JPH0431675A - 真空用接続部材 - Google Patents
真空用接続部材Info
- Publication number
- JPH0431675A JPH0431675A JP2133803A JP13380390A JPH0431675A JP H0431675 A JPH0431675 A JP H0431675A JP 2133803 A JP2133803 A JP 2133803A JP 13380390 A JP13380390 A JP 13380390A JP H0431675 A JPH0431675 A JP H0431675A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- connecting member
- flange
- cylindrical part
- bellows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、眞空装置（接続するための真空用接続部材Ｉ
Ｉｃ関する。
Ｉｃ関する。
眞空装置は各徨産業分野で広く使用されている。
例えば、電子様器では、周知のブラウン管（例えば特開
昭５９−２１５６４０号公報）は、ガラス製のパルプ（
外囲器）の映倫面に蛍光体層を形成し、ネック部に電子
銃を取り付け、その他必要な部材を内ＮＫ設け、管内を
Ｉ×１０−テｔｏｒｒ程度の高真空に保持した眞空装置
である。
昭５９−２１５６４０号公報）は、ガラス製のパルプ（
外囲器）の映倫面に蛍光体層を形成し、ネック部に電子
銃を取り付け、その他必要な部材を内ＮＫ設け、管内を
Ｉ×１０−テｔｏｒｒ程度の高真空に保持した眞空装置
である。
このよ５な眞空装置のブラウン管は、管内の真空雰囲気
の中に微量の有機物質や残留ガスが残っていると、ブラ
ウン管としての正常な機能が得られない場合がある。
の中に微量の有機物質や残留ガスが残っていると、ブラ
ウン管としての正常な機能が得られない場合がある。
そのため、製造されたブラウン管を時折サンプリングし
て管内の真空雰囲気の中にある上記物質やガスの分析試
験を行い、必要な対策を行っている。
て管内の真空雰囲気の中にある上記物質やガスの分析試
験を行い、必要な対策を行っている。
上記試験では、パルプを真空ポンプに結合して管内の真
空雰囲気を吸引して取抄出す作業があり、パルプと真空
ポンプとの間を接続する接続部材が必ｌ！になる。
空雰囲気を吸引して取抄出す作業があり、パルプと真空
ポンプとの間を接続する接続部材が必ｌ！になる。
８１２図は、従来から使用されている接続部材を示し、
金属製、例えばステンレス製のＴ形円筒部ｌが水平部１
ｍの一端に金属製、例えばステンレス製のベローズ２ｔ
−介して真空ポンプ（図示せず）と接続するフランジ３
を設け、他端に閉塞フランジ４を設けて閉塞し、垂直部
１ｂの下端にガラス製置空容器（図示せず）と接続する
フランジ５を設けてなる。
金属製、例えばステンレス製のＴ形円筒部ｌが水平部１
ｍの一端に金属製、例えばステンレス製のベローズ２ｔ
−介して真空ポンプ（図示せず）と接続するフランジ３
を設け、他端に閉塞フランジ４を設けて閉塞し、垂直部
１ｂの下端にガラス製置空容器（図示せず）と接続する
フランジ５を設けてなる。
このように構成することにより、上記接続部材が振動し
、熱膨張が生じても、これら振動や熱膨張が上記ベロー
ズ２に吸収され、眞空装置との接続に支障が生じないよ
うにしている。
、熱膨張が生じても、これら振動や熱膨張が上記ベロー
ズ２に吸収され、眞空装置との接続に支障が生じないよ
うにしている。
上記のように構成した接続部材でも、これに振動あるい
は熱膨張が生じると、これら振動あるいは熱膨張が上記
ベローズに吸収され、第３図に示すようにベローズ２が
彎曲することがある。
は熱膨張が生じると、これら振動あるいは熱膨張が上記
ベローズに吸収され、第３図に示すようにベローズ２が
彎曲することがある。
その結果、Ｔ形円筒部１が矢視Ｚ方向に傾いて、フラン
ジ５が傾斜し、その一端Ｐが相手側の真空容器を強く押
しつけ、外圧作用と相俟って、真空容器を破壊する事故
が発生する場合がある。
ジ５が傾斜し、その一端Ｐが相手側の真空容器を強く押
しつけ、外圧作用と相俟って、真空容器を破壊する事故
が発生する場合がある。
本発明の目的は、上記したごとくＴ形円筒部が傾いて、
相手側ガラス容器を破壊させるようなことがない接続部
材を提供することＫある。
相手側ガラス容器を破壊させるようなことがない接続部
材を提供することＫある。
上記の目的は、金属製Ｔ形円筒部の両端に夫々金属ベロ
ーズを介してフランジと閉塞フランジを設け、上記両フ
ランジを支柱により一体に結合し、全体として左右対称
の形状に構成することにより達成される。
ーズを介してフランジと閉塞フランジを設け、上記両フ
ランジを支柱により一体に結合し、全体として左右対称
の形状に構成することにより達成される。
上記の手段により、Ｔ形円筒部は左右対称の力学的平衡
状態が維持されるので、Ｔ形円筒部が傾くことがない。
状態が維持されるので、Ｔ形円筒部が傾くことがない。
その結果、真空容器と接続されるフランジは傾斜するこ
とがない。
とがない。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。なお
、第２図と同一部材には同一符号を付し、その説明を省
略する。
、第２図と同一部材には同一符号を付し、その説明を省
略する。
ａ！１図において、真空用接続部材は、金属製、例えば
、ステン製の丁字形円筒部１０両端に１夫々金属製、例
えば、ステンレス製ベローズ２を介して真空ポンプ（図
示せず）に接続するフランジ３と閉塞フランジ４を設け
、この両フランジ３．４を支柱６により結合し、全体と
して左右対称の形状に構成してなる。
、ステン製の丁字形円筒部１０両端に１夫々金属製、例
えば、ステンレス製ベローズ２を介して真空ポンプ（図
示せず）に接続するフランジ３と閉塞フランジ４を設け
、この両フランジ３．４を支柱６により結合し、全体と
して左右対称の形状に構成してなる。
このように接続部材を構成すると、Ｔ形円筒部ｌはその
両端のベローズ２を介して、両フランジ３．４０間に左
右対称に力学的平衡状態が維持される。その結果、接続
部材に振動や熱膨張が生じても、これら振動や熱膨張が
左右のベローズ２に均等に吸収され、従来のようにベロ
ーズ２の彎曲により、円筒部１が傾き、ガラス製真空容
器（図示せず）と接続するフランジ５が傾斜するような
ことがない。
両端のベローズ２を介して、両フランジ３．４０間に左
右対称に力学的平衡状態が維持される。その結果、接続
部材に振動や熱膨張が生じても、これら振動や熱膨張が
左右のベローズ２に均等に吸収され、従来のようにベロ
ーズ２の彎曲により、円筒部１が傾き、ガラス製真空容
器（図示せず）と接続するフランジ５が傾斜するような
ことがない。
以上述べた本発明の真空用接続部材を接続することによ
抄、眞空装置の破壊事故が少くなり、また支柱により接
続部材が一体に固定されているので眞空装置との接続作
業が容易になる。
抄、眞空装置の破壊事故が少くなり、また支柱により接
続部材が一体に固定されているので眞空装置との接続作
業が容易になる。
第１図は本発明による真空用接続部材の一実施例の側面
図、第２図は従来の真空用接続部材の側面図、第３図は
第２図の真空部材が傾斜した状態を示す図である。 １・・・Ｔ形円筒部、 ２・・・ベローズ、３．５
・−・フランジ、 ４・・・閉塞フランジ、
図、第２図は従来の真空用接続部材の側面図、第３図は
第２図の真空部材が傾斜した状態を示す図である。 １・・・Ｔ形円筒部、 ２・・・ベローズ、３．５
・−・フランジ、 ４・・・閉塞フランジ、
Claims (1)
- １、眞空装置に接続する眞空用接続部材において、金属
製Ｔ形円筒部の両端に金属ベローズを介してフランジと
閉塞フランジを夫々設け、上記両フランジを支柱により
一体に結合し、全体として左右対称の形状に構成したこ
とを特徴とする眞空用接続部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2133803A JPH0431675A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 真空用接続部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2133803A JPH0431675A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 真空用接続部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0431675A true JPH0431675A (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=15113400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2133803A Pending JPH0431675A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 真空用接続部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0431675A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1201927A3 (en) * | 2000-10-23 | 2003-01-22 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| JP2014196693A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 株式会社荏原製作所 | 電子線応用装置の鏡筒部へ真空ポンプを接続する真空ポンプ用接続装置、及び該接続装置の設置方法 |
| JP2019160449A (ja) * | 2018-03-08 | 2019-09-19 | 株式会社荏原製作所 | 真空用接続機構、電子光学装置 |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP2133803A patent/JPH0431675A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1201927A3 (en) * | 2000-10-23 | 2003-01-22 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump |
| JP2014196693A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 株式会社荏原製作所 | 電子線応用装置の鏡筒部へ真空ポンプを接続する真空ポンプ用接続装置、及び該接続装置の設置方法 |
| US9970459B2 (en) | 2013-03-29 | 2018-05-15 | Ebara Corporation | Vacuum pump connecting apparatus and method for installing vacuum pump connecting apparatus |
| JP2019160449A (ja) * | 2018-03-08 | 2019-09-19 | 株式会社荏原製作所 | 真空用接続機構、電子光学装置 |
| US11545335B2 (en) | 2018-03-08 | 2023-01-03 | Ebara Corporation | Vacuum connection mechanism and electron optical device |
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