JPH04315938A - 有限距離結像レンズの結像光量測定装置 - Google Patents
有限距離結像レンズの結像光量測定装置Info
- Publication number
- JPH04315938A JPH04315938A JP8410191A JP8410191A JPH04315938A JP H04315938 A JPH04315938 A JP H04315938A JP 8410191 A JP8410191 A JP 8410191A JP 8410191 A JP8410191 A JP 8410191A JP H04315938 A JPH04315938 A JP H04315938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- integrating sphere
- holding mechanism
- lens
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 70
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 29
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は有限距離結像レンズ、
即ち物像間距離が有限な結像レンズの結像光量を測定す
る装置に関する。
即ち物像間距離が有限な結像レンズの結像光量を測定す
る装置に関する。
【0002】
【従来の技術】OA機器として代表格の複写機やファク
シミリ装置では、原稿の像が感光体や撮像素子上に結像
される。この場合、結像レンズによる結像関係における
物体位置即ち原稿位置と、像位置即ち感光体や撮像素子
の位置との間の距離は有限距離であり、このようなレン
ズをこの明細書においては「有限距離結像レンズ」と称
する。
シミリ装置では、原稿の像が感光体や撮像素子上に結像
される。この場合、結像レンズによる結像関係における
物体位置即ち原稿位置と、像位置即ち感光体や撮像素子
の位置との間の距離は有限距離であり、このようなレン
ズをこの明細書においては「有限距離結像レンズ」と称
する。
【0003】複写機に用いられる感光体や撮像素子は感
度条件が厳しく、適正な複写や原稿読取を行うためには
有限距離結像レンズにより感光体や撮像素子上に投影さ
れる光量が高度に均一化されている必要がある。特に複
写や原稿読取が高速になるほど、上記光量均一性の条件
は厳しくなる。
度条件が厳しく、適正な複写や原稿読取を行うためには
有限距離結像レンズにより感光体や撮像素子上に投影さ
れる光量が高度に均一化されている必要がある。特に複
写や原稿読取が高速になるほど、上記光量均一性の条件
は厳しくなる。
【0004】有限距離結像レンズの結像面による像面上
の光量分布は、コサイン4乗則やレンズの結像特性によ
り変化するから、均一な像面光量を実現するためには、
有限距離結像レンズの結像光量特性に応じた原稿照明条
件を設定しなければならず、そのために結像光量の正確
な測定が必要となる。
の光量分布は、コサイン4乗則やレンズの結像特性によ
り変化するから、均一な像面光量を実現するためには、
有限距離結像レンズの結像光量特性に応じた原稿照明条
件を設定しなければならず、そのために結像光量の正確
な測定が必要となる。
【0005】従来、有限距離結像レンズの結像光量を正
確に測定する専用の装置が無く、測定は専ら実験的に実
施されていた。
確に測定する専用の装置が無く、測定は専ら実験的に実
施されていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な事情に鑑みてなされたものであって、有限距離結像レ
ンズの所望の結像倍率における結像光量を簡易且つ正確
に測定できる新規な結像光量測定装置の提供を課題とし
ている。
な事情に鑑みてなされたものであって、有限距離結像レ
ンズの所望の結像倍率における結像光量を簡易且つ正確
に測定できる新規な結像光量測定装置の提供を課題とし
ている。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の有限距離結像
レンズの光量測定装置は、「物像間距離が有限な結像レ
ンズの結像面上における光量の分布を測定する装置」で
あって、レンズ保持機構と、光源装置および受光装置と
、光源用積分球保持機構および受光用積分球保持機構と
、レンズ保持機構駆動手段及び光源用積分球保持機構駆
動手段及び受光用積分球保持機構駆動手段と、制御・演
算ユニットとを有する。
レンズの光量測定装置は、「物像間距離が有限な結像レ
ンズの結像面上における光量の分布を測定する装置」で
あって、レンズ保持機構と、光源装置および受光装置と
、光源用積分球保持機構および受光用積分球保持機構と
、レンズ保持機構駆動手段及び光源用積分球保持機構駆
動手段及び受光用積分球保持機構駆動手段と、制御・演
算ユニットとを有する。
【0008】「レンズ保持機構」は、被測定レンズを保
持し、レンズ光軸に平行なX方向へ変位させ得るように
構成される。「光源装置」は、光源用積分球と、この光
源用積分球の内部に照明用の光を照射する光源手段とを
有する。「受光装置」は、受光用積分球と、この受光用
積分球に入射した光を光電変換する光電変換手段とを有
する。
持し、レンズ光軸に平行なX方向へ変位させ得るように
構成される。「光源装置」は、光源用積分球と、この光
源用積分球の内部に照明用の光を照射する光源手段とを
有する。「受光装置」は、受光用積分球と、この受光用
積分球に入射した光を光電変換する光電変換手段とを有
する。
【0009】「光源用積分球保持機構」は、光源用積分
球を、上記X方向に直交するY方向へ変位可能に且つ、
上記X,Y方向に直交するZ方向に平行で光源用積分球
の光射出用開口位置を通る光源用積分球接線を軸として
回転可能に保持する。「受光用積分球保持機構」は、受
光用積分球を、上記X,Y方向へ変位可能に且つ、上記
Z方向に平行で受光用積分球の光入射用開口位置を通る
受光用積分球接線を軸として回転可能に保持する。
球を、上記X方向に直交するY方向へ変位可能に且つ、
上記X,Y方向に直交するZ方向に平行で光源用積分球
の光射出用開口位置を通る光源用積分球接線を軸として
回転可能に保持する。「受光用積分球保持機構」は、受
光用積分球を、上記X,Y方向へ変位可能に且つ、上記
Z方向に平行で受光用積分球の光入射用開口位置を通る
受光用積分球接線を軸として回転可能に保持する。
【0010】「レンズ保持機構駆動手段」は、レンズ保
持機構を駆動する。「光源用積分球保持機構駆動手段」
は、光源用積分球保持機構を駆動する。「受光用積分球
保持機構駆動手段」は、受光用積分球保持機構を駆動す
る。
持機構を駆動する。「光源用積分球保持機構駆動手段」
は、光源用積分球保持機構を駆動する。「受光用積分球
保持機構駆動手段」は、受光用積分球保持機構を駆動す
る。
【0011】「制御・演算ユニット」は、測定条件に応
じて、レンズ保持機構駆動手段、光源用積分球保持機構
駆動手段及び受光用積分球保持機構駆動手段を制御し、
受光手段からの出力により、入射角に応じた光量比を演
算する。「測定条件」とは、被測定レンズの設計データ
や測定倍率等である。
じて、レンズ保持機構駆動手段、光源用積分球保持機構
駆動手段及び受光用積分球保持機構駆動手段を制御し、
受光手段からの出力により、入射角に応じた光量比を演
算する。「測定条件」とは、被測定レンズの設計データ
や測定倍率等である。
【0012】
【作用】被測定レンズを介して、光源用積分球の開口位
置と受光用積分球の開口位置を結像の共役関係に配置し
、光源用積分球から光を放射させ、受光用積分球の受光
する光量に基づいて、光量比を求める。
置と受光用積分球の開口位置を結像の共役関係に配置し
、光源用積分球から光を放射させ、受光用積分球の受光
する光量に基づいて、光量比を求める。
【0013】
【実施例】以下、図面を参照しつつ具体的な実施例に即
して説明する。
して説明する。
【0014】図1は、この発明の1実施例を概念図的に
示している。図において、符号0は被測定レンズ、符号
1はレンズ保持機構を示している。図のようにX,Y方
向を定め、図面に直交する方向をZ方向とする。
示している。図において、符号0は被測定レンズ、符号
1はレンズ保持機構を示している。図のようにX,Y方
向を定め、図面に直交する方向をZ方向とする。
【0015】レンズ保持機構1は、被測定レンズ0を、
その光軸方向がX方向と平行になるように保持し、測定
条件に応じて被測定レンズ0をX方向へ変位させる。即
ち、レンズ保持機構1は移動部10とガイド11とを有
し、レンズ保持機構駆動手段6により移動部10をガイ
ド11に沿って駆動することにより、X方向の変位が行
われる。
その光軸方向がX方向と平行になるように保持し、測定
条件に応じて被測定レンズ0をX方向へ変位させる。即
ち、レンズ保持機構1は移動部10とガイド11とを有
し、レンズ保持機構駆動手段6により移動部10をガイ
ド11に沿って駆動することにより、X方向の変位が行
われる。
【0016】符号2は光源用積分球を示す。この実施例
において、光源用積分球2は直径150mmの中空の球
であり、内面は拡散反射面に仕上げられ、光源20から
の光を光ファイバー21により球体内部に照射できるよ
うになっている。光源用積分球2と光源20と光ファイ
バー21とは光源装置を構成している。光源装置の変形
例として、半導体レーザーのような光源を光源用積分球
に直接設けるように構成しても良い。
において、光源用積分球2は直径150mmの中空の球
であり、内面は拡散反射面に仕上げられ、光源20から
の光を光ファイバー21により球体内部に照射できるよ
うになっている。光源用積分球2と光源20と光ファイ
バー21とは光源装置を構成している。光源装置の変形
例として、半導体レーザーのような光源を光源用積分球
に直接設けるように構成しても良い。
【0017】光源用積分球2は、適宜の大きさの光射出
用開口2Aを形成され、この開口部を通り積分球2に接
する光源用積分球接線2CがZ方向に平行になるように
して、光源用積分球保持機構3の移動部30に固定され
る。光源用積分球保持機構3は移動部30とガイド31
とを有し、光源用積分球保持機構駆動手段7により駆動
されて、光源用積分球2をY方向へ変位させたり、上記
光源用積分球接線2Cの回りに回転させたりできるよう
になっている。
用開口2Aを形成され、この開口部を通り積分球2に接
する光源用積分球接線2CがZ方向に平行になるように
して、光源用積分球保持機構3の移動部30に固定され
る。光源用積分球保持機構3は移動部30とガイド31
とを有し、光源用積分球保持機構駆動手段7により駆動
されて、光源用積分球2をY方向へ変位させたり、上記
光源用積分球接線2Cの回りに回転させたりできるよう
になっている。
【0018】符号4は受光用積分球を示す。この実施例
において、受光用積分球2は直径150mmの中空の球
であり、内面は拡散反射面に仕上げられ、適宜の大きさ
に形成された入射用開口4Aから入射した光を光電変換
素子40により電気信号化するようになっている。この
実施例において光電変換手段素子40は光電子像倍管で
ある。受光用積分球4と光電変換素子40とは受光装置
を構成している。
において、受光用積分球2は直径150mmの中空の球
であり、内面は拡散反射面に仕上げられ、適宜の大きさ
に形成された入射用開口4Aから入射した光を光電変換
素子40により電気信号化するようになっている。この
実施例において光電変換手段素子40は光電子像倍管で
ある。受光用積分球4と光電変換素子40とは受光装置
を構成している。
【0019】受光用積分球4は、光入射用開口2Aを形
成され、この開口部を通り積分球4に接する受光用積分
球接線4CがZ方向に平行になるようにして、受光用積
分球保持機構5の移動部50に固定される。受光用積分
球保持機構5は移動部50とガイド51(及び図示され
ないX方向変位用のガイド)を有し、受光用積分球保持
機構駆動手段8により駆動されて、受光用積分球4をX
,Y方向へ変位させたり、受光用積分球接線4Cの回り
に回転させたりできるようになっている。
成され、この開口部を通り積分球4に接する受光用積分
球接線4CがZ方向に平行になるようにして、受光用積
分球保持機構5の移動部50に固定される。受光用積分
球保持機構5は移動部50とガイド51(及び図示され
ないX方向変位用のガイド)を有し、受光用積分球保持
機構駆動手段8により駆動されて、受光用積分球4をX
,Y方向へ変位させたり、受光用積分球接線4Cの回り
に回転させたりできるようになっている。
【0020】符号9で示す制御・演算ユニットは、制御
・演算回路90とキーボード91と表示部92とを有す
る。制御・演算ユニット9は具体的にはコンピューター
で実現できる。表示分92はビジュアル・ディスプレイ
とプリンターとを有する。
・演算回路90とキーボード91と表示部92とを有す
る。制御・演算ユニット9は具体的にはコンピューター
で実現できる。表示分92はビジュアル・ディスプレイ
とプリンターとを有する。
【0021】図2を参照すると、この図は図1の実施例
を側方から見た図である。レンズ保持機構1、光源用積
分球保持機構3、受光用積分球保持機構5は基板100
に設けられている。
を側方から見た図である。レンズ保持機構1、光源用積
分球保持機構3、受光用積分球保持機構5は基板100
に設けられている。
【0022】レンズ保持機構1の移動部10はガイド1
1上をX方向へ変位するスライドステージ101と、こ
のスライドステージ101上に設けられたZ方向の上下
ステージを有し、これら各ステージはレンズ保持機構駆
動手段6により駆動される。即ち、レンズ保持機構駆動
手段6は、図1に示すようにX駆動を行う部分とZ駆動
を行う部分とにより構成され、X駆動を行う部分により
スライドステージ101の駆動を行い、Z駆動を行う部
分で上下ステージ102の駆動を行う。なお、この実施
例においては上下ステージ102の上に、手動式の回転
ステージ103と、その上にさらにあおりステージ10
4が設けられ、被測定レンズ0の光軸方向と光軸高さを
微調整できるようになっている。
1上をX方向へ変位するスライドステージ101と、こ
のスライドステージ101上に設けられたZ方向の上下
ステージを有し、これら各ステージはレンズ保持機構駆
動手段6により駆動される。即ち、レンズ保持機構駆動
手段6は、図1に示すようにX駆動を行う部分とZ駆動
を行う部分とにより構成され、X駆動を行う部分により
スライドステージ101の駆動を行い、Z駆動を行う部
分で上下ステージ102の駆動を行う。なお、この実施
例においては上下ステージ102の上に、手動式の回転
ステージ103と、その上にさらにあおりステージ10
4が設けられ、被測定レンズ0の光軸方向と光軸高さを
微調整できるようになっている。
【0023】光源用積分球保持機構3は、図2に示すよ
うに、ガイド31にそってY方向へ移動可能なスライド
ステージ301と、その上に設けられた回転ステージ3
02とを有し、これら各ステージ、ガイドは光源用積分
球保持機構駆動手段8により駆動される。即ち、受光用
積分球保持機構駆動手段8は、図1に示すようにY駆動
を行う部分とθ駆動即ち回転駆動を行う部分とにより構
成され、Y駆動を行う部分によりスライドステージ30
1の駆動を行い、θ駆動を行う部分で回転ステージ30
2の駆動を行う。
うに、ガイド31にそってY方向へ移動可能なスライド
ステージ301と、その上に設けられた回転ステージ3
02とを有し、これら各ステージ、ガイドは光源用積分
球保持機構駆動手段8により駆動される。即ち、受光用
積分球保持機構駆動手段8は、図1に示すようにY駆動
を行う部分とθ駆動即ち回転駆動を行う部分とにより構
成され、Y駆動を行う部分によりスライドステージ30
1の駆動を行い、θ駆動を行う部分で回転ステージ30
2の駆動を行う。
【0024】受光用積分球保持機構5は、図2に示すよ
うに、ガイド52に沿ってX方向へ移動可能なガイド5
1と、このガイド51に沿ってY方向へ移動可能なスラ
イドステージ501と、その上に設けられた回転ステー
ジ502とを有し、これら各ステージは光源用積分球保
持機構駆動手段8により駆動される。即ち、光源用積分
球保持機構駆動手段7は、図1に示すようにX駆動を行
う部分とY駆動を行う部分とθ駆動を行う部分とにより
構成され、X駆動を行う部分によりガイド51のX方向
変位の駆動を行い、Y駆動を行う部分によりスライドス
テージ501の駆動を行い、θ駆動を行う部分で回転ス
テージ502の駆動を行う。
うに、ガイド52に沿ってX方向へ移動可能なガイド5
1と、このガイド51に沿ってY方向へ移動可能なスラ
イドステージ501と、その上に設けられた回転ステー
ジ502とを有し、これら各ステージは光源用積分球保
持機構駆動手段8により駆動される。即ち、光源用積分
球保持機構駆動手段7は、図1に示すようにX駆動を行
う部分とY駆動を行う部分とθ駆動を行う部分とにより
構成され、X駆動を行う部分によりガイド51のX方向
変位の駆動を行い、Y駆動を行う部分によりスライドス
テージ501の駆動を行い、θ駆動を行う部分で回転ス
テージ502の駆動を行う。
【0025】なお、各ガイドの両端部にはストッパーが
形成されている。また上記各駆動手段の各種駆動を行う
部分はサーボモーター機構で、移動距離・回転角等を制
御できる機構である。
形成されている。また上記各駆動手段の各種駆動を行う
部分はサーボモーター機構で、移動距離・回転角等を制
御できる機構である。
【0026】以下、実施例装置による結像光量の測定を
説明する。
説明する。
【0027】測定に先だって、キーボード91により測
定を行う旨の操作を実行すると、制御・演算回路90に
内臓されたプログラムに従って、制御演算回路はレンズ
保持機構駆動手段6、光源用積分球保持機構駆動手段7
、受光用積分球保持機構駆動手段8を制御して、装置の
基準状態を実現する。
定を行う旨の操作を実行すると、制御・演算回路90に
内臓されたプログラムに従って、制御演算回路はレンズ
保持機構駆動手段6、光源用積分球保持機構駆動手段7
、受光用積分球保持機構駆動手段8を制御して、装置の
基準状態を実現する。
【0028】この基準状態において、光源用積分球2と
受光用積分球4とは図1に示すようにX方向に平行な基
準線上で互いに光射出用開口2Aと光入射用開口4Aと
を正対させる。またレンズ保持機構1の移動部10はこ
れら積分球2,4の中間に位置する。この状態において
、被測定レンズ0をレンズ保持機構1に保持させる。 即ち、図2に示すように被測定レンズ0を治具200を
用いて移動部10の上部に設置する。
受光用積分球4とは図1に示すようにX方向に平行な基
準線上で互いに光射出用開口2Aと光入射用開口4Aと
を正対させる。またレンズ保持機構1の移動部10はこ
れら積分球2,4の中間に位置する。この状態において
、被測定レンズ0をレンズ保持機構1に保持させる。 即ち、図2に示すように被測定レンズ0を治具200を
用いて移動部10の上部に設置する。
【0029】この状態において、キーボード91に被測
定レンズ0の口径をデータとして入力するとレンズ保持
機構駆動手段6が作動して上下ステージ103を駆動し
て被測定レンズ0の光軸と基準線との位置合わせを行う
。必要に応じて、回転ステージ103とあおりステージ
104を手動で調整して、被測定レンズ0の光軸と基準
線とを正確に合致させる。
定レンズ0の口径をデータとして入力するとレンズ保持
機構駆動手段6が作動して上下ステージ103を駆動し
て被測定レンズ0の光軸と基準線との位置合わせを行う
。必要に応じて、回転ステージ103とあおりステージ
104を手動で調整して、被測定レンズ0の光軸と基準
線とを正確に合致させる。
【0030】続いて、測定条件として被測定レンズのデ
ータ、例えば焦点距離,倍率等をキーボード91から入
力すると、制御演算回路90は内臓プログラムに従って
、演算を行い、被測定レンズ0と受光用積分球4の位置
を光源用積分球2の位置に対して相対的に算出し、レン
ズ保持機構1の移動部10と受光用積分球保持機構5の
ガイド51をX方向へ変位させて、上記倍率に対して、
光源用積分球2の光射出用開口2Aと受光用積分球4の
光入射用開口4Aとが被測定レンズ0により結像の共役
関係になるように位置ぎめを行う。
ータ、例えば焦点距離,倍率等をキーボード91から入
力すると、制御演算回路90は内臓プログラムに従って
、演算を行い、被測定レンズ0と受光用積分球4の位置
を光源用積分球2の位置に対して相対的に算出し、レン
ズ保持機構1の移動部10と受光用積分球保持機構5の
ガイド51をX方向へ変位させて、上記倍率に対して、
光源用積分球2の光射出用開口2Aと受光用積分球4の
光入射用開口4Aとが被測定レンズ0により結像の共役
関係になるように位置ぎめを行う。
【0031】この状態で、光源20からの光を光ファイ
バー21により光源用積分球2の内部に照射すると、光
は積分球内部で撹拌反射されて均一な光となって光源用
積分球2から射出する。なお説明中の実施例では光射出
用開口に射出光の拡散性をより高めるための拡散板2B
が設けられている。
バー21により光源用積分球2の内部に照射すると、光
は積分球内部で撹拌反射されて均一な光となって光源用
積分球2から射出する。なお説明中の実施例では光射出
用開口に射出光の拡散性をより高めるための拡散板2B
が設けられている。
【0032】光源用積分球2から射出した光束は、被測
定レンズ0により受光用積分球4の入射用開口位置に結
像され、同開口位置に配備された拡散板4Bを介して球
内に入射し、球内において拡散反射を繰返し、入射光強
度に比例する強度の光が光電変換手段素子40に入射し
、電気信号化される。
定レンズ0により受光用積分球4の入射用開口位置に結
像され、同開口位置に配備された拡散板4Bを介して球
内に入射し、球内において拡散反射を繰返し、入射光強
度に比例する強度の光が光電変換手段素子40に入射し
、電気信号化される。
【0033】この電気信号は制御・演算回路90に入力
する。制御・演算回路90は入力信号を光軸上結像光量
として100に規格化する。続いて、制御演算回路90
は光源用積分球保持機構駆動手段3と受光用積分球保持
機構駆動手段5を駆動し、光源用積分球2と受光用積分
球4とをY方向の互いに逆の向きに移動させ、有限入射
角に対する共役関係を実現する。そして上記と同様の測
定を行い、受光用積分球4の受光する光量を上記光軸上
結像光量に対するパーセンテージとして、即ち光量比と
して演算する。この測定プロセスを所望の入射角範囲に
就いて繰り返して、上記入射角範囲における結像光量の
光量比を得ることができる。
する。制御・演算回路90は入力信号を光軸上結像光量
として100に規格化する。続いて、制御演算回路90
は光源用積分球保持機構駆動手段3と受光用積分球保持
機構駆動手段5を駆動し、光源用積分球2と受光用積分
球4とをY方向の互いに逆の向きに移動させ、有限入射
角に対する共役関係を実現する。そして上記と同様の測
定を行い、受光用積分球4の受光する光量を上記光軸上
結像光量に対するパーセンテージとして、即ち光量比と
して演算する。この測定プロセスを所望の入射角範囲に
就いて繰り返して、上記入射角範囲における結像光量の
光量比を得ることができる。
【0034】図3は、測定結果の1例を示す。この例で
結像倍率は等倍であり、結像面上で光軸から148.5
0mmの距離までの範囲における結像の光量比を測定し
た結果を示す。黒点は測定値を表し、これら黒点を結ぶ
曲線は、制御・演算回路90において最小2乗法(同回
路内にプログラムとして内臓されている)により演算し
た結果である。
結像倍率は等倍であり、結像面上で光軸から148.5
0mmの距離までの範囲における結像の光量比を測定し
た結果を示す。黒点は測定値を表し、これら黒点を結ぶ
曲線は、制御・演算回路90において最小2乗法(同回
路内にプログラムとして内臓されている)により演算し
た結果である。
【0035】なお、拡散板2B,4Bは必要に応じて、
取外して測定しても良く、光源の色温度や波長に応じて
拡散板に代えて適宜のフィルターを用いることもできる
。また、光軸外の結像光量を測定するとき、測定目的に
よっては光源用・受光用積分球2、4の開口を被測定レ
ンズを介して互いに正対させても良い。このような光学
配置を実現するため、各積分球は回転可能となっている
のである。
取外して測定しても良く、光源の色温度や波長に応じて
拡散板に代えて適宜のフィルターを用いることもできる
。また、光軸外の結像光量を測定するとき、測定目的に
よっては光源用・受光用積分球2、4の開口を被測定レ
ンズを介して互いに正対させても良い。このような光学
配置を実現するため、各積分球は回転可能となっている
のである。
【0036】
【発明の効果】以上のように、この発明の結像光量測定
装置によれば、有限距離結像レンズの結像光量比を、簡
単にかつ正確に測定できる。
装置によれば、有限距離結像レンズの結像光量比を、簡
単にかつ正確に測定できる。
【図1】この発明の1実施例を概念図的に示す図である
。
。
【図2】上記実施例の側面図的な説明図である。
【図3】上記実施例による測定結果の1例を示す図であ
る。
る。
0 被測定レンズ
1 レンズ保持機構
2 光源用積分球
3 光源用積分球保持機構
4 受光用積分球
5 受光用積分球保持機構
6 レンズ保持機構駆動手段7
光源用積分球保持機構駆動手段8 受光用積
分球保持機構駆動手段9 制御・演算ユニッ
ト
光源用積分球保持機構駆動手段8 受光用積
分球保持機構駆動手段9 制御・演算ユニッ
ト
Claims (1)
- 【請求項1】物像間距離が有限な結像レンズの結像面上
における光量の分布を測定する装置であって、被測定レ
ンズを保持し、レンズ光軸に平行なX方向へ変位させ得
るように構成されたレンズ保持機構と、光源用積分球と
、この光源用積分球の内部に照明用の光を照射する光源
手段とを有する光源装置と、受光用積分球と、この受光
用積分球に入射した光を光電変換する光電変換手段とを
有する受光装置と、上記光源用積分球を、上記X方向に
直交するY方向へ変位可能に且つ、上記X,Y方向に直
交するZ方向に平行で光源用積分球の光射出用開口位置
を通る光源用積分球接線を軸として回転可能に保持する
光源用積分球保持機構と、上記受光用積分球を、上記X
,Y方向へ変位可能に且つ、上記Z方向に平行で受光用
積分球の光入射用開口位置を通る受光用積分球接線を軸
として回転可能に保持する受光用積分球保持機構と、上
記レンズ保持機構を駆動するレンズ保持機構駆動手段と
、上記光源用積分球保持機構を駆動する光源用積分球保
持機構駆動手段と、上記受光用積分球保持機構を駆動す
る受光用積分球保持機構駆動手段と、測定条件に応じて
、上記レンズ保持機構駆動手段、光源用積分球保持機構
駆動手段及び受光用積分球保持機構駆動手段を制御し、
上記受光手段からの出力により、入射角に応じた光量比
を演算する制御・演算ユニットとを有する、有限距離結
像レンズの結像光量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8410191A JPH04315938A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 有限距離結像レンズの結像光量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8410191A JPH04315938A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 有限距離結像レンズの結像光量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04315938A true JPH04315938A (ja) | 1992-11-06 |
Family
ID=13821130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8410191A Pending JPH04315938A (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 有限距離結像レンズの結像光量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04315938A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08248322A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-27 | Carl Zeiss:Fa | 焦点測定のためのアタッチメントモジュール |
| JP2010133833A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Hioki Ee Corp | 測光装置 |
| JP2018205231A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 一般財団法人雑賀技術研究所 | 積分球を用いた相対反射率測定装置及びその較正方法 |
-
1991
- 1991-04-16 JP JP8410191A patent/JPH04315938A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08248322A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-27 | Carl Zeiss:Fa | 焦点測定のためのアタッチメントモジュール |
| JP2010133833A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Hioki Ee Corp | 測光装置 |
| JP2018205231A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 一般財団法人雑賀技術研究所 | 積分球を用いた相対反射率測定装置及びその較正方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2002079760A2 (en) | Polarimetric scatterometer for critical dimension measurements of periodic structures | |
| JP2008275612A (ja) | 半導体製造用のサブストレート上の構造体を測定する高解像度を備えた装置及び測定装置におけるアパーチャの使用 | |
| US4218112A (en) | Photometer microscope for microphotometer scanning of fine specimen structures | |
| EP0399036B1 (en) | Spectrometer apparatus for self-calibrating color imaging apparatus | |
| CA1162591A (en) | Apparatus for point to point and line by line recording of image information | |
| JPH04315938A (ja) | 有限距離結像レンズの結像光量測定装置 | |
| JPH07106243A (ja) | 水平位置検出装置 | |
| CN117368101A (zh) | 检查设备和检查方法 | |
| JP2662236B2 (ja) | 投影露光方法およびその装置 | |
| JPH1172443A (ja) | 自動マクロ検査装置 | |
| KR100487261B1 (ko) | 물체의결함검사방법및검사장치 | |
| JP3336622B2 (ja) | 結像特性計測方法及び装置、並びに露光装置 | |
| JPH08219946A (ja) | レンズ性能検査装置 | |
| US3765310A (en) | Optical system | |
| JPH03503092A (ja) | カラー・複写原画の点状測定のための装置 | |
| JPH11284802A (ja) | 透明物体用光電式走査装置 | |
| JPS5838822A (ja) | リングフイ−ルドプロジエクシヨン装置における照度の均一性を測定する装置 | |
| KR100767498B1 (ko) | 불균일 검사장치 및 불균일 검사방법 | |
| JPH05259020A (ja) | 投影露光装置 | |
| JPH04186553A (ja) | モワレ干渉方式の測定装置 | |
| JPH06324472A (ja) | 露光用原板及びそれを用いた投影露光装置 | |
| JPH0635162Y2 (ja) | レンズ検査装置 | |
| JPH0219709Y2 (ja) | ||
| JPH10318883A (ja) | レンズの測定装置及び測定方法 | |
| JPH0792414A (ja) | 円筒内面走査装置 |