JPH0431526Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0431526Y2 JPH0431526Y2 JP1985088061U JP8806185U JPH0431526Y2 JP H0431526 Y2 JPH0431526 Y2 JP H0431526Y2 JP 1985088061 U JP1985088061 U JP 1985088061U JP 8806185 U JP8806185 U JP 8806185U JP H0431526 Y2 JPH0431526 Y2 JP H0431526Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- sheet
- air blowing
- detection head
- inclined surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本考案は、紙等のシート状物質の厚さをオンラ
インで測定することが出来る装置に関し、更に詳
しくは、微小ギヤツプを置き前記シート状物質に
対峙する検出ヘツドに前記シート状物質に含まれ
る異物が衝突して起こるシート状物質の破断事故
を防ぐことの出来るシート状物質の厚さ測定装置
に関する。
インで測定することが出来る装置に関し、更に詳
しくは、微小ギヤツプを置き前記シート状物質に
対峙する検出ヘツドに前記シート状物質に含まれ
る異物が衝突して起こるシート状物質の破断事故
を防ぐことの出来るシート状物質の厚さ測定装置
に関する。
＜従来の技術＞
第４図は、空気吹き出しによりシート状物質か
ら微小ギヤツプを置いて浮上している上部検出ヘ
ツドと、前記シート状物質の下側に配置されたセ
ンサ・コイルを有する下部検出ヘツドとを備えた
従来装置の断面図である。
ら微小ギヤツプを置いて浮上している上部検出ヘ
ツドと、前記シート状物質の下側に配置されたセ
ンサ・コイルを有する下部検出ヘツドとを備えた
従来装置の断面図である。
図中、Ａは上側の検出ヘツドで、ベース１上に
タンク・キヤツプ２が取り付けられており、ベー
ス１に設けられた開口３の周縁にはリテーナリン
グ４を介しダイアフラム５が固定されている。
タンク・キヤツプ２が取り付けられており、ベー
ス１に設けられた開口３の周縁にはリテーナリン
グ４を介しダイアフラム５が固定されている。
６はこのダイアフラムの中心部に取り付けられ
た導体ターゲツトで、内部に室６ａが設けられて
おり、表面に複数の空気吹き出し孔６ｂが設けら
れている。７は空気をターゲツト６に導くチユー
ブである。
た導体ターゲツトで、内部に室６ａが設けられて
おり、表面に複数の空気吹き出し孔６ｂが設けら
れている。７は空気をターゲツト６に導くチユー
ブである。
８はターゲツト６の反対側においてダイアフラ
ム５に固着されたコイルバネで、このバネの他端
は、タンクキヤツプ２内においてベース１に設け
られた支持部に固定されている。
ム５に固着されたコイルバネで、このバネの他端
は、タンクキヤツプ２内においてベース１に設け
られた支持部に固定されている。
Ｂは下側の検出ヘツドで、ベース９にボデイ１
０が取り付けられ、ベース９に設けられた開口１
１の周縁にはダイアフラム１２が取り付けられ、
このダイアフラムの中心開口部分にはセンサ・コ
イル１３が取り付けられている。
０が取り付けられ、ベース９に設けられた開口１
１の周縁にはダイアフラム１２が取り付けられ、
このダイアフラムの中心開口部分にはセンサ・コ
イル１３が取り付けられている。
Ｃはこれら検出ヘツドによつて挟まれたシート
状物質である。
状物質である。
このような構成で、シート状物質Ｃが矢印Ｄ１
方向に送給される場合、上側の検出ヘツドＡ並び
に下側の検出ヘツドＢはフレーム上のガイドに従
いシート状物質Ｃの幅方向（紙面に対し垂直方
向）に往復駆動される。
方向に送給される場合、上側の検出ヘツドＡ並び
に下側の検出ヘツドＢはフレーム上のガイドに従
いシート状物質Ｃの幅方向（紙面に対し垂直方
向）に往復駆動される。
厚さの測定は、シート状物質Ｃを検出ヘツドＡ
とＢ間に挟み、タンク・キヤツプ２並びにボデイ
１０の内圧を高め、ターゲツト６及びセンサ・コ
イル１３をシート状物質Ｃに近付ける。
とＢ間に挟み、タンク・キヤツプ２並びにボデイ
１０の内圧を高め、ターゲツト６及びセンサ・コ
イル１３をシート状物質Ｃに近付ける。
このとき、ターゲツト６にはチユーブ７を介し
空気が供給されており、第５図で示す如く、自重
ａ、コイルスプリング８の復元力ｂ、ダイアフラ
ム５の押圧力ｃ、空気吹き出しによる浮上力ｄと
がバランスし、ターゲツト６をシート状物質Ｃよ
り一定量ε浮上させる。
空気が供給されており、第５図で示す如く、自重
ａ、コイルスプリング８の復元力ｂ、ダイアフラ
ム５の押圧力ｃ、空気吹き出しによる浮上力ｄと
がバランスし、ターゲツト６をシート状物質Ｃよ
り一定量ε浮上させる。
下側の検出ヘツドＢ中のセンサ・コイル１３に
は高周波電流が流されており、磁束が生成されて
いる。センサ・コイル１３に対向して配置された
ターゲツト６は良導体であり、この部分に渦電流
が発生し、この渦電流によりセンサ・コイル１３
の磁束が減少しコイル・インピーダンスが変化す
る。このインピーダンス変化はターゲツト６とセ
ンサ・コイル１３間の距離に比例しており、この
距離はまたシート状物質Ｃの厚さｅと一定浮上量
εとの和で表わされる為、前記インピーダンスの
変化をブリツジ回路等により検出すれば、シート
状物質Ｃの厚さｅをオンラインで測定することが
出来る。
は高周波電流が流されており、磁束が生成されて
いる。センサ・コイル１３に対向して配置された
ターゲツト６は良導体であり、この部分に渦電流
が発生し、この渦電流によりセンサ・コイル１３
の磁束が減少しコイル・インピーダンスが変化す
る。このインピーダンス変化はターゲツト６とセ
ンサ・コイル１３間の距離に比例しており、この
距離はまたシート状物質Ｃの厚さｅと一定浮上量
εとの和で表わされる為、前記インピーダンスの
変化をブリツジ回路等により検出すれば、シート
状物質Ｃの厚さｅをオンラインで測定することが
出来る。
しかしながら、このような装置では、第６図で
示すように、ターゲツト６とシート状物質Ｃ間の
ギヤツプεを上回る異物１４がシート状物質Ｃ中
に含まれている場合、矢印Ｅ方向に送給されるシ
ート状物質Ｃの移動に伴ないターゲツト６の前端
部にこれが衝突する。
示すように、ターゲツト６とシート状物質Ｃ間の
ギヤツプεを上回る異物１４がシート状物質Ｃ中
に含まれている場合、矢印Ｅ方向に送給されるシ
ート状物質Ｃの移動に伴ないターゲツト６の前端
部にこれが衝突する。
衝突による力Ｆはシート状物質Ｃに対し垂直方
向の成分f1と横方向の成分f2に分解される。ター
ゲツト６の前端部にはほとんど傾斜がない為、横
方向の成分f2が大きくなる。
向の成分f1と横方向の成分f2に分解される。ター
ゲツト６の前端部にはほとんど傾斜がない為、横
方向の成分f2が大きくなる。
一方、ターゲツト６はダイアフラム５で支持さ
れており、シート状物質Ｃに対し垂直方向には移
動可能であるが、横方向にはほとんど移動出来な
い構造になつている。
れており、シート状物質Ｃに対し垂直方向には移
動可能であるが、横方向にはほとんど移動出来な
い構造になつている。
この為、異物１４だけがターゲツト６の前端部
に引掛り、これがシート状物質Ｃより切り離さ
れ、しばしばシート状物質Ｃを破断する事故が発
生する。
に引掛り、これがシート状物質Ｃより切り離さ
れ、しばしばシート状物質Ｃを破断する事故が発
生する。
＜考案が解決しようとする問題点＞
本考案の解決しようとする技術的課題は、紙等
のシート状物質に微小ギヤツプを置いて検出ヘツ
ドが近接配置され、シート状物質の厚さを測定す
る装置において、前記シート状物質に含まれる異
物が前記検出ヘツドに接触して起こるシート状物
質の破断事故を防ぐことにある。
のシート状物質に微小ギヤツプを置いて検出ヘツ
ドが近接配置され、シート状物質の厚さを測定す
る装置において、前記シート状物質に含まれる異
物が前記検出ヘツドに接触して起こるシート状物
質の破断事故を防ぐことにある。
＜問題点を解決するための手段＞
本考案の構成は、前記シート状物質の厚さ測定
装置において、前記シート状物質の上流側に面す
る、前記ターゲツトの表面に、上流側に向かつて
前記ターゲツトと前記シート状物質との間隔が増
大する傾斜面を設けると共に、前記ターゲツトの
上流側表面の空気吹き出し圧を前記ターゲツトの
下流側表面の空気吹き出し圧より強めるように前
記空気吹き出し孔を設定して、前記傾斜面を設け
たことによる前記浮上力の弱まりを補正し、前記
ターゲツトの上流側と下流側の浮上力をバランス
させ、前記シート状物質中に含まれる異物が前記
傾斜面に接触したとき、前記ターゲツト全体を前
記シート状物質に対し垂直方向に押し上げ、前記
異物が前記ターゲツトの下側を通過出来るように
した。
装置において、前記シート状物質の上流側に面す
る、前記ターゲツトの表面に、上流側に向かつて
前記ターゲツトと前記シート状物質との間隔が増
大する傾斜面を設けると共に、前記ターゲツトの
上流側表面の空気吹き出し圧を前記ターゲツトの
下流側表面の空気吹き出し圧より強めるように前
記空気吹き出し孔を設定して、前記傾斜面を設け
たことによる前記浮上力の弱まりを補正し、前記
ターゲツトの上流側と下流側の浮上力をバランス
させ、前記シート状物質中に含まれる異物が前記
傾斜面に接触したとき、前記ターゲツト全体を前
記シート状物質に対し垂直方向に押し上げ、前記
異物が前記ターゲツトの下側を通過出来るように
した。
＜作用＞
前記の技術手段は次のように作用する。即ち、
前記シート状物質中に含まれる異物が前記ターゲ
ツトに衝突したとき、衝突による力は前記傾斜面
によつて垂直方向の力と横方向の力とに分解され
る。大部分は垂直方向の力に変換される。この垂
直方向の力によつて、前記ターゲツト全体が押し
上げられる。
前記シート状物質中に含まれる異物が前記ターゲ
ツトに衝突したとき、衝突による力は前記傾斜面
によつて垂直方向の力と横方向の力とに分解され
る。大部分は垂直方向の力に変換される。この垂
直方向の力によつて、前記ターゲツト全体が押し
上げられる。
このとき、横方向の力は前記シート状物質から
前記異物を分離させる程、大きな力ではないた
め、前記異物は前記シート状物質と共に移動し、
前記ターゲツトを上方に押し上げつつ、このター
ゲツトの下側を通過して行く。更に、前記ターゲ
ツト表面に設けられた空気吹き出し孔の数或は孔
の径を変え、前記ターゲツトの上流側と下流側の
空気吹き出しによる浮上力をバランスさせ、前記
傾斜面を設けたことによる前記ターゲツトの傾き
を補正し、正確な厚さ測定が出来るようにした。
前記異物を分離させる程、大きな力ではないた
め、前記異物は前記シート状物質と共に移動し、
前記ターゲツトを上方に押し上げつつ、このター
ゲツトの下側を通過して行く。更に、前記ターゲ
ツト表面に設けられた空気吹き出し孔の数或は孔
の径を変え、前記ターゲツトの上流側と下流側の
空気吹き出しによる浮上力をバランスさせ、前記
傾斜面を設けたことによる前記ターゲツトの傾き
を補正し、正確な厚さ測定が出来るようにした。
＜実施例＞
以下図面に従い本考案の実施例を説明する。第
１図は本考案実施例装置の要部断面図、第２図は
第１図においてＨ−Ｈ面より見たターゲツト６の
平面図である。これらの図中、第４図における要
素と同じ要素には同一符号が付されている。シー
ト状物質Ｃの上流側に面するターゲツト６の前端
面には、上流側に向うにつれシート状物質Ｃとの
間隔が増大する。11°乃至15°程度の傾斜面６ｃが
設けられている。
１図は本考案実施例装置の要部断面図、第２図は
第１図においてＨ−Ｈ面より見たターゲツト６の
平面図である。これらの図中、第４図における要
素と同じ要素には同一符号が付されている。シー
ト状物質Ｃの上流側に面するターゲツト６の前端
面には、上流側に向うにつれシート状物質Ｃとの
間隔が増大する。11°乃至15°程度の傾斜面６ｃが
設けられている。
更に、ターゲツト６の表面に設けられた複数の
空気吹き出し孔６ｂのうち、中心より下流側にあ
る例えば点線で囲んだ部分の孔がつぶされる。
空気吹き出し孔６ｂのうち、中心より下流側にあ
る例えば点線で囲んだ部分の孔がつぶされる。
このような構成により、第３図で示すように、
ターゲツト６とシート状物質Ｃ間のギヤツプεを
上回る大きさの異物１４が、シート状物質Ｃの送
給に伴ないターゲツト６の前端部に衝突した場
合、衝突による力F′は、ターゲツト６の前端部の
傾斜面６ｃによつて、シート状物質Ｃに対し垂直
方向の成分f1′と横方向の成分f2′とに分解され、
大部分は垂直方向の力f1′に変換される。この垂
直方向の力f1′によつて、ターゲツト６全体が押
し上げられる。
ターゲツト６とシート状物質Ｃ間のギヤツプεを
上回る大きさの異物１４が、シート状物質Ｃの送
給に伴ないターゲツト６の前端部に衝突した場
合、衝突による力F′は、ターゲツト６の前端部の
傾斜面６ｃによつて、シート状物質Ｃに対し垂直
方向の成分f1′と横方向の成分f2′とに分解され、
大部分は垂直方向の力f1′に変換される。この垂
直方向の力f1′によつて、ターゲツト６全体が押
し上げられる。
このとき、横方向の力f2′はシート状物質Ｃか
ら異物１４を分離させる程、大きな力でないた
め、異物１４はシート状物質Ｃと共に移動し、タ
ーゲツト６を上方に押し上げつつ、ターゲツト６
の下側を通過して行く。
ら異物１４を分離させる程、大きな力でないた
め、異物１４はシート状物質Ｃと共に移動し、タ
ーゲツト６を上方に押し上げつつ、ターゲツト６
の下側を通過して行く。
尚、検出ヘツドＡ，Ｂはシート状物質Ｃの幅方
向にも駆動されるが、傾斜面６ｃはターゲツト６
のシート状物質Ｃの上流側に面する部分にしか設
けられていない。しかし、シート状物質Ｃの長さ
方向の送給スピードはこれら検出ヘツドの駆動ス
ピードに比べて圧倒的に速く、これら検出ヘツド
はシート状物質Ｃの上流方向にジグザグに移動す
る軌跡を辿る。この為、傾斜面をシート状物質Ｃ
の上流側に面する部分に設けるだけで充分な効果
が得られる。
向にも駆動されるが、傾斜面６ｃはターゲツト６
のシート状物質Ｃの上流側に面する部分にしか設
けられていない。しかし、シート状物質Ｃの長さ
方向の送給スピードはこれら検出ヘツドの駆動ス
ピードに比べて圧倒的に速く、これら検出ヘツド
はシート状物質Ｃの上流方向にジグザグに移動す
る軌跡を辿る。この為、傾斜面をシート状物質Ｃ
の上流側に面する部分に設けるだけで充分な効果
が得られる。
ところで、ターゲツト６の空気吹き出し孔６ｂ
が従来のままだとすると、傾斜面６ｃを設けたこ
とにより、吹き出し孔６ｂからの空気がこの部分
よりターゲツト６の外方に逃げ、吹き出しによる
浮上力が弱まり、ターゲツト６はシート状物質Ｃ
の上流側に向つて傾き、傾斜面を設けた効果が相
殺されてしまう。
が従来のままだとすると、傾斜面６ｃを設けたこ
とにより、吹き出し孔６ｂからの空気がこの部分
よりターゲツト６の外方に逃げ、吹き出しによる
浮上力が弱まり、ターゲツト６はシート状物質Ｃ
の上流側に向つて傾き、傾斜面を設けた効果が相
殺されてしまう。
本考案実施例装置では、ターゲツト６の上流側
表面の空気吹き出し圧をターゲツト６の上流側表
面の吹き出し圧より強めるため、ターゲツト６の
下流側の孔をつぶし、上流側と下流側の空気吹き
出しによる浮上力をバランスさせ、ターゲツト６
が安定して浮上出来るようにした。
表面の空気吹き出し圧をターゲツト６の上流側表
面の吹き出し圧より強めるため、ターゲツト６の
下流側の孔をつぶし、上流側と下流側の空気吹き
出しによる浮上力をバランスさせ、ターゲツト６
が安定して浮上出来るようにした。
尚、上流側と下流側の空気吹き出しによる浮上
力をバランスさせる方法として、ターゲツト６の
中心より下流側の孔の径を小さくして、下流側に
おける吹き出し圧を弱めるようにしても良い。
力をバランスさせる方法として、ターゲツト６の
中心より下流側の孔の径を小さくして、下流側に
おける吹き出し圧を弱めるようにしても良い。
＜考案の効果＞
本考案によれば、前記シート状物質中に含まれ
る異物が前記ターゲツトに衝突しても、ターゲツ
ト前端面に設けられた傾斜面によつて前記ターゲ
ツト全体が前記シート状物質に対し垂直方向に押
し上げられる為、前記異物がこの部分を容易に通
過出来、前記シート状物質がこの異物によつて破
断されることがない。更に、前記ターゲツト表面
の空気吹き出し孔の数或は孔の径を調整し、前記
ターゲツトの上流側と下流側の浮上力をバランス
させた為、前記傾斜面を設けても前記ターゲツト
面が傾くことがない。
る異物が前記ターゲツトに衝突しても、ターゲツ
ト前端面に設けられた傾斜面によつて前記ターゲ
ツト全体が前記シート状物質に対し垂直方向に押
し上げられる為、前記異物がこの部分を容易に通
過出来、前記シート状物質がこの異物によつて破
断されることがない。更に、前記ターゲツト表面
の空気吹き出し孔の数或は孔の径を調整し、前記
ターゲツトの上流側と下流側の浮上力をバランス
させた為、前記傾斜面を設けても前記ターゲツト
面が傾くことがない。
第１図は本考案実施例装置の要部断面図、第２
図は第１図においてＨ−Ｈ面より見たターゲツト
６の平面図、第３図は本考案実施例装置の動作を
説明する説明図、第４図は従来装置の断面図、第
５図並びに第６図は第５図に示す従来装置の動作
説明図である。 Ａ……上側の検出ヘツド、Ｂ……下側の検出ヘ
ツド、Ｃ……シート状物質、５……ダイアフラ
ム、６……ターゲツト、６ｂ……空気吹き出し
孔、６ｃ……傾斜面、８……コイルスプリング、
１３……センサ・コイル、１４……異物。
図は第１図においてＨ−Ｈ面より見たターゲツト
６の平面図、第３図は本考案実施例装置の動作を
説明する説明図、第４図は従来装置の断面図、第
５図並びに第６図は第５図に示す従来装置の動作
説明図である。 Ａ……上側の検出ヘツド、Ｂ……下側の検出ヘ
ツド、Ｃ……シート状物質、５……ダイアフラ
ム、６……ターゲツト、６ｂ……空気吹き出し
孔、６ｃ……傾斜面、８……コイルスプリング、
１３……センサ・コイル、１４……異物。
Claims (1)
- シート状の物質を挟んで一対の検出ヘツドを対
向配置し、下側の検出ヘツドにセンサ・コイルを
設け、上側の検出ヘツドに、表面に複数の空気吹
き出し孔を持つ導体ターゲツトを前記シート状物
質の表面に対し垂直方向に移動可能に弾性支持
し、前記ターゲツトの空気吹き出しによる浮上力
とこのターゲツトの自重並びに前記弾性支持手段
のバネ力とをバランスさせ、前記ターゲツトを前
記シート状物質表面より一定量浮上させるように
し、前記センサ・コイルのインピーダンスの変化
から前記シート状物質の厚さを測定するようにし
た装置において、前記シート状物質の上流側に面
する、前記ターゲツトの表面に、上流側に向かつ
て前記ターゲツトと前記シート状物質との間隔が
増大する傾斜面を設けると共に、前記ターゲツト
の上流側表面の空気吹き出し圧を前記ターゲツト
の下流側表面の空気吹き出し圧より強めるように
前記空気吹き出し孔を設定して、前記傾斜面を設
けたことによる前記浮上力の弱まりを補正し、前
記ターゲツトの上流側と下流側の浮上力をバラン
スさせ、前記シート状物質中に含まれる異物が前
記傾斜面に接触したとき、前記ターゲツト全体を
前記シート状物質に対し垂直方向に押し上げ、前
記異物が前記ターゲツトの下側を通過出来るよう
にしたことを特徴とするシート状物質の厚さ測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985088061U JPH0431526Y2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985088061U JPH0431526Y2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203307U JPS61203307U (ja) | 1986-12-20 |
| JPH0431526Y2 true JPH0431526Y2 (ja) | 1992-07-29 |
Family
ID=30640847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985088061U Expired JPH0431526Y2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0431526Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2568958Y2 (ja) * | 1989-11-14 | 1998-04-22 | 横河電機株式会社 | シート状物体特性測定装置の吸着力調整機構 |
| DE102006022882B4 (de) * | 2006-05-15 | 2016-04-14 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten mit einer Messsonde |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57118304U (ja) * | 1981-01-16 | 1982-07-22 |
-
1985
- 1985-06-10 JP JP1985088061U patent/JPH0431526Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61203307U (ja) | 1986-12-20 |
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