JPH04322924A - 部品取付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子回路基板の製造工
程において、半導体チップ等の電子部品を基板に取付け
るのに用いられる部品取付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、電子回路基板の製造工程におい
ては、基板上に半導体チップ等の電子部品を位置決めて
取付ける装置として、部品を真空吸着するノズルと、こ
のノズルヘッドを自転自在かつ上下動自在に支持するノ
ズルヘッドとを有し、前記ノズルを上下させかつ自転さ
せるとともに、前記ノズルヘッドを前後左右に移動させ
ることにより、部品を位置決めて取付ける部品取付装置
が知られている。

【０００３】そして、従来、この種の装置にあっては、
吸着時における電子部品のノズルに対する位置ずれ対策
として、以下のような構成を採っていた。すなわち、例
えば特公昭６２−１０７９３号公報に見られるように、
ノズルヘッドに設けられた２対の位置規制爪によってノ
ズルに吸着した電子部品のセンタリング（ノズルに対す
る位置決め）を行って、位置がずれた状態でノズルに電
子部品が吸着されることを防止していた。あるいは、吸
着した電子部品を下方からＩＴＶカメラでとらえること
によりノズルに対する吸着ずれ量を画像処理によって求
め、このずれ量に応じて部品の搭載位置に対する前記ノ
ズルヘッドの移動量およびノズルの回転角度を補正して
対処していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、位置規制爪
による位置補正では以下のような問題点があった。 （１）電子部品に衝撃的な力が加わり部品の信頼性が低
下する。 （２）爪の加工精度・組立精度により補正精度が決まっ
てしまう。 （３）長期間使用すると軸受けの摩耗等により補正精度
が低下する。

【０００５】一方、ＩＴＶカメラによる位置補正では以
下のような問題があった。 （４）画像処理に時間がかかり爪式より搭載速度が遅い
。 （５）高価なＩＴＶカメラ画像処理装置が必要で爪式よ
りコストが高い。

【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たもので、部品の吸着ずれ補正を部品にダメージを与え
ることなく正確かつ信頼性高く行うことができ、しかも
搭載速度が早くかつ安価な部品取付装置を提供すること
を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の部品取付装置は
、部品を鉛直下方の吸着部で着脱自在に保持するノズル
を回転自在かつ上下動自在に支持するノズルヘッドを有
し、前記ノズルを上下動させかつ回転させるとともに、
前記ノズルヘッドを水平方向に移動させることにより、
部品を位置決めして取付ける部品取付装置において、前
記ノズルに保持された部品が上下動する領域の一側にお
いてこの領域に水平方向の平行光束を発する投光部と、
この投光部に対して前記領域の反対側において前記平行
光束を受光し受光位置に対応して光の明暗を電気信号に
変換する受光部とを前記ノズルヘッドに設けたことを特
徴としている。

【０００８】

【作用】上記構成であると、半導体チップ等の電子部品
の側面から前記平行光束を照射して、この電子部品の外
形を水平方向に投影した部分が受光装置において暗とな
って表れるようにすることができる。すなわち、部品を
水平状態に吸着したノズルを上下動させて投光部が平行
光束を発する領域に部品を位置させれば、この部品によ
って平行光束の一部が遮られ、部品の外形を側方に投影
した範囲が受光部において暗となって検出される。

【０００９】そして、この状態で、ノズルを回転させる
ことにより部品を水平回転させながら、前記平行光束に
直交する方向における前記暗となる範囲の両端位置を、
そのときの部品（ノズル）の回転角度とともに逐次記憶
してゆき、少なくとも部品が１８０度以上回転するまで
これらデータを適度な間隔で採取すれば、これらデータ
から部品のノズル中心に対する位置ずれ量あるいは回転
ずれ量（基準軸に対する部品の傾き）を演算処理により
求めることができる。

【００１０】すなわち、半導体チップ等の部品は、平面
形状が矩形をなし、これを１８０度以上水平回転させれ
ば、いずれかの回転角度で各側面（長辺側と短辺側）が
前記平行光束に平行になるとき（すなわち、部品の縦方
向又は横方向が平行光束と平行になるとき）が少なくと
もそれぞれ一回ある。そして、横軸を部品の回転量とし
縦軸を前記平行光束に直交する方向における基準位置か
ら前記暗となる範囲の端までの距離とするグラフを描く
とすると、前記電子部品の側面が平行光束と平行になる
回転量におけるこのグラフ上の点は、そのグラフの線の
傾きが不連続な変曲点となる。

【００１１】このため、前記データを例えばマイクロコ
ンピュータを備えるコントローラによって処理判断して
、部品が前記平行光束に平行になったときに前記受光部
において暗となる範囲の両端の位置とそこまでの回転量
を判定し、この回転量から逆算して電子部品の吸着回転
ずれ量を求め、また、前記両端の位置から電子部品の中
心の位置ずれを２方向とも求めることができる。なぜな
ら、例えば前記平行光束の方向を基準軸（ノズルヘッド
の移動方向）と一致させておけば、部品が平行光束に平
行になったときの前記回転量は前記基準軸に対する部品
の吸着時の傾きに他ならないからである。また、前記平
行光束に直交する方向におけるノズル中心の位置は予め
明らかであるから、例えば部品の縦方向が平行光束に平
行になったときの、前記暗となる範囲の中心位置と前記
ノズル中心位置との距離は部品の縦方向の吸着位置ずれ
量に他ならないからである。

【００１２】したがって、これら求められた位置ずれデ
ータに基づき、部品を搭載する（取付ける）際のノズル
の回転量あるいはノズルヘッドの移動量を補正すれば、
吸着時にノズルに対する部品の位置がずれており又はそ
の向き傾いていても、高精度に部品を位置決めて電子回
路基板等に搭載することができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図８に基づ
いて説明する。図１は部品取付装置の斜視図であり、同
図中符号１は基台、符号２は各部の動作を制御するコン
トローラ、符号３は部品を着脱自在に保持して鉛直軸（
θ軸）回りに回転させるとともに上下方向（Ｚ方向）に
移動させるノズルヘッド、符号４はノズルヘッド３をＸ
Ｙ方向（前後・左右方向）に移動させるＸＹロボットを
示している。また、符号４ａはＸＹロボット４のＸ軸移
動機構、符号５はＸ軸移動機構４とともにノズルヘッド
３をＹ方向に移動させるためのＸＹロボット４のＹ軸モ
ータ、符号６はノズルヘッド３をＸ方向に移動させるた
めのＸＹロボットのＸ軸モータ、符号７はノズルヘッド
３に吸着した部品を回転させるためのθ軸モータ、符号
８は操作盤、符号９は半導体チップ等の部品を供給する
ためのテープフィーダを示している。

【００１４】図２はノズルヘッド３の縦断面図である。 図２において符号１０で示すものは、ノズルヘッド３の
外枠を構成する角柱状のボディ３ａ内に上下方向（Ｚ軸
方向）に配設された中空のノズルシャフトで、この下端
にはノズル１１が設けられ、部品はこのノズル１１の先
端に吸着される。符号１２はノズルガイドを示し、これ
はノズルシャフト１０を回転させずに上下方向に移動さ
せるためのガイドである。すなわち、このノズルガイド
１２はボディ３ａ内に軸受１７によって取付けられてノ
ズルシャフト１０と同じ軸を中心として回転自在とされ
ている。なお、前記ノズルシャフト１０は、このノズル
ガイド１２内の軸線上に摺動自在に挿入されているが、
ノズルガイド１２に取付けられてノズルシャフト１０の
外周の溝１０ａに係合する転動体１８により、ノズルガ
イド１２に対する回転を妨げられている。

【００１５】また、符号１３はプーリを示しており、こ
れはノズルガイド１２の上端に固定され、θ軸モータ７
の回転をタイミングベルトでノズルガイド１２に伝える
ためのものである。符号１４はノズル上下シリンダを示
し、これは、ボディ３ａ内に形成された作動室３ｂにそ
のピストン１４ａが嵌入され、このピストン１４ａの上
端から伸びるロッド１４ｂの先端が連結板１９を介して
ノズルシャフト１０の上端に連結されているものである
。すなわち、このシリンダ１４の作動により、ノズルシ
ャフト１０がノズルガイド１２に対して摺動しつつ上下
（Ｚ軸方向）に移動する構成となっている。なお、ノズ
ル上下シリンダ１４は、例えば空気圧によって動作させ
ることができる。また、この場合、このシリンダ１４に
よりノズルシャフト１０が上昇すると、ノズル１１に吸
着された部品１６は後述の平行光束１５ｃが照射される
領域に位置する構成となっている。

【００１６】ノズルシャフト１０の上端は、例えば真空
ポンプ等よりなる吸気装置あるいは圧縮空気源に択一的
に接続される構成とされ、この切替により、ノズルシャ
フト１０内が真空引きされれば、図２に示す如く部品１
６が吸着され、また、逆に圧縮空気が供給されると、部
品１６はノズル１１から離れるようになっている。

【００１７】そして、図２において符号１５で示すもの
はボディ３ａの下面に設けられた測長ユニットである。 この測長ユニット１５は、平行光束１５ｃを発する投光
部１５ａと、この平行光束を受光し受光位置に対応して
電気信号に変換する受光部１５ｂとからなり、これら投
光部１５ａ，１５ｂがノズル１１が上下する領域をはさ
んで対向するように配置されている。

【００１８】なお、投光部１５ａが発する平行光束１５
ｃは、図３に示す如く、ノズル１１の中心軸（Ｚ軸）に
直交する平面（すなわち、水平面）に平行なものとされ
、その向きはこの場合Ｙ軸方向とされている。この平行
光束１５ｃの水平方向の幅は、少なくとも部品１６の外
形よりも大きく設定されている。また、平行光束１５ｃ
の上下方向（Ｚ軸方向）の厚さは、部品１６の厚さより
も薄く設定され、部品１６を吸着したノズル１１を上端
まで上昇させると部品１６により平行光束１５ｃの一部
がさえぎられる構成となっている。

【００１９】そして、図３に示すように部品１６を吸着
したノズル１１を上端まで上昇させ、発光部１５ａから
発した平行光束１５ｃが部品１６によりさえぎられて表
れる距離Ｓ１とＳ２は、受光部１５ｂの出力信号に基づ
いて、コントローラ２内の測長ユニットコントローラ２
０により求められるようになっている。ここで、距離Ｓ
１とＳ２とは、図４に示す如く、平行光束１５ｃがさえ
ぎられて受光部１５ｂにおいて暗となる領域の水平方向
の端の位置を表す値であり、この場合、図４において平
行光束１５ｃの下端から前記暗となる領域の下端までの
距離をＳ１とし、同様に平行光束１５ｃの下端から前記
暗となる領域の上端までの距離をＳ２としている。なお
、図４における符号Ｓ０は、この図において平行光束１
５ｃの下端からノズル１１の軸線までの距離を示してお
り、この値は部品１６の寸法あるいは吸着位置ずれによ
らず、測長ユニット１５とノズル１１の相対位置関係等
により予め決る一定値である。

【００２０】図５は、コントローラ２の構成を示してい
る。コントローラ２は、操作盤８に接続され装置全体の
動作を制御する動作制御部１７，ＸＹロボット制御部１
８，ノズルヘッド制御部１９，測長ユニットコントロー
ラ２０，メモリ２１とよりなるものである。

【００２１】ここで、ＸＹロボット制御部１８は、動作
制御部１７の指令を受けてＸＹロボット４を制御しノズ
ル１１（ノズルヘッド３）の位置を任意のＸＹ座標へ移
動させる機能を有する。ノズルヘッド制御部１９は、θ
軸モータ７，ノズル上下シリンダ１４の動作、あるいは
ノズルシャフト１０の圧縮空気源への接続切替等の制御
を行い、ノズル１１の上下位置と回転角度（θ）とを指
令どおりに設定するとともに、ノズル１１への部品１６
の吸着あるいは離脱を制御するものである。メモリ２１
は、ノズル１１を部品１６の取付け位置あるいはその供
給位置に移動させるためのデータ、すなわちノズル１１
が移動すべき位置のＸＹ座標及びノズル１１の回転角度
を、あるいは、測長ユニットコントローラ２０からの出
力などを記憶するものである。

【００２２】次に、上記のように構成された部品取付装
置の動作を図６〜図８により説明する。図６は、吸着し
た電子部品のノズル１１に対する位置ずれを検知し、そ
のずれ量を補正するためのコントローラ２の動作を表す
ＰＡＤ図である。以下、これを、ステップ毎に説明する
。

【００２３】［ステップＳ１］部品１６の供給を受ける
ためにノズル１１が移動すべき位置（この場合、例えば
テープフィーダ９の位置）の座標（Ｘ１，Ｙ１）を、メ
モリ２１から読出す。

【００２４】［ステップＳ２］ステップＳ１で読み出し
た座標（Ｘ１，Ｙ１）をＸＹロボット制御部１８へ送り
、ノズル１１を座標（Ｘ１，Ｙ１）の位置へ移動させる
。

【００２５】［ステップＳ３］ノズルヘッド制御部１９
へノズル下降信号を送り、ノズル上下シリンダ１４によ
りノズル１１を供給位置にある部品１６の上面まで下降
させる。

【００２６】［ステップＳ４］ノズルヘッド制御部１９
へ部品吸着信号を送り電子部品１６をノズル１１に吸着
させる。

【００２７】［ステップＳ５］ノズルヘッド制御部１９
へノズル上昇信号を送りノズル上下シリンダ１４により
ノズル１１を上昇させる。

【００２８】［ステップＳ６］変数ｉを０に初期化する
。

【００２９】［ステップＳ７］ノズルヘッド制御部１９
に信号を送りθ軸モータ７を作動させてノズル１１を回
転させ、ノズル１１の回転角度θをθ１からθ２までの
間△θずつ増加させながら、ステップＳ７−１からＳ７
−４までの動作を行う。すなわち、まずθ＝θ１としス
テップＳ７−１からＳ７−４までの動作を行い、次にθ
＝θ１＋△θとし同様にステップＳ７−１からＳ７−４
の動作を行う。そして、以下θを△θずつ増加させθ＝
θ２になるまで繰り返す。なお、θ１，θ２，△θはあ
らかじめメモリ２１に記憶さている定数であり、例えば
θ１＝−３０°，θ２＝１２０°，△θ＝０．０５°程
度に設定すればよい。

【００３０】［ステップＳ７−１］ノズル１１の回転角
度θをノズルヘッド制御部１９へ送り、θ軸モータ７を
作動させてノズル１１を角度θまで回転させる。

【００３１】［ステップＳ７−２］測長ユニットコント
ローラ２０から、前述した図４に示す距離Ｓ１，Ｓ２を
読み込む。

【００３２】［ステップＳ７−３］Ｓ１（ｉ）＝Ｓ１，
Ｓ２（ｉ）＝Ｓ２としてメモリ２１へ書き込む。

【００３３】［ステップＳ７−４］変数ｉを値１だけ増
加させる。

【００３４】［ステップＳ８］ｎ＝ｉ−１とする。

【００３５】［ステップＳ９］メモリ２１に格納された
測定データＳ１（ｉ）＝Ｓ１（０）〜Ｓ１（ｎ）から、
横軸をｉ（あるいはθ）とし縦軸をＳ１としたグラフに
おいて変曲点となる部分を与えるｉの値ｉ１，ｉ２を求
める。すなわち、電子部品１６を上昇させたまま（測長
ユニット１５の平行光束照射位置に維持したまま）回転
させた際に測長ユニットコントローラ２０から得られる
距離Ｓ１又はＳ２の値は、図７に示すように、二つの変
曲点Ｐ１，Ｑ１（この場合凸状になっている部分）又は
変曲点Ｐ２，Ｑ２（この場合凹状になっている部分）を
それぞれ有するθ（又はｉ）の関数となるので、これら
変曲点Ｐ１，Ｑ１又はＰ２，Ｑ２を与えるθの値に対応
するｉの値を求める。（なお、変曲点Ｐ１とＰ２あるい
は変曲点Ｑ１とＱ２とを与えるθの値は等しい。）

【００３６】［ステップＳ１０］下記式（１），（２）
により部品１６の縦横の長さＤ，Ｗを算出する。なお、
これらの式で部品１６の寸法が計算できるのは、前記変
曲点Ｐ１，Ｐ２を与える回転角度θｃでは電子部品１６
の縦方向（Ｄ方向）が平行光束１５ｃと直交しているか
らで、また、変曲点Ｑ１，Ｑ２を与える角度θｃ＋９０
°では部品１６の横方向（Ｗ方向）と平行光束１５ｃが
直交することになるからである。 Ｄ＝Ｓ２（ｉ１）−Ｓ１（ｉ１）　　　……（１）Ｗ＝
Ｓ２（ｉ２）−Ｓ１（ｉ２）　　　……（２）

【００３
７】［ステップＳ１１］メモリ２１に予め格納された部
品１６の縦，横の長さの公称値Ｄｎ，Ｗｎとその許容値
△Ｄａ，△Ｗａを読み出し、下記式（３），（４）を満
足するか否か判定する。そして、両式とも満足している
ときはステップＳ１１−１からＳ１１−５を実行し、そ
れ以外ではステップＳ１１−６を実行する。 Ｄｎ−△Ｄａ≦Ｄ≦Ｄｎ＋△Ｄａ　　……（３）Ｗｎ−
△Ｗａ≦Ｗ≦Ｗｎ＋△Ｗｎ　　……（４）

【００３８】
［ステップＳ１１−１］図７，図８に示す吸着回転ずれ
量θｃ、吸着位置ずれ量Ｄｃ，Ｗｃを算出する。ここで
、角度θｃは部品１６の縦方向とＸＹロボット４のＸ軸
方向とのなす角度である。また、吸着位置ずれ量Ｄｃは
、部品１６の中心位置Ｏｃとノズル１１の軸中心Ｏとの
ずれ距離であって、部品１６の縦方向に沿う距離であり
、吸着位置ずれ量Ｗｃは同様に部品１６の横方向に沿う
距離である。吸着回転ずれ量θｃは、ステップＳ７−１
からＳ７−４においてＳ１（ｉ），Ｓ２（ｉ）のデータ
を採取するために部品１６を回転させた際に、部品１６
の縦方向が平行光束１５ａに直交するまでの回転角度に
等しく、下記式（５）より求められる。また、吸着位置
ずれ量Ｄｃ，Ｗｃは、下記式（６），（７）によりそれ
ぞれ求められる。これらの式（６），（７）によりＤｃ
，Ｗｃが求まるのは、Ｓ１（ｉ１），Ｓ２（ｉ１）は部
品１６の縦方向が平行光束１５ｃと直交しているときの
前記距離Ｓ１，Ｓ２の値であり、Ｓ１（ｉ２），Ｓ２（
ｉ２）は部品１６の横方向が平行光束１５ｃと直交して
いるときの前記距離Ｓ１，Ｓ２の値であるからである。 　　　　　　　　　θｃ＝△θ・ｉ１＋θ１　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　……（
５）　　　　　　　　Ｄｃ＝（Ｓ１（ｉ１）＋Ｓ２（ｉ
１））／２−Ｓ。　　　　　　……（６）　　　　　　
　　Ｗｃ＝（Ｓ１（ｉ２）＋Ｓ２（ｉ２））／２−Ｓ。 　　　　　　……（７）

【００３９】［ステップＳ１１
−２］メモリ２１より部品１６の搭載姿勢（回転角度θ
ｒ）を読み出す。

【００４０】［ステップＳ１１−３］部品１６の吸着回
転ずれを考慮して部品１６を搭載のための適正な向きに
するための回転角度φと、部品１６の吸着位置ずれ量Ｄ
ｃ，Ｗｃに応じてＸＹロボット４により部品１６を適正
な搭載位置に移動させるための座標データの補正量△ｘ
，△ｙとを求める。回転角度φは、前記搭載姿勢θｒと
吸着回転ずれ角度θｃとの和であるから、下記式（８）
により求められ、また、部品１６の吸着位置ずれ量Ｄｃ
，ＷｃとＸＹロボット４のＸ，Ｙ軸方向とは、図８に示
す関係であるので、補正量△ｘ，△ｙは下記式（９），
（１０）により求められる。 φ＝θｃ＋θｒ　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　……（８）△ｘ＝Ｗｃ・ｓｉｎφ＋Ｄ
ｃ・ｃｏｓφ　　　……（９）△ｙ＝Ｗｃ・ｃｏｓφ＋
Ｄｃ・ｓｉｎφ　　　……（１０）

【００４１】［ステ
ップＳ１１−４］ノズル回転角度φをノズルヘッド制御
部１９へ送りノズル１１を角度φへ回転させる。

【００４２】［ステップＳ１１−５］Ｘ軸及びＹ軸方向
に（−△ｘ，−△ｙ）だけノズル１１を移動させる指令
をＸＹロボット制御部１８へ送り、ＸＹロボット４を現
在位置からＸ軸，Ｙ軸方向にそれぞれ−△ｘ，−△ｙだ
け移動させる。

【００４３】［ステップＳ１１−６］エラーフラグをセ
ットする。

【００４４】このように、本実施例の部品取付装置であ
ると、投光部と受光部とよりなる簡単な構成の測長ユニ
ット１５からの信号により、テレビカメラを用いたとき
の画像処理に比べ極めて簡単な上述したような処理によ
って、また、部品１６に爪等を当接させることなく、部
品１６の吸着時の位置あるいは向きのずれについての補
正量θｃ，△ｘ，△ｙを求めることができ、この補正量
に基づく補正を行って吸着時のずれにかかわらず部品１
６を所望の位置に正確に位置決めて電子回路基板等に搭
載することができる。

【００４５】また、部品１６が水平に吸着されなかった
場合には、ステップＳ１１による判定で、異常と判断さ
れステップＳ１１−６でエラーとされるので、部品の形
状が不良であった場合も含めて、部品が正常でない状態
のまま吸着されて補正され搭載されてしまうことはない
。

【００４６】なお、上記実施例では測長ユニットを１つ
としたが互いに直交させてもう一つ追加して設けてもよ
い。

【００４７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の部品取付装置であると、投光部と受光部とよりなる簡
単な構成により得られるデータに基づき、画像処理に比
べ極めて簡単な処理によって、しかも部品に爪等を当接
させることなく、部品の吸着時の位置あるいは向きのず
れについての補正量を求めることができ、この補正量に
基づく補正を行って吸着時のずれにかかわらず部品を所
望の位置に正確に位置決めて電子回路基板等に搭載する
ことができる。

【００４８】したがって、以下のような各種の効果が奏
される。 （１）非接触方式であるので電子部品にダメージを与え
ない。 （２）検出できる部品の大きさは平行光束の幅によって
決められるので、検出部品の大きさの制約が少ない。 （３）部品形状の不良や吸着ミス（チップ立ち）をも検
出できる。 （４）装置が小形であり、ノズルヘッドがコンパクトに
なるので、ノズルヘッドの移動範囲が拡大でき、しかも
吸着・搭載時の動作への制約がない。 （５）信号処理が簡単であるので、メモリ容量等が少な
くてすみ装置が安価になるとともに、処理速度が速くな
り、これにより搭載タクトも短縮できる。 （６）ミラーやプリズムなどの光学系が不要であるので
、信頼性が高く、高精度でしかも調整やメンテナンスが
不要である。

【図面の簡単な説明】

【図１】部品取付装置の斜視図である。

【図２】ノズルヘッドの断面図である。

【図３】測長ユニットを説明するためのノズルヘッドの
部分側面図である。

【図４】測長ユニットを説明するためのノズルヘッドの
下面図である。

【図５】コントローラの構成を示すブロック図である。

【図６】コントローラの動作手順を示すＰＡＤ図である
。

【図７】部品の回転と受光部が出力する信号との関係を
説明するための図である。

【図８】部品の吸着ずれ量を説明するための図である。

【符号の説明】

３　　ノズルヘッド １１　　ノズル １５ａ　　投光部 １５ｂ　　受光部 １５ｃ　　平行光束 １６　　部品

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　部品を鉛直下方の吸着部で着脱自在に
   保持するノズルを回転自在かつ上下動自在に支持するノ
   ズルヘッドを有し、前記ノズルを上下動させかつ回転さ
   せるとともに、前記ノズルヘッドを水平方向に移動させ
   ることにより、部品を位置決めして取付ける部品取付装
   置において、前記ノズルに保持された部品が上下動する
   領域の一側においてこの領域に水平方向の平行光束を発
   する投光部と、この投光部に対して前記領域の反対側に
   おいて前記平行光束を受光し受光位置に対応して光の明
   暗を電気信号に変換する受光部とを前記ノズルヘッドに
   設けたことを特徴とする部品取付装置。