JPH04312914A - 紫外線照射装置 - Google Patents
紫外線照射装置Info
- Publication number
- JPH04312914A JPH04312914A JP3011232A JP1123291A JPH04312914A JP H04312914 A JPH04312914 A JP H04312914A JP 3011232 A JP3011232 A JP 3011232A JP 1123291 A JP1123291 A JP 1123291A JP H04312914 A JPH04312914 A JP H04312914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- irradiated
- angle
- arc lamp
- short arc
- ultraviolet rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】〔発明の目的〕
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえばＩＣやＬＳＩ
などの集積回路を制作する場合の露光工程で使用される
紫外線照射装置に関する。
などの集積回路を制作する場合の露光工程で使用される
紫外線照射装置に関する。
【０００３】
【従来の技術】たとえば集積回路を制作する場合、シリ
コン上の酸化膜を切り抜いたり、アルミニウム配線膜を
切り抜くフォトエッチングが行なわれるが、その工程の
一つに紫外線を照射する露光工程がある。この露光工程
は、フォトマスクを上面に配置した被照射物に、紫外線
を照射することによってフォトマスクによるパターンを
露光するものである。
コン上の酸化膜を切り抜いたり、アルミニウム配線膜を
切り抜くフォトエッチングが行なわれるが、その工程の
一つに紫外線を照射する露光工程がある。この露光工程
は、フォトマスクを上面に配置した被照射物に、紫外線
を照射することによってフォトマスクによるパターンを
露光するものである。
【０００４】このような露光工程は非常に微細な加工を
行なうものであることから、フォトマスクのパターンに
従った忠実な露光を行なうために、従来の紫外線照射装
置では、被照射物に対してほぼ平行光線となるように紫
外線を照射している。
行なうものであることから、フォトマスクのパターンに
従った忠実な露光を行なうために、従来の紫外線照射装
置では、被照射物に対してほぼ平行光線となるように紫
外線を照射している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の紫外
線照射装置では、被照射物に対してほぼ平行な紫外線を
照射しているため、光源からの光の一部のみを露光に関
係させている。このため、光源からの光の多くが無駄と
なると共に、結果として紫外線強度が低い。
線照射装置では、被照射物に対してほぼ平行な紫外線を
照射しているため、光源からの光の一部のみを露光に関
係させている。このため、光源からの光の多くが無駄と
なると共に、結果として紫外線強度が低い。
【０００６】そこで本発明の目的は、光源から光を有効
に利用して露光を行なう紫外線照射装置を提供すること
にある。
に利用して露光を行なう紫外線照射装置を提供すること
にある。
【０００７】〔発明の構成〕
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の紫外線照
射装置は、紫外線を照射するショートアークランプと、
このショートアークランプから照射される紫外線を反射
させて垂線に対して５度以下の角度で被照射物に照射さ
せる反射体とを具備したものである。
射装置は、紫外線を照射するショートアークランプと、
このショートアークランプから照射される紫外線を反射
させて垂線に対して５度以下の角度で被照射物に照射さ
せる反射体とを具備したものである。
【０００９】請求項２記載の紫外線照射装置は、請求項
１記載の紫外線照射装置において、反射体は、ショート
アークランプから照射される紫外線を被照射物を含む広
さの開き角で被照射物を照射するものである。
１記載の紫外線照射装置において、反射体は、ショート
アークランプから照射される紫外線を被照射物を含む広
さの開き角で被照射物を照射するものである。
【００１０】請求項３記載の紫外線照射装置は、請求項
１記載の紫外線照射装置において、反射体は、ショート
アークランプから照射される紫外線を反射させ被照射物
と一致する角度の開き角で被照射物を照射するものであ
る。
１記載の紫外線照射装置において、反射体は、ショート
アークランプから照射される紫外線を反射させ被照射物
と一致する角度の開き角で被照射物を照射するものであ
る。
【００１１】
【作用】請求項１記載の紫外線照射装置は、ショートア
ークランプから照射される紫外線を反射体で反射させて
、垂線に対して５度以下の角度で被照射物に照射させる
ことにより、平行光線を照射する場合と略同様の照射と
する。
ークランプから照射される紫外線を反射体で反射させて
、垂線に対して５度以下の角度で被照射物に照射させる
ことにより、平行光線を照射する場合と略同様の照射と
する。
【００１２】請求項２記載の紫外線照射装置は、請求項
１記載の紫外線照射装置において、ショートアークラン
プのアークの長さに対応して反射された光の開き角を被
照射物を含む広さとすることにより、被照射物に照射さ
せる紫外線を均一にする。
１記載の紫外線照射装置において、ショートアークラン
プのアークの長さに対応して反射された光の開き角を被
照射物を含む広さとすることにより、被照射物に照射さ
せる紫外線を均一にする。
【００１３】請求項３記載の紫外線照射装置は、請求項
１記載の紫外線照射装置において、ショートアークラン
プのアークに対応する反射体からの開き角を被照射物と
一致させることにより、効率良く被照射物に照射される
紫外線を均一にする。
１記載の紫外線照射装置において、ショートアークラン
プのアークに対応する反射体からの開き角を被照射物と
一致させることにより、効率良く被照射物に照射される
紫外線を均一にする。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の紫外線照射装置における一実
施例を図１ないし図７を参照して詳細に説明する。
施例を図１ないし図７を参照して詳細に説明する。
【００１５】図１において、紫外線照射装置は、下面が
開口された略放物形状の反射体１と、光学的に対向して
内包されたショートアークランプ２とから構成されてい
る。この紫外線照射装置の約３ｍ下方には、図示しない
コンベア等が配置され、幅２２５ｍｍのワークおよびマ
スク板からなる被照射物３がこのコンベアでショートア
ークランプ２による照射位置まで送られるようになって
いる。この紫外線照射装置では、反射体１とショートア
ークランプ２と距離、反射体１と被照射物３との距離、
さらに、光軸の傾斜等を適宜調整することができるよう
になっている。
開口された略放物形状の反射体１と、光学的に対向して
内包されたショートアークランプ２とから構成されてい
る。この紫外線照射装置の約３ｍ下方には、図示しない
コンベア等が配置され、幅２２５ｍｍのワークおよびマ
スク板からなる被照射物３がこのコンベアでショートア
ークランプ２による照射位置まで送られるようになって
いる。この紫外線照射装置では、反射体１とショートア
ークランプ２と距離、反射体１と被照射物３との距離、
さらに、光軸の傾斜等を適宜調整することができるよう
になっている。
【００１６】図２は、ショートアークランプ２の形状を
表したもので、このショートアークランプ２はガラスバ
ルブ４内には電極５，６間にアーク部７が形成され、電
極５，６間は６ｍｍとなっている。また、ショートアー
クランプ２のアークが生ずるアーク部７の大きさもショ
ートアークランプ２を交換することにより調整できるよ
うになっている。
表したもので、このショートアークランプ２はガラスバ
ルブ４内には電極５，６間にアーク部７が形成され、電
極５，６間は６ｍｍとなっている。また、ショートアー
クランプ２のアークが生ずるアーク部７の大きさもショ
ートアークランプ２を交換することにより調整できるよ
うになっている。
【００１７】図３は、反射体１の断面形状を表したもの
である。反射体１は厚さ約１．５ｍｍ のアルミニウム
板で形成されている。この反射体１の断面形状は、次の
表１を満足するような放物形状に形成されており、ショ
ートアークランプ２から放射される紫外線が図１に示す
ように垂線に対する角度Ｒが５度以下、好ましくは、４
．５ 度以下の角度で反射されるようになっている。す
なわち、反射体１に内包するショートアークランプ２が
配置される位置を原点（Ｏ，Ｏ）とした座標（Ｘ，Ｙ）
の表１を満足する形状に反射体１が形成されている。
である。反射体１は厚さ約１．５ｍｍ のアルミニウム
板で形成されている。この反射体１の断面形状は、次の
表１を満足するような放物形状に形成されており、ショ
ートアークランプ２から放射される紫外線が図１に示す
ように垂線に対する角度Ｒが５度以下、好ましくは、４
．５ 度以下の角度で反射されるようになっている。す
なわち、反射体１に内包するショートアークランプ２が
配置される位置を原点（Ｏ，Ｏ）とした座標（Ｘ，Ｙ）
の表１を満足する形状に反射体１が形成されている。
【００１８】
【表１】
【００１９】表２は、この反射体１上の各点（Ｘ，Ｙ）
におけるショートアークランプ２に対する角度θ（度）
および、各点（Ｘ，Ｙ）における反射光の図示左側の角
度α１および図示右側の角度α２を表したものである。
におけるショートアークランプ２に対する角度θ（度）
および、各点（Ｘ，Ｙ）における反射光の図示左側の角
度α１および図示右側の角度α２を表したものである。
【００２０】なお、各点（Ｘ，Ｙ）における反射光の角
度が２種類存在するのは、ショートアークランプ２のア
ーク部７が約６ｍｍ長さをもっているため、このアーク
部７からの紫外線は、図１に示す反射体１で開き角αで
反射するためである。
度が２種類存在するのは、ショートアークランプ２のア
ーク部７が約６ｍｍ長さをもっているため、このアーク
部７からの紫外線は、図１に示す反射体１で開き角αで
反射するためである。
【００２１】
【表２】
【００２２】次に、このように構成された実施例の動作
について説明する。
について説明する。
【００２３】この紫外線照射装置では、ショートアーク
ランプ２から照射される紫外線ビームは反射体１で反射
されて、図示しないコンベア上の被照射物３を照射し、
露光を行なう。露光の際に、反射体１の各点で反射され
る紫外線は、被照射物３は垂線に対して５度以内の角度
で照射されるため、被照射物３のマスクパターンに従っ
た略平行光線と略同様の忠実な露光を行なうことができ
る。また、垂線に対して５度以内の範囲の紫外線が被照
射物３に照射されるので、紫外線強度が高くなる。
ランプ２から照射される紫外線ビームは反射体１で反射
されて、図示しないコンベア上の被照射物３を照射し、
露光を行なう。露光の際に、反射体１の各点で反射され
る紫外線は、被照射物３は垂線に対して５度以内の角度
で照射されるため、被照射物３のマスクパターンに従っ
た略平行光線と略同様の忠実な露光を行なうことができ
る。また、垂線に対して５度以内の範囲の紫外線が被照
射物３に照射されるので、紫外線強度が高くなる。
【００２４】また、この実施例では、ショートアークラ
ンプ２のアーク部７から反射体１の点、例えば図１の点
Ｐに紫外線が照射されるビーム角βと、被照射物３から
反射体１の点Ｐを見た角度、すなわち開き角αとがほぼ
等しく、かつ開き角αと反射ビームとの方向がほぼ一致
するため、照射ムラが少なくなる。特に、均一に紫外線
を照射する必要のある被照射物３の場合に有効であり、
また比較的大面積の被照射物であっても照射ムラが少な
い。
ンプ２のアーク部７から反射体１の点、例えば図１の点
Ｐに紫外線が照射されるビーム角βと、被照射物３から
反射体１の点Ｐを見た角度、すなわち開き角αとがほぼ
等しく、かつ開き角αと反射ビームとの方向がほぼ一致
するため、照射ムラが少なくなる。特に、均一に紫外線
を照射する必要のある被照射物３の場合に有効であり、
また比較的大面積の被照射物であっても照射ムラが少な
い。
【００２５】さらに、この紫外線照射装置によれば、開
き角αと反射ビームとの方向がほぼ一致するため、反射
光のほとんどが被照射物３に照射されるので、紫外線強
度を高くすることができ、ショートアークランプ２のエ
ネルギを有効に利用することができる。
き角αと反射ビームとの方向がほぼ一致するため、反射
光のほとんどが被照射物３に照射されるので、紫外線強
度を高くすることができ、ショートアークランプ２のエ
ネルギを有効に利用することができる。
【００２６】なお、実験によれば、被照射物３の垂線に
対して５度以内（好ましくは、４．５度以内）の角度で
紫外線が照射されれば、平行光線と略同様に、フォトマ
スクに従った忠実な露光を行なうことができた。
対して５度以内（好ましくは、４．５度以内）の角度で
紫外線が照射されれば、平行光線と略同様に、フォトマ
スクに従った忠実な露光を行なうことができた。
【００２７】図５は他の実施例で使用される反射体１の
断面を表したものである。この反射体１の断面形状は、
表３を満足するような放物形状に形成されている。すな
わち、反射体１に内包するようにしショートアークラン
プ２が配置される位置を原点（Ｏ，Ｏ）とした座標（Ｘ
，Ｙ）が表３を満足する形状に反射体１が形成されてい
る。
断面を表したものである。この反射体１の断面形状は、
表３を満足するような放物形状に形成されている。すな
わち、反射体１に内包するようにしショートアークラン
プ２が配置される位置を原点（Ｏ，Ｏ）とした座標（Ｘ
，Ｙ）が表３を満足する形状に反射体１が形成されてい
る。
【００２８】
【表３】
【００２９】表４は、この反射体１上の角点（Ｘ，Ｙ）
におけるショートアークランプ２に対する角度θ（度）
および、各点（Ｘ，Ｙ）における反射光の図示左側の角
度α１および図示右側の角度α２を表したものである。
におけるショートアークランプ２に対する角度θ（度）
および、各点（Ｘ，Ｙ）における反射光の図示左側の角
度α１および図示右側の角度α２を表したものである。
【００３０】
【表４】
【００３１】また、図７は、本発明の更に他の実施例に
おける紫外線照射装置を表したものである。この実施例
では、反射体１をショートアークランプ２の横に配置し
、ショートアークランプ２からの紫外線ビームを折返ミ
ラー８で屈折させて、被照射物３を露光するようになっ
ている。
おける紫外線照射装置を表したものである。この実施例
では、反射体１をショートアークランプ２の横に配置し
、ショートアークランプ２からの紫外線ビームを折返ミ
ラー８で屈折させて、被照射物３を露光するようになっ
ている。
【００３２】図７に示す実施例は、垂直点灯しかできな
いショートアークランプ２に有効となる。
いショートアークランプ２に有効となる。
【００３３】
【発明の効果】請求項１記載の紫外線照射装置によれば
、紫外線を被照射物に、垂線に対して５度以下の角度で
照射するので、効率的にかつ平行光線と略同様に均一に
被照射物に照射することができる。
、紫外線を被照射物に、垂線に対して５度以下の角度で
照射するので、効率的にかつ平行光線と略同様に均一に
被照射物に照射することができる。
【００３４】請求項２記載の紫外線照射装置によれば、
請求項１記載の紫外線照射装置に加え、被照射物を含む
開き角で被照射物を照射するので、より均一に被照射物
を照射できる。
請求項１記載の紫外線照射装置に加え、被照射物を含む
開き角で被照射物を照射するので、より均一に被照射物
を照射できる。
【００３５】請求項３記載の紫外線照射装置によれば、
請求項１記載の紫外線照射装置に加え、被照射物を含む
開き角で被照射物を照射するので、さらに効率よくかつ
均一に被照射物を照射できる。
請求項１記載の紫外線照射装置に加え、被照射物を含む
開き角で被照射物を照射するので、さらに効率よくかつ
均一に被照射物を照射できる。
【図１】本発明の紫外線照射装置の一実施例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図２】同上ショートアークランプを示す断面図である
。
。
【図３】同上反射体を示す断面図である。
【図４】同上反射体の反射面と反射ビームのビーム角と
の関係を示す図である。
の関係を示す図である。
【図５】本発明の紫外線照射装置における他の実施例で
使用される反射体を示す断面図である。
使用される反射体を示す断面図である。
【図６】同上反射体の反射面と反射ビームのビーム角と
の関係を示す図である。
の関係を示す図である。
【図７】本発明の紫外線照射装置における更に他の実施
例を示す概略構成図である。
例を示す概略構成図である。
１ 反射体
２ ショートアークランプ
３ 被照射物
Claims (3)
- 【請求項１】 紫外線を照射するショートアークラン
プと、このショートアークランプから照射される紫外線
を反射させて垂線に対して５度以下の角度で被照射物に
照射させる反射体とを具備したことを特徴とする紫外線
照射装置。 - 【請求項２】 反射体は、ショートアークランプから
照射される紫外線を被照射物を含む広さの開き角で被照
射物を照射することを特徴とした請求項１記載の紫外線
照射装置。 - 【請求項３】 反射体は、ショートアークランプから
照射される紫外線を反射させ被照射物と一致する角度の
開き角で被照射物を照射することを特徴とした請求項１
記載の紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011232A JPH04312914A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 紫外線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011232A JPH04312914A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 紫外線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04312914A true JPH04312914A (ja) | 1992-11-04 |
Family
ID=11772197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3011232A Pending JPH04312914A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 紫外線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04312914A (ja) |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP3011232A patent/JPH04312914A/ja active Pending
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