JPS61203307U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61203307U JPS61203307U JP8806185U JP8806185U JPS61203307U JP S61203307 U JPS61203307 U JP S61203307U JP 8806185 U JP8806185 U JP 8806185U JP 8806185 U JP8806185 U JP 8806185U JP S61203307 U JPS61203307 U JP S61203307U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- target
- air blowing
- inclined surface
- balanced
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第１図は本考案実施例装置の要部断面図、第２
図は第１図においてＨ―Ｈ面より見たターゲツト
６の平面図、第３図は本考案実施例装置の動作を
説明する説明図、第４図は従来装置の断面図、第
５図並びに第６図は第５図に示す従来装置の動作
説明図である。 Ａ……上側の検出ヘツド、Ｂ……下側の検出ヘ
ツド、Ｃ……シート状物質、５……ダイアフラム
、６……ターゲツト、６ｂ……空気吹き出し孔、
６ｃ……傾斜面、８……コイルスプリング、１３
……センサ・コイル、１４……異物。
図は第１図においてＨ―Ｈ面より見たターゲツト
６の平面図、第３図は本考案実施例装置の動作を
説明する説明図、第４図は従来装置の断面図、第
５図並びに第６図は第５図に示す従来装置の動作
説明図である。 Ａ……上側の検出ヘツド、Ｂ……下側の検出ヘ
ツド、Ｃ……シート状物質、５……ダイアフラム
、６……ターゲツト、６ｂ……空気吹き出し孔、
６ｃ……傾斜面、８……コイルスプリング、１３
……センサ・コイル、１４……異物。
Claims (1)
- シート状の物質を挾んで一対の検出ヘツドを対
向配置し、下側の検出ヘツドにセンサ・コイルを
設け、上側の検出ヘツドに、表面に複数の空気吹
き出し孔を持つ導体ターゲツトを前記シート状物
質の表面に対し垂直方向に移動可能に弾性支持し
、前記ターゲツトの空気吹き出しによる浮上力と
このターゲツトの自重並びに前記弾性支持手段の
バネ力とをバランスさせ、前記ターゲツトを前記
シート状物質表面より一定量浮上させるようにし
、前記センサ・コイルのインピーダンスの変化か
ら前記シート状物質の厚さを測定するようにした
装置において、前記シート状物質の上流側に面す
る前記ターゲツト部分に、上流側の向うにつれ前
記シート状物質との間隔が増大する傾斜面を設け
、前記シート状物質中に含まれる異物がこの傾斜
面に接触したとき、前記ターゲツト全体を前記シ
ート状物質に対し垂直方向に避退させると共に、
前記ターゲツト表面に設けられた空気吹き出し孔
の数或は孔の径を変え、前記ターゲツトの上流側
と下流側の空気吹き出しによる浮上力をバランス
させ、前記傾斜面を設けたことによる前記ターゲ
ツト面の傾きを補正するようにしたことを特徴と
するシート状物質の厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985088061U JPH0431526Y2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985088061U JPH0431526Y2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203307U true JPS61203307U (ja) | 1986-12-20 |
| JPH0431526Y2 JPH0431526Y2 (ja) | 1992-07-29 |
Family
ID=30640847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985088061U Expired JPH0431526Y2 (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0431526Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0488847U (ja) * | 1989-11-14 | 1992-08-03 | ||
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57118304U (ja) * | 1981-01-16 | 1982-07-22 |
-
1985
- 1985-06-10 JP JP1985088061U patent/JPH0431526Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57118304U (ja) * | 1981-01-16 | 1982-07-22 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0488847U (ja) * | 1989-11-14 | 1992-08-03 | ||
| JP2007309935A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0431526Y2 (ja) | 1992-07-29 |
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