド中心点検出方式及びチップ基準点検出方式 - Google Patents
パッド中心点検出方式及びチップ基準点検出方式Info
- Publication number
- JPH04307677A JPH04307677A JP3099493A JP9949391A JPH04307677A JP H04307677 A JPH04307677 A JP H04307677A JP 3099493 A JP3099493 A JP 3099493A JP 9949391 A JP9949391 A JP 9949391A JP H04307677 A JPH04307677 A JP H04307677A
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- JP
- Japan
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- center
- chip
- imaging device
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- pad
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、パッド中心点検出方
式及びチップ基準点検出方式に関し、詳しくは、半導体
チップ等（以下チップ）の導通検査機における位置決め
の基準点の検出方式に関するものである。
式及びチップ基準点検出方式に関し、詳しくは、半導体
チップ等（以下チップ）の導通検査機における位置決め
の基準点の検出方式に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】円形のパッドが隣接してあるいは碁盤目
状に配列されたチップについて、各パッドの導通検査を
導通検査機を用いて行う場合、位置決めのために各パッ
ドの中心点やチップの基準点を検出する必要がある。図
５は、導通検査を行うチップの一例を表す図である。１
は、方形状のチップであり、この表面に円形のパッド２
が碁盤目状に配列されているとする。ここで、図のＸ軸
がＸ１ ，Ｙ軸がＹ１ の位置３（Ｘ１ ，Ｙ１ ）に
おいては、円形パッド２が欠落している。例えば、この
位置３から碁盤目の１区画分だけＹ軸方向に移動した点
４（Ｘ１ ，Ｙ２ ）を基準点とすると、基準点４を検
出して他の円形パッドの位置を求め、各パッドの導通検
査を行っている。そして、この種の従来の導通検査機に
あっては、位置決めのための基準点の検出にはパターン
マッチング法を用いた方式やレーザ方式等が用いられて
いる。
状に配列されたチップについて、各パッドの導通検査を
導通検査機を用いて行う場合、位置決めのために各パッ
ドの中心点やチップの基準点を検出する必要がある。図
５は、導通検査を行うチップの一例を表す図である。１
は、方形状のチップであり、この表面に円形のパッド２
が碁盤目状に配列されているとする。ここで、図のＸ軸
がＸ１ ，Ｙ軸がＹ１ の位置３（Ｘ１ ，Ｙ１ ）に
おいては、円形パッド２が欠落している。例えば、この
位置３から碁盤目の１区画分だけＹ軸方向に移動した点
４（Ｘ１ ，Ｙ２ ）を基準点とすると、基準点４を検
出して他の円形パッドの位置を求め、各パッドの導通検
査を行っている。そして、この種の従来の導通検査機に
あっては、位置決めのための基準点の検出にはパターン
マッチング法を用いた方式やレーザ方式等が用いられて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来技術によってパッドの有無の認識とそのパッドの中
心点及びチップの基準点を検出する方式にあっては、ゴ
ミ等によって誤検出が生じる欠点がある。この発明は、
このような従来技術の問題点を解決するためのものであ
って、ゴミ等の影響が少なく、正確にパッドの中心点及
びチップの基準点を検出することが可能なパッド中心点
検出方式及びチップ基準点検出方式を提供することを目
的とする。
従来技術によってパッドの有無の認識とそのパッドの中
心点及びチップの基準点を検出する方式にあっては、ゴ
ミ等によって誤検出が生じる欠点がある。この発明は、
このような従来技術の問題点を解決するためのものであ
って、ゴミ等の影響が少なく、正確にパッドの中心点及
びチップの基準点を検出することが可能なパッド中心点
検出方式及びチップ基準点検出方式を提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
のこの発明のパッド中心点検出方式の特徴は、撮像装置
と、制御部と、この制御部からの指示に応じて撮像装置
に対して相対的に移動するチップ載置台とを有し、チッ
プ上に隣接して等間隔に配列された円形パッドの中心点
を検出するパッド中心点検出方式であって、制御部は、
撮像装置の視野内において等間隔による正方形の目の範
囲における映像を２値化する処理と、その正方形の目の
縦方向と横方向とで所定の幅において２値化されたデー
タ数のうち円形パッドに対応するデータ数をスキャンし
て検出する処理と、このスキャン検出結果の値が最大と
なる縦方向及び横方向の位置を映像内の円形パッドの中
心とすることを特徴とするパッド中心点検出方式。また
、この発明のチップ基準点検出方式の特徴は、撮像装置
と、制御部と、この制御部からの指示に応じて撮像装置
に対して相対的に移動するチップ載置台とを有し、円形
パッドが隣接して等間隔に配列されたチップの基準点を
検出するチップ基準点検出方式であって、制御部は、撮
像装置の視野内において等間隔による正方形の目の範囲
における映像を２値化する処理と、その正方形の目の縦
方向と横方向とで所定の幅において２値化されたデータ
数のうち円形パッドに対応するデータ数をスキャンして
検出する処理と、このスキャン検出結果の値が最大とな
る縦方向及び横方向の位置を映像内の円形パッドの中心
とし、この中心から縦方向又は横方向に円形パッドの間
隔分だけチップ載置台を移動させる処理とを繰返し行う
ことにより撮像装置のカメラセンタを基準点に一致させ
るものである。
のこの発明のパッド中心点検出方式の特徴は、撮像装置
と、制御部と、この制御部からの指示に応じて撮像装置
に対して相対的に移動するチップ載置台とを有し、チッ
プ上に隣接して等間隔に配列された円形パッドの中心点
を検出するパッド中心点検出方式であって、制御部は、
撮像装置の視野内において等間隔による正方形の目の範
囲における映像を２値化する処理と、その正方形の目の
縦方向と横方向とで所定の幅において２値化されたデー
タ数のうち円形パッドに対応するデータ数をスキャンし
て検出する処理と、このスキャン検出結果の値が最大と
なる縦方向及び横方向の位置を映像内の円形パッドの中
心とすることを特徴とするパッド中心点検出方式。また
、この発明のチップ基準点検出方式の特徴は、撮像装置
と、制御部と、この制御部からの指示に応じて撮像装置
に対して相対的に移動するチップ載置台とを有し、円形
パッドが隣接して等間隔に配列されたチップの基準点を
検出するチップ基準点検出方式であって、制御部は、撮
像装置の視野内において等間隔による正方形の目の範囲
における映像を２値化する処理と、その正方形の目の縦
方向と横方向とで所定の幅において２値化されたデータ
数のうち円形パッドに対応するデータ数をスキャンして
検出する処理と、このスキャン検出結果の値が最大とな
る縦方向及び横方向の位置を映像内の円形パッドの中心
とし、この中心から縦方向又は横方向に円形パッドの間
隔分だけチップ載置台を移動させる処理とを繰返し行う
ことにより撮像装置のカメラセンタを基準点に一致させ
るものである。
【０００５】
【作用】カメラ視野内に正方形のウインドウを設け、こ
のウインドウ内の映像を２値化し、例えばウインドウ内
の画素（データ）を縦方向と横方向とでスキャンし、こ
のスキャン結果の画素値が最大となる縦方向及び横方向
の位置をウインドウ内の円形パッドの中心とし、この中
心から縦方向又は横方向に円形パッドの間隔分だけチッ
プ載置台を移動させるといった一連の処理を繰返すこと
によって、カメラセンタを基準点に精度良く一致させる
ため、ゴミ等の影響が少なく、正確な基準点検出を行う
ことができる。
のウインドウ内の映像を２値化し、例えばウインドウ内
の画素（データ）を縦方向と横方向とでスキャンし、こ
のスキャン結果の画素値が最大となる縦方向及び横方向
の位置をウインドウ内の円形パッドの中心とし、この中
心から縦方向又は横方向に円形パッドの間隔分だけチッ
プ載置台を移動させるといった一連の処理を繰返すこと
によって、カメラセンタを基準点に精度良く一致させる
ため、ゴミ等の影響が少なく、正確な基準点検出を行う
ことができる。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の一実施例について、図面を
参照して詳細に説明する。図１は、この発明のチップ基
準点検出方式を用いてチップ１の表面を撮像装置（例え
ばＣＣＤカメラ６）で写した映像の一例を表す図である
。ＣＣＤカメラ６のカメラセンタには、碁盤目の１区画
（一辺が隣り合う円形パッド２の間隔に等しい正方形）
の目のウインドウ５が設けられるように採取映像データ
がデータ処理される。図２は、この発明のチップ基準点
検出方式のブロック図を表す図である。制御部１０は、
バス１１を介して視覚コントローラ７及び機構制御部８
との間でデータの授受を行う。視覚コントローラ７は、
制御部１０の制御にしたがって、ＣＣＤカメラ６から受
けた信号を映像データとして制御部１０に送出する。機
構制御部８は、制御部１０の制御にしたがって、チップ
載置台や導通検査装置等で構成された機構部９の制御を
行う。
参照して詳細に説明する。図１は、この発明のチップ基
準点検出方式を用いてチップ１の表面を撮像装置（例え
ばＣＣＤカメラ６）で写した映像の一例を表す図である
。ＣＣＤカメラ６のカメラセンタには、碁盤目の１区画
（一辺が隣り合う円形パッド２の間隔に等しい正方形）
の目のウインドウ５が設けられるように採取映像データ
がデータ処理される。図２は、この発明のチップ基準点
検出方式のブロック図を表す図である。制御部１０は、
バス１１を介して視覚コントローラ７及び機構制御部８
との間でデータの授受を行う。視覚コントローラ７は、
制御部１０の制御にしたがって、ＣＣＤカメラ６から受
けた信号を映像データとして制御部１０に送出する。機
構制御部８は、制御部１０の制御にしたがって、チップ
載置台や導通検査装置等で構成された機構部９の制御を
行う。
【０００７】チップ１は、機構部９のチップ載置台上に
ラフに置かれるため、通常、図１に示すように、ウイン
ドウ５内の円形パッド２の中心とウインドウ５の中心（
カメラセンタ）とは一致していない。そこで、チップの
基準点を検出するための最初の段階として、ウインドウ
５内の円形パッド２の中心の位置を求め、それがカメラ
センタと一致するようにチップ１を移動させる処理を行
う。
ラフに置かれるため、通常、図１に示すように、ウイン
ドウ５内の円形パッド２の中心とウインドウ５の中心（
カメラセンタ）とは一致していない。そこで、チップの
基準点を検出するための最初の段階として、ウインドウ
５内の円形パッド２の中心の位置を求め、それがカメラ
センタと一致するようにチップ１を移動させる処理を行
う。
【０００８】ウインドウ５内の円形パッド２の中心を求
めるには、ウインドウ５内の映像を２値化し、その画素
対応の映像をＸ軸方向及びＹ軸方向にスキャン（スライ
ス）し、そのスキャン結果（パッド部分に対応する２値
化した画素またはこれに対応するデータ数）が最大とな
るＸ座標およびＹ座標を求める。図３は、この処理の例
を説明するための図であり、ウインドウ５内に１つだけ
円形パッド２がある場合（ａ），ウインドウ５の左右に
２つ円形パッド２がある場合（ｂ），ウインドウ５の上
下に２つ円形パッド２がある場合（ｃ），ウインドウ５
の４つの端部のそれぞれに円形パッド２がある場合（ｄ
）の４つの例を示している。ウインドウ５が円形パッド
２の碁盤目状の配列の１区画分の正方形に等しいため、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向にスキャンしてその結果のデータ
数（画素数）が最大となるＸ座標（Ｘ最大スライス点）
及びＹ座標（Ｙ最大スライス点）を求めると、前記４つ
のいずれの場合であっても、ウインドウ５内で最大の面
積を持つ円形パッド２の中心点のＸ座標がＸ最大スライ
ス点となり、その中心点のＹ座標がＹ最大スライス点と
なる。制御部１０は、チップ載置台を、Ｘ軸方向にカメ
ラセンタのＸ座標とＸ最大スライス点との差分だけ移動
させ、Ｙ軸方向にカメラセンタのＹ座標とＹ最大スライ
ス点との差分だけ移動させるように機構制御部８にコマ
ンドを送出し、円形パッド２の中心点をカメラセンタに
一致させる。
めるには、ウインドウ５内の映像を２値化し、その画素
対応の映像をＸ軸方向及びＹ軸方向にスキャン（スライ
ス）し、そのスキャン結果（パッド部分に対応する２値
化した画素またはこれに対応するデータ数）が最大とな
るＸ座標およびＹ座標を求める。図３は、この処理の例
を説明するための図であり、ウインドウ５内に１つだけ
円形パッド２がある場合（ａ），ウインドウ５の左右に
２つ円形パッド２がある場合（ｂ），ウインドウ５の上
下に２つ円形パッド２がある場合（ｃ），ウインドウ５
の４つの端部のそれぞれに円形パッド２がある場合（ｄ
）の４つの例を示している。ウインドウ５が円形パッド
２の碁盤目状の配列の１区画分の正方形に等しいため、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向にスキャンしてその結果のデータ
数（画素数）が最大となるＸ座標（Ｘ最大スライス点）
及びＹ座標（Ｙ最大スライス点）を求めると、前記４つ
のいずれの場合であっても、ウインドウ５内で最大の面
積を持つ円形パッド２の中心点のＸ座標がＸ最大スライ
ス点となり、その中心点のＹ座標がＹ最大スライス点と
なる。制御部１０は、チップ載置台を、Ｘ軸方向にカメ
ラセンタのＸ座標とＸ最大スライス点との差分だけ移動
させ、Ｙ軸方向にカメラセンタのＹ座標とＹ最大スライ
ス点との差分だけ移動させるように機構制御部８にコマ
ンドを送出し、円形パッド２の中心点をカメラセンタに
一致させる。
【０００９】つぎに、ウインドウ５を碁盤目の１区画分
だけ隣（例えば左隣）に移し、同様の処理を行うことに
よって、Ｘ最大スライス点とＹ最大スライス点とをもと
め、その座標分だけチップ載置台またはＣＣＤカメラ６
を相対的に移動させることでウインドウ５内の円形パッ
ド２の中心点をカメラセンタに一致させる。このような
処理を繰返して、ウインドウ５がチップ１の左端の列の
円形パッドの位置に到達すると、その左隣の１区画分の
スキャン結果は、Ｘ軸方向についてもＹ軸方向について
も全て０となる。このとき、ウインドウ５を移動させる
方向を上隣に変えて、同様の処理を行う。この処理を繰
返すと、最終的には上隣に円形パッド２がない区画１４
（図４参照）にウインドウ５が到達し、チップの基準点
４（Ｘ１，Ｙ２）を簡単に検出することができる。
だけ隣（例えば左隣）に移し、同様の処理を行うことに
よって、Ｘ最大スライス点とＹ最大スライス点とをもと
め、その座標分だけチップ載置台またはＣＣＤカメラ６
を相対的に移動させることでウインドウ５内の円形パッ
ド２の中心点をカメラセンタに一致させる。このような
処理を繰返して、ウインドウ５がチップ１の左端の列の
円形パッドの位置に到達すると、その左隣の１区画分の
スキャン結果は、Ｘ軸方向についてもＹ軸方向について
も全て０となる。このとき、ウインドウ５を移動させる
方向を上隣に変えて、同様の処理を行う。この処理を繰
返すと、最終的には上隣に円形パッド２がない区画１４
（図４参照）にウインドウ５が到達し、チップの基準点
４（Ｘ１，Ｙ２）を簡単に検出することができる。
【００１０】そこで、ウインドウ５が区画１４に到達す
ると、制御部１０は、その区画が実際に基準点４を含む
区画であるか否かを確認する処理を行う。この処理は、
区画１４の上隣の区画１５，右上の区画１７，下隣の区
画１８及び左隣の区画１６（図４参照）の映像をそれぞ
れスキャンし、区画１５と区画１６には円形パッド２が
なく、区画１７と区画１８には円形パッド２があるとい
う条件が成立しているか否かを判定する処理である。と
ころで、先に説明した画素数とデータ数とは画素とデー
タとが１対１に対応する場合に限らず、複数の画素が１
データとしてカウントされてもよい。
ると、制御部１０は、その区画が実際に基準点４を含む
区画であるか否かを確認する処理を行う。この処理は、
区画１４の上隣の区画１５，右上の区画１７，下隣の区
画１８及び左隣の区画１６（図４参照）の映像をそれぞ
れスキャンし、区画１５と区画１６には円形パッド２が
なく、区画１７と区画１８には円形パッド２があるとい
う条件が成立しているか否かを判定する処理である。と
ころで、先に説明した画素数とデータ数とは画素とデー
タとが１対１に対応する場合に限らず、複数の画素が１
データとしてカウントされてもよい。
【００１１】以上説明してきた実施例においては、チッ
プ１の左上の点４（Ｘ１ ，Ｙ２ ）に基準点がある場
合を例に説明したが、チップの基準点が他のどの位置に
あってもこの発明を適応して検出することが可能である
ことは勿論である。また、ウインドウ５を基準点を含む
区画に到達させる手順として、任意の区画から最初はウ
インドウ５を左隣に移動させる処理を繰返し、ウインド
ウ５が左端の区画に達したときに今度は上隣に移動させ
るといった処理手順を例に説明しているが、このような
手順に拘束される必要はなく、基準点のある位置に応じ
て、様々な手順でその位置にウインドウ５を到達させる
ことが可能であることはいうまでもない。
プ１の左上の点４（Ｘ１ ，Ｙ２ ）に基準点がある場
合を例に説明したが、チップの基準点が他のどの位置に
あってもこの発明を適応して検出することが可能である
ことは勿論である。また、ウインドウ５を基準点を含む
区画に到達させる手順として、任意の区画から最初はウ
インドウ５を左隣に移動させる処理を繰返し、ウインド
ウ５が左端の区画に達したときに今度は上隣に移動させ
るといった処理手順を例に説明しているが、このような
手順に拘束される必要はなく、基準点のある位置に応じ
て、様々な手順でその位置にウインドウ５を到達させる
ことが可能であることはいうまでもない。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明にあって
は、円形パッドの等間隔の配列の１区画分のウインドウ
内の映像を縦方向と横方向とでスキャンし、このスキャ
ン結果のデータ値が最大となる縦方向及び横方向の位置
をウインドウ内の円形パッドの中心としているため、ゴ
ミ等の影響を受けにくく、円形パッドの中心の位置をカ
メラセンタに正確に合わせることができる。また、この
中心から縦方向又は横方向に円形パッドの間隔分だけチ
ップ載置台を移動させ、再びウインドウ内の円形パッド
の中心をカメラセンタに合わせるといった一連の処理を
繰返すことによって、カメラセンタをチップ基準点に一
致させるため、ゴミ等の影響が少なく、正確な基準点検
出を行うことができる。
は、円形パッドの等間隔の配列の１区画分のウインドウ
内の映像を縦方向と横方向とでスキャンし、このスキャ
ン結果のデータ値が最大となる縦方向及び横方向の位置
をウインドウ内の円形パッドの中心としているため、ゴ
ミ等の影響を受けにくく、円形パッドの中心の位置をカ
メラセンタに正確に合わせることができる。また、この
中心から縦方向又は横方向に円形パッドの間隔分だけチ
ップ載置台を移動させ、再びウインドウ内の円形パッド
の中心をカメラセンタに合わせるといった一連の処理を
繰返すことによって、カメラセンタをチップ基準点に一
致させるため、ゴミ等の影響が少なく、正確な基準点検
出を行うことができる。
【図１】この発明のチップ基準点検出方式を用いてチッ
プの表面を撮像装置で写した映像の一例を表す図である
。
プの表面を撮像装置で写した映像の一例を表す図である
。
【図２】この発明のチップ基準点検出方式の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図３】ウインドウ内の円形パッドの中心を求める処理
の説明図である。
の説明図である。
【図４】ウインドウがチップ基準点を含む区画に到達し
たか否かを確認するための処理の説明図。
たか否かを確認するための処理の説明図。
【図５】導通検査を行うチップの一例を表す図である。
１ チップ
２ 円形パッド
３ 円形パッドが欠落している位置
４ チップ基準点
５ ウインドウ
６ ＣＣＤカメラ
７ 視覚コントローラ
８ 機構制御部
９ 機構部
１０ 制御部
１１ バス
１２ バス
１３ コンピュータ
１４ チップ基準点を含む区画
１５ 区画１４の上隣の区画
１６ 区画１４の左隣の区画
１７ 区画１４の右上の区画
１８ 区画１４の下隣の区画
Claims (2)
- 【請求項１】 撮像装置と、制御部と、この制御部か
らの指示に応じて前記撮像装置に対して相対的に移動す
るチップ載置台とを有し、チップ上に隣接して等間隔に
配列された円形パッドの中心点を検出するパッド中心点
検出方式であって、前記制御部は、前記撮像装置の視野
内において前記等間隔による正方形の目の範囲における
映像を２値化する処理と、前記正方形の目の縦方向と横
方向とで所定の幅において２値化されたデータ数のうち
前記円形パッドに対応するデータ数をスキャンして検出
する処理と、このスキャン検出結果の値が最大となる前
記縦方向及び前記横方向の位置を前記映像内の前記円形
パッドの中心とすることを特徴とするパッド中心点検出
方式。 - 【請求項２】 撮像装置と、制御部と、この制御部か
らの指示に応じて前記撮像装置に対して相対的に移動す
るチップ載置台とを有し、円形パッドが隣接して等間隔
に配列されたチップの基準点を検出するチップ基準点検
出方式であって、前記制御部は、前記撮像装置の視野内
において前記等間隔による正方形の目の範囲における映
像を２値化する処理と、前記正方形の目の縦方向と横方
向とで所定の幅において２値化されたデータ数のうち前
記円形パッドに対応するデータ数をスキャンして検出す
る処理と、このスキャン検出結果の値が最大となる前記
縦方向及び前記横方向の位置を前記映像内の前記円形パ
ッドの中心とし、この中心から前記縦方向又は前記横方
向に前記円形パッドの間隔分だけ前記チップ載置台を移
動させる処理とを繰返し行うことにより前記撮像装置の
カメラセンタを前記基準点に一致させることを特徴とす
るチップ基準点検出方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3099493A JPH04307677A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | パッド中心点検出方式及びチップ基準点検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3099493A JPH04307677A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | パッド中心点検出方式及びチップ基準点検出方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04307677A true JPH04307677A (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=14248826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3099493A Pending JPH04307677A (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | パッド中心点検出方式及びチップ基準点検出方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04307677A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5614825B1 (ja) * | 2013-11-29 | 2014-10-29 | 上野精機株式会社 | 分類装置、分類方法及び分類プログラム |
-
1991
- 1991-04-04 JP JP3099493A patent/JPH04307677A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5614825B1 (ja) * | 2013-11-29 | 2014-10-29 | 上野精機株式会社 | 分類装置、分類方法及び分類プログラム |
| WO2015079843A1 (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 上野精機株式会社 | 分類装置、分類方法、分類プログラム、移載装置、移載方法及び移載プログラム |
| WO2015079585A1 (ja) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 上野精機株式会社 | 分類装置、分類方法及び分類プログラム |
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