JPH04313483A - レーザー光線供給システム - Google Patents
レーザー光線供給システムInfo
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- JPH04313483A JPH04313483A JP3233959A JP23395991A JPH04313483A JP H04313483 A JPH04313483 A JP H04313483A JP 3233959 A JP3233959 A JP 3233959A JP 23395991 A JP23395991 A JP 23395991A JP H04313483 A JPH04313483 A JP H04313483A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- axis
- follower
- mirror
- supply system
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0876—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
- B23K26/0884—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least three axial directions, e.g. manipulators, robots
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4804—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
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- Laser Beam Processing (AREA)
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は概して、レーザー切断及
び溶接、さらに熱伝導のシステムに係り、特に、極座標
システムを使用したレーザー光線（ビーム）供給システ
ムに関する。
び溶接、さらに熱伝導のシステムに係り、特に、極座標
システムを使用したレーザー光線（ビーム）供給システ
ムに関する。
【０００２】
【従来の技術】多くのレーザー光線供給システムが、当
該技術分野において知られている。例えば、本件発明者
のアメリカ特許出願第０７／３５６、９９２号及び同０
７／３４６、６２０号では、実施例によれば３乃至４個
のミラーを用いた５次元運動を行なうレーザ光線供給シ
ステムが述べられている。
該技術分野において知られている。例えば、本件発明者
のアメリカ特許出願第０７／３５６、９９２号及び同０
７／３４６、６２０号では、実施例によれば３乃至４個
のミラーを用いた５次元運動を行なうレーザ光線供給シ
ステムが述べられている。
【０００３】さらに、レーザー光線供給システムについ
て述べられたアメリカ特許には、第３９１３５８２号、
同３９８６７６７号、同４０８８８６５号、同４１２５
７５５号、同４３１７０２１号、同４４３１８９９号、
同４５５０２４１号、同４６１８７５８号、同４６２６
９９９号、同４６５０９５２号、同４６３８１４３号及
び同４６６１６８１号、同４６７７２７４号、同４６９
４１３９号、同４６９５７０１号、同４６９８４８３号
、同４７０１５４１号、同４８２５０３６号とがある。 さらに、イギリス特許第２１３４０７１号、フランス特
許公告第２５９２８２４号と日本特許公告番号第２１４
９１号も、レーザー光線供給システムについて述べてい
る。
て述べられたアメリカ特許には、第３９１３５８２号、
同３９８６７６７号、同４０８８８６５号、同４１２５
７５５号、同４３１７０２１号、同４４３１８９９号、
同４５５０２４１号、同４６１８７５８号、同４６２６
９９９号、同４６５０９５２号、同４６３８１４３号及
び同４６６１６８１号、同４６７７２７４号、同４６９
４１３９号、同４６９５７０１号、同４６９８４８３号
、同４７０１５４１号、同４８２５０３６号とがある。 さらに、イギリス特許第２１３４０７１号、フランス特
許公告第２５９２８２４号と日本特許公告番号第２１４
９１号も、レーザー光線供給システムについて述べてい
る。
【０００４】従来のロボット式システムには、直接駆動
モータを用いたものがある。本件発明者は、直接駆動モ
ータを用いたレーザー光線供給システムについては何も
知らない。
モータを用いたものがある。本件発明者は、直接駆動モ
ータを用いたレーザー光線供給システムについては何も
知らない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、直接
駆動モータを利用し、概して二次元運動に対する極座標
運動を一般に行なうレーザー光線供給システムを提供す
ることである。さらに、本発明のシステムによって、５
次元運動をも行なうことができる。
駆動モータを利用し、概して二次元運動に対する極座標
運動を一般に行なうレーザー光線供給システムを提供す
ることである。さらに、本発明のシステムによって、５
次元運動をも行なうことができる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】従って、本発明の好まし
い実施例によると、レーザー光線を生成するためのレー
ザー装置と、レーザー光線を受け、ワークピース（被加
工品）につき当たるように該レーザー光線を方向付ける
ためのフォロアノズル装置と、極座標システムで該フォ
ロアノズル装置を移動させ、該レーザー装置からのレー
ザー光線を該フォロアノズル装置に対し方向付けるため
の極運動装置と、を含むレーザー光線供給システムが提
供される。極運動装置は、第１の非並進回転軸に沿って
レーザー光線を受光して、この第１の回転軸に直交する
第２の非回転並進軸に沿ってレーザー光線を方向付ける
ための装置を含む。
い実施例によると、レーザー光線を生成するためのレー
ザー装置と、レーザー光線を受け、ワークピース（被加
工品）につき当たるように該レーザー光線を方向付ける
ためのフォロアノズル装置と、極座標システムで該フォ
ロアノズル装置を移動させ、該レーザー装置からのレー
ザー光線を該フォロアノズル装置に対し方向付けるため
の極運動装置と、を含むレーザー光線供給システムが提
供される。極運動装置は、第１の非並進回転軸に沿って
レーザー光線を受光して、この第１の回転軸に直交する
第２の非回転並進軸に沿ってレーザー光線を方向付ける
ための装置を含む。
【０００７】さらに、本発明の好ましい実施例によると
、極運動装置は、第１の軸を中心にフォロアノズル装置
を回転させるための回転装置と、第２の軸に沿ってこの
フォロアノズル装置を平行移動させるための並進装置と
、を含む。回転装置は概して、直接駆動モータを含み、
さらに大径のベアリングを含むことが一般的である。
、極運動装置は、第１の軸を中心にフォロアノズル装置
を回転させるための回転装置と、第２の軸に沿ってこの
フォロアノズル装置を平行移動させるための並進装置と
、を含む。回転装置は概して、直接駆動モータを含み、
さらに大径のベアリングを含むことが一般的である。
【０００８】加えて、本発明の好ましい実施例によると
、フォロアノズル装置は１自由度を有する運動装置を含
むものであり、その代わりに、フォロアノズル装置は３
自由度を有する運動装置を含むものであってもよい。
、フォロアノズル装置は１自由度を有する運動装置を含
むものであり、その代わりに、フォロアノズル装置は３
自由度を有する運動装置を含むものであってもよい。
【０００９】さらに又、本発明の好ましい実施例による
と、並進装置は、非並進梁（ビーム）と、非並進梁に沿
ってフォロアノズル装置を並進させるためのモータ装置
と、を含む。非並進梁は一般に、第２の軸に沿って位置
決めされるか、あるいは又、第２の軸に平行して位置決
めされてもよい。
と、並進装置は、非並進梁（ビーム）と、非並進梁に沿
ってフォロアノズル装置を並進させるためのモータ装置
と、を含む。非並進梁は一般に、第２の軸に沿って位置
決めされるか、あるいは又、第２の軸に平行して位置決
めされてもよい。
【００１０】最後に、本発明の好ましい実施例によると
、前記受光装置は第１及び第２の軸の交点に位置決めさ
れる第１のミラーを含む。フォロアノズル装置は概して
、第２のミラーを含む。さらに受光装置は、第１及び第
２の軸の交点に位置決めされる第１のミラーと、第１の
ミラーから離間された第２の軸の上方に位置決めされる
第３のミラーと、第２の軸に沿って位置決めされる第４
のミラーと、を含むものであってもよい。
、前記受光装置は第１及び第２の軸の交点に位置決めさ
れる第１のミラーを含む。フォロアノズル装置は概して
、第２のミラーを含む。さらに受光装置は、第１及び第
２の軸の交点に位置決めされる第１のミラーと、第１の
ミラーから離間された第２の軸の上方に位置決めされる
第３のミラーと、第２の軸に沿って位置決めされる第４
のミラーと、を含むものであってもよい。
【００１１】本発明は、添付の図面とともに後述する詳
細な説明から、より完全に理解され、且つ了解されるだ
ろう。
細な説明から、より完全に理解され、且つ了解されるだ
ろう。
【００１２】
【実施例】本発明の好ましい実施例に従って構成され、
且つ操作されるレーザー光線供給システム１０の拡大図
を示す図１についてまず参照する。レーザー光線供給装
置１０は、レーザー光線（ビーム）１４を供給するため
の、スコットランドのフェランチ（Ｆｅｒｒａｎｔｉ）
製造のＭＦ１５００Ｐ等のレーザー源１２と、フォロア
ノズル１８を極座標（Ｒ−Ω）システムで可動させるた
めの二次元運動装置１６と、を含む。二次元運動装置１
６は一般に、構造ビーム（梁）２０等の構造支持システ
ムに取り付けられ、これをさらにワークプレイス（作業
場）の床、天井又は壁に取り付けることができる。
且つ操作されるレーザー光線供給システム１０の拡大図
を示す図１についてまず参照する。レーザー光線供給装
置１０は、レーザー光線（ビーム）１４を供給するため
の、スコットランドのフェランチ（Ｆｅｒｒａｎｔｉ）
製造のＭＦ１５００Ｐ等のレーザー源１２と、フォロア
ノズル１８を極座標（Ｒ−Ω）システムで可動させるた
めの二次元運動装置１６と、を含む。二次元運動装置１
６は一般に、構造ビーム（梁）２０等の構造支持システ
ムに取り付けられ、これをさらにワークプレイス（作業
場）の床、天井又は壁に取り付けることができる。
【００１３】一般に二次元運動装置１６は、概して軽量
且つ剛性に設計された中空梁（ホロービーム）２１を含
み、このビーム（梁）は、フランスのプレシレック（Ｐ
ｒｅｃｉｌｅｃ）製造のＳＭＯＰ−３等の中空、円形の
直接駆動ＤＣサーボモータ２２によってレーザー光線１
４の軸を中心にアンギュラ方向に角回転される。アンギ
ュラ（角）運動は矢印Ωで示される。
且つ剛性に設計された中空梁（ホロービーム）２１を含
み、このビーム（梁）は、フランスのプレシレック（Ｐ
ｒｅｃｉｌｅｃ）製造のＳＭＯＰ−３等の中空、円形の
直接駆動ＤＣサーボモータ２２によってレーザー光線１
４の軸を中心にアンギュラ方向に角回転される。アンギ
ュラ（角）運動は矢印Ωで示される。
【００１４】直接駆動モータ２２は、ＴＨＫ製造の予荷
重クロス−ローラベアリング等の薄い部分の大径ベアリ
ング２４を介して構造梁（ビーム）２０に取り付けられ
る。レーザー源は概して構造梁２０の上面に位置決めさ
れて、ボルトを介してそこに接続され、そのためのホー
ル接続フランジ２６が示されている。
重クロス−ローラベアリング等の薄い部分の大径ベアリ
ング２４を介して構造梁（ビーム）２０に取り付けられ
る。レーザー源は概して構造梁２０の上面に位置決めさ
れて、ボルトを介してそこに接続され、そのためのホー
ル接続フランジ２６が示されている。
【００１５】構造梁２０に設けられたホール２８によっ
て、レーザー光線１４は、二次元運動装置１６のほぼ中
心地点、但し中空梁２１上に位置決めされた第１のミラ
ー３０方向にホールを介して通過することができる。第
１のミラー３０は、その後は３１として示されるレーザ
ー光線１４を、Ｒによって示された半径方向に、フォロ
アノズル１８方向の中空梁２１に沿って方向付ける。第
２のミラー３２は、フォロアノズル１８に取り付けられ
て、その後は３３として示されるレーザー光線３１を、
フォロアノズル１８内へ方向付けて、ワークピース３４
に突き当たるようにさせる。
て、レーザー光線１４は、二次元運動装置１６のほぼ中
心地点、但し中空梁２１上に位置決めされた第１のミラ
ー３０方向にホールを介して通過することができる。第
１のミラー３０は、その後は３１として示されるレーザ
ー光線１４を、Ｒによって示された半径方向に、フォロ
アノズル１８方向の中空梁２１に沿って方向付ける。第
２のミラー３２は、フォロアノズル１８に取り付けられ
て、その後は３３として示されるレーザー光線３１を、
フォロアノズル１８内へ方向付けて、ワークピース３４
に突き当たるようにさせる。
【００１６】一般に、フォロアノズル１８は中空梁２１
に対し直角に位置決めされて、図２（Ａ）−図２（Ｃ）
を参照して後述されるレーザー光線３３を集束するレン
ズ３８が位置決めされているノズル３６と容量型焦点フ
ォロアセンサ７６とを含み、後者は、図３−図５を参照
してより詳細に述べられ、西ドイツのワイドミュラー（
Ｗｅｉｄｍｕｌｌｅｒ）製造による、ワークピース３４
の表面上の位置を検出するためのものである。フォロア
センサからの出力に応答して、フォロアノズル１８は、
レンズ３８の焦点がワークピース３４の表面にあるよう
に、Ｆで示された並進方向にレンズ３８を移動させる。
に対し直角に位置決めされて、図２（Ａ）−図２（Ｃ）
を参照して後述されるレーザー光線３３を集束するレン
ズ３８が位置決めされているノズル３６と容量型焦点フ
ォロアセンサ７６とを含み、後者は、図３−図５を参照
してより詳細に述べられ、西ドイツのワイドミュラー（
Ｗｅｉｄｍｕｌｌｅｒ）製造による、ワークピース３４
の表面上の位置を検出するためのものである。フォロア
センサからの出力に応答して、フォロアノズル１８は、
レンズ３８の焦点がワークピース３４の表面にあるよう
に、Ｆで示された並進方向にレンズ３８を移動させる。
【００１７】所望の極座標面に到達するために、フォロ
アノズル１８が図３−図５に関して後述される並進装置
を介して中空梁２１の所望の半径方向位置に沿って並進
すると同時に、直接駆動モータ２２は中空梁２１を所望
のアンギュラ位置に回転させる。
アノズル１８が図３−図５に関して後述される並進装置
を介して中空梁２１の所望の半径方向位置に沿って並進
すると同時に、直接駆動モータ２２は中空梁２１を所望
のアンギュラ位置に回転させる。
【００１８】図１に示されたシステムが一般に、二次元
的切断を実行するためのものであることは理解されるだ
ろう。二次元的切断を実行するための従来技術のガント
リーシステムに関して、本発明のシステムでは、ガント
リーシステムによって必要とされるような機械加工及び
配置の精密度を要求するものではないのは、主要運動部
分が、高精度回転ベアリングへのトランスミッションを
有さない高精度直接駆動モータであるからである。
的切断を実行するためのものであることは理解されるだ
ろう。二次元的切断を実行するための従来技術のガント
リーシステムに関して、本発明のシステムでは、ガント
リーシステムによって必要とされるような機械加工及び
配置の精密度を要求するものではないのは、主要運動部
分が、高精度回転ベアリングへのトランスミッションを
有さない高精度直接駆動モータであるからである。
【００１９】さらに、従来のシステムでは一般に、フォ
ロアノズル１８の運動を実行するために複雑なトランス
ミッションシステムが要求される。本発明のシステムは
、直接駆動モータ２２を使用することによって、この従
来のトランスミッションシステムを除去したものである
。
ロアノズル１８の運動を実行するために複雑なトランス
ミッションシステムが要求される。本発明のシステムは
、直接駆動モータ２２を使用することによって、この従
来のトランスミッションシステムを除去したものである
。
【００２０】さらにまた、従来システムは概して、完全
塊状構造体を並進且つ回転させる。本発明のシステムで
は、略軽量構造体を回転させ、且つさらに軽量の構造体
、即ちフォロアノズル１８、だけを並進させる。これに
よって、本発明のシステムでは概して、毎分２０−６０
メートルといった極めて高速な切断速度での最適な性能
が得られる。
塊状構造体を並進且つ回転させる。本発明のシステムで
は、略軽量構造体を回転させ、且つさらに軽量の構造体
、即ちフォロアノズル１８、だけを並進させる。これに
よって、本発明のシステムでは概して、毎分２０−６０
メートルといった極めて高速な切断速度での最適な性能
が得られる。
【００２１】次に、図２（Ａ）−図２（Ｃ）について、
レーザー光線１４、３１、３３の３本の代替経路が示さ
れる。図２（Ａ）は、前述のレーザー光線経路を説明す
るものであり、詳細には、レーザー源１２によって供給
されたレーザー光線１４がミラー３０につき当たって、
レーザー光線３１としてミラー３２に向けて方向付けら
れる。ミラー３２は、レーザー光線３１をレーザー光線
３３として、×印によって示されたワークピース３４に
向けてレンズ３８を介して方向付ける。レンズ３８は一
般に、メニスカス又はアスフェロイド（非楕円形）セレ
ン化亜鉛（ＺｎＳｅ）レンズである。
レーザー光線１４、３１、３３の３本の代替経路が示さ
れる。図２（Ａ）は、前述のレーザー光線経路を説明す
るものであり、詳細には、レーザー源１２によって供給
されたレーザー光線１４がミラー３０につき当たって、
レーザー光線３１としてミラー３２に向けて方向付けら
れる。ミラー３２は、レーザー光線３１をレーザー光線
３３として、×印によって示されたワークピース３４に
向けてレンズ３８を介して方向付ける。レンズ３８は一
般に、メニスカス又はアスフェロイド（非楕円形）セレ
ン化亜鉛（ＺｎＳｅ）レンズである。
【００２２】図２（Ａ）の実施例では、矢印ＲとΩで示
されるように、極座標運動が行なわれる。しかしながら
、そこには完全な作業エンベロープがなく、極座標面の
原点の近くで運動を行なうことができないのは、ミラー
３０がそこに位置決めされているからである。
されるように、極座標運動が行なわれる。しかしながら
、そこには完全な作業エンベロープがなく、極座標面の
原点の近くで運動を行なうことができないのは、ミラー
３０がそこに位置決めされているからである。
【００２３】図２（Ｂ）は、極座標面の原点近くで、及
び原点を介して運動を行なうことのできるレーザー光線
経路の実施例を示している。レーザー源１２によって供
給されたレーザー光線１４は、レーザー光線１４の軸に
沿って位置決めされたミラー４０につき当たる。ミラー
４０はレーザー光線１４を、レーザー光線４１として、
ミラー４０に近接しているが、中心から外れて位置決め
されたミラー４２に向けて方向付ける。ミラー４２はレ
ーザー光線４１を、レーザー光線４３として、ミラー３
０に向けて方向付け、次に、レーザー光線４３をレーザ
ー光線３１として、ミラー３２に向けて方向付ける。ミ
ラー３２は、レーザー光線３１を光線３３として、レン
ズ３８を介してワークピース３４上に方向付ける。
び原点を介して運動を行なうことのできるレーザー光線
経路の実施例を示している。レーザー源１２によって供
給されたレーザー光線１４は、レーザー光線１４の軸に
沿って位置決めされたミラー４０につき当たる。ミラー
４０はレーザー光線１４を、レーザー光線４１として、
ミラー４０に近接しているが、中心から外れて位置決め
されたミラー４２に向けて方向付ける。ミラー４２はレ
ーザー光線４１を、レーザー光線４３として、ミラー３
０に向けて方向付け、次に、レーザー光線４３をレーザ
ー光線３１として、ミラー３２に向けて方向付ける。ミ
ラー３２は、レーザー光線３１を光線３３として、レン
ズ３８を介してワークピース３４上に方向付ける。
【００２４】ミラー４０、４２は、ミラー３０、３２に
よって定義された水平面より上の水平面に位置決めされ
る。このため、システムは極座標面の原点付近の運動を
含む完全な作業エンベロープを持つことができる。また
、ミラー４０、４２、及び３０が一般にミラー３２の並
進運動に対して固定されていることがわかる。
よって定義された水平面より上の水平面に位置決めされ
る。このため、システムは極座標面の原点付近の運動を
含む完全な作業エンベロープを持つことができる。また
、ミラー４０、４２、及び３０が一般にミラー３２の並
進運動に対して固定されていることがわかる。
【００２５】図２（Ｃ）は図２（Ｂ）によるものの更な
る実施例を示すものであり、ミラー４２、３０が中空梁
２１の一端で固定位置へと移動されている。この実施例
において、ミラー３２は、中空梁２１の全長に沿って自
由に移動される。
る実施例を示すものであり、ミラー４２、３０が中空梁
２１の一端で固定位置へと移動されている。この実施例
において、ミラー３２は、中空梁２１の全長に沿って自
由に移動される。
【００２６】次に、図３−図５は、図２（Ａ）−図２（
Ｃ）の実施例をより詳細に示すものである。直接駆動モ
ータ２２は一般に、円形ステータ５０と円形ロータ５２
とを含む。一般に、円形ステータ５０は、概してロッキ
ングスクリュー（止めネジ）５４を介して構造光線２０
に固定され、且つ取り付けられる。回転ロータ５２はベ
アリング２４の内側レース５６に取り付けられ、直接駆
動モータ２２に印加される電流の量に応じて自由に回転
される。ベアリング２２の外側レース５８はハウジング
６０に取り付けられ、次に、構造光線２０に取り付けら
れる。内側レース５６及び外側レース５８はそれぞれ、
クロスローラ６２を介して一体結合されることがわかる
。
Ｃ）の実施例をより詳細に示すものである。直接駆動モ
ータ２２は一般に、円形ステータ５０と円形ロータ５２
とを含む。一般に、円形ステータ５０は、概してロッキ
ングスクリュー（止めネジ）５４を介して構造光線２０
に固定され、且つ取り付けられる。回転ロータ５２はベ
アリング２４の内側レース５６に取り付けられ、直接駆
動モータ２２に印加される電流の量に応じて自由に回転
される。ベアリング２２の外側レース５８はハウジング
６０に取り付けられ、次に、構造光線２０に取り付けら
れる。内側レース５６及び外側レース５８はそれぞれ、
クロスローラ６２を介して一体結合されることがわかる
。
【００２７】直接駆動モータ２２は、円形スケール６６
と検出器６８とから構成される西ドイツのハイデンハイ
ン（Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ）製造のＥＲＯ７２５モジュ
ラー角度測定アセンブリ等の高分解能ホロー（中空の）
エンコーダを介して制御される。円形スケール６６は、
ロータ５２に取り付けられ、それと共に回転する。検出
器６８は概して固定されて、一般には構造梁２０に取り
付けられる。
と検出器６８とから構成される西ドイツのハイデンハイ
ン（Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ）製造のＥＲＯ７２５モジュ
ラー角度測定アセンブリ等の高分解能ホロー（中空の）
エンコーダを介して制御される。円形スケール６６は、
ロータ５２に取り付けられ、それと共に回転する。検出
器６８は概して固定されて、一般には構造梁２０に取り
付けられる。
【００２８】一般にアルミニウム軽合金又はプラスチッ
クの複合材等の軽量材料から製造され、高剛性係数を有
するように設計される中空梁２１は概して、ベアリング
２２の内側レース５６に取り付けられ、これによって、
円形ステータ５０と共に回転することができる。
クの複合材等の軽量材料から製造され、高剛性係数を有
するように設計される中空梁２１は概して、ベアリング
２２の内側レース５６に取り付けられ、これによって、
円形ステータ５０と共に回転することができる。
【００２９】中空梁２１に取り付けられるか、又はその
内部に位置決めされるフォロア並進装置は一般に、ＤＣ
サーボモータ等のモータ７０と、タイミングホイール７
４と、タイミングベルト７２とを含み、これらは、フォ
ロアノズル１８を並進運動させて、それに伴い高精度リ
ニアレール７３をも並進運動させるためのものである。 フォロアノズル１８は一般に、リニアレール７３に沿っ
てスライドするリニアベアリング７５を含む。リニアレ
ール７３とリニアベアリング７５は一般に、ボールレー
ルシステム、１６０１タイプの１５サイズの西ドイツの
スター（Ｓｔａｒ）製造によるものである。フォロア並
進装置は、フォロアノズル１８を所望の半径方向位置へ
と移動させるように作動する。
内部に位置決めされるフォロア並進装置は一般に、ＤＣ
サーボモータ等のモータ７０と、タイミングホイール７
４と、タイミングベルト７２とを含み、これらは、フォ
ロアノズル１８を並進運動させて、それに伴い高精度リ
ニアレール７３をも並進運動させるためのものである。 フォロアノズル１８は一般に、リニアレール７３に沿っ
てスライドするリニアベアリング７５を含む。リニアレ
ール７３とリニアベアリング７５は一般に、ボールレー
ルシステム、１６０１タイプの１５サイズの西ドイツの
スター（Ｓｔａｒ）製造によるものである。フォロア並
進装置は、フォロアノズル１８を所望の半径方向位置へ
と移動させるように作動する。
【００３０】フォロアノズル１８の運動の精密度を確保
するために、ロータリーエンコーダをモータ７０に配置
させたり、又はリニアエンコーダをリニアレール７３に
配置させてもよい。
するために、ロータリーエンコーダをモータ７０に配置
させたり、又はリニアエンコーダをリニアレール７３に
配置させてもよい。
【００３１】上述のように、フォロアノズル１８はレン
ズ３８と容量型焦点センサ７６とを含む。センサ７６か
らの出力に応答して、ＤＣサーボモータ等のフォロアモ
ータ７８は、ワークピース３４から画定された距離へフ
ォロアノズル１８を移動させる。
ズ３８と容量型焦点センサ７６とを含む。センサ７６か
らの出力に応答して、ＤＣサーボモータ等のフォロアモ
ータ７８は、ワークピース３４から画定された距離へフ
ォロアノズル１８を移動させる。
【００３２】図３で理解されるように、ミラー３０は中
空梁２１に取り付けられ、中空梁２１内部のベアリング
２４の中心に位置決めされる。こうして、ミラー３０は
中空梁２１と共に回転される。
空梁２１に取り付けられ、中空梁２１内部のベアリング
２４の中心に位置決めされる。こうして、ミラー３０は
中空梁２１と共に回転される。
【００３３】一方、ミラー３２はフォロアノズル１８に
取り付けられ、ミラー３０の位置にいたるまでノズルと
共に並進運動する。
取り付けられ、ミラー３０の位置にいたるまでノズルと
共に並進運動する。
【００３４】ミラー３０の後方で中空梁２１に取り付け
られるバランスバラスト８０は、中空梁２１のバランス
をとり、それをほぼ精密な水平面で維持させるためのも
のである。
られるバランスバラスト８０は、中空梁２１のバランス
をとり、それをほぼ精密な水平面で維持させるためのも
のである。
【００３５】図３の実施例において、ミラー３０はベア
リング２４の中心に位置決めされなければならないこと
は、理解されるだろう。
リング２４の中心に位置決めされなければならないこと
は、理解されるだろう。
【００３６】図４は、図２（Ｂ）の実施例を示すもので
あり、図３との共通要素は同一符号で表わされる。図４
において、フォロアノズル１８は、極座標システムの原
点を通過してその最端位置に位置されている。ミラー４
０、４２及び３０は、中空梁２１に取り付けられたミラ
ー装置８２に取り付けられている。ミラー３０は、フォ
ロアノズル１８がレーザー光線１４の軸線に到達して通
過するように位置決めされる。これは図４では矢印８４
で表わされる。
あり、図３との共通要素は同一符号で表わされる。図４
において、フォロアノズル１８は、極座標システムの原
点を通過してその最端位置に位置されている。ミラー４
０、４２及び３０は、中空梁２１に取り付けられたミラ
ー装置８２に取り付けられている。ミラー３０は、フォ
ロアノズル１８がレーザー光線１４の軸線に到達して通
過するように位置決めされる。これは図４では矢印８４
で表わされる。
【００３７】図５は、図２（Ｃ）の実施例を示すもので
あり、図３及び図４との共通要素は同一符号で表わされ
る。ミラー４０は中空梁２１に取り付けられ、モータ２
２の中心部に位置決めされる。ミラー４２、３０は一体
に結合されて、中空梁２１の一端に位置決めされる。こ
の実施例において、バラストは不要である。
あり、図３及び図４との共通要素は同一符号で表わされ
る。ミラー４０は中空梁２１に取り付けられ、モータ２
２の中心部に位置決めされる。ミラー４２、３０は一体
に結合されて、中空梁２１の一端に位置決めされる。こ
の実施例において、バラストは不要である。
【００３８】図６については、ハウジング６０を利用し
ない図３のシステムの代替実施例を示している。ベアリ
ング２４の外側レース５８とモータ２２のステータ５０
とは、一般にロッキングスクリュー５４を介して構造梁
２０に直接取り付けられる。ベアリング２４の内側レー
ス５６とモータ２２のロータ５２とは中空梁２１に取り
付けられる。その他のレーザー光線供給システムの要素
は上述のように作動する。
ない図３のシステムの代替実施例を示している。ベアリ
ング２４の外側レース５８とモータ２２のステータ５０
とは、一般にロッキングスクリュー５４を介して構造梁
２０に直接取り付けられる。ベアリング２４の内側レー
ス５６とモータ２２のロータ５２とは中空梁２１に取り
付けられる。その他のレーザー光線供給システムの要素
は上述のように作動する。
【００３９】フォロアノズル１８を従来の三次元フォロ
ア装置９０に置き換えて、概して一つの並進方向（Ｚに
て表示）及び二つの回転方向（Θ、φにて表示）での運
動を行なうことは理解されるだろう。装置９０のチップ
９２は一般に、容量型センサ７６及びレンズ３８とを含
む。
ア装置９０に置き換えて、概して一つの並進方向（Ｚに
て表示）及び二つの回転方向（Θ、φにて表示）での運
動を行なうことは理解されるだろう。装置９０のチップ
９２は一般に、容量型センサ７６及びレンズ３８とを含
む。
【００４０】図３のミラー３０又は図４及び図５のミラ
ー４０とは、前記実施例にあるように、中空梁２１内に
位置決めされたり、又は、ここで参照される図７に示さ
れるように中空梁２１の外側に位置決めさせることもで
きる。図７は、図２（Ａ）のレーザー光線経路について
示した本発明のレーザー光線供給システムの上面図であ
る。この実施例において、中空梁２１は光線３１によっ
て形成される軸と平行に位置決めされる。ベローズ５９
等のフレキシブルカバーは、フォロアノズル１８上のミ
ラー３０、３２間に含まれて、周囲クローズドシステム
内でレーザー光線３１を維持することができる。
ー４０とは、前記実施例にあるように、中空梁２１内に
位置決めされたり、又は、ここで参照される図７に示さ
れるように中空梁２１の外側に位置決めさせることもで
きる。図７は、図２（Ａ）のレーザー光線経路について
示した本発明のレーザー光線供給システムの上面図であ
る。この実施例において、中空梁２１は光線３１によっ
て形成される軸と平行に位置決めされる。ベローズ５９
等のフレキシブルカバーは、フォロアノズル１８上のミ
ラー３０、３２間に含まれて、周囲クローズドシステム
内でレーザー光線３１を維持することができる。
【００４１】図８（Ａ）及び図８（Ｂ）の断面図には、
図３及び図７の各実施例での中空梁２１とフォロアノズ
ル１８とが示される。図８（Ａ）において、フォロアノ
ズル１８は、それをスライドするための開口部９９を有
する中空の長方形要素として示された中空梁２１の底部
に沿ってスライドする。図８（Ｂ）において、フォロア
ノズル１８は、リニアレール７３が取り付けられた中空
閉断面の矩形要素として示された中空梁２１の側面に沿
ってスライドする。
図３及び図７の各実施例での中空梁２１とフォロアノズ
ル１８とが示される。図８（Ａ）において、フォロアノ
ズル１８は、それをスライドするための開口部９９を有
する中空の長方形要素として示された中空梁２１の底部
に沿ってスライドする。図８（Ｂ）において、フォロア
ノズル１８は、リニアレール７３が取り付けられた中空
閉断面の矩形要素として示された中空梁２１の側面に沿
ってスライドする。
【００４２】本発明が以上のように、特定して示され且
つ述べられたことに限定されないことは、当業者によっ
て理解されるだろう。むしろ、本発明の範囲は添付の請
求項によってのみ画定される。
つ述べられたことに限定されないことは、当業者によっ
て理解されるだろう。むしろ、本発明の範囲は添付の請
求項によってのみ画定される。
【００４３】
【発明の効果】本発明のシステムは上記のように構成さ
れているので、直接駆動モータを利用して、概して二次
元運動に対し一般には極座標運動を行なうことができる
。
れているので、直接駆動モータを利用して、概して二次
元運動に対し一般には極座標運動を行なうことができる
。
【図１】本発明の実施例に従って構成され、且つ操作さ
れるレーザー光線供給システムの拡大略図である。
れるレーザー光線供給システムの拡大略図である。
【図２】（Ａ）−（Ｃ）は、図１のシステムによる３つ
の実施例を介してレーザー光線の経路を示す略図である
。
の実施例を介してレーザー光線の経路を示す略図である
。
【図３】図２（Ａ）に示されたレーザー光線経路を用い
て図１のシステムの要素を詳細示した図である。
て図１のシステムの要素を詳細示した図である。
【図４】図２（Ｂ）に示されたレーザー光線経路を用い
て図１のシステムの要素を詳細示した図である。
て図１のシステムの要素を詳細示した図である。
【図５】図２（Ｃ）に示されたレーザー光線経路を用い
て図１のシステムの要素を詳細示した図である。
て図１のシステムの要素を詳細示した図である。
【図６】図３に示されたシステムの代替実施例の詳細図
である。
である。
【図７】レーザー経路が中空梁に横付けされている本発
明のレーザー光線供給システムの略図である。
明のレーザー光線供給システムの略図である。
【図８】（Ａ）及び（Ｂ）は、図３及び図７による実施
例の中空梁の横断面図である。
例の中空梁の横断面図である。
１０ レーザー光線供給システム１２ レ
ーザー源 １４ レーザー光線 １６ 二次元運動装置 １８ フォロアノズル ２０ 構造梁 ２１ 中空梁 ２２ モータ ２４ ベアリング ３０、３２ ミラー ３４ ワークピース ３６ ノズル ３８ レンズ
ーザー源 １４ レーザー光線 １６ 二次元運動装置 １８ フォロアノズル ２０ 構造梁 ２１ 中空梁 ２２ モータ ２４ ベアリング ３０、３２ ミラー ３４ ワークピース ３６ ノズル ３８ レンズ
Claims (11)
- 【請求項１】 レーザー光線を生成するためのレーザ
ー手段と、前記レーザー光線を受光すると共に、前記レ
ーザー光線をワークピースにつき当たるように方向付け
るためのフォロアノズル手段と、前記フォロアノズル手
段を極座標システムで移動させて、前記レーザー手段か
らの前記レーザー光線を前記フォロアノズル手段に向け
て方向付けるために、前記レーザー光線を第１の非並進
回転軸に沿って受けると共に、前記第１の軸と直交する
第２の非回転並進軸に沿って前記レーザー光線を方向付
けるための手段を含む極運動手段と、を含むレーザー光
線供給システム。 - 【請求項２】 前記極運動手段は、前記フォロアノズ
ル手段を前記第１の軸を中心に回転させるための回転手
段と、前記フォロアノズル手段を前記第２の軸に沿って
並進させるための並進手段と、を含む請求項１記載のレ
ーザー光線供給システム。 - 【請求項３】 前記回転手段は、直接駆動モータを含
む請求項２記載のレーザー光線供給システム。 - 【請求項４】 前記回転手段は、大径ベアリングを含
む請求項２記載のレーザー光線供給システム。 - 【請求項５】 前記フォロアノズル手段は、１自由度
を有する運動手段を含む請求項１記載のレーザー光線供
給システム。 - 【請求項６】 前記フォロアノズル手段は、３自由度
を有する運動手段を含む請求項１記載のレーザー光線供
給システム。 - 【請求項７】 前記並進運動手段は、非並進梁と、前
記非並進梁に沿って前記フォロアノズル手段を並進させ
るためのモータ手段と、を含む請求項２記載のレーザー
光線供給システム。 - 【請求項８】 前記非並進梁は前記第２の軸に沿って
位置決めされる請求項７記載のレーザー光線供給システ
ム。 - 【請求項９】 前記非並進梁は前記第２の軸に平行に
位置決めされる請求項７記載のレーザー光線供給システ
ム。 - 【請求項１０】 前記受光手段は、前記第１の軸と前
記第２の軸との交点に位置決めされた第１のミラーを含
み、前記フォロアノズル手段は第２のミラーを含む請求
項１記載のレーザー光線供給システム。 - 【請求項１１】 前記受光手段は、前記第１の軸と前
記第２の軸との交点に位置決めされた第１のミラーと、
前記第２の軸の上方で前記第１の軸から離れて位置決め
される第３のミラーと、さらに前記第２の軸に沿って位
置決めされる第４のミラーとを含む請求項１記載のレー
ザー光線供給システム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/570,853 | 1990-08-22 | ||
| US07/570,853 US5053602A (en) | 1990-08-22 | 1990-08-22 | Laser beam delivery system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04313483A true JPH04313483A (ja) | 1992-11-05 |
Family
ID=24281322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3233959A Pending JPH04313483A (ja) | 1990-08-22 | 1991-08-21 | レーザー光線供給システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5053602A (ja) |
| EP (1) | EP0472378A3 (ja) |
| JP (1) | JPH04313483A (ja) |
| KR (1) | KR920005415A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010532265A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-10-07 | トルンプフ インコーポレイテッド | 高い動力学のレーザ加工機 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1256782B (it) * | 1992-01-27 | 1995-12-15 | Prima Ind Spa | Macchina operatrice, in particolare macchina laser, con una testa operatrice portata da una trave a sbalzo. |
| DE4213948A1 (de) * | 1992-04-28 | 1993-11-04 | Man Ghh Schienenverkehr | Schienenfahrzeug |
| IT1265467B1 (it) * | 1993-12-29 | 1996-11-22 | Comi Srl | Impianto per l'esecuzione di forature e tagli di celle e controporte per frigoriferi domestici e simili |
| JPH09201691A (ja) * | 1996-01-24 | 1997-08-05 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| IT1319972B1 (it) | 2000-03-17 | 2003-11-12 | Prima Ind Spa | Testa operatrice, in particolare per una macchina laser. |
| JP2001287068A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-16 | Koike Sanso Kogyo Co Ltd | レーザ切断トーチ |
| US6531680B2 (en) * | 2001-04-06 | 2003-03-11 | W. A. Whitney Co. | Cube corner laser beam retroreflector apparatus for a laser equipped machine tool |
| WO2012126688A1 (en) * | 2011-03-21 | 2012-09-27 | Electronics And Computer Highlights - Produção, Reparação E Serviços Lda | Apparatus for laser working of flat elements |
| EP2674245B1 (de) * | 2012-06-15 | 2019-07-24 | Bystronic Laser AG | Strahlbearbeitungsvorrichtung |
| CN104759753B (zh) * | 2015-03-30 | 2016-08-31 | 江苏大学 | 多系统自动化协调工作提高激光诱导空化强化的方法 |
Family Cites Families (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3528424A (en) * | 1967-02-17 | 1970-09-15 | Waldemar A Ayres | Laser surgical knife equipment |
| US3619550A (en) * | 1969-09-25 | 1971-11-09 | Laser Systems Corp | Laser beam machine tool with beam manipulating apparatus |
| IL40603A (en) * | 1972-10-17 | 1975-12-31 | Laser Ind Ltd | Laser device with articulated arm |
| US3986767A (en) * | 1974-04-12 | 1976-10-19 | United Technologies Corporation | Optical focus device |
| US4160894A (en) * | 1975-05-14 | 1979-07-10 | Winkler & Dunnebier Maschinenfabrik Und Eisengiesserei Kg | Method and apparatus for the focal form cutting of a moving web of material by a laser beam |
| US4088865A (en) * | 1976-01-02 | 1978-05-09 | United Technologies Corporation | Laser beam welding apparatus |
| US4125755A (en) * | 1977-06-23 | 1978-11-14 | Western Electric Co., Inc. | Laser welding |
| JPS6032555B2 (ja) * | 1979-09-28 | 1985-07-29 | 株式会社日立製作所 | レ−ザビ−ム溶接回転ヘツド |
| US4317021A (en) * | 1980-02-22 | 1982-02-23 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Laser cutting apparatus for nuclear core fuel subassembly |
| DE3011244C2 (de) * | 1980-03-24 | 1983-07-28 | Walter 6000 Frankfurt Röder | Laser-Schneidvorrichtung für dreidimensionale Formteile |
| US4431899A (en) * | 1982-01-28 | 1984-02-14 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Cutting assembly |
| US4550241A (en) * | 1982-06-14 | 1985-10-29 | W. A. Whitney Corp. | Metal melting tool with improved stand-off means |
| JPS5921491A (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-03 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | レ−ザ−加工ロボット |
| US4539462A (en) * | 1983-01-24 | 1985-09-03 | Westinghouse Electric Corp. | Robotic laser beam delivery apparatus |
| US4638148A (en) * | 1983-09-21 | 1987-01-20 | Robertshaw Controls Company | Control system and control device for controlling a heating unit and method of making the same |
| US4701591A (en) * | 1983-11-07 | 1987-10-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Apparatus for processing multiple workpieces utilizing a single laser beam source |
| JPS60182789A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-09-18 | スペクトラ・フイジックス・インコーポレイテッド | Ｃｏ↓２レーザーのためのビーム発射装置 |
| US4626999A (en) * | 1984-04-18 | 1986-12-02 | Cincinnati Milacron Inc. | Apparatus for controlled manipulation of laser focus point |
| IT1179924B (it) * | 1984-05-22 | 1987-09-16 | Prima Progetti Spa | Testa focalizzatrice per una macchina da taglio a raggi laser |
| IT1179945B (it) * | 1984-10-09 | 1987-09-16 | Bisiach & Carru | Robot a fascio laser di potenza |
| US4694139A (en) * | 1984-12-03 | 1987-09-15 | Messer Griesheim Gmbh | Guidance device for a laser beam for three-dimensional machining of workpieces |
| US4650952A (en) * | 1984-12-20 | 1987-03-17 | Gmf Robotics Corporation | Robot-laser system |
| IT206702Z2 (it) * | 1985-11-26 | 1987-10-01 | Comau Spa | Robot industriale per saldatura e taglio mediante fascio laser |
| FR2592824A1 (fr) * | 1986-01-15 | 1987-07-17 | Equip Tech App Manute | Procede et dispositif de fabrication de rouleaux equipes d'embouts de montage rotatif |
| US4695701A (en) * | 1986-03-17 | 1987-09-22 | Cincinnati Milacron Inc. | Laser wrist |
| US4661681A (en) * | 1986-10-06 | 1987-04-28 | Cincinnati Milacron Inc. | Robotic marking machine |
| DE3807471A1 (de) * | 1987-04-02 | 1988-10-20 | Man Technologie Gmbh | Vorrichtung zum fuehren von optischen strahlen |
| GB8813315D0 (en) * | 1988-06-06 | 1988-07-13 | Serrano J P | Beam delivery system |
-
1990
- 1990-08-22 US US07/570,853 patent/US5053602A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-08-16 EP EP19910307584 patent/EP0472378A3/en not_active Withdrawn
- 1991-08-20 KR KR1019910014299A patent/KR920005415A/ko not_active Withdrawn
- 1991-08-21 JP JP3233959A patent/JPH04313483A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010532265A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-10-07 | トルンプフ インコーポレイテッド | 高い動力学のレーザ加工機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5053602A (en) | 1991-10-01 |
| EP0472378A3 (en) | 1992-04-15 |
| EP0472378A2 (en) | 1992-02-26 |
| KR920005415A (ko) | 1992-03-28 |
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