JPH04320350A - ワイヤボンデイング方法及び装置 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法及び装置

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JPH04320350A
JPH04320350A JP3113826A JP11382691A JPH04320350A JP H04320350 A JPH04320350 A JP H04320350A JP 3113826 A JP3113826 A JP 3113826A JP 11382691 A JP11382691 A JP 11382691A JP H04320350 A JPH04320350 A JP H04320350A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング方法
及び装置に係り、特に第２ボンド点へのボンデイング後
におけるワイヤカット方法及び駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワイヤボンデイングにおいては、
図６（ａ）に示すように第２ボンド点１にワイヤ２をボ
ンデイングした後、図６（ｂ）（ｃ）に示すようにキヤ
ピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４が上昇する。この
場合、キヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４の上昇
時の速度は、図５（ｂ）に示すように増速度５させ、そ
の後に減速度６させている。このキヤピラリ３及びワイ
ヤ切断用クランパ４の上昇途中における増速度５時にお
いて、ワイヤ切断用クランパ４が閉じ、該ワイヤ切断用
クランパ４によって第２ボンド点１の付け根からワイヤ
２を図６（ｃ）に示すようにカットする。これにより、
キヤピラリ３の先端には一定長さのワイヤ（テール）２
ａが延在する。このテール２ａには、次の工程によって
ボールが形成される。前記テール２ａの長さは、ボール
の大きさ及び良否に影響を及ぼすので、ワイヤボンデイ
ングにおいては非常に重要である。なお、この種のワイ
ヤカット方法として、例えば特公昭６２ー５２９４８号
公報があげられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ワイ
ヤカット時の速度が高速であるため、図５（ｃ）に示す
ようにワイヤ切断用クランパ４の閉じるタイミングのバ
ラツキＴ１によりテールの長さＳはＳ１だけバラツキ、
テールが安定しないという問題点があった。このテール
のバラツキを軽減させるには、増速度５を下げればよい
が、ワイヤカット動作におけるトータル時間がかかって
しまう。
【０００４】本発明の目的は、ワイヤカットのトータル
時間を長くしないで、テールのバラツキの軽減を図るこ
とができるワイヤボンデイング方法及び装置を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の方法は、第２ボンド点にワイヤをボンデイングした後
、キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを上昇させ、こ
の上昇時にワイヤ切断用クランパを閉じるワイヤカット
方法において、ワイヤ切断用クランパ閉じ時にキヤピラ
リ及びワイヤ切断用クランパの上昇速度を低速または一
旦停止させることを特徴とする。
【０００６】上記目的を達成するための装置は、ワイヤ
切断用クランパと、ワイヤが挿通されたキヤピラリと、
前記ワイヤ切断用クランパを開閉させるクランパ開閉駆
動回路と、キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを上下
動させる上下駆動回路とを備えたワイヤカット駆動装置
において、ワイヤ切断用クランパ閉じ時の信号を出力す
ると共に、ワイヤ切断用クランパ閉じ時にキヤピラリ及
びワイヤ切断用クランパの上昇速度を低速または一旦停
止させる信号を出力させる制御回路を備えたことを特徴
とする。
【０００７】
【作用】ワイヤ切断用クランパを閉じるタイミング時に
は、キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを低速度また
は一旦停止させるので、ワイヤ切断用クランパのワイヤ
クランプタイミングずれによるテール長さのバラツキは
非常に小さい。またワイヤカット時、即ちワイヤ切断用
クランパを閉じる時以外は高速度にさせることができる
ので、ワイヤカット動作のトータル時間が長くなること
はない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明する
。図４は本発明を適用したワイヤボンデイング装置を示
す。架台３０上には、ＸＹ方向に駆動されるＸＹテーブ
ル３１が搭載されており、ＸＹテーブル３１上には、ボ
ンデイングヘッド３２が固定されている。ボンデイング
ヘッド３２には、リフタアーム３３が上下動可能に設け
られており、リフタアーム３３はモータ３４によって上
下動させられる。リフタアーム３３には、一端にキヤピ
ラリ３５を保持したツールアーム３６と、ワイヤ切断用
クランパ３７を保持したクランパ支持体３８とが固定さ
れている。またボンデイングヘッド３２には、ワイヤ３
９を軽く挟持するワイヤ保持用クランパ４０を保持する
クランパ支持体４１と、ワイヤ３９が巻回されたスプー
ル４２を保持するスプール支持体４３と、試料４４を検
出するカメラ４５を保持したカメラ支持体４６とが固定
されている。前記ワイヤ３９は、スプール４２よりワイ
ヤ保持用クランパ４０、ワイヤ切断用クランパ３７を通
してキヤピラリ３５に挿通されている。なお、図中、５
０は試料４４を送るフイーダ、５１は試料４４をガイド
するガイドレールである。
【０００９】次に図６を参照しながら図１により本発明
になるワイヤカット方法の一実施例を説明する。第２ボ
ンド点１へのボンデイング後、キヤピラリ３及びワイヤ
切断用クランパ４は図１（ｂ）に示すような速度で上昇
する。まず、キヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４
は、増速度１０で上昇した後、減速度１１で上昇し、そ
の後一定低速度１２で上昇する。この一定低速度１２間
においてテールが所望とする長さになるようにする。即
ち、一定低速度１２のスタートは所望とするテール長さ
より僅かに下方となるように設定する。そして、前記一
定低速度１２間にワイヤ切断用クランパ４を閉じる。そ
の後再びキヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４は増
速度１３で上昇した後、減速度１４で上昇する。これに
より図６（ｃ）に示すようにワイヤ２はカットされ、キ
ヤピラリ３の先端には所望とする長さのテール２ａが延
在する。
【００１０】このように、一定低速度１２時にワイヤ切
断用クランパ４を閉じるので、ワイヤ切断用クランパ４
のワイヤクランプタイミングバラツキＴ１によるテール
長さのバラツキは非常に小さい。またワイヤ切断用クラ
ンパのワイヤクランプタイミング時のみ速度を下げるの
で、その他の増速度１０、減速度１１、増速度１３、減
速度１４は急な傾斜とすることができ、ワイヤカット動
作におけるトータル時間は長くならない。
【００１１】図２は本発明になる駆動装置の他の実施例
を示す。前記実施例は、一定低速度１２にしてワイヤ切
断用クランパ４を閉じたが、本実施例は速度を零、即ち
キヤピラリ３及びワイヤ切断用クランパ４の上昇を一旦
停止１５させ、この停止１５時にワイヤ切断用クランパ
４を閉じる。従って、停止１５時には、キヤピラリ３は
所望とするテール長さまで上昇させる。これにより、ワ
イヤ切断用クランパ４のワイヤクランプタイミングＴ１
が生じてもテール長さのバラツキは生じない。
【００１２】図３は本発明になるワイヤカット駆動装置
の一実施例を示す。キヤピラリ３及びワイヤ切断用クラ
ンパ４は、上下駆動回路２０によって上下動させられ、
ワイヤ切断用クランパ４は、クランパ開閉駆動回路２１
により開閉させられる。これら上下駆動回路２０及びク
ランパ開閉駆動回路２１には、制御回路２２から図１及
び図２に示すようにキヤピラリ３及びワイヤ切断用クラ
ンパ４の上昇信号及びワイヤ切断用クランパ４の開閉信
号が出力されるように記憶されている。即ち、ワイヤ切
断用クランパ４閉じ時には、制御回路２２よりキヤピラ
リ３及びワイヤ切断用クランパ４の上昇速度を低速度１
２または一旦停止１５させる信号が出力される。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、ワイヤ切断用クランパ
を閉じるタイミング時のみ低速度又は一旦停止するので
、テールの長さが安定すると共に、トータル時間も長く
ならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になるワイヤボンデイング方法に用いる
ワイヤカット方法の一実施例を示し、（ａ）はキヤピラ
リの高さを示す図、（ｂ）はキヤピラリ及びワイヤ切断
用クランパの速度図、（ｃ）はワイヤ切断用クランパは
閉じタイミング図である。
【図２】本発明になるワイヤボンデイング方法に用いる
ワイヤカット方法の他の実施例を示し、（ａ）はキヤピ
ラリの高さを示す図、（ｂ）はキヤピラリ及びワイヤ切
断用クランパの速度図、（ｃ）はワイヤ切断用クランパ
は閉じタイミング図である。
【図３】本発明になるワイヤボンデイング装置に用いる
ワイヤカット駆動装置の一実施例を示すブロック図であ
る。
【図４】本発明を適用したワイヤボンデイング装置の側
面図である。
【図５】従来例を示し、（ａ）はキヤピラリの高さを示
す図、（ｂ）はキヤピラリ及びワイヤ切断用クランパの
速度図、（ｃ）はワイヤ切断用クランパは閉じタイミン
グ図である。
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）は第２ボンド点へのボンデ
イング後におけるワイヤカット動作を示す説明図である
。
【符号の説明】
１　　　　第２ボンド点 ２　　　　ワイヤ ３　　　　キヤピラリ ４　　　　ワイヤ切断用クランパ １０　　増速度 １１　　減速度 １２　　一定低速度 １３　　増速度 １４　　減速度 １５　　停止 ２０　　上下駆動回路 ２１　　クランパ開閉駆動回路 ２２　　制御回路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　第２ボンド点にワイヤをボンデイング
    した後、キヤピラリ及びワイヤ切断用クランパを上昇さ
    せ、この上昇時にワイヤ切断用クランパを閉じてワイヤ
    をカットするワイヤボンデイング方法において、ワイヤ
    切断用クランパ閉じ時にキヤピラリ及びワイヤ切断用ク
    ランパの上昇速度を低速または一旦停止させることを特
    徴とするワイヤボンデイング方法。
  2. 【請求項２】　　ワイヤ切断用クランパと、ワイヤが挿
    通されたキヤピラリと、前記ワイヤ切断用クランパを開
    閉させるクランパ開閉駆動回路と、キヤピラリ及びワイ
    ヤ切断用クランパを上下動させる上下駆動回路とを備え
    たワイヤボンデイング装置において、ワイヤ切断用クラ
    ンパ閉じ時の信号を出力すると共に、ワイヤ切断用クラ
    ンパ閉じ時にキヤピラリ及びワイヤ切断用クランパの上
    昇速度を低速または一旦停止させる信号を出力させる制
    御回路を備えたことを特徴とするワイヤボンデイング装
    置。
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